JPS6288132A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6288132A JPS6288132A JP22831085A JP22831085A JPS6288132A JP S6288132 A JPS6288132 A JP S6288132A JP 22831085 A JP22831085 A JP 22831085A JP 22831085 A JP22831085 A JP 22831085A JP S6288132 A JPS6288132 A JP S6288132A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film
- recording medium
- carbon
- magnetic recording
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コンピュータの外部記録装置とじて広く利用
されている磁気記録装置に用いられている磁気記録媒体
に関し、詳しくは該記録媒体の中で金属磁性薄膜上の保
護膜に関するものである。
されている磁気記録装置に用いられている磁気記録媒体
に関し、詳しくは該記録媒体の中で金属磁性薄膜上の保
護膜に関するものである。
本発明は金属磁性薄膜を記録ｌｌ１ｉとする磁気記録媒
体において、この金属磁性薄膜上に、酸化物、窒化物、
炭化物からなる少なくとも１種の物質より形成される薄
膜が保護層として被覆され、更に該薄膜の表面にカーボ
ンを５０〜３００オングストローム形成させたことによ
り、コンタクトスタートアンドストップにおける信頼性
を向上させ、特にはコンタクトスタートアンドストップ
の耐久テスト後においても摩擦係数が増加しなくなり磁
気記録媒体の機械的信頼性を高めると同時に、耐食性能
も必要十分なものを提供するものである。
体において、この金属磁性薄膜上に、酸化物、窒化物、
炭化物からなる少なくとも１種の物質より形成される薄
膜が保護層として被覆され、更に該薄膜の表面にカーボ
ンを５０〜３００オングストローム形成させたことによ
り、コンタクトスタートアンドストップにおける信頼性
を向上させ、特にはコンタクトスタートアンドストップ
の耐久テスト後においても摩擦係数が増加しなくなり磁
気記録媒体の機械的信頼性を高めると同時に、耐食性能
も必要十分なものを提供するものである。
金属磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒体においては、
ヘッドとの接触に耐えられるだけの十分な機械的信頼性
と金属磁性薄膜を腐食から守る防食性１［する保護膜を
形成する必要がある。
ヘッドとの接触に耐えられるだけの十分な機械的信頼性
と金属磁性薄膜を腐食から守る防食性１［する保護膜を
形成する必要がある。
従来、Ｒｈ、Ｃｒ、Ｎ１−Ｐ、Ａｕ等の金属層を保護膜
として形成する事が、特公昭４７−６９６０５、同ａ８
．−１４２４１．同１）８−１）１８８１．同５５−６
２５７．特開昭５５−７５１０８．同５Ｂ−２６５２０
等で提案されているが、記録７ｍの耐食性を確保するに
は金属層の厚みを１０００λ以上にしなくてはならず、
さらにその機械的信頼性は極めて低いものである。
として形成する事が、特公昭４７−６９６０５、同ａ８
．−１４２４１．同１）８−１）１８８１．同５５−６
２５７．特開昭５５−７５１０８．同５Ｂ−２６５２０
等で提案されているが、記録７ｍの耐食性を確保するに
は金属層の厚みを１０００λ以上にしなくてはならず、
さらにその機械的信頼性は極めて低いものである。
各種酸化物、各種窒化物、各種炭化物等による保護層の
形成が、特公昭４９−２９４４５．向５２−１７４０２
．同５８−５７６＋６．特開昭５７−１）７１２６．特
公昭４９−２６５６５゜同５０−５０４４５．同５＋−
＋５９６７．１司５５２−１８０Ｃ，同５４−２９２４
２．同５４−５４６０２．同５５−２９３００．同５７
−４０５６５、同５７−５８７５１．同５Ｂ−５７６＋
ａ。
形成が、特公昭４９−２９４４５．向５２−１７４０２
．同５８−５７６＋６．特開昭５７−１）７１２６．特
公昭４９−２６５６５゜同５０−５０４４５．同５＋−
＋５９６７．１司５５２−１８０Ｃ，同５４−２９２４
２．同５４−５４６０２．同５５−２９３００．同５７
−４０５６５、同５７−５８７５１．同５Ｂ−５７６＋
ａ。
同５８−５７６１５．特開昭５１−ｉ１７４０１ 。
同５ｌ−１４８４０Ｓ、同５５−１０８９５０゜同５７
−１４７１５５．同５７−１８９５５９゜１司５Ｂ−１
５５６５４，同５８−１０８０５０゜特公昭５５−５９
Ｑ４７．特開昭５５−７５９５１゜同５８−１７９９５
８．同５８−１７９９５９゜同５Ｂ−１７９９４０等で
提案されているが、潤滑性におとり、信頼性を十分満足
するものではなかった。
−１４７１５５．同５７−１８９５５９゜１司５Ｂ−１
