JPS627961B2 - - Google Patents

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JPS627961B2
JPS627961B2 JP54086556A JP8655679A JPS627961B2 JP S627961 B2 JPS627961 B2 JP S627961B2 JP 54086556 A JP54086556 A JP 54086556A JP 8655679 A JP8655679 A JP 8655679A JP S627961 B2 JPS627961 B2 JP S627961B2
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JP
Japan
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voltage
detection system
displacement detection
output
voltage controlled
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JP54086556A
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Piitaa Moorisu Adorian
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ZF International UK Ltd
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Lucas Industries Ltd
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Publication of JPS627961B2 publication Critical patent/JPS627961B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/2405Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by varying dielectric

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は部材の変位をその動作環境の変動に
影響を受けないで正確に測定する変位検出システ
ムに関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の変位検出システムとしては、部
材の変位を視覚的な方法で表示できるよう電気信
号に変換し、部材の変位または位置を直接表示す
る検出システムの方式が多く知られている。検出
システムにおける1つの問題としては、検出器の
動作環境の変化に伴うドリフトがある。例えば、
温度が上昇するとインダクタンスまたは静電容量
の値に影響する間隙の減少が起ることがある。こ
のため検出器は再度較正する必要がある。しか
し、この再較正を使用中にせねば所望の高精度の
変位検出ができない場合には、たとえば温度補正
手段を講じなければならない。このような補正手
段を正確に作動させるには、その適正な補正量を
検出値に加える必要上、検出器と補正手段とを共
に使用前にあらかじめ広範囲にわたつて較正せね
ばならなかつた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、
その目的は、動作環境の変動の著しい場合にも検
出器の変位の測定が高精度に得られる変位検出シ
ステムを提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
この目的を達成するために本発明は、電圧制御
発振器と位相比較器とを含み電圧−周波数変換器
からの基準周波数の位相に追随するように制御さ
れる一対のPLL回路と、 上記電圧制御発振器は、同時相補的に変化する
リアクタンス値を有するリアクタンス要素をそれ
ぞれ有してその各発振出力の位相が互いに同時相
補的に変化し、 上記要素のリアクタンス値の和に依存する電圧
を発生して上記電圧−周波数変換器に加える手段
と、 2つの上記電圧制御発振器の出力の位相を比較
する手段にして、該手段の出力がカウンターに与
えられ、該カウンターは上記電圧−周波数変換器
から更に別の入力を受け、該カウンターによる計
数値は2つの上記電圧制御発振器の出力の位相差
を示し、該位相差は2つのリアクタンス要素のリ
アクタンス値の差、従つて検出部分の位置を表わ
すところの該位相比較手段とを有することを特徴
とする変位検出システムを提供せんとするもので
ある。
〔作用〕
第2図と第3図に基づいて作用を以下に説明す
る。
