JPS60178332A - 漏洩検出装置 - Google Patents
漏洩検出装置Info
- Publication number
- JPS60178332A JPS60178332A JP3414584A JP3414584A JPS60178332A JP S60178332 A JPS60178332 A JP S60178332A JP 3414584 A JP3414584 A JP 3414584A JP 3414584 A JP3414584 A JP 3414584A JP S60178332 A JPS60178332 A JP S60178332A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- gas
- helium gas
- valve
- vacuum
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
-
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- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
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- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、例えばガス絶縁開閉装置等に使用される圧力
容器の気密性を知るための高精度な漏洩検出装置に関り
′るものである。
容器の気密性を知るための高精度な漏洩検出装置に関り
′るものである。
［発明の技術的背景とその問題点］
大都市周辺とか、臨海地区に設置される変電所或いは開
閉所においては、用地の取得難とか塩害対策上の理由で
、変電所や開閉所を構成する電気機器を、Ｓ Ｆ６ガス
等の絶縁媒体で密封したガス絶縁開閉装置が使用される
。この種のガス絶縁開閉装置は、都市部にお番プる電力
需要の増加に伴い、増々高電圧、大容量化されて来てお
り、一層の小型化と信頼性の向上並びに保守の簡素化が
要求されている。そのため、これらのガス絶縁開閉装置
等に使用される圧力容器の気密性は、機器の絶縁性能等
の信頼性を左右する重要な要素となっている。従って、
圧力容器の気密性を知る方法についても、高度な検出精
度が要求され、それに応じた検出装置が必要となる。
閉所においては、用地の取得難とか塩害対策上の理由で
、変電所や開閉所を構成する電気機器を、Ｓ Ｆ６ガス
等の絶縁媒体で密封したガス絶縁開閉装置が使用される
。この種のガス絶縁開閉装置は、都市部にお番プる電力
需要の増加に伴い、増々高電圧、大容量化されて来てお
り、一層の小型化と信頼性の向上並びに保守の簡素化が
要求されている。そのため、これらのガス絶縁開閉装置
等に使用される圧力容器の気密性は、機器の絶縁性能等
の信頼性を左右する重要な要素となっている。従って、
圧力容器の気密性を知る方法についても、高度な検出精
度が要求され、それに応じた検出装置が必要となる。
従来から、圧力容器の気密性を測定づる装置として用い
られてきたものに、ヘリウムガスによる漏洩検出装置が
ある。この漏洩検出装置の一般的な構成を第１図及び第
２図によって説明する。
られてきたものに、ヘリウムガスによる漏洩検出装置が
ある。この漏洩検出装置の一般的な構成を第１図及び第
２図によって説明する。
まず、第１図の装置は、被検査物１を寵ｆｉ２に取り付
け、盲蓋２に取り付けられた真空ポンプ３によって被検
査物１内部を真空引きし、その後吹き付はノズル４によ
りヘリウムガス５を被検査物１の外側より吹き付け、被
検査物１内部に漏洩して来るヘリウムカスを検出器６に
よって検出づるものである。
け、盲蓋２に取り付けられた真空ポンプ３によって被検
査物１内部を真空引きし、その後吹き付はノズル４によ
りヘリウムガス５を被検査物１の外側より吹き付け、被
検査物１内部に漏洩して来るヘリウムカスを検出器６に
よって検出づるものである。
しかしながら、ガス絶縁間ｍ装岡の圧力容器の様な被検
査物は内部に圧力がかかるが、この検査装置の様に内部
が真空で、外部からヘリウムガスを吹き付りるものでは
、実際に使用している時と条件が異なるのＣ，粘度の高
い検出作業ができないという欠点があった。
査物は内部に圧力がかかるが、この検査装置の様に内部
が真空で、外部からヘリウムガスを吹き付りるものでは
、実際に使用している時と条件が異なるのＣ，粘度の高
い検出作業ができないという欠点があった。
一方、第２図の装置は、被検査物１を盲蓋２に取り付け
、盲蓋２に設けられた導入弁７を問いてヘリウムガス５
を被検査物１内部に加圧封入し、被検査物１の外側に漏
洩してきたヘリウムガス５をプローブノズル８を介して
検出器６によって検出するものである。
、盲蓋２に設けられた導入弁７を問いてヘリウムガス５
を被検査物１内部に加圧封入し、被検査物１の外側に漏
洩してきたヘリウムガス５をプローブノズル８を介して
検出器６によって検出するものである。
しかしながら、この装置においては、被検査物の外側に
漏洩して来たヘリウムガスを大気中におい−Ｃ検出づる
ため、空気と混ざった微小な量のヘリウムガスを検出器
ることとなり、プローブガスの探査３１！度等によって
検出感度が大きく影響される。また、この場合検出器内
部は検出の原理的な面から高真空が要求されるため、プ
ローブノズル先端の吸込み孔が常に大気圧に晒されてい
る関係上、ノズル部分に大きな圧力比が発生しそれに耐
える必要がある。従ってこの部分の加工精度及びプロー
ブノズルの操作が非常に難しく、プローブノズルの開度
が検出器の作動条件、特に感度に大きな影響を及ばず欠
点があった。
漏洩して来たヘリウムガスを大気中におい−Ｃ検出づる
ため、空気と混ざった微小な量のヘリウムガスを検出器
