JPS63116114A - 顕微鏡の測光光学系 - Google Patents

顕微鏡の測光光学系

Info

Publication number
JPS63116114A
JPS63116114A JP62268386A JP26838687A JPS63116114A JP S63116114 A JPS63116114 A JP S63116114A JP 62268386 A JP62268386 A JP 62268386A JP 26838687 A JP26838687 A JP 26838687A JP S63116114 A JPS63116114 A JP S63116114A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
prism
field diaphragm
optical path
photometric
mirror
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62268386A
Other languages
English (en)
Inventor
ベルント・フアルターマイアー
マルチン・ラウベンベルガー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPS63116114A publication Critical patent/JPS63116114A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野: 本発明は顕微鏡の測光光学系に関する。
従来の技術: 従来公知の顕微鏡用測光光学系は光学的構成が異なる2
つのタイプに分類することができる。
第1タイプの装置では測定視野絞47を可視化するため
全観測光路はいわゆる迂回ループを介して導かれ、その
際傾斜配置の多(は凹面ンラーとして形成した測定視野
絞シで反射される。このような装置はたとえば西独公開
特許゛公報第2406415号、第32 1!1145
号および第32 03 142号に記載される。この場
合測定視野絞シラ可変に形成または照明することは困難
である。迂回ループを有する装置はさらに観測光路の長
い道程のため、像を暗(する付加的拡大因子が生ずる欠
点を有する。これはとくに光の弱い螢光物体の観測に支
障となる。
第2タイプの装置では観測光路は光線分割器を介して直
接接眼レンズ鏡筒へ導かれる。背面照明した測定視野絞
りの像は接眼レンズ鏡筒内に発生する中間像に1なシ、
その際測定視野絞シを結像する補助光路は測光光路と同
軸に背面へ導かれ、−yt線分割プリズムの第2射出口
後方に配置した再帰反射器によシ接眼レンズ鏡筒へ反射
される。このような装置はたとえば西′I11特許第1
2 15 954号明細書、スイス特許第615 76
2号明+1a111:ま* Fl 西独公開特許公報筒
34 43 728号に記載される。
第2タイプの装rttEよシ測定視野絞シを交換可能に
形成し、簡単に照明する可能性が得られる。しかしこの
装置は測定視野絞シの照明に必要な光線が結像空間内す
なわち鏡筒レンズ、対物レンズまたは観測光路内のその
他の光学要素で物体の像に有害に重なる反射を生ずる欠
点がある。
西独特許第18 13 499号明細書には観測光路が
第1光線分割器を介して接眼レンズへ直接反射され、測
定視野絞り全通過する光線が迂回光路を介して導かれ、
第2光線分割器を介して観測光路に再び重なる測光光学
系が記載される。この手段によれば多数の光線分割器を
前後に配置するため測定視野絞シのかなシ暗い像しか得
られない。
発明が解決しようとする問題点: 本発明の目的は中に測定視野絞りが見えるできるだけ明
るい、反射のない中間像が得られる、顕微鏡のための測
光光学系を得ることである。
問題点を解決するための手段: この目的は対物レンズからくる光線を観測光路と測光光
路へ分割するプリズムまたはプリズムスライダおよび測
定視野絞りを観測光路へ反射する装置を有し、背面照明
した測定視野絞シの結像光路が一部測光光路の軸と同軸
に走る光学系から出発して、切替可能の反射器を備え、
それによって測定視野絞シの結像光路Cが測光光路から
分離され、かつプリズムまたはプリズムスライダの第2
像入射口に導かれる本発明の特徴によって解決される。
作用: この手段によって第2タイプの装置の場合のように測光
光路の光軸と垂直に配置した、それゆえ容易に変換しう
る平らなミラー化されていない測定視野絞9を使用する
ことができる。背面から照明した測定視野絞シの補助光
路は測光光路と同軸に分割プリズムへ入射せず、反射の
後その第2入射口を使用するので、測定視野絞シ照明に
よる反射が避けられる。
したがって本発明の手段によシ前記2つの構造タイプの
利点がその欠点を含むことなく組合わされる。さらに観
測光路は迂回ループを介して導かれないので、明るい中
間像が発生する。
もう1つ切替可能の反射器を備えるのが有利であり、こ
れによって測定視野絞夛の背面照明光線が測光光路へ導
入される。さらにこの第2反射器、測定視野絞り光路を
