JPS63118383A - 感圧性接着剤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、非分離性成分が９５重量１％以上を占めるよ
う調製してなり、被着体に対する非汚染性に優れて半導
体部品用、高級ガラス板用等の表面保護部材の形成に好
適な感圧性接着剤に関する。

従来の技術及び問題点 プラスチック板、ガラス板、金属板などにあってはその
表面が損傷を受けたり、ゴミ等の付着で汚染されること
を防止するため、フィルムやシート等の薄葉体からなる
基材に感圧性接着剤層を付設してなる表面保護部材を貼
着した状態で保管したり、流通過程にお（ことが常態と
なっている。

この表面保護部材貼着方式の利点に着目して、ＩＣ基板
を形成するための半導体ウェハ等の半導体部品などにも
適用することが考えられている。

しかし、半導体部品にあってはその表面が高度に清澄で
あることが要求されることから実現するには至っていな
い。

すなわち、従来の感圧性接着剤ではその感圧性接着剤に
よる被着体の汚染がひど（、従って半導体部品に要求さ
れる清澄性を満足しうる感圧性接着剤が知られていなか
った。

さらに詳述すると、表面保護部材のように−旦被着体に
貼着したのち再剥離する要のあるものにおける感圧性接
着剤としてはゴム系、アクリル系のものが一般に用いら
れている。

しかしながら、ゴム系感圧性接着剤にあっては紫外線に
よる劣化でそれを剥がした際に目視できる程度の感圧性
接着剤層の残骸（糊残り）が多（、被着体の汚染が著し
い問題点があった。

一方、アクリル酸系エステルと官能基を有するアクリル
系化合物からなるアクリル系共重合体を架橋剤で架橋処
理してなるもの、あるいはこれにコールドフロー等によ
り接着面積が増大して被着体に対する接着力が経時的に
上昇することを防止するため、ブルーミング層を形成さ
せるべく界面活性剤を添加したちのく特公昭５１−２０
０５３号公報）や離型機能を有するポリマを添加したも
の（特公昭５８−４５９９１号公報、特公昭６０−３６
２３５号公報）、あるいは離型機能を有するビニル系モ
ノマを共重合させたもの（特公昭５１−５４２７号公報
、特公昭５４−１５７７号公報）などのアクリル系感圧
性接着剤にあっても、半導体部品においては問題となる
ミクロンオーダの汚染が生じる問題点があった。

問題点を解決するための手段 本発明者らは上記の問題点を克服し、被着体に対する非
汚染性に優れる感圧性接着剤を開発するために鋭意研究
を重ねた結果、非分離性成分が９５重量％以上を占める
よう調製することによりその目的を達成しうろことを見
出し、本発明をなすに至った。

すなわち、本発明は、非分離性成分が９５重量％以上占
めることを特徴とする非汚染型の感圧性接着剤を提供す
るものである。

従来の感圧性接着剤における非分離性成分は９０重量％
以下であり、その架橋度を大きくして非分離性成分が９
０〜９４重量％となるように調製したものにあっては架
橋成分と、未反・応成分ないし低分子量成分等の非架橋
成分との相溶性に劣るためか、あるいは架橋度の増大に
よる凝縮作用のためか、いずれにしても非分離性成分が
９０重量％以下のものよりその汚染度が大きくなる。

従って、非分離性成分がさらに多くを占める範囲におい
て、汚染性の逆転現象が見られたことは予想外のことで
あった。

作用 非分離性成分が９５重量％以上を占める範囲において非
汚染性に優れるものとなる理由は明白ではないが本発明
者らは、この範囲においては架橋構造による包囲効果に
基づき、架橋成分と非架橋成分との相溶性の低下がカバ
ーされてそのブルーミングが抑えられ、さらに、高い凝
集力に基づいて感圧性接着剤層の凝集破壊も抑えられる
のではないかと、考えている。

発明の構成要素の例示 本発明の感圧性接着剤を構成する成分については特に限
定はなく、例えば従来のゴム系感圧性接着剤、アクリル
系感圧性接着剤などの構成成分など、公知のものを用い
ることができる。従って例えば、アクリル系感圧性接着
剤としては、アクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル
酸ブチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、メ
タクリル酸ブチルなどで代表される一般に炭素数が１５
以下のアクリル酸系エステル１００重量部と、アクリル
酸、メタクリル酸、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、
メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリルアミド、
アクリロニトリルなどで代表される官能基を有するアク
リル系化合物１〜５０重量部からなるアクリル系共重合
体を、ポリイソシアネート、メラミン樹脂、金属塩等で
代表″される架橋剤で架橋処理したもの、あるいはこの
もののコールドフローを抑えて接着力の経時変化を抑制
したものなどを代表例としてあげることができる。なお
、コールドフロー抑制剤等適宜な薬剤を添加して性能を
改質した系にあっては、添加薬剤が感圧性接着剤におけ
るベースポリマなどと化合したタイプのもの、あるいは
添加薬剤が高分子からなる混合タイプのものなどが一般
に好ましく用いうる。

本発明の感圧性接着剤は、その非分離性成分が９５重量
％以上を占めるよう調製したものである。

すなわち、ゲル化ないし三次元化などにより加熱溶剤（
杓４０℃）で抽出される成分の含有量が５重量％以下と
なるよう調製したものである。

その調製方法については特に限定はなく、例えば通例の
方式で調製した感圧性接着剤を適宜な溶剤で処理して、
その溶剤可溶成分（分離性成分）を抽出除去する方法、
充分な架橋剤を用いて架橋度を大きくする方法、あるい
はこれらを併用する方法などをあげることができる。接
着力の大きい感圧性接着剤とする点よりは、前者の分離
性成分を抽出除去する方法が好ましい。なお、架橋剤の
配合量はベースポリマ１００重量部あたり１〜３５重量
部が一般である。

