JPS63108215A - 座標測定機を用いて歯を測定する方法 - Google Patents

座標測定機を用いて歯を測定する方法

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JPS63108215A
JPS63108215A JP62253916A JP25391687A JPS63108215A JP S63108215 A JPS63108215 A JP S63108215A JP 62253916 A JP62253916 A JP 62253916A JP 25391687 A JP25391687 A JP 25391687A JP S63108215 A JPS63108215 A JP S63108215A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、座標測定機を用いて歯を測定する方法並びに
装置に関する。
従来の技術 多座標測定機において線測定を実施するためには通常検
出ヘッド全体が、該検出ヘッドが固定された座標測定機
の摺動可能な往復台によって所望の測定方向において被
検査体の検査すべき面に向かって、同検出ヘッドの検出
ピンが被検査体に接触するまで移動させられる。検出ピ
ンと工作物との間における接触が認識されるやいなや、
検出ヘッドにおいて調整回路が閉じられ、この調整回路
は測定機の駆動装置を、検出ピンの偏位が「○」になる
まで、検出ヘッドによって測定された検出ピンの偏位に
追従させる。
そして偏位0の位置において初めて、測定機の摺動可能
な部分における距離測定装置によって検出された座標測
定値が測定結果として得られる。
上述の調整動作中には極めて大きな慣性質量を有する座
標測定機往復台の運動方向を何回も逆転しなくてはなら
ないので、上述の運転形式における測定時間は比較的長
くなる。このことを証明するために次に第1図及び第2
図を参照しながら説明する。両図面には、例えば横方向
往復台13が座標測定機の門形部材12に沿って進む距
離xMと、検出ヘッド2に固定された検出ピン3が進む
距離耐とが示されている。
接触点t0以上では検出ピン3は停止しているのに対し
て、横方向往復台13は符号XMで示された調整スイン
グを実施する。この調整スイング騙が弱まってなくなっ
た時に初めて、時点tMにおいて測定値が得られる。
第1図に示されている座標測定機が、例えば平歯車(被
検査体1)の歯溝における検出味10の2歯面接触によ
るぎツチ測定を行うために使用される場合には、座標測
定機の検出ヘッド2における検出ピン3はセルフセンタ
リングしなから歯溝に進入し、前記調整回路は検出ヘッ
ドの両運動方向X、yのために閉じられる。この場合第
2図について述べた時間集中的な調整動作は両方の座標
軸X+Yにおいて同時に行われる。
次に従来技術の開示についてここで挙げておく  : 1、[平歯車及びかさ歯車における歯車の3つの寸法の
測定J、VDIニュース464、■DI出版デュツセル
rルフ1982年 2、「多座標測定機における歯測定J 1980年6月
24日〜26日に開催された製品の自動的な測定及び検
査に関する第5回国際会議に際しての第12回IPA作
業会議のための別刷り 3、「多座標測定機における測定兼検出系」製造技術及
び自動化のための協会(IPA )の第8回作業会議の
ためのに、ヘルツオー久の講演原稿 比較的短い測定時間は特殊な歯車測定機において達成す
ることができる。しかしながらこれには次のような欠点
がある。すなわちこの場合特殊な測定課題のためにしか
使用できない機械を入手しなくてはならず、この機械に
よっては例えば角柱状の工作物のような別の部品を測定
することはできない。さらにまた歯車測定機は比較的大
きな質量の往復台を有しており、該往復台を介して歯車
測定機の検出ヘッドは例えば平歯車の歯溝内において位
置決めされ、そして歯車が1ピツチだけさらに動かされ
る前に再び走出されねばならない。つまり歯車測定機に
おいても1ピツチ毎に2回比較的重い往復台が動かされ
るので、この場合でも同様に達成可能な測定速度は下に
向かって制限されている。
さらに、検出ピンの接触力を調節するために力発生器を
内部に有しているいわゆる測定型の検出ヘッドを、測定
すべき工作物を能動的に検出するために使用することも
公知である(西ドイツ国特許第2242355号明細書
)。この場合座標測定機又は測定型の検出ヘッドを備え
た作業機械は検出ヘッドを所定の目標位置において検出
すべき面の直前に位置決めし、次いで検出−ンが検出ヘ
ッドにおける力発生器の作動によって工作物に押し付け
