JPH0357965U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0357965U JPH0357965U JP11827489U JP11827489U JPH0357965U JP H0357965 U JPH0357965 U JP H0357965U JP 11827489 U JP11827489 U JP 11827489U JP 11827489 U JP11827489 U JP 11827489U JP H0357965 U JPH0357965 U JP H0357965U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- reaction tube
- cooling
- cooling pipe
- reaction
- Prior art date
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- Granted
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 5
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
- Mounting Of Printed Circuit Boards And The Like (AREA)
Description
第１図は本考案装置の一実施例を示す断面図、
第２図は本考案装置と従来装置において成長回数
に対する結晶欠陥密度の変化を示す特性図、第３
図は従来装置を示す断面図である。 １…反応管、２…ガス導入管、３…フランジ、
４…排気管、５…サセプタ、６…基板、７…ＲＦ
コイル、８…冷却管、９…マルチバイブレータ、
１０…圧電振動子、１１…反応物。
第２図は本考案装置と従来装置において成長回数
に対する結晶欠陥密度の変化を示す特性図、第３
図は従来装置を示す断面図である。 １…反応管、２…ガス導入管、３…フランジ、
４…排気管、５…サセプタ、６…基板、７…ＲＦ
コイル、８…冷却管、９…マルチバイブレータ、
１０…圧電振動子、１１…反応物。
Claims (1)
- 反応管と、該反応管に連通するガス導入管及び
ガス排気管と、前記反応管の内壁に沿つて配され
た冷却管と、を備え、前記冷却管は前記反応管の
長手方向に沿つてスライド可能であり、及び／又
は前記冷却管にはこれを振動させる振動手段が接
続されていることを特徴とするＭＯＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11827489U JPH0627994Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | プリント基板の収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11827489U JPH0627994Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | プリント基板の収納ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0357965U true JPH0357965U (ja) | 1991-06-05 |
| JPH0627994Y2 JPH0627994Y2 (ja) | 1994-07-27 |
Family
ID=31666451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11827489U Expired - Lifetime JPH0627994Y2 (ja) | 1989-10-06 | 1989-10-06 | プリント基板の収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0627994Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010258856A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Toa Corp | 薄型音響電気機械変換器 |
| JP2014023340A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk | 電気接続箱 |
-
1989
- 1989-10-06 JP JP11827489U patent/JPH0627994Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010258856A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Toa Corp | 薄型音響電気機械変換器 |
| JP2014023340A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Auto Network Gijutsu Kenkyusho:Kk | 電気接続箱 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0627994Y2 (ja) | 1994-07-27 |