本発明の原理的ブロツク図を第2図に示す。位
相比較器21、低域濾波器19、電圧制御発振器
17からなるループと、位相比較器20、低域濾
波器21、電圧制御発振器16からなるループは
それぞれ1対のPLL回路を構成している。この1
対のPLL回路の一方において、位相比較器20は
電圧−周波数変換器22の出力を周波数分割器2
3で分周した出力信号Fと電圧制御発振器16の
出力信号とを比較してそれらの位相差に相当する
信号を低域濾波器18を介して上記電圧制御発振
器16に発振周波数制御電圧V2として供給す
る。その結果、この電圧制御発振器16の発振周
波数と位相は上記信号Fとその位相に追随するよ
うになつている。さらに1対のPLL回路の残りの
ループにおいても同様のことが言える。
いま、コンデンサ13の容量が変化すると、第
1図と第2図に示す電極の外部リード線15を介
して電圧制御発振器16の発振周波数が変化し、
周波数分割器23の出力信号との間に位相差が生
ずるのでこの電圧制御発振器16の制御電圧V2
も変化して抵抗26の下端の電位を変化させる。
このとき、コンデンサ13および14の容量の
変化が、検出部材10の変位のみによるもので、
その動作環境の変化が存在しないならば、両電圧
制御発振器16,17の発振周波数は互いに相補
的に変化する。それゆえ、両電圧制御発振器1
6,17の発振周波数制御電圧V1とV2とは互い
に逆極性に変化する。したがつて、上記抵抗26
の中点の電位は変化しないから、この中点の電位
で制御される電圧−周波数変換器22の出力信号
の周波数も変化しない。
一方、動作環境の変化がある場合、たとえば周
囲温度の変化や、あるいは液体の誘電率の変化な
どがある場合、コンデンサ13,14の容量の和
が変化するので、電圧−周波数変換器22の出力
の周波数が変化し、周波数分割器23の出力信号
Fの周波数も変化する。
いずれにしても、両電圧制御発振器による出力
信号A,Bが位相比較回路25に送られ、この信
号A,Bの位相差が変位検出部材10の変位量と
その方向に対応するパルス幅を有する信号Pに変
換されてこの位相比較回路25によつて出力され
るようにし、かつこの信号Pのパルス幅を電圧−
周波数変換器22の出力信号によつて制御される
カウンター24で計数し、信号Pのパルス幅に相
当するパルス列からなる信号Dが出力される。
このように動作環境の変化が存在しない場合に
は、この信号Dによつて前述の如く変位検出部材
の変位量とその方向を表示することができる。ま
た、動作環境の変化が存在する場合は、前述の説
明から理解できる通り、信号Pの周波数の変化即
ち、そのパルス幅の変化とこれを計数するカウン
ター24の制御する電圧−周波数変換器22の周
波数の変化とは同程度の割合で変化するから、結
局、信号Dのパルスの個数は動作環境による変動
は受けない。
〔実施例〕
次に本発明による変位検出システムの実施例を
添付図面を参照しながら説明する。
第1図において、10は位置を検出すべき部材
を示し、具体的な例としてこの部材は開口部11
内に置かれたピストンを形成している。更に、開
口部とピストンは内燃機関に燃料を供給する噴射
ポンプの燃料供給システムの一部を構成してい
る。使用に際して燃料は開口部11の一端に供給
され、その結果ピストンが開口部11の他端に向
つて変位し、該他端に含まれる燃料が噴射ポンプ
内に排出される。これにより、ピストンの動きは
噴射ポンプに供給される燃料の量を示す。
第1図の上側に示すように、ピストンの両端は
縮小した径を有して開口部11の拡大部に位置す
る。開口部の拡大部には1対のリング部材12が
あり、各リング部材はコンデンサの一方の電極を
構成し、他方の電極はピストンの隣接する縮小径
部によつて構成される。両リング部材は開口部の
拡大部の壁から電気的に絶縁されている。第1図
の下側は電気的な回路図を示し、該回路は2つの
可変容量コンデンサ13,14を含み、各コンデ
ンサの一方の電極はアースに接続され、他方の電
極は外部リード線15,16aにそれぞれ接続さ
れ、一方のコンデンサの容量が増加すると他方の
コンデンサの容量が減少する。更に、動作環境の
変化、例えば燃料の誘電率の変化、または温度変
化に伴うリング部材12とピストンの縮径端部と
の間隙の変化がない限り、2つのコンデンサの容
量の和は一定である。
次に第2図において、2つのコンデンサ13,
14はそれぞれ1対の電圧制御発振器16,17
に接続されている。両発振器の入力には1対の低
域フイルター18,19からの出力電圧V1,V
2が加えられ、各低域フイルターの入力は1対の
位相比較器20,21の出力にそれぞれ接続され
ている。各位相比較器はそれぞれに対応する発振
器の出力を受取り、2つの位相比較器と2つのフ
イルターと2つの電圧制御発振器とによつてAと
Bで示される1対の位相ロツクループ(以下、
PLL、という)回路が構成される。