られる。しかしながら検出ヘッドにおける測定系が正確
な測定値を提供する測定範囲は、検出ピンの可能な偏位
範囲よりもはるかに小さい(通常許容測定範囲は1i′
0I411L未満に制限されている)ので、この公知の
方法によっては接触点までの極めて短い距離しかカバー
できない。従って検出ピンの偏位のみによる歯溝への進
入は難なく可能ではない。
それというのはさもなければ検出ピン偏位のための許容
測定範囲が失われてしまうからである。
発明の課題 ゆえに本発明の課題は、座標測定機の往復台が必要とす
る運動回数を最少にすることによって短い測定時間を達
成することができる、座標測定機を用いて歯を測定する
方法を提供することである。
課題を解決するための手段 この課題を解決するために本発明の方法では、検出ヘラ
Pの、引き戻されて許容測定範囲の外に位置する検出ピ
ンを、被検査体の測定すべき歯溝に対して所定の間隔を
おいて位置決めし、座標測定機の駆動装置をこの位置に
おいて停止させ、次いて検出ピンを力発生器を介して検
出ヘッドに対して移動させて歯溝に進入させるようにし
た。
発明の効果 通常検出ピンは、衝突防止を目的として測定範囲に比べ
て大きな偏位範囲を利用するために、被検査体が動く前
にあらかじめ偏位させられる。
ところが本発明によれば検出ヘッドの検出ピンは被検査
体つまり測定すべき歯溝に対して真向かいの引き戻され
た位置で位置決めされる。これによって、測定機駆動装
置を停止させておいて検出ヘッドにおける力発生器だけ
を用いた歯溝への進入のために、検出−ンの大きな偏位
範囲を利用し尽くすことができる。
本発明の方法において検出球の2歯面接触によって歯を
測定する場合には、歯溝に対する所定の位置つまり座標
測定機が停止される位置を次のように、すなわち検出ピ
ンが検査すべき歯溝の両歯面との検出球の接触時Iこち
ょうど2つの座標方向のための許容測定範囲内に位置す
るように選択すると有利である。この場合歯溝への進入
は、検出球が両側において歯面に接触して停止するまで
、一定の測定力で行うことができる。この場合検出ピン
がさらに運動することはないので、この状態は極めて容
易に認識することができ、その直後に所属の測定値を得
ることができる。
また検出球の1歯面接触によって歯を測定する場合には
上述の動作は不要である二この場合有利にはむしろ、測
定機駆動装置が停止される所定の位置と歯溝との間の間
隔を次のように、すなわち検出ピンが検出ヘラrに設け
られた精密ストッパに接触するまで1つの座標軸に沿っ
て歯溝に進入するように選択し、この場合この運動座標
における測定範囲の0点に対する精密ストッパの距離は
座標測定機の計算機において記憶されている。それとい
うのは1歯面接触による測定時には、歯溝への進入後に
検出ピンの、ピッチ円に対して接線方向に方向付けられ
た測定軸が許容測定範囲内において可動であることが重
要だからである。この第2の座標方向における歯面接触
の実施は、それが平歯車又はかさ歯車である場合には被
検査体の回転によって、又はこの第2の座標における検
出ピンの付加的な偏位によって行われることができる。
この場合検出ピンがこの座標の許容測定範囲にとどまる
ことは、検出部材(検出球)の有効直径を歯溝の寸法に
合わせることによって比較的簡単に保証され得る。
上に述べたことかられかるように本発明によれば、例え
ば平歯車におけるピッチ測定の測定動作は検出球の2歯
面接触においても1歯面接触においても、座標測定機の
駆動装置を使用することなしに、ただ検出ピン及び被検
査体を運動させることによって実施することができる。
従って測定時間を極めて短くすることができる。
また例えばラックのような直線的な歯の測定のためには
座標測定機の駆動装置が歯溝から歯溝への検出へツrの
位置決めを引き受ける。
実施例 次に図面につき本発明の詳細な説明する。
第3図に示された測定型の検出ヘッドはほぼ西ドイツ国
特許第2242355号明細書に記載の構造を有してい
る。符号3で示された検出ピンの可動性は上下に配置さ
れたばね平行四辺形103a’、103b、103cに
よって保証される。また符号104a、  104b、
  104cで係止ノツチが示されており、これらの係
止ノツチを介して検出ピンは3つの座標x、y、zにお
いて所属の測定範囲の0点にフランジされることができ
る。検出ヘッド2に対する検出ピン3の偏位を測定する
た′めには、ばね平行四辺形103a、103b、10
3cに配属された可動コイル105a、105b、10
5cが働く。検出ヘッド2の上方部分には力発生器10
7a、107b、107cが設けられており、これらの
