JPS63103738U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63103738U JPS63103738U JP19679986U JP19679986U JPS63103738U JP S63103738 U JPS63103738 U JP S63103738U JP 19679986 U JP19679986 U JP 19679986U JP 19679986 U JP19679986 U JP 19679986U JP S63103738 U JPS63103738 U JP S63103738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic waves
- oven
- vacuum container
- plasma
- stirrer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は、本考案に係るプラズマ装置の第１実
施例でａは平面図、ｂは縦断面図である。第２図
は、本考案に係るプラズマ装置の第２実施例でａ
は平面図、ｂは縦断面図である。第３図は、本考
案に係るプラズマ装置の第３実施例でａは平面図
、ｂは縦断面図である。第４図は、従来のプラズ
マ装置の一例を示す概略図である。第５図は、第
４図中Ａ―Ａ′に沿つて切断した矢視図である。 １１１，１１２，１１３……オーブン壁、１２
……導波管、１３……スターラ、１６……真空容
器、１７……ウエハー、１８……母材保持台、２
５，３１……ガス供給用パイプ、３０，３０′…
…プラズマ放電領域。
施例でａは平面図、ｂは縦断面図である。第２図
は、本考案に係るプラズマ装置の第２実施例でａ
は平面図、ｂは縦断面図である。第３図は、本考
案に係るプラズマ装置の第３実施例でａは平面図
、ｂは縦断面図である。第４図は、従来のプラズ
マ装置の一例を示す概略図である。第５図は、第
４図中Ａ―Ａ′に沿つて切断した矢視図である。 １１１，１１２，１１３……オーブン壁、１２
……導波管、１３……スターラ、１６……真空容
器、１７……ウエハー、１８……母材保持台、２
５，３１……ガス供給用パイプ、３０，３０′…
…プラズマ放電領域。
Claims (1)
- 電磁波を用いて発生させたプラズマにより母材
表面上へ薄膜生成、結晶の生成、あるいは表面処
理を行なう装置においてオーブン寸法の三辺の組
合せが（Ｍ＋１２）λ±０．１λと（Ｎ＋１４）
λ±０．１λと（Ｌ＋１５）λ±０．１λ（ここ
で、λは自由空間波長、Ｍ＝４，３，２，１、Ｎ
＝５，４，３，２、Ｌ＝５，４，３，２）であり
、該オーブン内部にスターラおよび電磁波に対し
て低損失材料で構成された真空容器を設け、該真
空容器内に母材保持台を具備し、オーブン壁の１
面あるいは複数面より電磁波を投入する投入口を
具備するプラズマ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679986U JPH0517150Y2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19679986U JPH0517150Y2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63103738U true JPS63103738U (ja) | 1988-07-05 |
| JPH0517150Y2 JPH0517150Y2 (ja) | 1993-05-10 |
Family
ID=31155935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19679986U Expired - Lifetime JPH0517150Y2 (ja) | 1986-12-23 | 1986-12-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0517150Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-23 JP JP19679986U patent/JPH0517150Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0517150Y2 (ja) | 1993-05-10 |
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