JPS63109513A - 位置決め装置 - Google Patents
位置決め装置Info
- Publication number
- JPS63109513A JPS63109513A JP61256609A JP25660986A JPS63109513A JP S63109513 A JPS63109513 A JP S63109513A JP 61256609 A JP61256609 A JP 61256609A JP 25660986 A JP25660986 A JP 25660986A JP S63109513 A JPS63109513 A JP S63109513A
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- JP
- Japan
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- piezo
- load
- piezo element
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- Pending
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、物体の位置決めを微細に行う位置決め装置
に係り、特に電歪素子を用いた位置決め装置に関するも
のである。
に係り、特に電歪素子を用いた位置決め装置に関するも
のである。
近年、ＬＳＩ等の高集積化が進み、この集積化は最小線
幅が１μｍ以下のものも必要とされている。
幅が１μｍ以下のものも必要とされている。
このような微細加工を必要とするＬＳＩを大量に製造す
るために、フォトマスクに原板を刻みそれをシリコン基
板に転写するリソグラフ装置が必要となる。
るために、フォトマスクに原板を刻みそれをシリコン基
板に転写するリソグラフ装置が必要となる。
このようなりソゲラフ装置において、フォトマスクとシ
リコン基板であるウェハーの位置合わせは上記した最小
線幅より数段細かい位置合わせ装置を必要とする。然も
、ウェハーは、生産性の問題から大型化しており、位置
合わせは大きな範囲でしかも微細に位置決めをする必要
がある。
リコン基板であるウェハーの位置合わせは上記した最小
線幅より数段細かい位置合わせ装置を必要とする。然も
、ウェハーは、生産性の問題から大型化しており、位置
合わせは大きな範囲でしかも微細に位置決めをする必要
がある。
そこで、一般に大きいストロークの動きをする粗動ステ
ージの上に、小さいストロークであるが微細な位置決め
が可能な微動ステージを設けて位置決めを行っている。
ージの上に、小さいストロークであるが微細な位置決め
が可能な微動ステージを設けて位置決めを行っている。
従来の位置決め装置は第２図に示すように構成されてい
る。被位置決め物体即ち、半導体基板（以後ウェハーと
記す）１１を載置する微動ステージ２は、坂バネ３．４
によって粗動ステージ１０に移動可能に支持されている
。この粗動ステージ１０は、図示しないモータの回転に
よって回転する蝮子軸或いは、リニアモータによって例
えばＸ軸方向に駆動される。
る。被位置決め物体即ち、半導体基板（以後ウェハーと
記す）１１を載置する微動ステージ２は、坂バネ３．４
によって粗動ステージ１０に移動可能に支持されている
。この粗動ステージ１０は、図示しないモータの回転に
よって回転する蝮子軸或いは、リニアモータによって例
えばＸ軸方向に駆動される。
この粗動ステージ１０上の微動ステージ２は、板バネ３
．４の応力に抗して変位する電歪素子即ち、ピエゾ素子
１によって駆動される。これは、ピエゾ素子の変位は、
微小であるが大きな発生力と高い分解能をもったリニア
アクチュエータであるからである。なお、以上の説明は
Ｘ軸方向に付いて述べたがＹ軸方向も同一である。但し
、Ｙ軸方向の粗動ステージに対して板バネをＹ軸方向に
撓むように構成する必要がある。
．４の応力に抗して変位する電歪素子即ち、ピエゾ素子
１によって駆動される。これは、ピエゾ素子の変位は、
微小であるが大きな発生力と高い分解能をもったリニア
アクチュエータであるからである。なお、以上の説明は
Ｘ軸方向に付いて述べたがＹ軸方向も同一である。但し
、Ｙ軸方向の粗動ステージに対して板バネをＹ軸方向に
撓むように構成する必要がある。
このピエゾ素子の発生力は圧縮方向に発生するので、こ
のピエゾ素子を使用しようとすると、−般に、バネを利
用してピエゾ素子に圧縮方向のバネ圧部ち、予圧を与え
て使用している。
のピエゾ素子を使用しようとすると、−般に、バネを利
用してピエゾ素子に圧縮方向のバネ圧部ち、予圧を与え
て使用している。
従来の装置において、ピエゾ素子１に予圧を加える場合
、先ず、ピエゾ素子１が微動ステージ２に当接する状態
に調整螺子６を調整する。この調整螺子６は支柱５に支
持されており、調整螺子６の回転数×螺子ピッチによっ
て板バネ３の変位量が測定できる。ピエゾ素子１が微動
ステージ２と当接した状態から、変位されて図の点線に
示す状態に坂バネ３を変位すると、この時の変位量が、
板バネのたわみ量であり、板バネのバネ定数から演算を
行い。この演算結果によってピエゾ素子の予圧を決定し
ている。
、先ず、ピエゾ素子１が微動ステージ２に当接する状態
に調整螺子６を調整する。この調整螺子６は支柱５に支
持されており、調整螺子６の回転数×螺子ピッチによっ
て板バネ３の変位量が測定できる。ピエゾ素子１が微動
ステージ２と当接した状態から、変位されて図の点線に
示す状態に坂バネ３を変位すると、この時の変位量が、
板バネのたわみ量であり、板バネのバネ定数から演算を
行い。この演算結果によってピエゾ素子の予圧を決定し
ている。
上記した従来の位置決め機構は、板バネの変位を測定し
て計算によって予圧を求めている。然しこの方法は、微
動テーブルにピエゾ素子を当接させる位置の設定が困難
であるとともに、板バネの経年変化によってバネ定数も
