JPS62138443U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62138443U JPS62138443U JP2693186U JP2693186U JPS62138443U JP S62138443 U JPS62138443 U JP S62138443U JP 2693186 U JP2693186 U JP 2693186U JP 2693186 U JP2693186 U JP 2693186U JP S62138443 U JPS62138443 U JP S62138443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- semiconductor
- conductive probe
- pellets
- characteristic inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 10
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案に係るウエーハの特性検査装置
の正面図、第２図は同装置の平面図、第３図は従
来の特性検査装置の平面図、第４図は第３図の装
置の正面図、第５図は特性検査装置の構成図、第
６図は電流の流れを示すステージの平面図である
。 １…半導体ウエーハ、２…半導体ペレツト、６
…導電性測子（ニードル）、２７…電極ブロツク
、３１…特性検査装置。
の正面図、第２図は同装置の平面図、第３図は従
来の特性検査装置の平面図、第４図は第３図の装
置の正面図、第５図は特性検査装置の構成図、第
６図は電流の流れを示すステージの平面図である
。 １…半導体ウエーハ、２…半導体ペレツト、６
…導電性測子（ニードル）、２７…電極ブロツク
、３１…特性検査装置。
Claims (1)
- 多数の半導体ペレツトが形成された半導体ウエ
ーハを位置決め保持するホルダーと、上記半導体
ウエーハの一面側に半導体ウエーハと相対的に移
動可能に配置され、任意の半導体ペレツトの所定
箇所に弾性的に接触する複数の導電性測子と、半
導体ウエーハの他面側で前記導電性測子に追従可
能に対向配置され、上記半導体ペレツトに弾性的
に接触する複数の微小な電極ブロツクとを含むこ
とを特徴とする半導体ウエーハの特性検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2693186U JPS62138443U (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2693186U JPS62138443U (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62138443U true JPS62138443U (ja) | 1987-09-01 |
Family
ID=30828488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2693186U Pending JPS62138443U (ja) | 1986-02-25 | 1986-02-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62138443U (ja) |
-
1986
- 1986-02-25 JP JP2693186U patent/JPS62138443U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS62138443U (ja) | ||
| GB1492707A (en) | Pressure contact type semiconductor devices | |
| JPH0197551U (ja) | ||
| JPS6384946U (ja) | ||
| JPS63100839U (ja) | ||
| JPS6225877U (ja) | ||
| JPS6444037A (en) | Pickup device | |
| JPS5883153U (ja) | ウエ−ハ検査装置 | |
| JPH0392042U (ja) | ||
| JPS6240574U (ja) | ||
| JPS646044U (ja) | ||
| JPS5947865U (ja) | 超音波探傷装置 | |
| JPH0727951B2 (ja) | ウエハ載置台 | |
| JPS62134244U (ja) | ||
| JPH0233437U (ja) | ||
| JPS5853142U (ja) | 半導体ウエ−ハの給電構造 | |
| JPS6095550U (ja) | 導電率測定装置 | |
| JPS62140445U (ja) | ||
| JPS61132775U (ja) | ||
| JPS61164039U (ja) | ||
| JPS632173U (ja) | ||
| JPS58125880U (ja) | 半導体装置測定治具 | |
| JPS63132434U (ja) | ||
| JPS6059533U (ja) | 半導体の電気特性測定用素子 | |
| JPS63164252U (ja) |