JPS63106533A - ガスマスキング法 - Google Patents
ガスマスキング法Info
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- JPS63106533A JPS63106533A JP24968686A JP24968686A JPS63106533A JP S63106533 A JPS63106533 A JP S63106533A JP 24968686 A JP24968686 A JP 24968686A JP 24968686 A JP24968686 A JP 24968686A JP S63106533 A JPS63106533 A JP S63106533A
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- helium gas
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 title claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims abstract description 33
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 33
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 26
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 11
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、核融合及び超電導実験装置の組立品のリーク
テストに係り、特に、装置の大型化及び複雑化に対する
リークテストにおいて、検出用ヘリウムガスをシール可
能としたプローブに好適なガスマスキング法に関する。
テストに係り、特に、装置の大型化及び複雑化に対する
リークテストにおいて、検出用ヘリウムガスをシール可
能としたプローブに好適なガスマスキング法に関する。
ヘリウムリークデテクタ、または、ガス分析機器を用い
る被試験体のリークテストでは、従来の方法として次の
二通りがある０例えば、特開昭５８−８５１２９号公報
に示されるように、部品単独及び組立完了後に、被試験
体の被試験部をプラスチックシートで覆い、被試験体と
プラスチックシート空間を真空排気し、その空間にヘリ
ウムガスを注入操作と真空排気を繰返してヘリ“ラムガ
スに置換する。被試験内部に漏れるヘリウムガスをヘリ
ウムリークデテクタ、または、ガス分析機器でリーク量
を検出する。
る被試験体のリークテストでは、従来の方法として次の
二通りがある０例えば、特開昭５８−８５１２９号公報
に示されるように、部品単独及び組立完了後に、被試験
体の被試験部をプラスチックシートで覆い、被試験体と
プラスチックシート空間を真空排気し、その空間にヘリ
ウムガスを注入操作と真空排気を繰返してヘリ“ラムガ
スに置換する。被試験内部に漏れるヘリウムガスをヘリ
ウムリークデテクタ、または、ガス分析機器でリーク量
を検出する。
又、実公昭５８−４４３５２号公報に示されるように、
被試験体の内部を真空排気後、被試験体表面の接合部に
ノズル管の先端を近づけ、ノズル管内からテスト用ヘリ
ウムガスを接合部に向けて吐出させる。
被試験体の内部を真空排気後、被試験体表面の接合部に
ノズル管の先端を近づけ、ノズル管内からテスト用ヘリ
ウムガスを接合部に向けて吐出させる。
吐出されたヘリウムガスは、接合部に当たった後、ノズ
ル管と同芯でしがも先端がラッパ状に拡開された吸引管
に回収される。
ル管と同芯でしがも先端がラッパ状に拡開された吸引管
に回収される。
被試検体の内部に漏れるヘリウムガスをヘリウムリーク
デテクタまたは、ガス分析機器でリーク量を検出する。
デテクタまたは、ガス分析機器でリーク量を検出する。
上記従来技術では、核融合及び超電導実験装置の組立完
了品のリークテストにおいて、装置の大型化により、全
体マスキングが困厳になり、また、形状の複雑化に伴い
、プラスチックシートによるマスキングができないため
、正確なリーク量が計測出来ず、しかも、リーク場所を
発見することが困難である。また、ノズル管の先端を被
試験体接合部に近づけてヘリウムガスを接合部に吹付け
る方法では、ヘリウムガスを吹付けている接合部以外に
廻り込むため検出感度が低くなる。従って。
了品のリークテストにおいて、装置の大型化により、全
体マスキングが困厳になり、また、形状の複雑化に伴い
、プラスチックシートによるマスキングができないため
、正確なリーク量が計測出来ず、しかも、リーク場所を
発見することが困難である。また、ノズル管の先端を被
試験体接合部に近づけてヘリウムガスを接合部に吹付け
る方法では、ヘリウムガスを吹付けている接合部以外に
廻り込むため検出感度が低くなる。従って。
リークテストの信頼性に問題があった。
本発明は、核融合及び超電導実験装置による大型化及び
形状の複雑化に対するリークテストにおいて、高精度な
リーク量の検出、及びリーク場所を容易に検出可能なプ
ローブをもったガスマスキング法を提供することを目的
とする。
形状の複雑化に対するリークテストにおいて、高精度な
リーク量の検出、及びリーク場所を容易に検出可能なプ
ローブをもったガスマスキング法を提供することを目的
とする。
上記目的は、装置の大型化及び形状の複雑化に対するリ
ークテストにおいて、ノズル管の外周より被試験体の接
合部を局部的にヘリウム、水素以外の窒素のようなガス
を吹付けて接合部近傍にガスで膜を形成し、その空間に
ノズル管の中央部からヘリウムガスを注入し、その空間
からの検出ガスの散乱を防ぐため、ノズル管のガスシー
ル部と検出ガス部の間に回収管を具えガス圧及び回収率
を調整することにより所期の目的を達成する。
ークテストにおいて、ノズル管の外周より被試験体の接
合部を局部的にヘリウム、水素以外の窒素のようなガス
を吹付けて接合部近傍にガスで膜を形成し、その空間に
ノズル管の中央部からヘリウムガスを注入し、その空間
からの検出ガスの散乱を防ぐため、ノズル管のガスシー
ル部と検出ガス部の間に回収管を具えガス圧及び回収率
