JPS6286543A - デイスク部材の洗浄装置 - Google Patents

デイスク部材の洗浄装置

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JPS6286543A
JPS6286543A JP22469185A JP22469185A JPS6286543A JP S6286543 A JPS6286543 A JP S6286543A JP 22469185 A JP22469185 A JP 22469185A JP 22469185 A JP22469185 A JP 22469185A JP S6286543 A JPS6286543 A JP S6286543A
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JP
Japan
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cleaning
cartridge
rotating shaft
disk member
cleaning tool
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JP22469185A
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Kazuhiko Kenmori
権守 和彦
Hirotoshi Takase
高瀬 浩利
Hisayoshi Ichikawa
久賀 市川
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Hitachi High Tech Corp
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気ディスク、光ディスク等のように表面に記
録層が形成されるディスク部材を自動的に洗浄するディ
スク部材の洗浄装置に関するものである。
[従来の技術] ディスク部材として、例えば、磁気ディスクは、アルミ
ニウム等の円環状板体からなるディスク部材をラッピン
グ加工等の研削加工を施こすことによりその表面を平滑
化し、然る後に該ディスク部材の表面に磁性体を塗布す
ることによって、磁気記録層が形成されるようになって
いる。ここで、前述の記録層の膜圧を均一なものとし、
ピンホール等が生じないようにするために、予じめディ
スク部材の表面に塵埃等の異物が付着していない状態と
して磁性体の塗布を行なう必要がある。このために、記
録層の形成前、また必要に応じて記録層形成後にもディ
スク部材の洗浄が行なわれる。
従来、このディスク部材の洗浄は、多数のディスク部材
をラックに装着した状態で洗浄液に浸漬させ、この洗浄
液を高岡波振動させたり、または洗浄液中においてスポ
ンジ等の洗浄具を用いて手作業で表面を拭うようにして
いたが、洗浄装置が複雑かつ大型となり、しかも油汚れ
等を完全に洗浄することができない場合があり、また手
作業による洗浄は手間がかかる等の欠点があった。
[発明が解決しようとする問題点] そこで、洗浄具を一回転軸に取付けることにより該洗浄
具を回転させながらディスク部材の表面に摺接させて、
その洗浄を自動的に行なうようにすることも考えられる
。しかしながら、洗浄装置をこのように構成した場合、
洗浄具はディスク部材との摩擦によって早期に摩耗し、
これを頻繁に交換しなければならないという問題点が生
じる。
本発明は叙上の点に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、洗浄具を回転軸に取付けて、該洗浄具を
回転させながら自動的にディスク部材の洗浄を行なう際
に、洗浄具の交換を容易に行なうことができるようにす
ることにある。
[問題点を解決するための手段] 前述の目的を達成するために、本発明のディスク部材の
洗浄装置は、ディスク部材の少なくとも1側面に摺接せ
しめられて、回転軸によって回転駆動される洗浄具を有
する洗浄部カートリッジを備え、該洗浄部カートリッジ
と回転軸との間にそれらを連結状態に保持する保持部と
、該洗浄部カートリッジを回転軸と一体的に回転させる
連動部とを有する連結部を介して前記洗浄部カートリッ
ジを回転軸に着脱可能に嵌着させることにより、該洗浄
部カートリッジと回転軸とを相互に連結する構成とした
ことを特徴とするものである。
[実施例] 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
