JPS628370B2 - - Google Patents
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- JPS628370B2 JPS628370B2 JP57139946A JP13994682A JPS628370B2 JP S628370 B2 JPS628370 B2 JP S628370B2 JP 57139946 A JP57139946 A JP 57139946A JP 13994682 A JP13994682 A JP 13994682A JP S628370 B2 JPS628370 B2 JP S628370B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- magazines
- receiving member
- stacker
- handler
- Prior art date
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Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
- H01L21/67781—Batch transfer of wafers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G59/00—De-stacking of articles
- B65G59/06—De-stacking from the bottom of the stack
- B65G59/067—De-stacking from the bottom of the stack articles being separated substantially perpendicularly to the axis of the stack
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ICハンドラのIC送入部やIC排出部
に配置したマガジンスタツカにより、ICハンド
ラへICを供給するマガジンや、ハンドラから排
出されるICを収納するマガジンを、自動供給す
るようにしたマガジン供給機構のマガジンスタツ
カを多列に配置して機能を強化したものに関す
る。
に配置したマガジンスタツカにより、ICハンド
ラへICを供給するマガジンや、ハンドラから排
出されるICを収納するマガジンを、自動供給す
るようにしたマガジン供給機構のマガジンスタツ
カを多列に配置して機能を強化したものに関す
る。
ICハンドラは、ICの自動検査装置等に組込さ
れて、被検査物であるICを自動的に搬送、供給
したり、収納するために、IC送入部やIC排出部
に配置される。ICチツプはパツケージに封入さ
れて一応外形が整つた後は、ICメーカの工場内
ではマガジン内に収納して取扱われる。特に、接
続ピンが両側に並んだDIP形の場合、マガジン内
の跨座形滑走路をまたがせて整列収納すれば、前
述のICの自動検査装置に組付けられるICハンド
ラへの供給やICハンドラからの取出しが非常に
簡便になる。このため従来から、第2図に示すよ
うなICマガジン供給機構が使用されていた。第
2図aは平面図、第2図bは正面図、第2図cは
側面図で、1はベース、2はマガジンを積層状態
に支持するための支柱、3は支柱に取付けたサイ
ドプレート、4は横移動部、5はマガジン、6は
マガジンを1個ずつ取出し降下させるための爪、
7は使命を終えたマガジンの収納箱、9はマガジ
ンが横移動部4に載置されているか否かを検出す
るセンサである。支柱2に支えられて多数積層さ
れたマガジン5は爪6を駆動することにより、順
次1個ずつ降下され、降下したマガジン5は横移
動部4上に載置される。横移動部4は水平方向に
移動することにより、二点鎖線で示したように、
マガジンをハンドラのIC送入部やIC排出部へ送
り、マガジン内部に収納していたICをハンドラ
へ供給し、又は収納容量だけの数のICをハンド
ラからマガジンに受取つた後に実線位置に復帰し
て、再びマガジン5を其の上に載置してIC送入
部やIC排出部に送る。この動作を繰返すことに
よつてICハンドラに順次マガジンを供給する。
れて、被検査物であるICを自動的に搬送、供給
したり、収納するために、IC送入部やIC排出部
に配置される。ICチツプはパツケージに封入さ
れて一応外形が整つた後は、ICメーカの工場内