力発生器は6つの座標方向x、y。
2のための個々のばね平行四辺形103a。
103b、103cの可動の部分と図示されていないレ
バー伝動装置を介して結合されている。
力発生器107 a y  107 b *  107
 cは、検出ピンが検出すべき工作物に加える前記6つ
の座標方向における測定力を調節するために働く。
これらの力発生器107 a、  107 b、107
cによって検出−ン3はまた検出ヘラr2に対しても偏
位することができる。
可動コイル105a、105b、105cによって規定
される測定範囲は検出ピン3が可能な偏位の範囲よりも
極めて小さい。このことは第4図に示されており、第4
図にはばね平行四辺形103a、103bの可能な偏位
xpos ”pOsの範囲内における測定範囲xmes
s’ ymessの投影図が一平面に示されている。第
4図かられかるようにX方向における偏位範囲X、。8
はX方向における偏位範囲YpO8に対して拡大された
このことは、検出ピン3をX方向において案内するばね
平行四辺形103aの脚が延長されたことによって簡単
に達成された。
本発明による方法は第3図及び第4図に示された型の検
出ヘッドを用いて次のように行われる: 被検査体1の歯溝11における検出法10の2回面接触
が要求される測定の場合には、検出ヘッド2の1点鎖線
で示された位置に引き戻される検出ピン3は測定機の駆
動装置によって測定すべき歯溝11に対して位置決めさ
れる。次いで検出ピン3は検出ヘッドにおける力発生器
のうちの1つ107aを用いて一定の力でX方向におい
て歯溝11に進入させられ、これにより検出法10は歯
溝における両歯面に接触して停止する。検出ピン3ばこ
の場合X方向において解放されている。
検出法10が座標測定機の駆動装置によって位置決めさ
れた位置と、検出法10が両歯面に接触している実線で
示された位置との間における間隔”MOは、指針7とし
て示されたX方向における測定のための指標が所属の可
動コイル105aの許容測定範囲ymess内に位置す
るように選択されている。同様なことは、単純化されて
指針9として示された第2の測定範囲YmeSSのため
の指標に対しても言える。
所属の測定値の入力後に検出ヘラP2における力発生器
107aは検出ピン3を再び歯溝から引き戻し、被検査
体1はそれが載っているターンテーブルを用いて歯溝1
つ分だけさらに動かされる。次いで上述の動作が繰り返
される。
全測定中被検査体1に対する検出ヘッド2の位置は変化
しない。つまり座標測定機の駆動装置は停止したままで
ある。
検出法の1歯面接触で測定を実施するために検出ヘッド
には検出ピン3のための精密ストッパが設けられており
、この精密ストッパは第3図に簡単化されて符号8で示
されている。この精密ストッパ8は検出ピンのための測
定範囲xmessの外ではあるが運動範囲xpos内に
位置している。検出ピン3がX方向における偏位のため
に設けられた力発生器107aによって精密ストッパ8
に向かって移動させられると、検出ビ/3は、測定範囲
xmessのO点X。に対して符号靴で示された間隔を
有する位置を占める。1回の目盛り定めによって得られ
た間隔歌のための値は測定機の計算機において記憶され
ている。
第3図において符号30で示された検出法の、歯溝11
における1歯面接触による本来の測定動作の前に、検出
ヘッド2は引き戻された検出ピン3でつまり1点鎖線で
示された位置において被検査体1に対して位置決めされ
る。この位置において検査球30は被検査体のぎツチ円
から間隔XMをおいている。この間隔xMは、歯溝11
への検出ピ/3の進入後に精密ストッパ8に向かつて検
出ピン3が移動させられた場合に検出法が正確に被検査
体1のピッチ円に位置するように選択されている。
歯溝への検出ピン3の進入後に被検査体1は歯溝幅の半
分よりもわずかだけ1点鎖線で示された位置に回転させ
られる。この際に歯面ば検出法から間隔Δy1を有して
おり、この間隔Δy1はピッチ円に対して接線方向の座
標yにおける許容測定範囲yrnesS/2 よりも小
さい。次いで検出ピン3は第2の力発生器107bによ
ってy方向において偏位させられ、この動作は検出ピン
3が歯面に接触し、所属の測定値が入力されるまで続く
上述の動作は第2の歯面のためにも繰り返される。この
場合まず初めに被検査体1が破線で示された位置へと動
かされ、次いで検出ピン3が値Δy2だけ逆方向に偏位
させられる。次に検出ピン3は歯溝11から再び引き戻
されて、被検査体1は正確に1ピッチ分だけさらに回転
させられ、前記動作が次の歯溝のために繰り返される。
検出法30の1歯面接触による上に述べた測定動作も、
