JPS62112211A

JPS62112211A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPS62112211A
Application number: JP25086685A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Morita; 廣森田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-11-11
Filing date: 1985-11-11
Publication date: 1987-05-23

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の技術分野］この発明は、磁気ディスク装置用磁気記録媒体に関する
ものであり、特に強磁性金属層を磁気記録層とする磁気
記録媒体の改良に関する。

［発明の技術的背景］近年、塗布型の磁気記録媒体とは異なり、＠４法、スパ
ッタリング法や湿式メッキ法などにより、非磁性基体上
に直接強磁性層を形成した磁気記録媒体が開発されてい
る。この磁気記録媒体は、塗布型のものに比べて、極め
て高い記録密度が達成される。中でも注目を集めている
のが、垂直磁化記録方式である。この方式においては、
媒体の膜面に垂直な方向が磁化容易軸である垂直磁気記
録媒体が必要となる。このような媒体に信号を記録する
と、残留磁化は媒体の膜面に垂直方向を向き、従って信
号が短波長になるほど、媒体内磁界は減少して、優れた
再生出力が得られる。

垂直磁気記録媒体は、高分子材料や非磁性材料からなる
基板上に、強磁性金属層、例えばＣｏ　−Ｃｒを蒸着法
、スパッタリング法により形成したも゛のがある。

［背景技術の問題点］上述の高密度記録が可能な垂直記録媒体を実用化する上
での問題点は、腐蝕、摩耗から、いかに磁気記録層を保
護し、長期間の寿命に耐えるかということである。

垂直磁気記録媒体としては、例えば、アルマイト処理し
たアルミニウム合金基板上に、磁気特性を向上させるチ
タン、ゲルマニウム等を主成分とする下地金属層、ある
いは信号記録再生の効率をあげるために膜面内に磁化容
易軸を有するパーマロイ等からなる下地金属層を形成し
、更にこの下地金属層上に垂直磁気記録のための金属磁
性層、保）＆・潤滑層を順次形成したちのが提案されて
いる。

しかし、これらのものは、下地金属層と基板とのなじみ
が悪く、剥離を生じ、寿命を潤うことか致命的欠陥とし
て存在している。

［発明の目的］この発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、基
板と下地層との付着性を改善し、信頼性の向上した磁気
記録媒体を提供するものでおる。

［発明の概要］この発明は、アルミニウム合金基板上に、酸化アルミニ
ウム層、下地金属層、″２′属磁性層、保護・潤滑層を
順次形成してなる磁気記録媒体において、酸化アルミニ
ウム層と下地金属層との間に、下地金属層を構成する金
属の酸化物層を介在させたことを特徴とする磁気記録媒
体でおる。

そして、この発明は、酸化アルミニウム層と下地金属層
との間に、下地金属層を構成する金属の酸化物層を介在
させると、下地金属層がｖ板から剥離する現象がなくな
るという実験事実に塁づさなされたものである。

［発明の実施例１］以下本発明を、実施例を示す図面を参照しで説明する。

第１図は、本発明の磁気記録媒体の部分断面図を示す。

まず、直径３．５インチのアルミニウム合金基板２上に
、良く知られた方法によりアルマイト処理を施し、酸化
アルミニウム層４を約１５μｍの厚さに形成する。続い
て、表面を鏡面研磨ｔろ　自（浩海看弁　フパ・ソ々話
若山仁−見１１．　　インライン方式でＴ　ｉ、Ｃｏ−
０ｒ、Ｃを、順次マグネトロン式スパッタリングにより
スパッタして、酸化アルミニウム層４の上に所定の各層
を形成する。

まず、丁１をターゲットとしてスパッタリングし、酸化
物層６および下地金属層８を形成する。

これには、まず、スパッタリングの初期にスパッタカス
としで、１０％酸素を混入したアルゴンガスを用い、Ｔ
　＋　０２からなる酸化物層６を１５０人の厚さに酸化
アルミニ・クム層４の上に形成する。