ではマガジン内に収納して取扱われる。特に、接
続ピンが両側に並んだDIP形の場合、マガジン内
の跨座形滑走路をまたがせて整列収納すれば、前
述のICの自動検査装置に組付けられるICハンド
ラへの供給やICハンドラからの取出しが非常に
簡便になる。このため従来から、第2図に示すよ
うなICマガジン供給機構が使用されていた。第
2図aは平面図、第2図bは正面図、第2図cは
側面図で、1はベース、2はマガジンを積層状態
に支持するための支柱、3は支柱に取付けたサイ
ドプレート、4は横移動部、5はマガジン、6は
マガジンを1個ずつ取出し降下させるための爪、
7は使命を終えたマガジンの収納箱、9はマガジ
ンが横移動部4に載置されているか否かを検出す
るセンサである。支柱2に支えられて多数積層さ
れたマガジン5は爪6を駆動することにより、順
次1個ずつ降下され、降下したマガジン5は横移
動部4上に載置される。横移動部4は水平方向に
移動することにより、二点鎖線で示したように、
マガジンをハンドラのIC送入部やIC排出部へ送
り、マガジン内部に収納していたICをハンドラ
へ供給し、又は収納容量だけの数のICをハンド
ラからマガジンに受取つた後に実線位置に復帰し
て、再びマガジン5を其の上に載置してIC送入
部やIC排出部に送る。この動作を繰返すことに
よつてICハンドラに順次マガジンを供給する。
前述の従来のマガジン供給機構は、ハンドラに
マガジンを供給する部位に、多数のマガジンを積
重ねて順次供給するマガジンスタツカを1列だけ
しか装備していなかつたために、IC1個当り検査
時間が短くてすむ場合や、ピン数が多くパツケー
ジ長が長くマガジン内収納数が少ないICの場合
などは、マガジン蓄積能力が不足し、マガジンス
タツカへのマガジン補給を頻繁に行う必要があ
り、時にはマガジンスタツカにハンドラへ供給す
べきマガジンがなくなつてICハンドラの動作た
とえば検査作業などが中断してしまう等の不都合
が生ずる。ここで、マガジン蓄積能力を大きくす
るために、マガジンの積重ね個数を増大すること
も考えられるが、取扱者の身長、取扱いの容易さ
などから限度がある。
マガジンを供給する部位に、多数のマガジンを積
重ねて順次供給するマガジンスタツカを1列だけ
しか装備していなかつたために、IC1個当り検査
時間が短くてすむ場合や、ピン数が多くパツケー
ジ長が長くマガジン内収納数が少ないICの場合
などは、マガジン蓄積能力が不足し、マガジンス
タツカへのマガジン補給を頻繁に行う必要があ
り、時にはマガジンスタツカにハンドラへ供給す
べきマガジンがなくなつてICハンドラの動作た
とえば検査作業などが中断してしまう等の不都合
が生ずる。ここで、マガジン蓄積能力を大きくす
るために、マガジンの積重ね個数を増大すること
も考えられるが、取扱者の身長、取扱いの容易さ
などから限度がある。
本発明は上記問題点を解決するためになされた
もので、取扱が容易で、しかもマガジン蓄積容量
が大きく、マガジン補給時間間隔を延ばすことが
出来るICマガジン多列供給機構を提供すること
を目的とする。
もので、取扱が容易で、しかもマガジン蓄積容量
が大きく、マガジン補給時間間隔を延ばすことが
出来るICマガジン多列供給機構を提供すること
を目的とする。
上記問題点を解決するために本発明においては
マガジンスタツカを一定のピツチで複数列並列状
態に設置し、これら各マガジンスタツカ夫々に個
別降下手段を付設することによつてマガジンを個
別に順次降下させ得るようになし、各マガジンス
タツカから降下するマガジンを受ける受け部を
夫々多列備えた各1個の固定受け部材と移動受け
部材とを、前記各受け部が夫々各マガジンスタツ
カの下方に位置するように配設し、前記移動受け
部材を前記固定受け部材より上方に上昇させた状
態で前記1ピツチだけマガジン供給部位側へ移動
させることによつて、移動受け部材が、マガジン
供給部位に最も近く位置していたマガジンを供給
部位に置くと同時に、他のマガジンを夫々1ピツ
チだけ供給部位側へ送り、移動受け部材を固定受
け部材より下方に下降させた状態で復帰させるこ
とにより前記他のマガジンを固定受け部材によつ
て支承させる構成となすと共に、前記移動受け部
材の下降中に、固定受け部材のマガジンを支承し
ていない受け部を検出するセンサを付設すること
によつて、前記移動受け部材が上昇したときに、
前記センサからの信号に基づいて、前記マガジン
を支承していない受け部の上方に位置するマガジ
ンスタツカの個別降下手段を作動させて、マガジ