まず、第1図乃至第4図は本発明の第1の実施例を示し
、図中1はディスク部材で、該ディスク部材lはその外
周縁部が3つのチャッキングローラ2によって回転可能
に支持されている。該各チャッキングローラ2は第2図
において実線で示したようにディスク部材1の外周縁部
と係合することによりそれを支持するチャック位置と、
鎖線で示したようにディスク部材lの外周縁から半径方
向外方に離間したチャック解除位置との間に変位可能と
なっている。
このディスク部材lを洗浄する洗浄装置3は、モータ等
の駆動源(図示せず)により回転せしめられる駆動軸4
を回転自在に支持する基部5に上下一対のアーム6.6
を突設し、該各アーム6の先端部に軸受ブロック7を取
付け、該軸受ブロック7を貫通させて回転軸8を設け、
該回転軸8の先端に洗浄部カートリッジ9を取付けるこ
とによって構成され、この回転軸8の他端にプーリ10
を取付けて、該プーリ10と駆動軸4に取付けたプーリ
11との間にベルト12を巻回して設ける構成とし、こ
れにより前記洗浄部カートリッジ9は駆動軸4により回
転駆動されるようになっている。
そして、洗浄中においてディスク部材1に対して洗浄液
を供給するために、軸受ブロック7には洗浄液供給ホー
ス13が接続され、該ホース13は軸受ブロック7内に
形成した液室14を介して回転軸8に穿設した液通路1
5から洗浄部カートリッジ9の内部に洗浄液を供給する
ことができるようになっている。
次に、洗浄部カートリッジ9はスポンジ、ブラシ等のよ
うに柔軟性を有する円環状または円柱状の部材からなる
洗浄具IBを有し、該洗浄具1Bをディスク部材1に押
し当て回転させ、該ディスク部材1の表面を擦ることに
よってその洗浄を行なうようになっている。そして、該
各洗浄具16が摩耗したときに適宜これを交換するため
に、洗浄部カートリッジ9は第3図に示したように、中
央に洗浄液流通用の開口17aを有する基板17の表面
に洗浄具16を貼着し、該基板17をポルH8により回
転軸8を挿入させるための開口19aを備えた連結部材
19に固着することによって構成されている。さらに、
該連結部材19の周胴部に螺孔20が穿設され、該螺孔
20には係合部材としての鋼球21が開口19a内に臨
む状態に配設されると共に螺杵22が螺挿されている。
そして、連結部材19と回転軸8との間の連結時におい
て、螺杵22を螺回することにより鋼球21が追い込ま
れて回転軸8に形設した円環状の係止溝23に嵌入する
ことによって該連結部材19と回転軸8との間を連結状
態に保持することができるようになっており、これらの
各部材によって保持部が構成される。また、回転軸8に
はその先端部近傍にフランジ部8δが形成され、該フラ
ンジ部8aにはピン24が植設されて、該ピン24は連
結部材19に形設した嵌入用凹部25に嵌入せしめられ
るようになっており、これによって連結部材19を介し
て洗浄部カートリッジ9を駆動軸4の回転に追従回転さ
せる連動部か形成される。
前述のように構成される洗浄装置3によってディスク部
材lの洗浄を行なうには、洗浄装置3を図示しない回動
部材によりその駆動軸4を中心として@動させて、第2
図に鎖線で示した非作動位置に変位させ、ディスク部材
1をチャッキングローラ2に装着させる6然る後、洗浄
装置3を実線で示した作動位置に変位させ、その洗浄部
カートリッジ9.9の洗浄具te、te間にディスク部
材1を挿通させて、該ディスク部材1の表裏両面に該各
洗浄具16を押し当てる。そして、駆動軸4を回転駆動
することによって回転軸8を介して洗浄部カートリッジ
9を第2図に矢示(イ)方向に回転させると共に、ホー
ス13から液室14.液通路15を介して洗浄具16の
内部に洗浄液を供給する。これによって、ディスク部材
1の表裏両面が洗浄具16で擦られて、それに付着した
摩耗粉等の異物や油汚れ等が洗浄液により洗い流される
。また、洗浄部カートリッジ9の矢示(イ)方向への回
転によって、ディスク部材lは矢示(ロ)方向への回転
力が与えられることになり、これによりディスク部材l
の表面全周が隈なく洗浄される。
ディスク部材1の洗浄は前述の如くして行なわれるが、
繰返しディスク部材1の洗浄を行なうと、洗浄具16が
摩耗することになり、このように摩耗した洗浄具16に
より洗浄を継続すると洗浄性能が低下することになって
しまう、そこで、摩耗した洗浄具1Bを交換する必要が
あるが、この洗浄具IBの交換は、螺杵22を緩めて、
