JPS63102018A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS63102018A JPS63102018A JP24687586A JP24687586A JPS63102018A JP S63102018 A JPS63102018 A JP S63102018A JP 24687586 A JP24687586 A JP 24687586A JP 24687586 A JP24687586 A JP 24687586A JP S63102018 A JPS63102018 A JP S63102018A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 37
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 26
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 14
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N tungsten disulfide Chemical compound S=[W]=S ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 17
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 229910017061 Fe Co Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 abstract 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020516 Co—V Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001941 electron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N pentostatin Chemical compound C1[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1N1C(N=CNC[C@H]2O)=C2N=C1 FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000000682 scanning probe acoustic microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録媒体、さらに詳しくは走行耐久性にす
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
ぐれる金属薄膜型磁気記録媒体に関する。
近年、記録媒体の高密度化に伴い、従来の塗布型磁気記
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになってきている。
録媒体に替わって、いわゆる金属薄膜型磁気記録媒体が
注目されるようになってきている。
しかし、金属薄膜型磁気記録媒体は、従来の塗布型磁気
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性東中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Co−Cr合金膜を設けた乗置磁気記録ディスクの場合
100回程鹿の走行パスで表面合金とヘッドとの間で凝
着等が生じて走行不能になることが多い。
記録媒体のように潤滑剤や研磨剤を磁性東中に混入させ
ることが困難なので、一般に走行耐久性に劣り、例えば
Co−Cr合金膜を設けた乗置磁気記録ディスクの場合
100回程鹿の走行パスで表面合金とヘッドとの間で凝
着等が生じて走行不能になることが多い。
そこで、このような問題を解決するために、液体潤滑剤
を磁性層表面に塗布したり、固体保護膜を磁性膜表面に
設けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤
であるカーボンを主成分とする保護膜を磁性膜表面に設
けることが特に走行耐久性向上に効果があることが知ら
れている。
を磁性層表面に塗布したり、固体保護膜を磁性膜表面に
設けることが提案されている。この中では、固体潤滑剤
であるカーボンを主成分とする保護膜を磁性膜表面に設
けることが特に走行耐久性向上に効果があることが知ら
れている。
しかしながら、このようなカーボンを主成分とする保護
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護11Lとの摩
擦係数を増大させることに原因するものと考えられる。
層を磁性層表面に設けてもなお走行耐久性が充分でない
。これは主にヘッドに生じた付着物が保護11Lとの摩
擦係数を増大させることに原因するものと考えられる。
さらに、はう素、ケイ素、遷移金属元素等をダイアモン
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が(特開昭60−コツ236号)、潤滑性が劣シ、した
がって十分な耐久性が得られない。
ド状カーボン保護膜に含有させることが提案されている
が(特開昭60−コツ236号)、潤滑性が劣シ、した
がって十分な耐久性が得られない。
本発明は、磁気ヘッドに付着物を生せしめない;かつ走
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。
行耐久性の著しく改良された金属薄膜型磁気記録媒体を
提供するにある。
本発明は、非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁
気記録媒体において、該薄膜上に硫化モリブデンおよび
硫化タングステンから選ばれる少なくとも1種を含有す
るグラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設け
られていることを特徴とする磁気記録媒体、に関する。
気記録媒体において、該薄膜上に硫化モリブデンおよび
硫化タングステンから選ばれる少なくとも1種を含有す
るグラファイト状カーボンを主成分とする保護膜が設け
られていることを特徴とする磁気記録媒体、に関する。
上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜とは
、真空蒸着法、ス・ξツタリング法等で作成されるグラ
ファイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、X
線回折によっては明確なピークが見られず、かつX線電
子分光法(xps)によυ求められる炭素のプラズモン
損失エネルギー値がグラファイトのそれを示すような膜
である。
、真空蒸着法、ス・ξツタリング法等で作成されるグラ
ファイト様のアモルファス膜を意味する。すなわち、X
線回折によっては明確なピークが見られず、かつX線電
子分光法(xps)によυ求められる炭素のプラズモン
損失エネルギー値がグラファイトのそれを示すような膜
である。
上記グラファイト状カーボンを主成分とする保護膜中に
含有される硫化モリブデンおよび硫化タングステンの重
量はto%以下であシ、0.3〜j%であることが好ま
しい。
含有される硫化モリブデンおよび硫化タングステンの重
量はto%以下であシ、0.3〜j%であることが好ま
しい。
本発明の磁性金属薄膜には、l?’e、Co、Ni等の
強磁性金属、あるいはFe−Co、Fe−Ni、Fe−
8i%Co−Cr、Co−V、C。
強磁性金属、あるいはFe−Co、Fe−Ni、Fe−
8i%Co−Cr、Co−V、C。
−8m、Co−P t、Co−P、Co−N1−P、F
e −Cr −Co等の強磁性合金、あるいはまたこれ
らに微量の金属元素等が添加されたものが使用される。
e −Cr −Co等の強磁性合金、あるいはまたこれ
らに微量の金属元素等が添加されたものが使用される。
非磁性基板としてはポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。