除くための切替可能の第1反射器および分割プリズムを
モータ駆動可能に接続し、それぞれの駆動装置を制御ユ
ニットと結合し、このユニットが反射器または分割プリ
ズムの接続位R@観測”および1測光1ならびに場合に
より“写真”または”TV”を互いに組合せた位置のた
めの記憶器を含むのが有利である。
実施例: 次に本発明の有利な実施例を図面によシ説明する。
第1a図には鏡筒レンズが1で示され、このレンズは顕
微鏡の図示されていない対物レンズとともに中間像形成
に使用される。鏡筒レンズ1の上に分割プリズム2があ
り、このプリズムは対物レンズから第1の像入射口31
へ入射する光線を第1の像射出口34後方の観測光路a
およびプリズム2の第20像射出口33後方の測光光路
すへ分割する。
同様ここに図示されていない接眼レンズ側の分割プリズ
ム2の第1の射出口34は切替位置1測光”で迷光が接
眼レンズから測光光路へ侵入するのを防ぐ旋回絞り4に
よって閉鎖される。
観測および測光する範囲の選択の間、絞シ4は電動そ−
224によって横へ旋回することができる。
プリズム20分割面3を透過した測光のための分割光線
光路すは第20像射出口33を通過後ミラー5Kfiす
、ここで方向転換される。ミラー5の後方の中間像画に
測定視野絞シTが配置される。
対物レンズひとみの光電子増倍管9の陰極または挿入し
たモノクロメータの入射スリットへの結像に役立つレン
ズ系8が測定視野絞シフに続く。
プリズム2は分割係数の異なるもう1つのプリズムが配
置される第2切替位置を有するスライダ上にある。プリ
ズム2は対物レンズからくる光線を90:10の比で分
割し、すなわち観測光路aへ光線の101を反射する。
第2図に22で示す第2分割プリズムは切替位置1観測
”で鏡筒レンズ1の上へ摺動し、0.1の透過係数を有
し、入射光の90チを観測光路aへ反射する。
測定視野絞j)71−可視化するため光源10は前置拡
散板12およびコリメータレンズ13を備える。第1b
図に示すこれらの要素によって発生する光束は測定視野
絞シフとレンズ系80間に配置した旋回ミラー11によ
シ測光光路bへ反射される。切替位置1観測”で旋回ミ
ラー11は破線で示す位tKあシ、それによって測定視
野絞シフは背後から照明される。同時に同様切替可能の
方向転換ミラー5は破線で示す位置へ動かされるので、
測定視野絞プ7を通過する光線は切替位置”測光”で使
用されなかったもう1つの方向転換ミラー14へ肖る。
ミラー14は第2−5に比して光軸に対して強く傾斜し
、測定視野絞シフを通過する光線を鋭角的に屋根プリズ
ム15の方向へ反射する。この光線はそこから分割プリ
ズム2の第2の入射口32に導かれる。
屋根プリズム15と分割プリズム2の第2入射口320
間の分割光線光路Cに配置されたレンズ系16は測定視
野絞シフを観測光線光路aの中間像面すなわち接眼レン
ズ鏡筒内へ結像するので、そこに発生した物体の像に明
るく照明された測定視野絞シフの像が重なる。測定視野
絞シTの像はプリズム2の第2の像入射口32の前の2
方向に旋回可能の平面板36により物体偉に対し精密に
調節することができる。
切替可能ミラー5の上方の取付ダブテール35の前に閉
鎖板6があり、このダブテールへテレビカメラまたは写
真カメラを設置することができる。切替位置1観測”で
、すなわちミラー5が破線で示す位置に出たとき分割面
3からプリズム2または22を透過した光線がこのカメ
ラへ達する。
第2図に示すようにプリズムスライダの駆動装置23、
観測光路内の旋回絞シ4の駆動装置24、切替可能きラ
ー5の駆動装置25、旋回ミラー11の駆動装置21お
よび測定視野絞シ照明用白熱ランデ10はすべて制御装
置26に接続される。この制御装置26には前記5つの
構成要素の作業8[類1観測1.1測光”および@TV
/写真”のための互いに適する位IIまたは切替状態が
記憶され、3つの入カキ−27〜29の操作によって呼
出すことができる。さらに第4の入力キー301−備え
、それによって使用者は必要に応じて自ら記憶させた入
力組合せを呼出すことができる。使用者がきめた入力組
合せによりTvp像内にミラーで反射した測定視野絞り
を有する物体をTV表示することができる。
位置または切替状態を次表に総括的に示す:これまで示
した形式では測光と同時に物体を取付部35に固定した
たとえばTVカメラによって表示することはできない。
というのはミラー5は1つまたは他の作業のみを可能と
するからである。しかし測光と同時のTV表示はミラー
5が光線分割器として形成され、または完全ミラー5の
代シに旋回可能の光線分割器をこの位置に備えれば可能
である。
【図面の簡単な説明】
第1a図は本発明の測光器の光路図、第1b図は第1a
図に組合わせる照明光源系の光路図、第2図は第1図の
切替可能の光学要素の駆動装置のブロック回路図である
。 2・・・分割プリズム、5・・・ミラー、7・・・測定
視野絞り、11・・・ミラー、16・・・結像光学系、
23.25.31・・・駆動装置、26・・・制御装置
、32・・・像入射口、a・・・観測光路、b・・・測
光光路、C・・・測定視野絞シ結像光路