ることとなり、プローブガスの探査３１！度等によって
検出感度が大きく影響される。また、この場合検出器内
部は検出の原理的な面から高真空が要求されるため、プ
ローブノズル先端の吸込み孔が常に大気圧に晒されてい
る関係上、ノズル部分に大きな圧力比が発生しそれに耐
える必要がある。従ってこの部分の加工精度及びプロー
ブノズルの操作が非常に難しく、プローブノズルの開度
が検出器の作動条件、特に感度に大きな影響を及ばず欠
点があった。
「発明の目的］゛一
本発明は、上述の如き従来の漏洩検出装置の欠点を解消
するために提案されたもので、その目的は、ヘリウムガ
スを使用した加圧法による漏洩検出の感度を向上させた
、信頼性の高い漏洩検出装置を提供することにある。
するために提案されたもので、その目的は、ヘリウムガ
スを使用した加圧法による漏洩検出の感度を向上させた
、信頼性の高い漏洩検出装置を提供することにある。
［発明の概要］
本発明の漏洩検出装置は、被検査物を盲蓋に取り付け、
ヘリウムガスを被検査物内部に加圧封入し、それをヂ１
ｒンバーで覆った後、チャンバー内部を真空引きし、被
検査物内部からチャンバー内部に漏洩してくるヘリウム
ガスを検出することにより、ガス絶縁開閉装置の圧力容
器と同様な条件で、しかも人気の影響を受りることなく
、被検査物の漏洩を検出りる様にしたものである。
ヘリウムガスを被検査物内部に加圧封入し、それをヂ１
ｒンバーで覆った後、チャンバー内部を真空引きし、被
検査物内部からチャンバー内部に漏洩してくるヘリウム
ガスを検出することにより、ガス絶縁開閉装置の圧力容
器と同様な条件で、しかも人気の影響を受りることなく
、被検査物の漏洩を検出りる様にしたものである。
［発明の実施例］
以下、本発明の一実施例を第３図に基づいて具体的に説
明Ｊる。なお、第１図及び第２図に示した従来の漏洩検
出装置と同一の部材については、同一の符号を付し、説
明は省略覆る。
明Ｊる。なお、第１図及び第２図に示した従来の漏洩検
出装置と同一の部材については、同一の符号を付し、説
明は省略覆る。
本実施例において、内部にヘリウムガスを充填できる形
状の被検査物１は盲蓋２によって密閉されており、これ
ら被検査物１及び盲蓋２は、全体がチャンバ−９によっ
て被覆されている。また、被検査物１内には、盲蓋２及
びヂｔシンバー９を貫通して、ヘリウムガス封入用の導
入弁７が連結されている。一方、ブ」Ｉシバ−９には、
真空弁１０を介して真空ポンプ３が接続されている。更
に、ヂトンバー９には、ヘリウムガスの漏洩度を検出づ
る為にテスト弁１１を介して検出器６が接続されている
。
状の被検査物１は盲蓋２によって密閉されており、これ
ら被検査物１及び盲蓋２は、全体がチャンバ−９によっ
て被覆されている。また、被検査物１内には、盲蓋２及
びヂｔシンバー９を貫通して、ヘリウムガス封入用の導
入弁７が連結されている。一方、ブ」Ｉシバ−９には、
真空弁１０を介して真空ポンプ３が接続されている。更
に、ヂトンバー９には、ヘリウムガスの漏洩度を検出づ
る為にテスト弁１１を介して検出器６が接続されている
。
この様な構成を右する本実施例の漏洩検出装置において
は、まず、被検査物１を盲蓋２に取り付け、導入弁７を
問いて被検査物１の内部にヘリウムガス５を加圧封入し
、全体をチャンバー９で覆う。その後真空弁１０を開い
て、真空ポンプ３によってチャンバー９の内部を真空に
する。一定の真空度に到達した後、真空弁１０を閉じて
デスト弁１１を開き、検出器６にてチャンバー９の内部
に被検査物１の内部から漏洩してきたヘリウムガスを検
出する。
は、まず、被検査物１を盲蓋２に取り付け、導入弁７を
問いて被検査物１の内部にヘリウムガス５を加圧封入し
、全体をチャンバー９で覆う。その後真空弁１０を開い
て、真空ポンプ３によってチャンバー９の内部を真空に
する。一定の真空度に到達した後、真空弁１０を閉じて
デスト弁１１を開き、検出器６にてチャンバー９の内部
に被検査物１の内部から漏洩してきたヘリウムガスを検
出する。
この様にすると、被検査物１内にヘリウムガスを加圧封
入して、ガス絶縁開閉装置の圧力容器の使用状態に近い
状態で試験を行える上に、被検査物外部は、チャンバー
によって覆われ大気の影響を受りることがない為、漏洩
ガスの検出精度が格段に高いものとなる。
入して、ガス絶縁開閉装置の圧力容器の使用状態に近い
状態で試験を行える上に、被検査物外部は、チャンバー
によって覆われ大気の影響を受りることがない為、漏洩
ガスの検出精度が格段に高いものとなる。
し発明の効果］
以上の通り、本発明によれば１、被検査物をチャンバー
で覆い、チャンバー内部を真空引きすることによって、
漏洩を探査しようとづる部分が真空状態となるので、従
来型の様にプローブノズルの開度による検出器の作動条
件から来る感度の影響及びプローブノズルの探査速度に
よる検出感度の影響がなくなり、常に安定しＩＣ高精度
な漏洩試験を実施できる漏洩検出装置を提供゛りること
が可能となる効果がある。
で覆い、チャンバー内部を真空引きすることによって、
漏洩を探査しようとづる部分が真空状態となるので、従
来型の様にプローブノズルの開度による検出器の作動条
件から来る感度の影響及びプローブノズルの探査速度に
よる検出感度の影響がなくなり、常に安定しＩＣ高精度
な漏洩試験を実施できる漏洩検出装置を提供゛りること
が可能となる効果がある。
第１図は従来の真空法による漏洩検出装置の概略を示′
ＴＪ断面図、第２図は従来の加圧法にＪ、る漏洩検出装
置の概略を示す断面図、第３図は本発明の漏洩検出装置
の一実施例の概略を示づ断面図である。 １・・・被検査物、２・・・ｍ蓋、３・・・真空ポンプ
、４・・・吹きイ１リノズル、５・・・ヘリウムガス、
６・・・検出器、７・・・導入弁、８・・・プローブノ
ズル、９・・・ヂＡ・ンバー、１０・・・真空弁、１１
・・・テスト弁。 ７３１７代理人弁理士則近憲佑（ほか１名）第１図 第２図