５５６５４，同５８−１０８０５０゜特公昭５５−５９
Ｑ４７．特開昭５５−７５９５１゜同５８−１７９９５
８．同５８−１７９９５９゜同５Ｂ−１７９９４０等で
提案されているが、潤滑性におとり、信頼性を十分満足
するものではなかった。
カーボン１ｉ１用いた保護層の形成が、特公昭５４−！
５５５２１．特開昭５５−１４５２０／＋。
５５５２１．特開昭５５−１４５２０／＋。
同５６−４１５２４等で提案されているが、これらは他
の保護膜と比較して安定した潤滑性を有し、機械的信頼
性はかなり高いものであった。しかしカーボン膜はピン
ホールが多く、膜自身の水や酸素の透過率が高いため耐
食性はほとんど向上しない。ざらにカーボン保護膜はヘ
ッドがコンタクトスタートアンドストップ全＜シ返すう
ちに、膜の表面あらざが小さくな夛ヘッドとの静摩擦係
数が増大する傾向があり、スピンドルモーターの負荷が
増大した夛、ヘッドジンバルの損傷などの危険があった
。
の保護膜と比較して安定した潤滑性を有し、機械的信頼
性はかなり高いものであった。しかしカーボン膜はピン
ホールが多く、膜自身の水や酸素の透過率が高いため耐
食性はほとんど向上しない。ざらにカーボン保護膜はヘ
ッドがコンタクトスタートアンドストップ全＜シ返すう
ちに、膜の表面あらざが小さくな夛ヘッドとの静摩擦係
数が増大する傾向があり、スピンドルモーターの負荷が
増大した夛、ヘッドジンバルの損傷などの危険があった
。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕以上述べた
ように従来技術では耐食性と機械的信頼性ｆ、同時に満
足することは出来なかった。、特だコンタクトスタート
アンドストップの耐久テスト後においても摩擦係数が増
大しないものはほとんどなく、十分な機械的信頼性を持
つものはなかった。
ように従来技術では耐食性と機械的信頼性ｆ、同時に満
足することは出来なかった。、特だコンタクトスタート
アンドストップの耐久テスト後においても摩擦係数が増
大しないものはほとんどなく、十分な機械的信頼性を持
つものはなかった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、その目的
とするところは、耐食性と機械的信頼性を同時に満たす
保護膜を提供することにある。
とするところは、耐食性と機械的信頼性を同時に満たす
保護膜を提供することにある。
本発明の磁気記録媒体は、基体上に金属磁性薄膜を記録
層として形成した後に、該金属磁性薄膜上に酸化物、窒
化物、炭化物からなる少なくとも１種の物質より形成さ
れる薄膜を保護層として被覆され、更に該薄膜の表面に
カーボンを５０〜３００オングストロームの厚みで形成
されたものである。
層として形成した後に、該金属磁性薄膜上に酸化物、窒
化物、炭化物からなる少なくとも１種の物質より形成さ
れる薄膜を保護層として被覆され、更に該薄膜の表面に
カーボンを５０〜３００オングストロームの厚みで形成
されたものである。
Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂは金属磁性薄１良と酸化物、窒
化物、炭化物間の密着性上よυ高めるためのものであシ
、その膜厚は５０〜２００オングストロームで十分であ
る。
化物、炭化物間の密着性上よυ高めるためのものであシ
、その膜厚は５０〜２００オングストロームで十分であ
る。
酸化物としては４．Ｅｌｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｏｒ。
ｚ ｒ 伊Ｎ ｂ 、 Ｍ Ｏ＊ Ｓ ｎ −Ｔ ａ＊
等の各酸化物あるいはこれらの混合物が適当であり、窒
化物としては、Ｓｉ ＊ Ｔ ｉ ＊ Ｔ ａ等の各窒
化物あるいはこれらの混合物が適当であり、炭化物とし
ては、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｔａ等の各炭化物あるいはこれちの
混合物が適当である。
等の各酸化物あるいはこれらの混合物が適当であり、窒
化物としては、Ｓｉ ＊ Ｔ ｉ ＊ Ｔ ａ等の各窒
化物あるいはこれらの混合物が適当であり、炭化物とし
ては、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｔａ等の各炭化物あるいはこれちの
混合物が適当である。
膜厚として１５０オングストロームから８００オングス
トロームが適当である。１５０オングストロームより薄
いと膜にピンホールが多いために耐食性が良くならない
。８００オングストロームよシも厚くなると、ヘッドと
金属磁性薄膜との距ＩＩＩが大きくなりすぎスペースロ
スが大きくなシすぎるＯ カーボンの膜質はダイ了モンド状、グラフ了イト状、ア
モルファス状もしくはこれらの混合物いずれでも良いが
、その膜厚は５０〜３００オングストロームとする。
トロームが適当である。１５０オングストロームより薄
いと膜にピンホールが多いために耐食性が良くならない