本発明の感圧性接着剤は、例えば粘着テープ等などの通
例の用途のほか、フィルムやシート等の薄葉体から一般
になる基材の全面、あるいは点状等部分的に感圧性接着
剤層を付設してなる表面保護部材などのように、被着体
に一旦貼着したのち再剥離する必要のあるものに好まし
く用いられる。

殊に、半導体部品や高級ガラス板等の高度の清澄さが望
まれる被着体に貼着するためのものに好ましく用いられ
る。もちろん、ステンレス板、アルミニウム板、銅板等
で代表される金属板、ポリ塩化ビニル板、ポリカーボネ
ート板等で代表されるプラスチック板、ガラス板などか
らなる通例の被着体に貼着するためのものにも用いうる
。

なお、感圧性接着剤の支持基材としてはプラスチック、
紙、布、金属箔などからなる薄葉体が一般に用いられる
。ポリエチレンやポリプロピレン等の非極性物質からな
る薄葉体の場合には、コロナ放電処理等の表面処理を施
すことが糊残りを予防するうえで有効である。

発明の効果 本発明の感圧性接着剤は、その非分離性成分が９５重量
％以上であるので被着体に対する非汚染性に優れている
。

その結果、半導体部品に適用できる表面保護部材の作製
が可能となる。

実施例 実施例１ アクリル酸ブチル１００部（重量部、以下同様）、アク
リロニトリル１５部及びアクリル酸５部をトルエンから
なる溶剤中で、アゾビスイソブチロニトリル０．２部を
開始剤として共重合処理して得たアクリル系共重合体１
００部にポリイソシアネート５部を加えて架橋処理し、
得られた感圧性接着剤ベースを厚さ５０ｕｍのポリエス
テルフィルムの片面に乾燥後の厚さが１０μｍとなるよ
うに均一に塗布し、約１２０℃で３分間乾燥処理して接
着シートを得、これを４０℃のトルエン中に５時間浸漬
したのち取り出して６０℃で２分間乾燥させ、本発明の
感圧性接着剤からなる層を有する接着シートを得た。

実施例２ トルエン中に５時間浸漬する方式に代えて、４０℃のト
ルエン中に浸漬下、超音波で１０分間処理する方式で抽
出処理を行ったほかは実施例１に準じて接着シートを得
た。

実施例３ アクリル系共重合体そのものを４０℃の貧溶剤メタノー
ル中に７時間浸漬して抽出処理を行い、これを用いたほ
かは実施例１に準じて接着シートを得た。なお、このも
のは接着シート作製後にトルエン中に浸漬する処理は施
していない。

実施例４ ポリイソシアネートを２０部用いて架橋処理したほかは
実施例１に準じて接着シートを得た。なお、このものは
接着シート作製後にトルエン中に浸漬する処理は施して
いない。

比較例１ 実施例１におけるトルエン中に浸漬する前の接着シート
をそのまま用いた。

比較例２ ポリイソシアネートを１０部用いて架橋処理したほかは
実施例４に準じて接着シートを得た。

評価試験 実施例、比較例で得た接着シートにつき下記の項目につ
いて調べた。

［非分離性成分］ 接着シートにおける感圧性接着剤を剥ぎ集め、これを４
０℃のトルエン中に４８時間浸漬したのち取り出し、１
００℃で２時間乾燥処理したものの重量を測定し、浸漬
前後における重量変化（後／前Ｘ１００）を求めた。

［接着力］ 接着シートの幅２ｏＩＩＩＩＩＩものをその感圧性接着
剤層を介して２０℃の雰囲気下、シリコンウェハに貼着
し、貼着後３０分経過したもの（初期物）、又は貼着し
た状態で６０℃下に２日間保存したのち２０℃下で雰囲
気温度になるまで冷却したちのく保存物）につき、２０
℃の雰囲気下で接着シートを引剥がしく１８０度ビール
、剥離速度３００＋ｎ＋ａ／分）、その剥離に要する力
を測定した。

［汚染量１ 直径４インチのシリコンウェハの片面（清澄面）の全面
に感圧性接着剤層を介して接着シートを貼着した状態で
６０℃下に２４時間保存したのち接着シートを引剥がし
、引剥がし後におけるシリコンウェハの面を微分干渉顕
微鏡で４００倍（数−以上のものは視認可能）にて、ウ
ェハの中心を通る直径方向にわたり幅２５０ｐｍで観察
し、汚染物の個数を数えた。

結果を表に示した。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、非分離性成分が９５重量％以上占めることを特徴と
   する非汚染型の感圧性接着剤。 ２、アクリル系感圧性接着剤である特許請求の範囲第１
   項記載の接着剤。 ３、薄葉体からなる基材に感圧性接着剤層を付設してな
   る表面保護部材の状態にある特許請求の範囲第１項記載
   の接着剤。 ４、溶剤による抽出処理により非分離性成分を９５重量
   ％以上に調整してなる特許請求の範囲第１項記載の接着
   剤。 ５、架橋剤による架橋処理で非分離性成分を９５重量％
   以上に調整してなる特許請求の範囲第１項記載の接着剤
   。