鋼球21の回転軸8への係合を解除し、この洗浄部カー
トリッジ9を回転軸8から引抜くことによってそれから
脱着する。そして、ボルト18.+8を取り外すことに
よって洗浄具16を取付けた基板17を連結部材18か
ら分離し、新しい洗浄具16を有する基板17をこの連
結部材19に固着し、これを再び回転軸8に装着する。
この洗浄部カートリッジ9の装着は該連結部材19の嵌
入用凹部25をピン24と一致させた状態で回転軸8内
に押し込むことによって行なわれ、然る後螺杵22を締
付けることによってこの新たな洗浄部カートリッジ9の
装着が完了する。
前述の如く、洗浄具1Bを基板17と連結部材18と一
体化することによって洗浄部カートリッジ9を形成し、
これを回転軸8に嵌合することによって洗浄具16の交
換を行なうことができるようになっているので、摩耗し
た洗浄具IBの交換作業を極めて簡単かつ迅速に行なう
ことができる。しかも、洗浄具18と基板17とを一体
化し、交換時にはこれらのみを取替えるようにすればよ
く、保持部を構成する鋼球21.螺杵22や連動部を形
成する嵌入用凹部25を有する連結部材18は再使用可
能となっているから、交換部品の構造が簡単となり、安
価に製造することができる。
次に、第5図及び第6図は本発明の第2の実施例を示す
もので、本実施例では水平方向に回動する回動アーム3
1にモータ32を設置し、このモータ32の出力軸33
に有蓋円筒状の雌カツプリング部材34を連結し、該雌
カツプリング部材34に挿嵌される雄カツプリング部材
35を洗浄具3Bを貼着した基板37に取付けることに
より洗浄部カートリッジ38が構成される。そして、該
雄カツプリング部材35を雌カツプリング部材34に連
結した状態に保持するための保持部としては、雌カツプ
リング部私34の天蓋部内面に装着した磁石39により
構成され、雄カツプリング部材35はこの磁石39に吸
着される磁性体で形成されている。一方、モータ32の
出力軸33によって回転駆動される雌カツプリング部材
34に追従させて洗浄部カートリッジ38を回転させる
連動部としては、雌カツプリング部材34の周胴部にキ
ー溝40をその軸方向に形設し、雄カツプリング部材3
5に該キー溝40に嵌合されるキ一部41を設けること
によって構成される。
このように構成することによっても、雄カツプリング部
材35を雌カツプリング部材34から引抜き、新しい洗
浄部カートリッジ3Bをそれに取付けた雄カツプリング
部材35を該雌カツプリング部材34に差込むだけで、
洗浄部カートリッジ3Bの交換を容易に行なうことがで
きる。
さらに、ディスク部材lの洗浄を完全に行なうためには
、該ディスク部材lの内外周縁の各エツジ部をも洗浄す
る必要があるが、このためのエツジ洗浄装置41は第7
図に示したように構成することができ、該エツジ洗浄装
置41における洗浄具42を備えた洗浄部カートリッジ
43にも第1の実施例に示したと同様係合部材としての
鋼球44、螺杵45および回転軸4Bに形設した係止溝
47によって洗浄部カートリッジ43を回転軸4Bと連
結状態に保持する保持部を形成し、また回転軸46のフ
ランジ部48aに植設したピン4日と該ピン48をの嵌
入用凹部49とで連動部を構成すれば、この洗浄部カー
トリッジ43を回転軸4Bに着脱可能に連結することが
できる。
[発明の効果] 以上詳述した如く、本発明に′係るディスク部材の洗浄
装置は洗浄部カートリッジと回転軸との間にそれらを連
結状態に保持する保持部と該洗浄具を回転軸に一体的に
回転させる連動部とを形成することにより、洗浄部カー
トリッジと回転軸とを着脱可能に嵌合させた状態でそれ
らの間を連結する構成としたから、摩耗した洗浄具を極
めて簡単かつ迅速に取替、えることができることができ
るようになる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第4図は本発明の第1の実施例を示し、第1
図は洗浄装置の要部を断面にして示す全体構成図、第2
図は洗浄装置の作動説明図、第3図は洗浄部カートリッ
ジの分解斜視図、第4図は第1図のx−x断面図、第5
図及び第6図は木発明の第2の実施例を示すもので、第
5図は洗浄装置の全体構成図、第6図は第5図のY−Y
断面図、第7図は本発明の第3の実施例を示す要部断面
図である。 1:ディスク部材、3:洗浄装置、4:駆動軸、8.4
El:回転軸、9.3B、43:洗浄部カートリッジ、
If!、37,42:洗浄具、17.38:基板、19
:連結部材、 21,447鋼球、22,45:螺杵、