。８００オングストロームよシも厚くなると、ヘッドと
金属磁性薄膜との距ＩＩＩが大きくなりすぎスペースロ
スが大きくなシすぎるＯ カーボンの膜質はダイ了モンド状、グラフ了イト状、ア
モルファス状もしくはこれらの混合物いずれでも良いが
、その膜厚は５０〜３００オングストロームとする。
以上の膜の形成法としては真空魚屑法、スパンタリング
法、イオンブレーティング法、ＯＶＤ法等いずれの方法
でも良いが、金属磁性薄膜の特性を悪化はせたり、基板
の特性を悪化させるようなものは避けなければならない
。
法、イオンブレーティング法、ＯＶＤ法等いずれの方法
でも良いが、金属磁性薄膜の特性を悪化はせたり、基板
の特性を悪化させるようなものは避けなければならない
。
本発明の構成によれば、金属磁性薄膜上に防食効果の優
れ、かつ摩擦係数の低い酸化物、窒化物、炭化物から選
ばれる少なくとも１種の物質からなる薄膜が形成される
ため、磁気記録媒体の耐食性は十分に確保出来る。
れ、かつ摩擦係数の低い酸化物、窒化物、炭化物から選
ばれる少なくとも１種の物質からなる薄膜が形成される
ため、磁気記録媒体の耐食性は十分に確保出来る。
さらに本発明の構成によれば該薄膜の上にカーボンを５
０〜３００オングストローム形成し、コンタクトスター
トアンドストップ時の耐久性に対しての信頼性を向上さ
せている。通常金属磁性薄膜上に直接カーボンを形成し
た際の機械的信頼性はカーボン膜が３００オンゲスＪ、
ａ−ム以上ないと十分とは言えない。本発明の構成では
カーボン膜の下地の膜が、酸化物、窒化物、炭化物であ
、す、その摩擦係数が小さいためにカーボン膜が薄くと
も機械的信頼性を十分に確保することが出来る。
０〜３００オングストローム形成し、コンタクトスター
トアンドストップ時の耐久性に対しての信頼性を向上さ
せている。通常金属磁性薄膜上に直接カーボンを形成し
た際の機械的信頼性はカーボン膜が３００オンゲスＪ、
ａ−ム以上ないと十分とは言えない。本発明の構成では
カーボン膜の下地の膜が、酸化物、窒化物、炭化物であ
、す、その摩擦係数が小さいためにカーボン膜が薄くと
も機械的信頼性を十分に確保することが出来る。
又カーボン膜のみの保護膜の場合コンタクトスタートア
ンドストップをくり返しているうチニ、突起がとれ、カ
ーボン膜の表面あらさが小さくなりヘッドとの摩擦係数
が増大してくる。本発明の構成によればカーボン膜が薄
いためヘッドとの接触によ勺一部カーボン膜の下地が現
出し、ヘッドとの摩擦係数は増大しない。
ンドストップをくり返しているうチニ、突起がとれ、カ
ーボン膜の表面あらさが小さくなりヘッドとの摩擦係数
が増大してくる。本発明の構成によればカーボン膜が薄
いためヘッドとの接触によ勺一部カーボン膜の下地が現
出し、ヘッドとの摩擦係数は増大しない。
〔実施例１〕
鏡面仕上げされたディスク状アルミニウム合金基板上に
非磁性の下地層としてＮ１−Ｐメツかを２０μ溝の厚さ
にメッキ後、研摩により下地層を＋５μ慣、表面粗さく
Ｌｏｓμ溝以下にしたものに金属磁性薄膜としてＧｏ−
Ｎｉ−Ｐ合金を約ＩＱ７μ惰メツをした。
非磁性の下地層としてＮ１−Ｐメツかを２０μ溝の厚さ
にメッキ後、研摩により下地層を＋５μ慣、表面粗さく
Ｌｏｓμ溝以下にしたものに金属磁性薄膜としてＧｏ−
Ｎｉ−Ｐ合金を約ＩＱ７μ惰メツをした。
次にマグネトロンスパッタ装置でＯｒを１ｏ。
１．８１０．と、ｆｙ−ボｙｆそレソれ＋ｏｏｉ。
５ｏｏＸ、５ｏｏＸと膜厚を変化させて形成した。
〔実施例２〕
実施例１と同様にして金属磁性薄膜を有するディスクを
作成した。
作成した。
次にマグネトロンスパッタ装置を用いて、保護層を形成
したが、実施例１のＳｉｎ、に換えてＴａ、Ｏ。
したが、実施例１のＳｉｎ、に換えてＴａ、Ｏ。
Ｓｉ３Ｎ４ 、 Ｔａ＊Ｎを用いその厚みは３００Ｘと
した。
した。
なおり−ボンの厚みも５ｏｏＸとした。
〔実施例５〕
アルミ基板にＮ１−ＰＪ−を形成し、これを研摩したも
のをサブストレートとして用い、マグネトロンスパッタ
装置でＯｒをａｏｏＸ、次いでＣ０−Ｎｉ−Ｏｒ合金を
（１０９μｍ形成し、磁性層とした。続いて日１０．を
３００に、カーボンＩ？ａを３００Ｘ形成した。
のをサブストレートとして用い、マグネトロンスパッタ
装置でＯｒをａｏｏＸ、次いでＣ０−Ｎｉ−Ｏｒ合金を
（１０９μｍ形成し、磁性層とした。続いて日１０．を
３００に、カーボンＩ？ａを３００Ｘ形成した。
品質評価方法としては、ａＳＳ耐久テストと、耐湿性の
テストを行なった１、ＣｐＢ耐久テストにおいては２万
回までの評価を行ないキズの発宅と共にキズの発生のな
いものは静摩擦係数の値も調べた。耐湿性のテストは８
０℃、８０％相対湿度の環境だ９０日間ディスクを放置
し、期間の経過をおってミッシングピット数を確認し、
その増加した時点を寿命とした。
テストを行なった１、ＣｐＢ耐久テストにおいては２万
回までの評価を行ないキズの発宅と共にキズの発生のな
いものは静摩擦係数の値も調べた。耐湿性のテストは８
