JPS6292457A

JPS6292457A - 厚膜抵抗回路の形成方法

Info

Publication number: JPS6292457A
Application number: JP60232543A
Authority: JP
Inventors: Yoshitake Kato; 加藤　良毅
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 1985-10-18
Filing date: 1985-10-18
Publication date: 1987-04-27
Also published as: JPH0533539B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、厚膜抵抗回路の形成方法に係り、特に、抵抗
値のトリミング方法に関する。

〔従来技術おＪ：びその問題点〕

プリンタあるいはファクシミリ装置等の記録部において
用いられる感熱記録ヘッド（サーマルヘッド）において
は、６疫な記録精度への要求が高まるにつれて、各発熱
抵抗体の抵抗値の均一化が重大な問題となってきている
。

殊に、厚膜ペーストをスクリーン印刷することにＪ：っ
て作製したパターンを焼成覆ることによって、抵抗体層
をはじめとした周辺回路を形成してなる厚膜型のサーマ
ルヘッドは、製造が容易でコストも低く機械的強度が高
いことから、サーマルヘッドの主流となってはいるが、
反面、薄膜型のものに比べてパターン精度が悪く、抵抗
値にバラツキが生じ易く、最終的に抵抗値を１１０％以
内に抑えることは実用的には困難であった。

ところで、この最終的ｔｉ低抵抗ｆｆｉは、使用する抵
抗ペーストのシー　ｌ〜抵抗値、Ｉ（抗体パターンのパ
ターン寸法、焼成潤度によって決定される。

しかし、ロツ］・のバラツ１あるいは粘度変化等による
抵抗ペーストの成分差をはじめ、使用するスクリーンの
スクリーン張力あるいはスキージの摩耗度合等の印刷条
ｆｌ　、焼成プロファイルの再現性等の焼成条件等、変
動要因が多く、１１０％以内の精度で各発熱抵抗素子の
抵抗値をそろえることは極めて困難であるとされてきた
。

このため、各発熱抵抗素子の抵抗値をそろえるべく、回
転ヤスリ、サンドブラスト、レーザ等を用いて抵抗体パ
ターンを１部分削り取ることにより抵抗値の調整（トリ
ミング）を行なう方法が提案されており、測定器と結合
した自動トリミング装置も開発されてはいるが、微調整
は困難である上特別のｖｉ置を準備しなければならない
等の不都合があった。

このことは、リーマルヘッドのみならず、厚膜抵抗体を
用いる全デバイスにおいても同様であった。

そこで、本発明者は、所望の抵抗体パターンを印刷焼成
した後、所望の抵抗値をとるように、この抵抗体パター
ンに対し、焼成後の初期抵抗値に応じて所定の電界を供
給する１ヘリミング方法を見い出した。

一般に、厚膜抵抗体は電気パルスの印加によってその抵
抗値が変化することが知られている。例えば抵抗値の変
化率と印加電圧との関係曲線は、第５図に示す如く極大
点Ａを有するような曲線となっている。

本発明者らは種々の実験を行なった結果、−（１）パル
ス幅が狭く、電圧の高い電気パルスを印加することによ
り抵抗値の変化量を大きくすることができる。

（２）抵抗値の変化率の極小点Ａを越える電圧の電気パ
ルスを加えた抵抗体は長期の使用に対して抵抗値の変動
があるのに対し、極小点Ａ以下の電気パルスを加えた抵
抗体は長期の使用に対して抵抗値の変動が小さく安定で
ある。

−という事実を確認した。そこでこの方法はこれらの事
実に看目し、極小点Ａ以下となる範囲内で印加する電気
パルスの大きさを決定し、これをパターン形成後に加え
ることによって容易に所望の抵抗値をもつ信頼性の高い
厚膜抵抗体を形成しＪ：うとするものである。

しかしながら、比較的大きな電力を使用する厚膜抵抗回
路においては、抵抗体の素子サイズを大きくしな【」れ
ばならないため、トリミングに際してこの抵抗体に電界
をか１プるにはかなり＾電圧が必要となり、近傍の回路
の損傷を防ぐための手段を講じなければならないという
欠点があった。