ンを支承していない受け部にマガジンを補給する
構成とした。
マガジンスタツカを一定のピツチで複数列並列状
態に設置し、これら各マガジンスタツカ夫々に個
別降下手段を付設することによつてマガジンを個
別に順次降下させ得るようになし、各マガジンス
タツカから降下するマガジンを受ける受け部を
夫々多列備えた各1個の固定受け部材と移動受け
部材とを、前記各受け部が夫々各マガジンスタツ
カの下方に位置するように配設し、前記移動受け
部材を前記固定受け部材より上方に上昇させた状
態で前記1ピツチだけマガジン供給部位側へ移動
させることによつて、移動受け部材が、マガジン
供給部位に最も近く位置していたマガジンを供給
部位に置くと同時に、他のマガジンを夫々1ピツ
チだけ供給部位側へ送り、移動受け部材を固定受
け部材より下方に下降させた状態で復帰させるこ
とにより前記他のマガジンを固定受け部材によつ
て支承させる構成となすと共に、前記移動受け部
材の下降中に、固定受け部材のマガジンを支承し
ていない受け部を検出するセンサを付設すること
によつて、前記移動受け部材が上昇したときに、
前記センサからの信号に基づいて、前記マガジン
を支承していない受け部の上方に位置するマガジ
ンスタツカの個別降下手段を作動させて、マガジ
ンを支承していない受け部にマガジンを補給する
構成とした。
並列配置された複数個のマガジンスタツカから
供給されるマガジンを、1個ずつ順次、途切れる
ことなくハンドラへ供給し、かつ、受け部材の一
つの受け部に重複してマガジンが供給されるなど
の混乱を生じさせないために、センサによりマガ
ジンが供給載置されていない受け部材の受け部を
検出し、その真上のマガジンスタツカに付設した
マガジン個別降下手段を作用させて該受け部にマ
ガジンを補給させるようにした。なお周知の如
く、近年、シーケンシヤル動作を行う各種自動機
械において、その機械または機械の一部が、所定
の動作を行つた又は行える状態にあることを監
視、確認するために多数のセンサを使用し、これ
らセンサからの信号を処理して自動機械の制御手
段のCPUが予め定めた手順に従つて自動機械全
体の動作を制御することが行われている。本発明
に係るマガジン多列供給機構においても、上記マ
ガジンの載置されていない受け部を検出し其処に
マガジンを補給するためのセンサ系以外にも、多
数のセンサが自動運転のために使用されているこ
とは言うまでもない。本発明機構のセンサには、
光ビーム放射部と受光部よりなり、受光部に光が
入射していれば光路中には何も存在せず、光が入
射しなくなれば光路中に部品または部材が存在す
ると判定する非接触形センサが便利である。
供給されるマガジンを、1個ずつ順次、途切れる
ことなくハンドラへ供給し、かつ、受け部材の一
つの受け部に重複してマガジンが供給されるなど
の混乱を生じさせないために、センサによりマガ
ジンが供給載置されていない受け部材の受け部を
検出し、その真上のマガジンスタツカに付設した
マガジン個別降下手段を作用させて該受け部にマ
ガジンを補給させるようにした。なお周知の如
く、近年、シーケンシヤル動作を行う各種自動機
械において、その機械または機械の一部が、所定
の動作を行つた又は行える状態にあることを監
視、確認するために多数のセンサを使用し、これ
らセンサからの信号を処理して自動機械の制御手
段のCPUが予め定めた手順に従つて自動機械全
体の動作を制御することが行われている。本発明
に係るマガジン多列供給機構においても、上記マ
ガジンの載置されていない受け部を検出し其処に
マガジンを補給するためのセンサ系以外にも、多
数のセンサが自動運転のために使用されているこ
とは言うまでもない。本発明機構のセンサには、
光ビーム放射部と受光部よりなり、受光部に光が
入射していれば光路中には何も存在せず、光が入
射しなくなれば光路中に部品または部材が存在す
ると判定する非接触形センサが便利である。
以上のようにマガジンスタツカを多数列設置す
れば、マガジン供給機構の、ICハンドラへ供給
すべきマガジン蓄積容量が増大し、マガジン供給
機構へのマガジン補給回数を低減できることは自
明である。
れば、マガジン供給機構の、ICハンドラへ供給
すべきマガジン蓄積容量が増大し、マガジン供給
機構へのマガジン補給回数を低減できることは自
明である。
第1図はマガジンスタツカを3列並列配置した
本発明一実施例の斜視図で、また、其の具体的構
成を第3図に示し、同図aは平面図、同図bは正
面図、cは側面図である。第2図と同一な部材、