検出ヘッド2を測定機の駆動装置Gこよって動かす必要
なしに、完全に実施される。
破線で示された位置及び1点鎖線で示された位置への被
検査体1の複数回の回動は、第7図に示されているよう
に1歯面接触による測定のために検出−ン3に2つの検
出法20at  20bが固定されている構成によって
回避することができる。この場合両検出球20a、20
bの間隔つまり符号DTで示された有効直径はピッチ円
の間隔における歯溝の幅に適合させられていて、検出法
20a、20bと歯面との間の残った間隔Δ  Δ が
許容測定範囲y  内に位Y1’  Y2      
   mess置するようになっている。また択一的に
、相応な大きさに選択された直径DTを備えたただ1つ
の検出法を使用することも可能である。
上においては第5図〜第7図を参照しながら歯面に点で
接触するピッチ測定について記載したが、しかしながら
もちろん同様な形式で歯すじを測定することも可能であ
り、この場合には歯面との接触後に検出ピン3が図面に
は示されていない第3の座標2に洛って動かされる。
【図面の簡単な説明】 第1図は歯測定のために使用される座標測定機の原理を
示す概略図、第2図は検出動作時における第1図に示さ
れた座標測定機の往復台(xM)及び検出ピン(xlr
 )の運動経過を示す線図、第3図は第1図の座標測定
機において用いられた測定ヘッドの一部を破断して示す
斜視図、第4図は第3図に示された検出ピンの偏位範囲
及び測定範囲を2つの座標において示す原理図、第5図
は2歯面接触による測定時における本発明の方法を示す
原理図、第3図は1歯面接触による測定時における本発
明の方法を示す原理図、第7図は択一的な第2実施例の
1歯面接触による測定時における本発明の方法を示す原
理図である。 1・・・被検査体、2・・・検出ヘッド、3・・・検出
ピン、6・・・測定範囲、7・・・指針、8・・精密ス
トッパ、9・・・指針、10,20a、20b、30−
・・検出法、11・・・歯溝、12・・・門形部材、1
3・・・横方向往復台、103a、103b、103c
・・・ばね平行四辺形、104a、104b。 104 c ・−係止ノツチ、105a、105b。 105 c−−・可動コイル、107 a、  107
 b。 107C・・・力発生器 Fig、1   2・・・検出ヘッド Fig、2 101M 107a 、 107b 、 107 c・−・力発生
器Fig、4 Fig、5 3・・・検出ピン 8・・精密ストツパ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数の空間方向において偏位可能な検出ピン(3)
    を備えた検出ヘツド(2)を有していて、この場合個々
    の座標方向(x、y)における測定範囲(x_m_e_
    s_s、y_m_e_s_s)が検出ピン(3)のため
    の各偏位範囲(x_p_o_s、y_p_o_s)より
    も小さく、しかも検出ヘツド(2)が、検出ピン(3)
    を偏位させることができる力発生器(107a、107
    b、107c)を有している座標測定機を用いて歯を測
    定する方法であつて、 検出ヘツド(2)の、引き戻されて許容測定範囲(6)
    の外に位置する検出ピン(3)を、被検査体(1)の測
    定すべき歯溝(11)に対して所定の間隔(x_M_0
    、x_M_1)をおいて位置決めし、座標測定機の駆動
    装置をこの位置において停止させ、 次いで検出ピン(3)を力発生器(107a、107b
    、107c)を介して検出ヘツド(2)に対して移動さ
    せて歯溝(11)に進入させることを特徴とする、座標
    測定機を用いて歯を測定する方法。 2、検出ピン(3)における検出球(10)の2歯面接
    触による測定のためには所定の位置と歯溝(11)との
    間における間隔(x_M_O)を次のように、すなわち
    両歯面における検出球(10)の接触時に検出ピン(3
    )が2つの座標方向(x、y)における許容測定範囲(
    x_m_e_s_s、y_m_e_s_s)内で働くよ
    うに選択する、特許請求の範囲第1項記載の方法。 3、検出球(20a、20b;30)の1歯面接触によ
    る測定のためには所定の位置と歯溝(11)との間にお
    ける間隔(x_M_1)を次のように、すなわち検出ピ
    ン(3)が、測定範囲(x_m_e_s_s)の0点(
    x_0)に対する位置(x_K)が座標測定機の計算機
    に記憶されている、検出ヘツド(2)における精密スト