23,47:係止溝、24゜48:ピン、 25,49
:嵌入用凹部、32:モータ、33:出力軸、34:雌
カツプリング部材、25:雄カツプリング部材、39:
磁石、40:キー溝、41:キ一部。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ディスク部材の少なくとも1側面に摺接せしめら
    れて、回転軸によって回転駆動される洗浄具を有する洗
    浄部カートリッジを備え、該洗浄部カートリッジと回転
    軸との間にそれらを連結状態に保持する保持部と、該洗
    浄部カートリッジを回転軸と一体的に回転させる連動部
    とを有する連結部を介して前記洗浄部カートリッジを回
    転軸に着脱可能に嵌着させることにより、該洗浄部カー
    トリッジと回転軸とを相互に連結する構成としたことを
    特徴とするディスク部材の洗浄装置。
  2. (2)前記連結部における前記保持部を前記洗浄部カー
    トリッジと回転軸との間に介装した係合部材で構成した
    ことを特徴とする特許請求範囲第(1)項記載のディス
    ク部材の洗浄装置。
  3. (3)前記連結部における前記保持部を前記回転軸また
    は洗浄部カートリッジのうち少なくとも一方に磁石を設
    けることによって形成し、該磁石の吸着力により両者を
    連結状態に保持する構成したことを特徴とする特許請求
    範囲第(1)項記載のディスク部材の洗浄装置。
  4. (4)前記連結部における前記連動部を回転軸または洗
    浄部カートリッジの一方に設けたピンと、他方に形設し
    たピン嵌入部とから構成したことを特徴とする特許請求
    範囲第(1)項記載のディスク部材の洗浄装置。
  5. (5)前記連結部における前記連動部を前記回転軸と洗
    浄部カートリッジとの間をキー結合することによって構
    成したことを特徴とする特許請求範囲第(1)項記載の
    ディスク部材の洗浄装置。
JP60224691A 1985-10-11 1985-10-11 デイスク部材の洗浄装置 Expired - Lifetime JPH0616325B2 (ja)

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JP60224691A JPH0616325B2 (ja) 1985-10-11 1985-10-11 デイスク部材の洗浄装置

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JPS6286543A true JPS6286543A (ja) 1987-04-21
JPH0616325B2 JPH0616325B2 (ja) 1994-03-02

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS64888U (ja) * 1987-06-23 1989-01-05
JPH01124989U (ja) * 1988-02-15 1989-08-25

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5919201A (ja) * 1982-07-23 1984-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 情報担体デイスクの洗浄装置
JPS59124032A (ja) * 1982-12-29 1984-07-18 Fujitsu Ltd 磁気デイスクの製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5919201A (ja) * 1982-07-23 1984-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 情報担体デイスクの洗浄装置
JPS59124032A (ja) * 1982-12-29 1984-07-18 Fujitsu Ltd 磁気デイスクの製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS64888U (ja) * 1987-06-23 1989-01-05
JPH01124989U (ja) * 1988-02-15 1989-08-25

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