要素等については同一符号を付けて其の説明を省
略する。
本発明一実施例の斜視図で、また、其の具体的構
成を第3図に示し、同図aは平面図、同図bは正
面図、cは側面図である。第2図と同一な部材、
要素等については同一符号を付けて其の説明を省
略する。
第3図中、8は3個の受け部を凹設した固定受
け部材であるガイド板、10はマガジン長手方向
の移動を阻止するストツパで、ガイド板8又はベ
ース1に固定してある。移動受け部材として、ガ
イド板8と同様に3個の受け部を凹設した一対の
横移動部材4aがガイド板8と並列に設けられ、
横移動部材は同時に3個のマガジンを運べるよう
になつている。この横移動部材4aは、カム機
構、シリンダ、チエーン等適宜の駆動機構によつ
て、第4図cに示すように上昇、横行、下降、逆
行の順に矩形辺状に移動することができる。ガイ
ド板8の各受け部にマガジン5が載置されている
か否かを検出するために、3列のマガジンスタツ
カの下方にセンサ9を配置し、このセンサ9から
の信号に基づいて、空の受け部の上方のスタツカ
からマガジン5が供給されるようになつている。
なお実際には、上記センサ以外にも、既述の如
く、例えばハンドラからマガジンにICが排出さ
れたことを確認するセンサなど多くのセンサが、
ICの移動、マガジンの移動、或いは機構自体の
各動作の監視、制御などのため設置され、これら
のセンサからの信号と、予め任意に定めた制御プ
ログラムを記憶させてマイクロプロセサに組合せ
た固定メモリ(ROM)とが連動して全機構の動
作を制御するようになつている。
け部材であるガイド板、10はマガジン長手方向
の移動を阻止するストツパで、ガイド板8又はベ
ース1に固定してある。移動受け部材として、ガ
イド板8と同様に3個の受け部を凹設した一対の
横移動部材4aがガイド板8と並列に設けられ、
横移動部材は同時に3個のマガジンを運べるよう
になつている。この横移動部材4aは、カム機
構、シリンダ、チエーン等適宜の駆動機構によつ
て、第4図cに示すように上昇、横行、下降、逆
行の順に矩形辺状に移動することができる。ガイ
ド板8の各受け部にマガジン5が載置されている
か否かを検出するために、3列のマガジンスタツ
カの下方にセンサ9を配置し、このセンサ9から
の信号に基づいて、空の受け部の上方のスタツカ
からマガジン5が供給されるようになつている。
なお実際には、上記センサ以外にも、既述の如
く、例えばハンドラからマガジンにICが排出さ
れたことを確認するセンサなど多くのセンサが、
ICの移動、マガジンの移動、或いは機構自体の
各動作の監視、制御などのため設置され、これら
のセンサからの信号と、予め任意に定めた制御プ
ログラムを記憶させてマイクロプロセサに組合せ
た固定メモリ(ROM)とが連動して全機構の動
作を制御するようになつている。
次に、第4図によつてマガジンの横送りを行う
動作について説明する。
動作について説明する。
第4図aに示すように、まず横移動部材4aが
上昇位置にある時、横移動部材4aの各受け部に
夫々スタツカからマガジンが供給される。横移動
部材4aが上昇位置にある時は、その各受け部の
底面はガイド板8の上面より上方に位置し、横移
動部材4a上に載置されたマガジン5を自由に横
方向に動かせる状態になつている。
上昇位置にある時、横移動部材4aの各受け部に
夫々スタツカからマガジンが供給される。横移動
部材4aが上昇位置にある時は、その各受け部の
底面はガイド板8の上面より上方に位置し、横移
動部材4a上に載置されたマガジン5を自由に横
方向に動かせる状態になつている。
次に、第4図bは横移動部材4aが左方へ1ピ
ツチだけ移動し終つた状態を示す。この状態で
は、横移動部材4aに載置されたマガジン5のう
ち最左端のものは、ハンドラのIC送入部やIC排
出部に供給される予定位置すなわちマガジン供給
部位に、中央のものはガイド板8の最左端の受け
部と対応する位置に、また最右端のものはガイド
板8の中央の受け部と対応する位置にまで、左方
へ送られている。
ツチだけ移動し終つた状態を示す。この状態で
は、横移動部材4aに載置されたマガジン5のう
ち最左端のものは、ハンドラのIC送入部やIC排
出部に供給される予定位置すなわちマガジン供給
部位に、中央のものはガイド板8の最左端の受け
部と対応する位置に、また最右端のものはガイド
板8の中央の受け部と対応する位置にまで、左方
へ送られている。
更に、第4図cに示すように、横移動部材4a
が其の上面がガイド板8の受け部の底面より低い