本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、厚膜抵抗回
路における抵抗体に電１ｉ９（電気パルス）を印加して
抵抗値のトリミングを行なうに際し、周辺回路に損傷を
句えないようにするため、できるだけ小さな電圧で所望
の抵抗値をとるようにトリミングする方法を提供するこ
とを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

そこで本発明では、厚膜抵抗回路における厚膜抵抗体の
１対のリード電極間に、少なくとも１つのトリミング用
の電極を設けておき、トリミングに際しては、このトリ
ミング用の電極と両リード電極とに電界を加えるように
している。

〔作用〕

すなわち、本発明の方法では、例えば第１図および第２
図に示す如く、絶縁基板１上に形成された１対のリード
電極２，２′の間にトリミング用の電極３を形成し、こ
れらの電極２．２’　、３に電気パルスを印加すること
によって厚膜抵抗体４の抵抗値をトリミングするように
している。

このようにトリミング用の電極３を設けることにより、
従来の如くリード電極間に加えていた電圧の約１／２の
電圧で、同様のトリミング効果を得ることができる。従
って、周辺回路に与える影響も極めて小さくすることが
可能となる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ詳細に
説明１Ｊる。

（実施例１）第３図（Ｆｌ）凸型〈（１）は、本発明のＩＩノ股低抵
抗回路形成１稈の１例を承り図である。

まず、第３図（ａ　）に示−り如く、９６％のアルミナ
基板１１１に、スクリーン印刷おＪ、び焼成（’１４　
ｆｆ１９００℃）にＪ、す、金の厚膜層を形成した後、
フＡトリソＴツヂング法により１り・１のリード電極１
２．１２’　とこれらの間に等間隔で３つの］〜リミン
グ用の電極１３ａ、１３ｂ。

１３ｃをパターニングする。

続いて、第３図（ｂ）に示す如く、酸化ルテニウムとガ
ラスを主成分とする抵抗体ペース１〜を用いてスクリー
ン印刷および焼成（８７０℃）し、抵抗体層１４を形成
する。

この後、第３図（Ｃ）（平面図）に示す如く、前記リー
ド電極１２．１２’　、３つの１−リミングの電極１３
ａ、１３ｂ、１３ｃに対し、大１（電気パルス発生回路
１５に接続されたプ１−１−ブ（図示せず）をセラ］〜
し、所望の電圧の電気パー　７　＝ルスを印加することにより抵抗値を所望の値にトリミン
グする。

そしてプローブをはずし、第３図（ｄ）に示′？ｌ如く
１〜リミング用の電極はオーブン状態で使用する。

このとぎ、印加する電気パルスの電圧は、抵抗体層１４
０両端に印加していた従来の場合に比べて約１／４で同
等の効果が奏効される。従って周辺回路への影響も少な
く、極めて容易に精度良い１−リミングを行なうことが
でき、信頼性の高い厚膜抵抗回路を得ることができる。

（実施例２）第４図は、６ドツト／姻の厚膜型サーマルヘッドの１例
を示す図（概略図）である。

す４Ｔわちこの厚膜型サーマルヘッドはガラス基板２１
上に幅Ｗ１＝２５／１ｍの金の厚膜から（するリード電
極Ａ１．　Ａ、２　・Ａｏｈ（ｄ　＝　１６７ＩＩ　ｍ
の間隔で形成されると共に各リード電極間の真中にトリ
ミング用の電極Ｂ１・・・Ｂｎ−１が配設されており、
更にこの上層に幅ｗ２＝２００μｍの線状の厚膜抵抗体
［くが形成されｃｆ、ｔす、画情報に応じて各リード電
極間に電流が供給され、該厚膜抵抗体Ｒの所定の素子領
域が選択的に発熱せしめられるようにしたものである。