この後、スパッタガスをアルゴンガスのみとし、Ｔｉか
らなる下地金属層８を５００人の厚さに酸化物層６の上
に形成する。

次に、ＣＯを１０〜３０ａｔ％含有するＣ０Ｃｒ合金を
ターゲットとしてスパッタし、下地金属層８上にＣｏ−
Ｑｒからなる金属磁性層１０を５０００人の厚さに形成
し、更にカーボンＣをターゲットとして、金属磁性層１
０上に保護・潤滑層１２を３００人の厚さに形成する。

このようにして形成された磁気記録媒体の磁気特性を測
定したところ、垂直保持カフ００エルスデツドを１９、
また飽和磁化量、角型比、磁気置方性等に優れた特性を
得た。更に、電磁変換特避て゛は、５Ｑｋｂｐｉの高密
度記録が可能で必った。１１環境試験く８５°Ｃ１湿度
８５％、５００時間）と、耐）ｆ耗試験（２００００回
のコンタクト・スタート・アンド・ストップ）でも、変
化・ＪＭ傷がなく、極めて強い付着力が確認された。

［実施例２Ｊ上述の実施例では、Ｔ　ｉ　Ｏ２からなる酸化物１ｉｉ
６を形成するのに、Ｔｉターゲツ１〜を用い、酸素雰囲
気中でスパッタしたが、ＴｉＯ２ターゲットを用い、ア
ルゴンガス雰囲気中でスパッタして形成しても良い。

この実施例では、上述の実施例と同様に、アルマイト処
理を施し酸化アルミニウム層４を形成したアルミニウム
合金基板２の上に、ＴｉＯ２および丁ｊを順次スパッタ
して酸化物層６を１５０人および下地金属層８を５００
人の厚さに形成する３゜次に、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｒｈをター
ゲラ１〜としてスパッタし、下地金属層８上にＣｏ−Ｃ
ｒ−Ｒｈからなる金属磁性層１０を５０００人の厚さに
形成し、更にカーボンＣをターゲットとして、金属磁性
層１０上に保護・潤滑層１２を３００人の厚さに形成し
た。

このようにして形成された磁気記録媒体も上記の実施例
と同様に優れた特性が確認された。

［実施例３．４］上述の実施例と同様に、アルマイト処理を施し酸化アル
ミニウム層４を形成したアルミニウム合金基板２の上に
、ＧｅＯからなる酸化物層６を１００人、Ｇｅからなる
下地金属層８を３００人、Ｃｏ−Ｃｒからなる金属磁性
層１０を５０００人、更にカーボンからなる保護・潤滑
層１２を３００人の厚さに順次スパッタリングにより形
成し、磁気記録媒体を得た。

また同様にして、アルマイト処理を施し酸化アルミニウ
ム層４を形成したアルミニウム合金基板２の上に、Ｆｅ
ｘＮ１．Ｏからなる酸化物層６を３００人、パーマロイ
からなる下地金属層８を２０００人、Ｃ０−Ｃｒからな
る金属磁性層１０を５ＯＯＯ人、更にカーボンからなる
保護・潤滑層１２を３００人の厚さに順次スパッタリン
グにより形成し、磁気記録媒体を得た。

このようにして形成されたいずれの磁気記録媒体も上記
第１の実施例と同様に優れた特性がｌｒｌ［認された。

［発明の効果］以上のように、本発明によれば、下地金属層と基板との
間に下地金属層の酸化物層を介在させてなるので、下地
金属層の付着力が向上し、耐久性、耐環境性に優れ、か
つ電磁変換特性を損わない高密度磁気記録媒体が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の部分断面図
を示す。２・・・・・・アルミニウム合金基板４・・・・・・酸化アルミニウム層６・・・・・・酸化物層８・・・・・・下地金属層１０・・・・・・金属磁性層１２・・・・・・保護・潤滑層

Claims

【特許請求の範囲】

（１）アルミニウム合金基板上に、酸化アルミニウム層
、下地金属層、金属磁性層、保護・潤滑層を順次形成し
てなる磁気記録媒体において、前記酸化アルミニウム層
と前記下地金属層との間に、前記下地金属層を構成する
金属の酸化物層を介在させたことを特徴とする磁気記録
媒体。
（２）前記下地金属層がチタンを主成分とし、前記金属
磁性層がコバルト・クロム合金を主成分とすることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。