イミド、ポリアミド等のフィルム状の高分子材料、ポリ
カーボネイト、ポリメチルメタクリレート等のディスク
状の高分子材料、ガラス等のセラミック、アルミニウム
等の金属等が使用可能である。基板の形状はシート、カ
ード、ディスク、ドラム、テープ等のいずれでも良い。
本発明の磁気記録媒体を作成するには、まず非磁性基板
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、ス・gツタリング、イオ
ンブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成
し、更にその上に硫化モリブデン、および硫化タングス
テンのうち少々くとも一種を含有するグラファイト状カ
ーボンを主成分とする保護膜を真空蒸着、ス・gツタリ
ング等で形成すれば良い。
上に磁性金属薄膜を真空蒸着、ス・gツタリング、イオ
ンブレーティング、メッキ等の方法で被着せしめて形成
し、更にその上に硫化モリブデン、および硫化タングス
テンのうち少々くとも一種を含有するグラファイト状カ
ーボンを主成分とする保護膜を真空蒸着、ス・gツタリ
ング等で形成すれば良い。
この場合、磁性膜は2種の異なる磁性体を用いて積層鏝
シしても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。
シしても良いし、下地層を設けた単層型にしても良い。
また、中間層を設けた積層型にしても良い。なお磁性膜
の厚さはいずれの場合でもθ、ノーλμm程度が適当で
ある。
の厚さはいずれの場合でもθ、ノーλμm程度が適当で
ある。
また、保護lILの厚さは厚すぎると記録、再生時に充
分な出力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上
が見られないので、lO〜tooo穴、好ましくはjO
−200大程度である。
分な出力が得られず、−力落すぎると走行耐久性の向上
が見られないので、lO〜tooo穴、好ましくはjO
−200大程度である。
以下、本発明の実施例について説明する。
非磁性基板として厚さ30μmのポリイミドフィルムを
用いた。
用いた。
まず、この基板上にCoCrをターゲットとしたArガ
ス中のスパッタリングにより厚さ2300大のCoCr
薄膜を形成した。
ス中のスパッタリングにより厚さ2300大のCoCr
薄膜を形成した。
次に、グラファイトターゲットと硫化モリブデンおよび
硫化タングステンのターゲットを用いてArガス中でコ
元同時ス、eツタリングを行い、上記CoCr薄膜上に
上記化合物のうち少なくとも一種を含有するグラファイ
ト状カーボンを主成分とする厚さ、2oo人の保護膜を
各種作成した。
硫化タングステンのターゲットを用いてArガス中でコ
元同時ス、eツタリングを行い、上記CoCr薄膜上に
上記化合物のうち少なくとも一種を含有するグラファイ
ト状カーボンを主成分とする厚さ、2oo人の保護膜を
各種作成した。
これらを直径3.5インチのディスクの形状に加工し、
市販のディスクジャケットに組み込んだ。
市販のディスクジャケットに組み込んだ。
市販のフロッピーディスクドライブによ少記録を行った
後、再生信号と摩擦係数をモニターしながら1.00
r、p、m、で回転させ、摩擦係数が急激に大きくなる
までのノtス数を測定することにより走行耐久性のテス
トを行った。
後、再生信号と摩擦係数をモニターしながら1.00
r、p、m、で回転させ、摩擦係数が急激に大きくなる
までのノtス数を測定することにより走行耐久性のテス
トを行った。
硫化モリブデンおよび硫化タングステンの含有量はオー
ジェ電子分光法を用いて測定した各々の元素と炭素との
微分スはクトルのピーク比よシ求めた。なお、膜厚方向
で保護膜の構成元素の組成に変化がないことも同様にし
て確認した。
ジェ電子分光法を用いて測定した各々の元素と炭素との
微分スはクトルのピーク比よシ求めた。なお、膜厚方向
で保護膜の構成元素の組成に変化がないことも同様にし
て確認した。
比較の為、上記化合物を含有しないグラファイト状カー
ボンを主成分とする厚さ200大の保護6一 膜を設けた媒体も作成し、これを比較例とした。
ボンを主成分とする厚さ200大の保護6一 膜を設けた媒体も作成し、これを比較例とした。
得られた結果を第1表〜第2表に示した。表から明らか
なように、硫化モリブデンおよび/または硫化タングス
テンを適量含有したカーボンを主成分とする保護膜を設
けた媒体は、これらを含有しないカーボンを主成分とす
る保護膜を設けた媒体と比較して走行耐久性に優れてい
る。ヘッドを顕微釧観察した結果、含有した金属の量が
多く走行耐久性が悪かった媒体には付着物はないものの
傷が入り、走行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もな
く、金属を含有しない媒体は傷はないものの付着物が発
生していることを確認した。
なように、硫化モリブデンおよび/または硫化タングス
テンを適量含有したカーボンを主成分とする保護膜を設
けた媒体は、これらを含有しないカーボンを主成分とす
る保護膜を設けた媒体と比較して走行耐久性に優れてい
る。ヘッドを顕微釧観察した結果、含有した金属の量が
多く走行耐久性が悪かった媒体には付着物はないものの
傷が入り、走行耐久性の優れた媒体には付着物も傷もな
く、金属を含有しない媒体は傷はないものの付着物が発
生していることを確認した。
第1表
第2表
〔発明の効果〕
本発明の磁気記録媒体は、走行時磁気ヘッドに付着物を
生ぜしめないと同時に、走行耐久性に顕著にすぐれるも
のである。
生ぜしめないと同時に、走行耐久性に顕著にすぐれるも
のである。
特許出願人 富士写真フィルム株式会社−ター
Claims (1)
- 非磁性基板上に磁性金属薄膜を設けてなる磁気記録媒体
において、該薄膜上に硫化モリブデン、および硫化タン
グステンから選ばれる少なくとも1種を10重量%以下
含有するグラフアイト状カーボンを主成分とする保護膜
が設けられていることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24687586A JPS63102018A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24687586A JPS63102018A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63102018A true JPS63102018A (ja) | 1988-05-06 |
Family
ID=17155035
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24687586A Pending JPS63102018A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63102018A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5494742A (en) * | 1993-01-14 | 1996-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium having improved running time and corrosion resistance |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP24687586A patent/JPS63102018A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5494742A (en) * | 1993-01-14 | 1996-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Magnetic recording medium having improved running time and corrosion resistance |
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