    ツパ(8)に接触するまで、1つの座標(x)に沿つて
    歯溝(11)に進入できるように、かつ検出ピン(3)
    が第2の座標(y)に関しては許容測定範囲(y_m_
    e_s_s)に位置しているように選択する、特許請求
    の範囲第1項記載の方法。 4、歯車を測定するためには次の歯溝への移行を次のよ
    うにして行う、すなわち検出ピン(3)を測定機駆動装
    置を停止させたままで検出ピンの偏位だけによつて歯溝
    (11)から再び引き戻し、次いでターンテーブルに緊
    定された歯車を回転させ、この場合測定機駆動装置を測
    定動作の間中停止させておく、特許請求の範囲第1項記
    載の方法。 5、ラツクを測定するためには次の歯溝への移行を次の
    ようにして行う、すなわち検出ピン(3)を該検出ピン
    の偏位だけによつて歯溝から引き出し、次いで座標測定
    機を用いて検出ヘツドを次の歯溝に対して位置決めする
    、特許請求の範囲第1項記載の方法。 6、検出球(10)が両側において被検査体(1)の歯
    面に接触して停止するまで、検出ピン(3)を検出ピン
    移動距離に依存しない一定の測定力で歯溝(11)内に
    進入させ、次いで測定値を得る、特許請求の範囲第2項
    記載の方法。 7、検出ピン(3)が精密ストツパ(8)に接触するま
    で、検出ピン(3)をまず初め第1の座標(x)に沿つ
    て歯溝(11)内に進入させ、次いで別の座標(y)に
    沿つて偏位させる、特許請求の範囲第3項記載の方法。 8、検出球(20a、20b)の有効直径(D_T)を
    歯溝(11)の寸法に関連して選択し、別の座標(y)
    に沿つた検出ピン(3)の偏位時に該座標(y)の許容
    測定範囲(y_m_e_s_s)内において接触を行う
    、特許請求の範囲第7項記載の方法。 9、別の座標(y)に沿つた検出ピン(3)の偏位の前
    に歯車を歯溝幅よりも小さな値Δcだけさらに回転させ
    る、特許請求の範囲第7項記載の方法。 10、複数の空間方向において偏位可能な検出ピン(3
    )を備えていて少なくとも2つの軸において位置決め可
    能な検出ヘツド(2)を有しており、この場合検出ピン
    (3)の測定範囲(x_m_e_s_s、y_m_e_
    s_s)が検出ピン(3)のための各偏位範囲(x_p
    _o_s、y_p_o_s)よりも小さく、しかも検出
    ヘツド(2)が、検出ピン(3)を偏位させることがで
    きる力発生器(107a、107b、107c)を有し
    ている座標測定機を用いて歯を測定する装置であつて、 検出ピン(3)の少なくとも1つの偏位範囲(x_p_
    o_s)のために、許容測定範囲(x_m_e_s_s
    )の外に位置する精密ストツパ(8)が設けられていて
    、該精密ストツパの、この座標における測定範囲(x_
    m_e_s_s)の0点(x_0)に対する位置(x_
    K)が目盛り定めされていることを特徴とする、座標測
    定機を用いて歯を測定する装置。 11、座標測定機が、測定機駆動装置が停止された位置
    (x_M_0、x_M_1)における測定機軸の固定の
    ために、クランプ装置を有している、特許請求の範囲第
    10項記載の装置。 12、検出ヘツド(2)が検出ピン(3)のために1方
    向(x)において拡大された運動範囲(x_p_o_s
    )を有している、特許請求の範囲第10項記載の装置。
JP62253916A 1986-10-11 1987-10-09 座標測定機を用いて歯を測定する方法 Expired - Fee Related JPH0648162B2 (ja)

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DE3634688.8 1986-10-11

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JP (1) JPH0648162B2 (ja)
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0674904U (ja) * 1992-11-04 1994-10-21 川崎重工業株式会社 溝の測定装置
JP2006030197A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Klingelnberg Gmbh 探針ヘッドを有する装置及び測定器
