JPS6287447U - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6287447U
JPS6287447U JP18006285U JP18006285U JPS6287447U JP S6287447 U JPS6287447 U JP S6287447U JP 18006285 U JP18006285 U JP 18006285U JP 18006285 U JP18006285 U JP 18006285U JP S6287447 U JPS6287447 U JP S6287447U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
semiconductor chips
suction
suction holes
suction surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18006285U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP18006285U priority Critical patent/JPS6287447U/ja
Publication of JPS6287447U publication Critical patent/JPS6287447U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
2図はその―線における断面図、第3図は半
導体チツプの平面図、第4図は従来装置の断面図
、第5図はその―線における断面図である。 図において、10は半導体チツプ、20は移送
コレツト、20aは空気吸引用穴部である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 半導体チツプを吸着して所定の位置に上記
    半導体チツプを移送する移送コレツトにおいて、
    上記移送コレツトの吸着面を長方形に構成し、そ
    の長辺に沿つた位置に複数個の吸引用穴を形成し
    、この複数個の吸引用穴を上記半導体チツプの長
    手方向両端側に対向するように位置させたことを
    特徴とする半導体チツプの移送コレツト。 (2) 複数個の吸引用穴は半導体チツプ吸着面と
    は反対側内部で夫々が直接的に導通している事を
    特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項記載の
    半導体チツプの移送コレツト。
JP18006285U 1985-11-21 1985-11-21 Pending JPS6287447U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18006285U JPS6287447U (ja) 1985-11-21 1985-11-21

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18006285U JPS6287447U (ja) 1985-11-21 1985-11-21

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6287447U true JPS6287447U (ja) 1987-06-04

Family

ID=31123677

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18006285U Pending JPS6287447U (ja) 1985-11-21 1985-11-21

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6287447U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6287447U (ja)
JPS593549U (ja) 半導体装置
JPS63162547U (ja)
JPS622254U (ja)
JPS5823809U (ja) 半導体ウエ−ハ搬送用シユ−ト
JPS61166537U (ja)
JPS6331539U (ja)
JPS6356830U (ja)
JPS6232552U (ja)
JPS6219143U (ja)
JPS61136556U (ja)
JPS62177038U (ja)
JPS61164037U (ja)
JPS62192648U (ja)
JPS61158975U (ja)
JPH03110841U (ja)
JPS6219752U (ja)
JPS59117145U (ja) 半導体チツプの移送用コレツト
JPS6349245U (ja)
JPS6331550U (ja)
JPS6258042U (ja)
JPS6351445U (ja)
JPS6120079U (ja) 半導体装置実装用基板
JPH01161331U (ja)
JPS60158748U (ja) リ−ドフレ−ム