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、対物レンズからくる光線を観測光路(a)および測
    光光路(b)に分割するプリズム、および測定視野絞り
    を観測光路へ反射して導入する装置を有し、背面を照明
    した測定視野絞りの結像光路が一部測光光路(b)の軸
    と同軸に走る、顕微鏡の測光光学系において、切替可能
    のミラー(5)を備え、それによつて測定視野絞り(7
    )の結像光路(c)が測光光路(b)と分離され、かつ
    プリズム(2)またはプリズムスライダの第2の像入射
    口 (32)に導かれることを特徴とする顕微鏡の測光光学
    系。 2、測定視野絞りの結像光学系(16)が切替可能のミ
    ラー(5)とプリズム(2)の第2の像入射口(32)
    の間のミラーが外に出た際の結像光路(c)に配置され
    ている特許請求の範囲第1項記載の光学系。 3、測定視野絞り(7)の背面照明光線がもう1つの切
    替可能のミラー(11)を介して測光光路(b)へ導入
    される特許請求の範囲第1項記載の光学系。 4、切替可能のミラー(5)、測定視野絞り(7)を照
    明するためのもう1つの切替可能ミラー(11)および
    プリズムスライダ(2)がモータ駆動され、その駆動装
    置(23、 25、31)が制御装置(26)を介して結合し、この
    装置が観測および測光のため個々の駆動装置の位置を組
    合わせるための記憶器を含む特許請求の範囲第3項記載
    の光学系。 5、切替可能のミラー(5)が半透性である特許請求の
    範囲第1項記載の光学系。
JP62268386A 1986-10-28 1987-10-26 顕微鏡の測光光学系 Pending JPS63116114A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863636616 DE3636616A1 (de) 1986-10-28 1986-10-28 Photometertubus fuer ein mikroskop
DE3636616.1 1986-10-28

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63116114A true JPS63116114A (ja) 1988-05-20

Family

ID=6312623

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62268386A Pending JPS63116114A (ja) 1986-10-28 1987-10-26 顕微鏡の測光光学系