位置にまで下降すると、横移動部材4aの最左端
にあつたマガジン5は、ハンドラのIC供給部ま
たはIC排出部へ供給され、それ以外のマガジン
は夫々ガイド板8の最左端受け部と中央受け部に
載置される。ハンドラのIC供給部ではマガジン
内に収納されていたICがハンドラに供給され、
また、ハンドラのIC排出部ではマガジン内へハ
ンドラからマガジン収納容量だけのICが移さ
れ、ICをやりとりする作業が終つたマガジンは
収納箱7に落とされるが、これは本機構とは関係
ない。
が其の上面がガイド板8の受け部の底面より低い
位置にまで下降すると、横移動部材4aの最左端
にあつたマガジン5は、ハンドラのIC供給部ま
たはIC排出部へ供給され、それ以外のマガジン
は夫々ガイド板8の最左端受け部と中央受け部に
載置される。ハンドラのIC供給部ではマガジン
内に収納されていたICがハンドラに供給され、
また、ハンドラのIC排出部ではマガジン内へハ
ンドラからマガジン収納容量だけのICが移さ
れ、ICをやりとりする作業が終つたマガジンは
収納箱7に落とされるが、これは本機構とは関係
ない。
第4図dはハンドラへのマガジン供給を終えた
横移動部材4aが下降状態のまま右方へ1ピツチ
だけ逆行した状態を示しており、ガイド板8の最
左端および中央の受け部に載置されたマガジン5
は夫々同じ位置、状態に支承されている。ガイド
板8の最右端の受け部は空(マガジン非載置状
態)になつており、センサ9はこの状態を検出す
る。これで横移動部材4aの1サイクルの動作が
終了する。
横移動部材4aが下降状態のまま右方へ1ピツチ
だけ逆行した状態を示しており、ガイド板8の最
左端および中央の受け部に載置されたマガジン5
は夫々同じ位置、状態に支承されている。ガイド
板8の最右端の受け部は空(マガジン非載置状
態)になつており、センサ9はこの状態を検出す
る。これで横移動部材4aの1サイクルの動作が
終了する。
この後、横移動部材4aが上昇して第4図aに
示す状態に復帰すると、横移動部材4aの各受け
部のうち、最左端の受け部と中央の受け部は、ガ
イド板8に載置されていたマガジン5を持ち上げ
ることになるが、最右端の受け部は空の状態で上
昇する。しかし、センサ9によつて此の状態は検
出されているので、この横移動部材4aの上昇時
に最右端にあるマガジンスタツカの個別降下手段
を構成する爪6が作動して、このスタツカから1
個のマガジン5が降下され、第4図aに示すよう
に、横移動部材4aの各受け部に全てマガジン5
が載置された状態となる。
示す状態に復帰すると、横移動部材4aの各受け
部のうち、最左端の受け部と中央の受け部は、ガ
イド板8に載置されていたマガジン5を持ち上げ
ることになるが、最右端の受け部は空の状態で上
昇する。しかし、センサ9によつて此の状態は検
出されているので、この横移動部材4aの上昇時
に最右端にあるマガジンスタツカの個別降下手段
を構成する爪6が作動して、このスタツカから1
個のマガジン5が降下され、第4図aに示すよう
に、横移動部材4aの各受け部に全てマガジン5
が載置された状態となる。
以後、順次、第4図b,c,dに示す状態とな
るような動作を繰返すことによつて、最左端のマ
ガジン5がハンドラに供給され、それ以外のマガ
ジン5は1ピツチだけ左方へ送られることにな
る。
るような動作を繰返すことによつて、最左端のマ
ガジン5がハンドラに供給され、それ以外のマガ
ジン5は1ピツチだけ左方へ送られることにな
る。
従つて、右方のマガジンスタツカから順にマガ
ジン5の取出しが行われて、最右端のマガジンス
タツカ内のマガジンがなくなると、次の中央のマ
ガジンスタツカから、最後は最左端のマガジンス
タツカからと、マガジンが取出されて行き、最左
端のマガジンスタツカ内のマガジンが全部取出さ
れるまで連続的にマガジンの取出しが行われるこ
とになる。
ジン5の取出しが行われて、最右端のマガジンス
タツカ内のマガジンがなくなると、次の中央のマ
ガジンスタツカから、最後は最左端のマガジンス
タツカからと、マガジンが取出されて行き、最左
端のマガジンスタツカ内のマガジンが全部取出さ
れるまで連続的にマガジンの取出しが行われるこ
とになる。
本実施例の場合は3列並べたマガジンスタツカ
内の全部のマガジンが取出されるまでの間に、マ
ガジンの補給を行えば良く、この結果、マガジン
スタツカへのマガジンの補給頻度を減らすことが
でき、また、この間にハンドラへ供給すべきマガ
ジンがなくなつてICハンドラの動作すなわち検
