JPS6347278U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6347278U JPS6347278U JP13908186U JP13908186U JPS6347278U JP S6347278 U JPS6347278 U JP S6347278U JP 13908186 U JP13908186 U JP 13908186U JP 13908186 U JP13908186 U JP 13908186U JP S6347278 U JPS6347278 U JP S6347278U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- electrode terminal
- inspection device
- opposite
- inspected
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
第1図は、本考案に係る検査装置の側面図、第
2図は、第1図のA―A線に沿う断面図である。 1…被検査物、3…電極端子、9…測定子、1
0…研磨材。
2図は、第1図のA―A線に沿う断面図である。 1…被検査物、3…電極端子、9…測定子、1
0…研磨材。
Claims (1)
- 所定位置に固定された被検査物を、その電極端
子に、測定子を弾性的に当接させて検査するよう
にした検査装置において、測定子に対向し、電極
端子の測定子とは反対側の位置に、研磨材を配設
たことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13908186U JPS6347278U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13908186U JPS6347278U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6347278U true JPS6347278U (ja) | 1988-03-30 |
Family
ID=31044648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13908186U Pending JPS6347278U (ja) | 1986-09-10 | 1986-09-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6347278U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS614969A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Canon Inc | プロ−ブ装置 |
-
1986
- 1986-09-10 JP JP13908186U patent/JPS6347278U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS614969A (ja) * | 1984-06-19 | 1986-01-10 | Canon Inc | プロ−ブ装置 |