JPS6292113A - 磁気記録薄膜媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、磁気記録装置に用いられる磁気記録薄膜媒体
に関するものである。

（従来の技術） 磁気記録装置の高密度、大容量化は着実に々されている
。ここで用いられている磁気記録媒体は、従来酸化鉄微
粒子を樹脂に分散させ塗布したいわゆるコーティング媒
体が用いられているが、近年スパッタ法や蒸着法により
Ｃｏに他の添加元素を混入させ九合金薄膜媒体が提案さ
れ、中でもＣｏＣｒ合金は垂直記録用媒体として精力的
に研究、開発なされている。

（発明が解決しようとする問題点） ＣｏＣｒ媒体は、高密度記録用の垂直磁気媒体として優
れた特性を有している。この特性の中で垂直異方性磁界
ＨＫ及び垂直保磁力Ｈｃ、は記録再生特性に影響する重
要なパラメータである。

ＣｏＣｒ媒体の保磁力の制御は一般に基板温度で行って
おり基板温度が高い領域で保磁力が大きく彦る。したが
ってスパツクもしくは蒸着等による成膜時において熱に
よって基板温度の上昇が避けられない場合には保磁力全
自由にコントロールが出来なく記録再生特性の劣化をも
たらすことがあり九〇 本発明の目的はこの問題点を解決した磁気記録薄膜媒体
を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） この発明の要旨とするところは、基板上にＣｒが４〜２
６ａｔ％、Ｗが７ａｔ％以下、残部がＣＯと不可避の不
純物とからなる合金を形成することにある。

（作用） 本方法によれば、ＣｏＣｒ合金に新たにＷを加えること
により高垂直異方性膜が容易に得られかつ保磁力をＷ添
加量に応じて減少させることが出来、保磁力のコントロ
ールが可能となる。

（実施例） 薄膜媒体の成膜には、’ｔｆｔスパッタ装置を用いた。

ターゲットには、比較例としてＣｏ工Ｃｒ１３の合金を
用い、これにＷを含有させて保磁力全コントロールした
。基板には、ポリイミドフィルムを用い冷却は行なわな
い状態でスパッタし友。スパッタ圧力は１　ｘｌ　Ｑ−
ｓ　ｔｏｒｒで、スパッタパワーは２ＫＷであっ九第１
図にＷの含有量に対する膜の垂直の保磁力Ｈｃ工とＭＨ
ループから求めた垂直磁気異方性磁界ＨＫ金示し友。膜
厚Ｆｉ０．４μ馬であっ友。

図かられかるように垂直磁気異方性を損なうこと彦く保
磁力をＷ含有ｔｉ変えることによりコントロール出来次
。

なおＷが７ａｔ％を越えると垂直の保磁カー、が小さく
なりすぎ実用的で々くなる。、またＣｒが４〜２６ａｔ
％の範囲全縮えるとやはり磁気記録媒体として実用的で
々く々る。

（発明の効果） 本磁気記録媒は、記録再生特性に大きな影響を及ぼす保
磁力を任意にコントロールできる優れた特性を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図けＣｏＣｒ　Ｗ合金におけるＷの含有量に対する
膜の保磁力と垂直異方性磁界の関係を示す図である。 代理人弁理士　内厚　　　晋　　　　。 、−ノ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クロムを４〜２６ａｔ％、タングステンを７ａｔ％以下
   含有し、残りがコバルトと不可避不純物からなる組成を
   有することを特徴とする磁気記録薄膜媒体。