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4790663A (ja)
EP (1) EP0265773B1 (ja)
JP (1) JPS63116114A (ja)
DE (2) DE3636616A1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE8712342U1 (ja) * 1987-09-11 1987-12-10 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim, De
DE4231506A1 (de) * 1992-09-21 1994-03-24 Leica Mikroskopie & Syst Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Belichtungszeiten in optischen Geräten mit mikroskopischem Abbildungsstrahlengang
JP2966311B2 (ja) * 1995-03-10 1999-10-25 科学技術振興事業団 顕微測光装置
US7532807B2 (en) * 1995-04-07 2009-05-12 Avid Technology, Inc. Combined editing system and digital moving picture recording system
DE19622357B4 (de) * 1996-06-04 2005-09-15 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Umschaltung der Betriebsarten eines Mikroskoptubus
DE102004048296B4 (de) 2004-10-01 2018-09-20 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung zum Umschalten der Betriebsarten eines Mikroskoptubus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5015369A (ja) * 1973-06-13 1975-02-18
JPS58132714A (ja) * 1982-01-30 1983-08-08 カ−ル・ツアイス−スチフツング 顕微鏡用ユニバ−サル双眼鏡筒

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1813499C3 (de) * 1968-11-13 1974-05-30 Jenoptik Jena Gmbh, X 6900 Jena Mikroskop-Fotometer-Tubus
DE2406415A1 (de) * 1973-04-04 1974-10-24 Reichert Optische Werke Ag Optische anordnung fuer mikroskope mit schraegeinblick und mit photometereinrichtung
JPS5856107B2 (ja) * 1976-09-25 1983-12-13 オリンパス光学工業株式会社 定量化顕微鏡
DE2908334A1 (de) * 1978-04-03 1979-10-18 Leitz Ernst Gmbh Mikrofotografische lichtmesseinrichtung
JPS58214121A (ja) * 1982-06-05 1983-12-13 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 写真顕微鏡装置
DE3443728A1 (de) * 1984-11-30 1986-06-05 C. Reichert Optische Werke Ag, Wien Mikroskop-photometer

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5015369A (ja) * 1973-06-13 1975-02-18
JPS58132714A (ja) * 1982-01-30 1983-08-08 カ−ル・ツアイス−スチフツング 顕微鏡用ユニバ−サル双眼鏡筒

Also Published As

Publication number Publication date
EP0265773A2 (de) 1988-05-04
EP0265773B1 (de) 1991-12-18
US4790663A (en) 1988-12-13
DE3775340D1 (de) 1992-01-30
DE3636616A1 (de) 1988-05-05
EP0265773A3 (en) 1988-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2910913A (en) Camera microscopes
JPS58145911A (ja) 反射光照明による透過光顕微鏡試験のための光学系
JPS6053915A (ja) 倒立型光学顕微鏡
US4712889A (en) Photometer for use with a microscope
US3551019A (en) Universal microscope
US3851949A (en) Microscope having a photometer
US4232933A (en) Optical system of colposcope
US5579156A (en) Photomicroscope with a video camera and an exposure time control for a still camera
JPS63116114A (ja) 顕微鏡の測光光学系
US4171888A (en) Finder optical system for a single lens reflex camera
US5701198A (en) Confocal incident light microscope
US4017147A (en) Comparison microscope
JP2971823B2 (ja) フォーカス検出ユニット及びそれを備えた顕微鏡
US4008946A (en) Pointer projecting means for microscopes
JP2007531025A (ja) レーザ走査型顕微鏡への光の入射または同顕微鏡からの光の出射のための少なくとも4つの位置を持つ鏡筒回転装置
US3652163A (en) Photometer for observation instruments mainly for microscopes
US4123777A (en) Color television camera having an auxiliary illumination source
KR19980036963A (ko) 엘시디 프로젝터의 엘시디 위치 제어 장치
US3718400A (en) Mirror drum optical system for use in microscopic spectrophotometer
US6804051B2 (en) Optical instrument having a binocular viewing port
JPS597327A (ja) 顕微鏡内記号像制御装置
US2554798A (en) Range finder-view finder unit
JP3075308B2 (ja) 顕微鏡写真撮影装置
US2625076A (en) Double beam attachment for contour projectors
JP2003241079A (ja) 画像観察装置