JPS63100839U - - Google Patents

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JPS63100839U
JPS63100839U JP19610086U JP19610086U JPS63100839U JP S63100839 U JPS63100839 U JP S63100839U JP 19610086 U JP19610086 U JP 19610086U JP 19610086 U JP19610086 U JP 19610086U JP S63100839 U JPS63100839 U JP S63100839U
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JP
Japan
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inspection
probe card
contact
pellet
inspection device
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Application number
JP19610086U
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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る一実施例の検査装置の側
面図、第2図は前記検査装置に装着されるプロー
ブカードの平面図、第3図は前記プローブカード
の側面図、第4図は電極研磨用針の部分拡大側面
図、第5図はウエハの平面図、第6図は本考案の
他の実施例としての検査装置のプローブカードの
平面図である。第7図は従来の検査装置における
プローブカードの平面図である。 1……検査装置、2……プローブカード、5…
…検査用探針、7……電極研磨用針、A……ウエ
ハ、B……ペレツト。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 プローブカードに設けられた複数の検査用探針
    を、ウエハ上に多数形成されたペレツトの電極に
    順次接触させていつて、前記各ペレツトの電気特
    性試験を行なう検査装置において、 検査前のペレツトの電極に接触可能に構成され
    た棒状の電極研磨用部材を、傾斜させた状態で、
    且つ、前記検査用探針の長さと同一、若しくはや
    や長い状態として前記プローブカードに設けてあ
    ることを特徴とする検査装置。
JP19610086U 1986-12-19 1986-12-19 Pending JPS63100839U (ja)

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JP19610086U JPS63100839U (ja) 1986-12-19 1986-12-19

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JPS63100839U true JPS63100839U (ja) 1988-06-30

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ID=31154606

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JP19610086U Pending JPS63100839U (ja) 1986-12-19 1986-12-19

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