次にこの厚膜型１Ｊ−マルヘッドの作製方法について説
明する。

まず、（実施例１）の場合と同様にガラス基板２１」−
にスクリーン印刷、焼成（９００℃）ににって金厚膜層
を形成した後、フォトリソＴツヂング法により、リード
電極おにび１−リミング用電極のバターニングを行く【
う。

この後、酸化ルテニウムおにびガラスをｔ　ＪＡ分とす
る抵抗ペース］・を用いてスクリーン印刷おＪ：び焼成
（８７０℃）を行ない線状の厚膜抵抗体Ｒを形成する。

そして、各リード電極間にある厚膜抵抗体［＜の抵抗値
を順次測定し、この抵抗値とあらかじめ決定されている
段組抵抗値との比から印加電圧の値■１〜ｖｎ−１を筒
用する。

このようにして筒用された印加電圧を夫々、順次各素子
領域毎に１対のリード電極Ａ、Ａｌｌ１＋１およびこれ
らのり−ド電極の間に位置するトリミング用電極［３１
Ｉｌとを用いて印加する。このとき、１−リミング用電
極を使用できることから、電圧は、トリミング用電極を
使用しない場合の約１／２で、Ｌ　＜、周辺回路に損傷
を与えることなく高精度でバラツキがなく信頼性の良好
な厚膜型サーマルヘッドを得ることができる。

なお、実施例においては、リード電極、トリミング用電
極共に金厚膜を使用し、また抵抗体層としては酸化ルテ
ニウムとガラスとを主成分とするものを用いたが、必ず
しもこれらに限定されるものではない。

また、トリミング用電極の数についても必要に応じて適
宜決定すればよい。

〔効果〕

以上説明してきたように、本発明によれば、厚膜抵抗回
路における厚膜抵抗体のリード電極間に少なくとも１つ
のトリミング用の電極を設けておき、このトリミング用
の電極と１対のリード電極とを用いて、初期抵抗値に応
じて前記厚膜抵抗体に電圧を印加し、抵抗値をトリミン
グするようにしているため、ｉ−リミング川の電極を用
い４Ｃい場合に比べて小さな電圧で所望のトリミングを
ｆｊなうことができ、周辺回路に損傷を与えることなく
容易に信頼性の高い厚膜抵抗回路を得ることが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明の厚膜抵抗回路の概要図
（第２図は第１図のＢ−ｎ’断面図）、第３図（ａ）乃
至（ｄ）は、本発明の実施例（実施例１）の厚膜抵抗回
路の形成■秤量、第４図は、本発明の他の実施例（実施
例２）によって形成した厚膜型サーマルヘッドを示す図
、第５図は、厚膜抵抗体に電圧を印加したときの抵抗値
の変化率と印加電圧との関係を示す図である。１・・・絶縁基板、２．２′・・・リード電極、３・・
・トリミング用の電極、４・・・厚膜抵抗体、１１・・
・アルミナ基板、１２．１２’　・・・リード電極、１
３ａ、１３ｂ、１３ｃ・・・トリミング用の電極、１４
・・・抵抗体層、２１・・・ガラス基板、Ａ、Ａ２・・
・Ａｏ・・・リード電極、Ｂ　、・・・Ｂｎ−１・・・
トリミング用の電極、Ｒ・・・厚膜抵抗体。第２図第３図（Ｑ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）厚膜抵抗体とこれに給電するためのリード電極と
を具えた厚膜抵抗回路の形成方法において、リード電極
間に少なくとも１つのトリミング用の電極を配設し、厚膜抵抗体の焼成後に、前記リード電極および前記トリ
ミング用の電極を介して、初期抵抗値に基づいて決定し
た大きさの電界を該厚膜抵抗体に加え、抵抗値をトリミ
ングする工程を含むようにしたことを特徴とする厚膜抵
抗回路の形成方法。
（２）前記厚膜抵抗体は、所定の間隔で配列された多数
個のリード電極上に、これらと交差するように配設され
た１本の線状の抵抗体パターンからなる厚膜型サーマル
ヘッドの発熱部であることを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載の厚膜抵抗回路の形成方法。