０℃、８０％相対湿度の環境だ９０日間ディスクを放置
し、期間の経過をおってミッシングピット数を確認し、
その増加した時点を寿命とした。
表１に実施例１の結果をまとめて示す。
実施例言の結果からＳ：ＬＯ，の膜厚を３００Ｘ以上に
すると耐湿性のテストにおいて９０日間で変化がなかっ
た。０８日テストにおいていずれの場合もキズの発生は
なく、静摩擦係数はカーボンの厚みが３００オングスト
ローム以下の場合に（Ｌ７以下となった。
すると耐湿性のテストにおいて９０日間で変化がなかっ
た。０８日テストにおいていずれの場合もキズの発生は
なく、静摩擦係数はカーボンの厚みが３００オングスト
ローム以下の場合に（Ｌ７以下となった。
実施例２においては、実施例１の３００オングストロ一
ム以上の８１０．と同様な耐湿性を示し、０８日テスト
の結果も同様であった。
ム以上の８１０．と同様な耐湿性を示し、０８日テスト
の結果も同様であった。
実施例Ｓにおいても実施例２と同様な耐湿性と機械的信
頼性を示した。
頼性を示した。
以上述べた様に本発明により金属薄膜を記録層とする磁
気記録媒体において、ヘッドとの接触に耐えられるだけ
の十分な機械的信頼性と、金属薄膜を腐食から守る耐食
性を有する保護膜を得ることが出来た。
気記録媒体において、ヘッドとの接触に耐えられるだけ
の十分な機械的信頼性と、金属薄膜を腐食から守る耐食
性を有する保護膜を得ることが出来た。
Claims (2)
- （１）金属磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒体におい
て、この金属磁性薄膜上に、酸化物、窒化物、炭化物か
らなる少なくとも１種の物質より形成される薄膜が保護
層として被覆され、更に該薄膜の表面にカーボンを５０
〜３００オングストローム形成されたことを特徴とする
磁気記録媒体。 - （２）金属磁性薄膜と、酸化物、窒化物、炭化物からな
る少なくとも１種の物質より形成される薄膜との間にＣ
ｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｎｂから選ばれる少なくとも１種の物
質よりなる被膜が形成された特許請求の範囲第１項記載
の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22831085A JPS6288132A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22831085A JPS6288132A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288132A true JPS6288132A (ja) | 1987-04-22 |
Family
ID=16874436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22831085A Pending JPS6288132A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288132A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62117136A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03228218A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-09 | Nec Ibaraki Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH04106722A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-08 | Nec Corp | 磁気ディスク |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP22831085A patent/JPS6288132A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62117136A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03228218A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-09 | Nec Ibaraki Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH04106722A (ja) * | 1990-08-28 | 1992-04-08 | Nec Corp | 磁気ディスク |
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