JPS63122237A - 産業用ロボツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体プロセス等における製品の搬送に用
いられる産業用ロボットに関する。

［従来技術］ 半導体プロセスでは、製品の歩留りおよび信頼性向上の
ため、クリーン化は絶対条件である。このため、無人化
が必要とされ、現在、無人車、ロボット、軌道台車等に
よる無人搬送システムが実７１１　化されている。この
無人搬送システムのうち、製品を収納ボックスに入れて
、ストッカに運び入れる移動式ロボットがある。

第４図は上記移動式ロボットに用いられる６軸のロボッ
トである。この図において、■は基部であり、この基部
ｌに腕ＡＩが水平旋回（矢印Ｕ方向）および振り旋回（
矢印Ｙ方向）可能に取り付けられている。また、腕Ａ２
は腕ＡＩにジヨイントＪｌによって、矢印Ｗ方向に旋回
可能に取り付けられ、また、手首部材Ｈｌが腕Ａ２にジ
ヨイントＪ２によって、矢印Ｘ方向に旋回可能に取り付
けられている。また、手首部材Ｈ１には手首部材ｌ］２
が矢印Ｙ方向回転可能に取り付けられ、手首部材１−１
２に手首部材Ｈ３が矢印Ｚ方向回転可能に取り付けられ
ている。この手首部材Ｈ３にＬ字状の向かい合った１組
の爪２が開閉可能に取り付けられている。

第５図は移動式ロボットおよびその周辺の配置を示した
概略図である。この図において、３はウェハ５が運ばれ
てくるプロセスマシンの端部であり、第７図（イ）に示
すようにキャリア４にウェハ５が複数個入れられ、キャ
リア４がプロセス、シン端部３に第５図のように同じ向
きに立てて並べられる。キャリア４は第７図（ロ）のよ
うに収納ボックス７に入れられるが、この作業は上記６
軸のロボット８が車輪を有する搬送台車９上に取り付け
られた移動式ロボットＲによって行なわれる。そして、
収納ボックス７が移動式ロボットＲによって、ストッカ
９まで運ばれ収納される。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、上記６軸のロボット８が用いられた移動式ロ
ボットＲは高価であり、また、重量が重（、さらにバッ
テリ消費が大であるという欠点があった。そこで、６軸
のロボット８より安価、かつ、軽量、さらにバッテリ消
費の少ない５軸のロボットを６軸のロボット８の代わり
に用いることが考えられる。しかしながら、５軸のロボ
ットに６軸のロボットと同様な形状の爪を使用すると、
第４図に示す６輔のロボット８において可能な矢印Ｙ方
向の回転が出来ない。このため、第６図に示すように、
搬送台車９上にロボット８の回転中心Ｘを中心に放射状
ζこ収納ボックス７が並べられてしまう。したがって、
搬送台車７の積載スペースを効率良く使用することがで
きない問題がある。

この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、５袖のロボットによっても搬送台車のスペースを効
率良く使用できる移動式ロボットを提供することにある
。

［問題点を解決するための手段］ この発明は、５自由度を有し、該５自由度のうち振り旋
回と回転の２自由度を手首に有するロボットと、Ｔ字状
に形成された２個の部材からなる爪であって、前記ロボ
ットの手首先端に相対配置、かつ、１字垂直部が手首回
転面と平行な面に対向配置され、開閉可能に取り付けら
れた爪とを具備することを特徴とする。

［作用］ この発明によれば、５軸のロボットの手首の回転面と平
行な面にＴ字状に形成された爪の１字垂直部が対向配置
されたので、回転面を水平面ζミ移動させることにより
、爪の１字垂直部が水平面内の回転を行うことができ、
１字垂直部によって収納ボックスをつかみ、この収納ボ
ックスを搬送台車の上に平行に並べることができる。

［実施例］ 第１図は、この発明の一実施例の構成を示す斜視図であ
る。この図において、ＩＯは、側面Ｔ字状の爪であり、
１字水平部１０ａおよび１字垂直部ｔａｂからなる。同
様に１１も側面Ｔ字状の爪であり１字水平部１１ａおよ
び１字垂直部ｔｔｂからなる。これら爪１０．１１が手
首Ｈに対向配置、かつ、矢印り方向に各々接近、離反自
在に取り付けられている。

一方、第２図は５軸のロボット２０の構成を示す側面図
である。この図において、１２は基部であり、この基部
１２に腕ＡＩＯが水平旋回可能（矢印Ｕ方向）および振
り旋回（矢印Ｖ方向）可能に取り付けられ、また、腕Ａ
ｌｌは腕ＡＩＯに矢印Ｗ方向旋回可能に取り付けられて
いる。また、腕ΔＩ目二手首夏Ｉが矢印Ｘ方向に旋回可
能に取り付けられており、また、手首１−１の先端が矢
印Ｚ方向回転可能となっている。そして、この手首１（
の長手方向に爪ｌＯ１，ｔ　１の１字水平部１０ａＳ　
１１ｂの一端が前記のように取り付けられており、１字
垂直部１０ｂ％　ｌｌｂが手首１１の回転面（矢印Ｚ方
向）に平行な面となっている。