査作業などを中断させてしまう等の不都合を生じ
る恐れが少なくなる。しかも、最初にマガジンが
無くなるマガジンスタツカは、ハンドラから遠
く、補給作業者に近い側なので、マガジンの追加
補給を容易に行うことができる。なおスタツカ下
部からマガジンを1個づつ取出す個所に本出願人
による考案「IC用マガジン個別送り機構」実願
昭56―155507号)を適用すれば、マガジン個別降
下時にマガジンが受ける上下方向衝撃が比較的少
なくなる。
内の全部のマガジンが取出されるまでの間に、マ
ガジンの補給を行えば良く、この結果、マガジン
スタツカへのマガジンの補給頻度を減らすことが
でき、また、この間にハンドラへ供給すべきマガ
ジンがなくなつてICハンドラの動作すなわち検
査作業などを中断させてしまう等の不都合を生じ
る恐れが少なくなる。しかも、最初にマガジンが
無くなるマガジンスタツカは、ハンドラから遠
く、補給作業者に近い側なので、マガジンの追加
補給を容易に行うことができる。なおスタツカ下
部からマガジンを1個づつ取出す個所に本出願人
による考案「IC用マガジン個別送り機構」実願
昭56―155507号)を適用すれば、マガジン個別降
下時にマガジンが受ける上下方向衝撃が比較的少
なくなる。
以上説明したように本発明によれば、ICハン
ドラマガジンを供給する個別に蓄積可能なマガジ
ンの数を大幅に増やすことが出来るので、マガジ
ン補給の時間間隔が延伸され、IC供給が途切れ
てハンドラ運転が中止される恐れが低下し、IC
量産を一層容易にする。
ドラマガジンを供給する個別に蓄積可能なマガジ
ンの数を大幅に増やすことが出来るので、マガジ
ン補給の時間間隔が延伸され、IC供給が途切れ
てハンドラ運転が中止される恐れが低下し、IC
量産を一層容易にする。
第1図は本発明一実施例の斜視図、第2図a,
b,cは従来のマガジンスタツカ1列によるマガ
ジン供給機構を示す図、第3図aは本発明実施例
の上面図、第3図bはその正面図、第3図cはそ
の側面図、第4図a,b,c,dは本発明のマガ
ジン横送り動作説明図である。 1…ベース、2…支柱、3…サイドプレート、
4a…横移動部材、5…マガジン、6…マガジン
個別取出し用爪、8…ガイド板、9…センサ、1
0…ストツパ。
b,cは従来のマガジンスタツカ1列によるマガ
ジン供給機構を示す図、第3図aは本発明実施例
の上面図、第3図bはその正面図、第3図cはそ
の側面図、第4図a,b,c,dは本発明のマガ
ジン横送り動作説明図である。 1…ベース、2…支柱、3…サイドプレート、
4a…横移動部材、5…マガジン、6…マガジン
個別取出し用爪、8…ガイド板、9…センサ、1
0…ストツパ。
Claims (1)
- 1 多数のICを内部に整列収納するICマガジン
を、ICハンドラのIC送入部やIC排出部へ供給す
るICマガジン供給機構において、マガジンを多
数鉛直方向に積重ねたマガジンスタツカを一定の
ピツチで複数列並列状態に設置し、これら各マガ
ジンスタツカ夫々に個別降下手段を付設してマガ
ジンを個別に順次降下させ得るようになし、各マ
ガジンスタツカから降下するマガジンを受ける受
け部を夫々複数列備えた各1個の固定受け部材と
移動受け部材とを、前記各受け部が夫々各マガジ
ンスタツカの下方に位置するように配設し、前記
移動受け部材を前記固定受け部材より上方へ上昇
させた状態で前記1ピツチだけマガジン供給部位
側へ移動させることによつて、移動受け部材が、
前記供給部位に最も近く位置していたマガジンを
供給部位に置くと共に、他のマガジンを夫々1ピ
ツチだけ供給部位側へ送り、移動受け部材を固定
受け部材より下方へ下降させた状態で復帰させる
ことにより前記他のマガジンを固定受け部材によ
つて支承させる構成となすと共に、前記移動受け
部材の下降中に、固定受け部材のマガジンを支承
していない受け部を検出するセンサを付設するこ
とによつて、前記移動受け部材が上昇したとき
に、前記センサからの信号に基づいて、前記マガ
ジンを支承していない受け部の上方に位置するマ
ガジンスタツカの個別降下手段を作動させて、マ
ガジンを支承していない受け部にマガジンを補給
する構成としたことを特徴とするICマガジン多
列供給機構。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57139946A JPS5931220A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | Icマガジン多列供給機構 |