変化し、その度毎に演算を行う必要があり精度を欠くと
いう問題があった。
て計算によって予圧を求めている。然しこの方法は、微
動テーブルにピエゾ素子を当接させる位置の設定が困難
であるとともに、板バネの経年変化によってバネ定数も
変化し、その度毎に演算を行う必要があり精度を欠くと
いう問題があった。
この発明は、以上のような従来の状況から、ピエゾ素子
の予圧測定が容易且つ正確に行え、予圧を一定に保ち高
精度の位置決めの行える位置決め装置の提供を目的とす
るものである。
の予圧測定が容易且つ正確に行え、予圧を一定に保ち高
精度の位置決めの行える位置決め装置の提供を目的とす
るものである。
この発明では、電歪素子即ち、ピエゾ素子と微動ステー
ジの間に圧電素子を設けた構造としである。
ジの間に圧電素子を設けた構造としである。
この発明は、電歪素子の予圧は圧電素子によって簡単に
得られ、常時正確な予圧の測定が可能となり、予圧を一
定にして高精度の微細位置決めが可能となる。
得られ、常時正確な予圧の測定が可能となり、予圧を一
定にして高精度の微細位置決めが可能となる。
第１図は本発明による位置決め装置を示す要部側面図で
あり、第２図と同一箇所は同符号を用いる。本発明の特
徴は、ピエゾ素子１と微細テーブル２の間に圧電素子９
を設けたことである。
あり、第２図と同一箇所は同符号を用いる。本発明の特
徴は、ピエゾ素子１と微細テーブル２の間に圧電素子９
を設けたことである。
この装置で、ピエゾ素子１に予圧を与える場合には、先
ず固定甥子７を緩め、調整螺子６を回転させて、ピエゾ
支持台８を図に示すように点線位置に移動し坂バネ３．
４を一点鎖線状態としてピエゾ素子に予圧を与える。
ず固定甥子７を緩め、調整螺子６を回転させて、ピエゾ
支持台８を図に示すように点線位置に移動し坂バネ３．
４を一点鎖線状態としてピエゾ素子に予圧を与える。
なお、ピエゾ支持台８は移動可能なように、固定甥子７
に対して図のＸ方向に長穴がピエゾ支持台８に削孔され
ている。この状態で圧電素子９によって予圧の測定が可
能である。
に対して図のＸ方向に長穴がピエゾ支持台８に削孔され
ている。この状態で圧電素子９によって予圧の測定が可
能である。
この予圧の測定後に、固定制子７を締め込みピエゾ素子
支持台８を固定する。
支持台８を固定する。
この予圧測定は、電気信号によるものであり、装置の形
態に左右されず、容易に測定が可能となリ、常時予圧を
測定して予圧を一定に保つことは容易となる。
態に左右されず、容易に測定が可能となリ、常時予圧を
測定して予圧を一定に保つことは容易となる。
以上の説明から明らかなように、この発明によれば、容
易にピエゾ素子の予圧の測定が行え、ピエゾ素子の初期
状態が調整螺子を回転させるという簡単な動作で、予圧
の一定化が図れ高精度の位置決めが可能となり、半導体
装置を製作する上できわめて有効な効果を奏する。
易にピエゾ素子の予圧の測定が行え、ピエゾ素子の初期
状態が調整螺子を回転させるという簡単な動作で、予圧
の一定化が図れ高精度の位置決めが可能となり、半導体
装置を製作する上できわめて有効な効果を奏する。
第１図は本発明による位置決め装置を説明するための要
部側面図、 第２図は従来の位置決め装置の要部側面図である。 図において、１はピエゾ素子、２は微動ステージ、３と
４は板バネ、９は圧電素子、１０は粗動テーブルを示す
。 、奎享３日ｇｔ＝ｒ１５立ｔ＞＊４ｈ’ｍＧＪ丁ＧｆＵ
ｎ学＃Ｉ更ｊｉｌｌ第１図 第２図
部側面図、 第２図は従来の位置決め装置の要部側面図である。 図において、１はピエゾ素子、２は微動ステージ、３と
４は板バネ、９は圧電素子、１０は粗動テーブルを示す
。 、奎享３日ｇｔ＝ｒ１５立ｔ＞＊４ｈ’ｍＧＪ丁ＧｆＵ
ｎ学＃Ｉ更ｊｉｌｌ第１図 第２図
Claims (1)
- Ｘ、Ｙ軸方向に粗駆動する粗動ステージ（１０）の上
に板バネで支持され被位置決め物体（１１）を載置する
微動ステージ（２）と、該微動ステージ（２）に当接し
前記板バネの応力に抗して前記微動ステージ（２）を微
駆動する電歪素子（１）とからなる位置決め装置におい
て、前記微動ステージ（２）と電歪素子（１）との間に
当該電歪素子（１）の初期予圧を測定するための圧電素
子（９）を付設したことを特徴とする位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256609A JPS63109513A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61256609A JPS63109513A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63109513A true JPS63109513A (ja) | 1988-05-14 |
Family
ID=17295007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61256609A Pending JPS63109513A (ja) | 1986-10-27 | 1986-10-27 | 位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63109513A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0296756U (ja) * | 1989-01-19 | 1990-08-01 |
-
1986
- 1986-10-27 JP JP61256609A patent/JPS63109513A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0296756U (ja) * | 1989-01-19 | 1990-08-01 |
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