JPS63113949U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS63113949U
JPS63113949U JP562587U JP562587U JPS63113949U JP S63113949 U JPS63113949 U JP S63113949U JP 562587 U JP562587 U JP 562587U JP 562587 U JP562587 U JP 562587U JP S63113949 U JPS63113949 U JP S63113949U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spot
light
printed circuit
circuit board
position detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP562587U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0641164Y2 (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1987005625U priority Critical patent/JPH0641164Y2/ja
Publication of JPS63113949U publication Critical patent/JPS63113949U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0641164Y2 publication Critical patent/JPH0641164Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例の実装済プリント基板
自動検査装置のブロツク説明図、第２図は本考案
の実施例の実装済プリント基板自動検査装置の光
学系を示す図、第３図は本考案の実装済プリント
基板自動検査装置の全体を示す正面図、第４図は
実施例のプリント基板上の基準点の位置補正を説
明する図、第５図は実施例の受光部を説明する図
、第６図は実施例のチツプ部品の半田フヌレ検出
を説明する図、第７図は実施例のチツプ部品の半
田フヌレ検出のスパツタ光の受光量を示す図、第
８図は実施例のフラツトパツケージのブリツジ検
出を説明する図、第９図は実施例のスポツト位置
検知部を示す図、第１０図は実施例のフラツトパ
ツケージおよびチツプ部品の断面図形を示す図、
第１１図は実施例のＡＮＤ検出とＯＲ検出を説明
する図である。 １……スポツト位置検知部、６……サーボ制御
部、１３……受光部、１４……受光器、２３……
ビーム走査手段、２４……集光レンズ、２７……
ビームスプリツタ、２９……光点位置検出素子。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 細く絞られたビームを照射して被検査プリント
    基板上でビームスポツトを掃引し、このビームス
    ポツトの反射光あるいは透過光を検知してプリン
    ト基板の検査を行う実装済プリント基板自動検査
    装置であつて、 上記ビームを定点０を中心として放射上に走査
    するビーム走査手段２３と、 上記放射の中心点と一方の焦点とが一致するよ
    うに配設されるとともに上記放射上に走査される
    ビームを集光する集光レンズ２４と、 上記走査されたビームから第２のビームを分離
    抽出するビームスプリツタ２７と、 上記ビームスプリツタで分離抽出された上記第
    ２のビームの照射によつてそのビームスポツトの
    位置情報を出力する光点位置検出素子２９と、 上記光点位置検出素子が出力する位置情報に基
    づいてプリント基板上のビームスポツトの照射位
    置をサーボ制御するサーボ制御部６と、 プリント基板上のビームスポツトの光点像を集
    光レンズによつて第２の光点位置検出素子の受光
    面に結像し、この光点位置検出素子の出力信号に
    基づいてビームスポツトの位置情報を検知するス
    ポツト位置検知部１と、 プリント基板のビーム照射面を覆うとともに照
    射されるビームを囲う受光面を有し、この受光面
    によつて上記ビームの反射項を受光する受光部１
    ３と、 上記ビームが照射される被検査プリント基板の
    ビーム照射側の反対側に配設され、上記ビームを
    受光する受光器１４と を備えたことを特徴とする実装済プリント基板
    自動検査装置。
JP1987005625U 1987-01-19 1987-01-19 実装済プリント基板自動検査装置 Expired - Lifetime JPH0641164Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987005625U JPH0641164Y2 (ja) 1987-01-19 1987-01-19 実装済プリント基板自動検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987005625U JPH0641164Y2 (ja) 1987-01-19 1987-01-19 実装済プリント基板自動検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63113949U true JPS63113949U (ja) 1988-07-22
JPH0641164Y2 JPH0641164Y2 (ja) 1994-10-26

Family

ID=30787384

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987005625U Expired - Lifetime JPH0641164Y2 (ja) 1987-01-19 1987-01-19 実装済プリント基板自動検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0641164Y2 (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4983470A (ja) * 1972-11-18 1974-08-10
JPS5924202A (ja) * 1982-07-30 1984-02-07 Matsushita Electric Works Ltd 表面欠陥検出装置
JPS61114307U (ja) * 1984-12-28 1986-07-19

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4983470A (ja) * 1972-11-18 1974-08-10
JPS5924202A (ja) * 1982-07-30 1984-02-07 Matsushita Electric Works Ltd 表面欠陥検出装置
JPS61114307U (ja) * 1984-12-28 1986-07-19

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0641164Y2 (ja) 1994-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0385625B1 (en) Method and apparatus for inspection of substrates
JP2002361464A (ja) レーザ加工方法および装置
US4672209A (en) Component alignment method
KR19980063666A (ko) 자동초점조정방법 및 장치
JPH034081B2 (ja)
JPS63113949U (ja)
JPS6131909A (ja) 金属物体の立体形状検出装置およびその方法
JPS6439543A (en) Defective inspection device
JPS63113947U (ja)
JPH08202810A (ja) 光学的情報読み取り装置
JPS63113948U (ja)
JPH0430575B2 (ja)
JPS6379342A (ja) アライメント装置
JP3162872B2 (ja) 電子部品の輪郭認識装置及びその輪郭認識方法
JPS61265513A (ja) 部品形状検知法および部品形状検知装置
JP2818597B2 (ja) パターン検査方法
JP2570508B2 (ja) はんだ付検査装置
JPS61205808A (ja) 形状検出装置
JPH1123485A (ja) 基板検査方法及び基板検査装置
JPH0729483Y2 (ja) 実装済プリント基板自動検査装置
JPH06105226B2 (ja) 部品検査装置
JPH0786469B2 (ja) 実装済プリント基板自動検査装置
JPS63177042A (ja) 実装済プリント基板自動検査装置における半田フヌレ検出方式
JPH10173400A (ja) リード浮き検出装置
JPH05107043A (ja) 外観検査装置