US06/520,688 US4588342A (en) | 1982-08-13 | 1983-08-05 | IC magazine supply system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57139946A JPS5931220A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | Icマガジン多列供給機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5931220A JPS5931220A (ja) | 1984-02-20 |
JPS628370B2 true JPS628370B2 (ja) | 1987-02-23 |
Family
ID=15257355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57139946A Granted JPS5931220A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | Icマガジン多列供給機構 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4588342A (ja) |
JP (1) | JPS5931220A (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59114218A (ja) * | 1982-12-22 | 1984-07-02 | Nissan Motor Co Ltd | 部材供給装置 |
JPS611097A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-07 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | マガジン自動供給装置 |
JPH0751126B2 (ja) * | 1986-12-05 | 1995-06-05 | 住友電気工業株式会社 | 経皮血中ガスセンサ |
KR0147403B1 (ko) * | 1994-06-24 | 1998-11-02 | 문정환 | 칩자동 로딩장치 |
GB2292721A (en) * | 1994-09-01 | 1996-03-06 | Sun Ind Coatings | System for processing electrical or electronic components |
US5470196A (en) * | 1994-10-14 | 1995-11-28 | Hughes Aircraft Company | Carrier handling system |
US6112940A (en) * | 1998-01-16 | 2000-09-05 | Micron Electronics, Inc. | Vertical magazine apparatus for integrated circuit device dispensing, receiving or storing |
US6135291A (en) * | 1998-01-16 | 2000-10-24 | Micron Electronics, Inc. | Vertical magazine method for integrated circuit device dispensing, receiving, storing, testing or binning |
US6607071B1 (en) * | 1998-10-19 | 2003-08-19 | Mirae Corporation | Sealed test chamber for module IC handler |
US6162009A (en) * | 1998-11-17 | 2000-12-19 | Kval, Inc. | Article dispenser and feeder |
US6071067A (en) * | 1999-04-02 | 2000-06-06 | Advanced Micro Devices, Inc. | Tube pusher plate including rotary disk and cylindrical guide rod |