上記５軸のロボット２０が搬送台車９上に取り付けられ
、移動式ロボットＲが構成される。

上記の構成において、まず、搬送台車９が駆動　　゛さ
れ、ストッカＳの前まで移動式ロボットＲが移動する。

次に、手首！］をＸ方向旋回によって下方に向け、爪１
０．１１の１字垂直部１０ｂ、１１ｂが水平になるよう
に５軸ロボツト２０を駆動する。次に、この爪１０．１
１を接近駆動させ、収納ボックス７を第３図（ロ）のよ
うにつかむ。次に、つかんだ収納ボックス７を矢印Ｕ方
向回転、腕の旋回によって、搬送台車９上の配置場所上
方に持ってくる。次に、手首Ｉ（の矢印Ｚ方向の回転に
より、搬送台車９上に収納ボックス７が平行に並ぶよう
に方向を定め、爪１Ｏ１１１を離反駆動し収納ボックス
７を搬送台車９上に載せる。次に、搬送台車９を駆動し
、移動式ロボットＲをプロセスマシンの端部３付近に移
動させる。次に、前と同様に搬送台車９上の収納ボック
ス７を掴む。次に、５軸ロボツト２０を旋回させ、第３
図（イ）に示すようにロボット２０の回転中心Ｘから放
射状の位置にあるＡまたはＢの位置に収納ボックス７を
配置する。次に、キャリア４を１字水平部ｌＯａ、ｌｌ
ａによって掴む。次に、５軸ロボツト２０を旋回し、前
記収納ボックス７の位置（第３図（イ）に示すＡまたは
Ｂ）に、キャリア２を運ぶ。次に、手首ｌ（をＸ方向旋
回によって、第３図（ハ）のように起こし、次いで、爪
１０．１１　ヲ離反駆動して、収納ボックス７に入れる
。次に、再び、手首Ｈを下方に向け、１字垂直部１０ｂ
。

１１ｂによって収納ボックス７を掴む。次ぎに、搬送台
車９上の所定の位置に収納ボックス７を運び、手首１−
１をＺ方向回転させると、搬送台車９上に収納ボックス
７が平行に並ぶ。次ぎに、ストッカＳの場所に移動式ロ
ボットＲが移動し、収納ボックス７をストッカＳに並べ
る。

しかして、上記の実施例によれば、Ｔ字状の爪１０．１
１を設けたので１字水平部１０ａのみでは、位置合わせ
が困難な回転が１字垂直部１０ｂ。

１１ｂによって可能であるので、搬送台車９上に平行に
収納ボックス７を配置することができ、搬送台車９上の
収納スペースが効率良く使用できる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、５自由度を有
し、該５自由度のうち振り旋回と回転の２自由度を手首
に有するロボットと、Ｔ字状に形成された２個の部材か
らなる爪であって、前記ロボットの手首先端に相対配置
、かつ、１字垂直部が手首回転面と平行な面に対向配置
され、開閉可能に取り付けられた爪とを具備したので、
収納ボックスを搬送台車に平行に並べることができ、搬
送台車のスペースが確保できる。また、５軸のロボット
を使用したので、６紬に比べ、信頼性の向上、省コスト
、重量軽減、バッテリの消費軽減の各効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例の構成を示す斜視図、第
２図は５軸のロボットの構成を示す側面図、第３図はこ
の発明の詳細な説明するための図、第４図は６軸のロボ
ットの構成を示す側面図、第５図は、プロセスマシン３
、移動式ロボットＲ１ストッカＳの斜視図、第６図は、
５軸の移動式ロボットＲの問題点を示すための平面図、
第７図はキャリア４および収納ボックス７の構成を示す
斜視図である。 ２０・・・５軸ロボツト、 １０．１１・・・爪。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　複数の半導体製品をセットしたキャリアボックスを収
   納ボックスに収納し、この収納ボックスを移送する産業
   用ロボットにおいて、５自由度を有し、該５自由度のう
   ち振り旋回と回転の２自由度を手首に有するロボットと
   、Ｔ字状に形成された２個の部材からなる爪であって、
   前記ロボットの手首先端に相対配置、かつ、Ｔ字垂直部
   が手首回転面と平行な面に対向配置され、開閉可能に取
   り付けられた爪とを具備してなる産業用ロボット。