JP2017072455A (ja) * 2015-10-06 2017-04-13 株式会社ミツトヨ 測定プローブ、及び測定プローブシステム

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4336267A1 (de) * 1993-10-23 1995-04-27 Perthen Feinpruef Gmbh Verfahren zur Messung eines Werkstückprofils
DE19827364B4 (de) * 1998-06-19 2007-11-15 Mahr Gmbh Verfahren zum Messen kegeliger Gewinde
DE10123496A1 (de) * 2001-05-15 2002-12-12 Carl Mahr Holding Gmbh Verzahnungsmessmaschine
DE102009004982A1 (de) * 2009-01-14 2010-07-22 Höfler Maschinenbau GmbH Messverfahren und Messvorrichtung
JP6537915B2 (ja) * 2015-07-27 2019-07-03 Ntn株式会社 ピッチ円錐角測定方法及び測定装置
CN107389011A (zh) * 2017-09-01 2017-11-24 凯里市浪金科技有限责任公司 一种可多方位测量的坐标测量装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168316A (ja) * 1983-03-07 1984-09-22 マ−ク−ツア−ンレ−ダ−・ウント・−マシ−ネン・アクチエンゲゼルシヤフト 歯車のピツチを検査するための測定装置および方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2242355C2 (de) * 1972-08-29 1974-10-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Elektronischer Mehrkoordinatentaster
GB1536948A (en) * 1976-09-25 1978-12-29 Rolls Royce Means for indicating the profile of a workpiece
GB1597842A (en) * 1977-02-07 1981-09-09 Rolls Royce Indexing mechanism
DE2948337C2 (de) * 1979-10-11 1983-07-21 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich Schaltungsanordnung zum Festlegen der Grenzen einer Meßstrecke eines Zahnflankenprüfgerätes

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59168316A (ja) * 1983-03-07 1984-09-22 マ−ク−ツア−ンレ−ダ−・ウント・−マシ−ネン・アクチエンゲゼルシヤフト 歯車のピツチを検査するための測定装置および方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0674904U (ja) * 1992-11-04 1994-10-21 川崎重工業株式会社 溝の測定装置
JP2006030197A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Klingelnberg Gmbh 探針ヘッドを有する装置及び測定器
JP2017072455A (ja) * 2015-10-06 2017-04-13 株式会社ミツトヨ 測定プローブ、及び測定プローブシステム

Also Published As

Publication number Publication date
EP0264717A2 (de) 1988-04-27
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EP0264717B1 (de) 1991-05-29
DE3770407D1 (de) 1991-07-04

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