ＴＪ断面図、第２図は従来の加圧法にＪ、る漏洩検出装
置の概略を示す断面図、第３図は本発明の漏洩検出装置
の一実施例の概略を示づ断面図である。 １・・・被検査物、２・・・ｍ蓋、３・・・真空ポンプ
、４・・・吹きイ１リノズル、５・・・ヘリウムガス、
６・・・検出器、７・・・導入弁、８・・・プローブノ
ズル、９・・・ヂＡ・ンバー、１０・・・真空弁、１１
・・・テスト弁。 ７３１７代理人弁理士則近憲佑（ほか１名）第１図 第２図
Claims (1)
- ヘリウムガスを充填する被検査物内部を密閉する盲蓋と
、これら被検査物及び盲蓋全体を被覆するチャンバーと
を備え、前記被検査物内部にはチャンバー外部からヘリ
ウムガスを封入する導入弁が接続され、一方チャンバー
には真空引き装置及びヘリウムガスの検出器が接続され
ていることを特徴とする漏洩検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3414584A JPS60178332A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 漏洩検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3414584A JPS60178332A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 漏洩検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178332A true JPS60178332A (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=12406033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3414584A Pending JPS60178332A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 漏洩検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60178332A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5861547A (en) * | 1996-08-13 | 1999-01-19 | Daiwa Can Company | Apparatus for and method of testing leakage of hollow member |
| WO2014083742A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 富士電機機器制御株式会社 | リーク検査治具及びリーク検査装置 |
| CN104833460A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-08-12 | 天津博益气动股份有限公司 | 圆柱容器门部气密性检测工装 |
| CN105987796A (zh) * | 2015-02-12 | 2016-10-05 | 广州市和晋自动化控制技术有限公司 | 一种气体浓度探测方法及装置 |
| EP3098585A1 (en) * | 2015-05-28 | 2016-11-30 | Airbus Operations, S.L. | Inspection methods and systems for detecting leaks in vacuum bag assemblies |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP3414584A patent/JPS60178332A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5861547A (en) * | 1996-08-13 | 1999-01-19 | Daiwa Can Company | Apparatus for and method of testing leakage of hollow member |
| WO2014083742A1 (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | 富士電機機器制御株式会社 | リーク検査治具及びリーク検査装置 |
| JP2014109451A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | リーク検査治具及びリーク検査装置 |
| CN105987796A (zh) * | 2015-02-12 | 2016-10-05 | 广州市和晋自动化控制技术有限公司 | 一种气体浓度探测方法及装置 |
| CN104833460A (zh) * | 2015-05-04 | 2015-08-12 | 天津博益气动股份有限公司 | 圆柱容器门部气密性检测工装 |
| EP3098585A1 (en) * | 2015-05-28 | 2016-11-30 | Airbus Operations, S.L. | Inspection methods and systems for detecting leaks in vacuum bag assemblies |
| US9976926B2 (en) | 2015-05-28 | 2018-05-22 | Airbus Operations S.L. | Inspection methods and systems for detecting leaks in vacuum bag assemblies |
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