JPS63100839U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63100839U JPS63100839U JP19610086U JP19610086U JPS63100839U JP S63100839 U JPS63100839 U JP S63100839U JP 19610086 U JP19610086 U JP 19610086U JP 19610086 U JP19610086 U JP 19610086U JP S63100839 U JPS63100839 U JP S63100839U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- probe card
- contact
- pellet
- inspection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案に係る一実施例の検査装置の側
面図、第2図は前記検査装置に装着されるプロー
ブカードの平面図、第3図は前記プローブカード
の側面図、第4図は電極研磨用針の部分拡大側面
図、第5図はウエハの平面図、第6図は本考案の
他の実施例としての検査装置のプローブカードの
平面図である。第7図は従来の検査装置における
プローブカードの平面図である。 1……検査装置、2……プローブカード、5…
…検査用探針、7……電極研磨用針、A……ウエ
ハ、B……ペレツト。
面図、第2図は前記検査装置に装着されるプロー
ブカードの平面図、第3図は前記プローブカード
の側面図、第4図は電極研磨用針の部分拡大側面
図、第5図はウエハの平面図、第6図は本考案の
他の実施例としての検査装置のプローブカードの
平面図である。第7図は従来の検査装置における
プローブカードの平面図である。 1……検査装置、2……プローブカード、5…
…検査用探針、7……電極研磨用針、A……ウエ
ハ、B……ペレツト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 プローブカードに設けられた複数の検査用探針
を、ウエハ上に多数形成されたペレツトの電極に
順次接触させていつて、前記各ペレツトの電気特
性試験を行なう検査装置において、 検査前のペレツトの電極に接触可能に構成され
た棒状の電極研磨用部材を、傾斜させた状態で、
且つ、前記検査用探針の長さと同一、若しくはや
や長い状態として前記プローブカードに設けてあ
ることを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19610086U JPS63100839U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19610086U JPS63100839U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63100839U true JPS63100839U (ja) | 1988-06-30 |
Family
ID=31154606
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19610086U Pending JPS63100839U (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63100839U (ja) |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP19610086U patent/JPS63100839U/ja active Pending
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