を調整することにより所期の目的を達成する。
装置の大型化及び形状の複雑化に対し簡単で高精度なリ
ークテストにおいて、検出用ヘリウムガスの廻り込みを
防ぐため被試験体の接合部近傍をノズル管の外周よりヘ
リウム・水素以外の窒素のようなガスを吹付けてガス膜
を形成し、その空間にノズル管の中央部からヘリウムガ
スを注入し、検出ガスが発散しないようにノズル管のガ
スシール部と検出ガス部の間に配設された回収管により
ガス圧と排気圧を設定する。
ークテストにおいて、検出用ヘリウムガスの廻り込みを
防ぐため被試験体の接合部近傍をノズル管の外周よりヘ
リウム・水素以外の窒素のようなガスを吹付けてガス膜
を形成し、その空間にノズル管の中央部からヘリウムガ
スを注入し、検出ガスが発散しないようにノズル管のガ
スシール部と検出ガス部の間に配設された回収管により
ガス圧と排気圧を設定する。
従って、検出用ヘリウムガスが大気中に漏れることがな
くなるため、ヘリウムガスの密度が高くなるので、高精
度なリークテストが可能となる。
くなるため、ヘリウムガスの密度が高くなるので、高精
度なリークテストが可能となる。
以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図に基づいて
説明する。第１図は、真空容器１の内部２を排気装置９
で、真空引きし、規定真空度に達したらプローブ４を真
空容器１の接合部３に近づけ、窒素ガス５Ａを接合部３
の近傍に吹付けることにより、窒素ガス層５Ｂができる
。その時、プローブ４は排気ロアより真空引きを実施し
、窒素ガス層５Ｂのガスが接合部３の近傍に当った後、
４散乱しないように排気ロアより回収する。その状
態を数秒間保持すると、自動的に接合部３とプローブ４
の空間が窒素ガス層５Ｂでおおわれ、内部は真空４間１
１になる。
説明する。第１図は、真空容器１の内部２を排気装置９
で、真空引きし、規定真空度に達したらプローブ４を真
空容器１の接合部３に近づけ、窒素ガス５Ａを接合部３
の近傍に吹付けることにより、窒素ガス層５Ｂができる
。その時、プローブ４は排気ロアより真空引きを実施し
、窒素ガス層５Ｂのガスが接合部３の近傍に当った後、
４散乱しないように排気ロアより回収する。その状
態を数秒間保持すると、自動的に接合部３とプローブ４
の空間が窒素ガス層５Ｂでおおわれ、内部は真空４間１
１になる。
その空間１１にヘリウムガス６Ａを接合部３にヘリ吹付
はヘリウムガス層６Ｂができる。その時、接合部３に当
った後のヘリウムガス６Ａと一部の窒素ガス５Ａの混合
８は、排気ロアに回収される。
はヘリウムガス層６Ｂができる。その時、接合部３に当
った後のヘリウムガス６Ａと一部の窒素ガス５Ａの混合
８は、排気ロアに回収される。
真空容器１の接合部３より真空容器内部２にヘリウムガ
ス６Ａが漏れた量をヘリウムリークデテクタ１０で、測
定する。更に、排気ロアを多量に設けても効果は同様で
ある。
ス６Ａが漏れた量をヘリウムリークデテクタ１０で、測
定する。更に、排気ロアを多量に設けても効果は同様で
ある。
本発明によれば、被試験体の接合部に局部的に窒素ガス
で膜を形成することができるので、大型及び形状の複雑
な装置のリークテストでも検出用ヘリウムガスの廻り込
みがなくなり、高精度なリーク量を計測及びリーク場所
を容易に発見可能なプローブをもったガスマスキング法
を提供できる。
で膜を形成することができるので、大型及び形状の複雑
な装置のリークテストでも検出用ヘリウムガスの廻り込
みがなくなり、高精度なリーク量を計測及びリーク場所
を容易に発見可能なプローブをもったガスマスキング法
を提供できる。
第１図及び第２図は、本発明の一実施例を示すそれぞれ
正面図及び平面図である。 １・・・真空容器、２・・・真空容器内部、３・・・接
合部。
正面図及び平面図である。 １・・・真空容器、２・・・真空容器内部、３・・・接
合部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ヘリウムガスを用いて被試験体の欠陥部に吹付けて
リーク量を測定するリークテストにおいて、 ノズル管の外周から検出ガスより分子量の大きいガスを
、欠陥部に局部的に吹付けてガス膜を形成した空間に前
記ノズル管の中心並びに同芯の先端が前記ノズル管の先
端より内側に配設された前記ノズル管から前記ヘリウム
ガスを注入し、その空間から前記ヘリウムガスの散乱を
防ぐため、前記ノズル管のガスシール部と前記検出ガス
部の間に回収管を具えたプローブにより、前記被試験体
の内部に前記ヘリウムガスが漏れを測定可能としたこと
を特徴とするガスマスキング法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24968686A JPS63106533A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | ガスマスキング法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24968686A JPS63106533A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | ガスマスキング法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106533A true JPS63106533A (ja) | 1988-05-11 |
Family
ID=17196693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24968686A Pending JPS63106533A (ja) | 1986-10-22 | 1986-10-22 | ガスマスキング法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63106533A (ja) |
-
1986
- 1986-10-22 JP JP24968686A patent/JPS63106533A/ja active Pending
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