JPS63114861A - 研磨工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はレンズ、反射鏡等の光学部材の表面を研磨する
為の研磨工具に関し、特に光学部材の表面を液中研磨に
より高精度に仕上げる場合に好適な研磨工具に関するも
のである。

（従来の技術） 従来より光学部材の表面を最大粗さで数十Å以下の超高
精度な平滑面とする研磨方法の１つに液中研磨方法があ
る。

第３図は従来の液中研磨方法の一方法でフロートポリジ
グ研磨装置の一部分の概略図である。同図において３０
は研磨工具、３１は研磨工具３０の回転軸、３２は被研
磨部材であり、回転軸３３を中心に回転している。３４
は水槽で研磨液３５が入っている。

第３図に示す研磨装置の特長は循環しない閉ざされた水
槽３４中で研磨を行っている為、径の大きな異物や研磨
剤は研磨工具３１の回転による遠心力で水槽３４の外周
部に移動し、主に径の小さな砥粒のみで研磨を行うこと
ができ、比較的容易に高精度な平滑面が得られる点にあ
る。

しかしながら研磨の除去速度を上げる為に研磨工具の回
転数を上昇させると遠心力の為に水槽３４の周辺部に研
磨液が集中し、回転＠３１近傍の被研磨面には研磨液が
少なくなり、次第に乾燥状態になってしまい、良好なる
研磨が難しくなる傾向があった。

この為、水槽３４の周辺部に集中した研磨液をポンプ等
によって循環させて被研磨面に戻し再利用することが行
われているが、この方法は径の大きな異物や砥粒を効率
的に排除するのが難しい等の問題点があった。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明は液中研磨装置において研磨工具の回転数を上げ
ても被研磨面に径の大きな異物や砥粒が流入しなく、常
に良好なる状態の研磨液を供給することができ、効率的
でしかも高精度な研磨面が容易に得られる研磨工具の提
供を目的とする。

（問題点を解決する為の手段） 被研磨部材を載置して液中研磨する為の研磨工具の、該
研磨工具の回転軸方向に研磨液溜用のつぼ状の空洞部を
設けたことである。

特に本発明においてはつぼ状の空洞部を、被研磨部材を
載置する側の径が他の部分の径に比べて小さくしている
ことを特徴としている。

（実施例） 第１図は本発明の研磨工具を液中研磨装置に適用したと
きの一実施例の概略図である。

同図において１は研磨工具であり回転軸１１を中心にフ
レの小さな高精度な回転を行っている。

２は空洞部であり回転軸１１の上方部の径が小さいつぼ
状をしており、研磨工具１の回転軸１１近傍に設けられ
ている。３は研磨液で空洞部２及び研磨工具１の上面１
ａに供給されている。４は被研磨部材であり研磨工具１
上に一定圧で加圧され必要に応じて回転軸１２を中心に
回転させている。例えば加圧力数十ｇ〜数百ｇ／ｒｎ’
、回転数は数十〜数百ｒｐｍである。５は外周液槽、６
は研磨液循環用のポンプ、７は循環用管、８は研磨液供
給用の液槽、９は研磨液供給管、１０は管絞りであり通
過する研磨液の供給量を調整している。

尚研磨液３は水、油等の液体とＧｅｍ２．　ＳｉＯ□等
の直径１μｍ以下の微少径の研磨砥粒な一定の配合比で
混合した混合液より成っている。

本実施例において研磨工具１を高速回転させると研磨液
３は遠心力の為に外周液槽５の外周部に流れ、空洞部２
の研磨液は少なくなってくる。このとき管絞りの開き量
を調整することにより空洞部２中の研磨液の液面が一定
となるようにしている。モしてポンプ６で外周液１ｓの
外周部に存る研磨液を引き上げて液槽８に流入させ、液
！ｆＩｓに接続されている研磨液供給管９より空洞部２
に循環的に供給している。

研磨液供給管９の開口部は空洞部２の底面近くに位置さ
せて、空洞部２内に供給した研磨液が空洞部２の下方か
ら上方へと研磨工具１の回転に伴い回転しながら移動す
るようにしている。

これにより研磨液３中に含まれている径の大きい砥粒や
比重の大きな異物等を遠心力で空洞部２の外周部２ａに
集め、空洞部２の小径部２ｂより外部に流出しないよう
にしている。そして主に径の小さな砥粒のみを空洞部２
の小径部２ｂより流出させて、研磨工具１の上面１ａを
流し、被研磨部材４の被研磨面４ａを通過させながら研
磨している。

研磨し終った研磨液２は外周液！ｆ１５の外周部に遠心
力で集まりでくるので、この研磨液をポンプ６で液ＮＪ
Ｂ中に流入させて、以下循環的に研磨液供給管９を介し
て空洞部に導き再使用している。

本実施例いおいて研磨液供給管９の先端部は、例えば第
２図に示すように軸下方向に閉ざされ、上方向にのみ開
１コを有する半球状部２０と取付は部２１より構成され
ている。これにより液・流の乱れを防止し、空洞部２の
底面又は外周面２ａに溜った径の大きな砥粒のかく拌が
生じないようにしている。

本実施例において研磨工具１に設けた空洞部の形状とし
て上方部の径が小さなつぼ状のものを示したが、径大の
砥粒や比重の大きな異物等が研磨工具の回転による遠心
力で内部の径の大きな周辺部に追いやられ上方部の径の
小さな開口部２ｂより流出しないような形状であれば、
例えば球体状、楕円状２周辺部の一部の径のみが特に大
きな形状等どのような形状のものであっても良い。

尚本実施例において研磨工具１の上面１ａは平面の他に
凹凸面等の球面形状であっても良い。

（発明の効果） 本発明によれば前述の如く研磨工具の所定位置に所定形
状の研磨液を溜める為の空洞部を設けることにより、研
磨工具の高速回転時においても被研磨面に常に良好なる
状態の研磨液を供給することが出来るので特別の砥粒分
離装置等を必要とせず、効率的でしかも高鯖度の研磨が
可能な液中研磨装置に好適な研磨工具を達成することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の研磨工具を液中研磨装置に適用したと
きの一実施例の概略図、第２図は第１図の一部分の説明
図、第３図は従来の液中研磨装置の概略図である。図中
１は研磨工具、２は空洞部、３は研磨液、４は被研磨部
材、５は外周液槽、６はポンプ、７は循環用管、８は液
槽、９は研磨液供給管、１０は管絞り、１１．１２は回
転軸である。 特許出願人　　キャノン株式会社 葛　　１　　　口

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被研磨部材を載置して液中研磨する為の研磨工具
   の、該研磨工具の回転軸方向に研磨液溜用のつぼ状の空
   洞部を設けたことを特徴とする研磨工具。
2. （２）前記つぼ状の空洞部は、被研磨部材を載置する側
   の径が他の部分の径に比べて小さくなっていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の研磨工具。