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WO2011058643A1 (ja) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | 株式会社データンク | フラッシュメモリ用マガジン |
US20110182020A1 (en) * | 2009-11-13 | 2011-07-28 | Hiromitsu Sato | Automated supplier for flash memory |
US8936425B2 (en) * | 2012-01-23 | 2015-01-20 | Tera Autotech Corporation | Ancillary apparatus and method for loading glass substrates into a bracket |
CN105398785B (zh) * | 2015-11-25 | 2018-08-21 | 东莞市冠佳电子设备有限公司 | 插件用管状料自动推送料装置 |
CN111987087B (zh) * | 2019-12-31 | 2022-06-03 | 深圳宝汇芯电子有限公司 | 一种可堆叠微电子封装控制方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1880112A (en) * | 1932-09-27 | Transporting mechanism s or book match making machines | ||
US1925676A (en) * | 1929-10-26 | 1933-09-05 | Advance Machine Co | Vending machine |
US3040934A (en) * | 1960-04-25 | 1962-06-26 | Weiner David | Dispenser for dental alloys and mercury |
AT241565B (de) * | 1963-04-03 | 1965-07-26 | Elbak Akkumulatorenfabrik Ges | Vorrichtung zum Entnehmen von Platten und Scheidern für Akkumulatoren aus Stapeln und Sammeln zu Blocks |
US4073373A (en) * | 1976-03-26 | 1978-02-14 | Crowley Norman R | Laminate stacking apparatus and method |
JPS5552824A (en) * | 1978-10-04 | 1980-04-17 | Shinko Electric Co Ltd | Automatic feeder |
US4294347A (en) * | 1979-02-21 | 1981-10-13 | Furlette James L | Automatic accumulating lift and carry transfer mechanism |
JPS5628123A (en) * | 1979-08-08 | 1981-03-19 | Toshiba Corp | Feeder for saucer-shaped parts |
US4407405A (en) * | 1981-07-06 | 1983-10-04 | Android Corporation | Work transfer device |
US4407406A (en) * | 1981-10-26 | 1983-10-04 | Western Electric Company, Incorporated | Walking beam mechanism |
-
1982
- 1982-08-13 JP JP57139946A patent/JPS5931220A/ja active Granted
-
1983
- 1983-08-05 US US06/520,688 patent/US4588342A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5931220A (ja) | 1984-02-20 |
US4588342A (en) | 1986-05-13 |
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