更に電圧制御周波数発生器、即ち電圧、周波数
変換器22が設けられている。該変換器の出力は
周波数分割器23に加えられ、周波数分割器の出
力は位相比較器20,21の他の入力に接続され
ている。周波数分割器23の出力周波数は以下に
おいて基準周波数と呼ばれる。
電圧、周波数変換器22の出力はカウンター2
4に加えられる。この出力の周波数は前記の基準
周波数に周波数分割器23の分割比を乗じたもの
に等しい。カウンター24には更に2つの電圧制
御発振器16,17の出力の位相差信号が加えら
れ、該位相差信号は全体として25で示される位
相比較回路により得られる。
低域フイルター18,19の出力電圧V1,V
2はそれぞれ非反転増幅器を通してタツプ付き抵
抗器26の両端に接続されて加え合わされる。抵
抗器26のタツプ電圧は増幅回路網27に介して
電圧、周波数変換器22に加えられる。
上記回路の動作を以下に説明する。
位相比較記21、低域濾波器19、電圧制御発
振器17からなるループ、および位相比較器2
0、低域濾波器21、電圧制御発振器16からな
るループはそれぞれPLLを構成しており、電圧−
周波数変換器22の出力を分周する周波数分割器
23の出力Fの位相に電圧制御発振器17の出力
Aおよび電圧制御発振器16の出力Bの位相が一
定の位相差を保つて追随するように制御してお
り、この状態を第3図の中央に示す。この位相差
は位相比較器20,21の入力FとAあるいはB
がこの予め定めた位相差を有するときに0出力を
生ずるようにすることにより達成されたものであ
り、偏倚の方向を判別するためにこのような位相
差を予め設定した。
仮に、燃料の供給量が変化して第1図の検出部
材10が図の左方に移動したとすると、コンデン
サ13の容量C1が増加し、コンデンサ14の容
量C2はコンデンサ13の増加量に等しい量だけ
減少する(C1>C2の場合)。
このコンデンサ13の容量の増加は電圧制御発
振器16の出力信号の位相を第3図左方のAに示
すように変化させ、また電圧制御発振器17の出
力信号の位相を同図左方のBに示すように変化さ
せるが、この図では電圧制御発振器16の出力の
位相が進み、電圧制御発振器17の位相が遅れる
ものとして示してあり、周波数の変化は僅少であ
るから無視してある。
このような電圧制御発振器16および17の出
力位相の変化は、それぞれの位相比較器20,2
1から上記周波数分割器23の出力Fとの位相差
に基づく出力を生ずるが、この位相比較器20,
21からの出力は互いに逆極性で同一の電圧とな
り、これら位相比較器20,21から低域濾波器
18,19を経た信号が増幅されてその両端に印
加される抵抗26の中央に設けられたタツプの電
位は電圧制御発振器16,18の位相変化によつ
ても変化せず、したがつてこのタツプの電圧が増
幅されて周波数制御電圧として供給される電圧−
周波数変換器22の発振出力の位相、したがつて
この出力を分割した周波数分割器23の出力Fの
位相も変化しない。
しかしながら、周囲温度の変化などにより、コ
ンデンサ13のコンデンサ14の容量の合計が変
化すると、位相比較器20,21が出力する位相
差信号はもはや打ち消し合うことができず、抵抗
26の中点の電圧も変化して電圧−周波数変換器
22の発振周波数を変化させる。
一方、前記電圧制御発振器16および電圧制御
発振器17の出力は位相比較回路25においてそ
の位相が比較されて第3図Pに示す出力を発生す
る。このP出力は電圧制御発振器17の出力Aの
立ち上がりで立ち上がり、電圧制御発振器16の
出力Bの立ち下がりにより立ち下がるように生成
される。
カウンター24はこのP信号の存在期間中に電
圧−周波数変換器22の出力パルスを計数し、こ
の計数値は第1図の検出部材(ピストン)10の
偏倚量、したがつて燃料の流量を示す値に比例す
るから、この計数値を流量により較正しておけば
その流量を測定することができる。
前述のように、周囲温度の変化などによりコン
デンサ13,14の合計容量が変化すると、電圧
−周波数変換器22の発振周波数が変化し、その
変化量に対応して電圧制御発振器16,17の発
振周波数も変化し、第3図にF,A,B,P,D
で示した各波形は同一の割合で時間軸方向の長さ
を変えるので、カウンター24の計数値は周囲温
度の変化の影響を受けることなく流量を測定する
ことができる。
次に第4図、第5図、及び第6図について説明
する。第4図では第2図に示すシステムの要素と
同一の要素には同じ参照番号が使われている。第
2図の実施例と異り、第4図の回路では電圧制御
発振器16,17に加える制御電圧は電圧制御周
波数発生器、即ち電圧、周波数変換器22に加え
る電圧を作ることには使われていない。その代り
に変換器22に加える制御電圧は、第5図に詳細
な回路を示すところのON/OFF比−電圧変換器
29により作られる。
電圧制御発振器16,17の出力は基準周波数
と共に論理回路28に入力し、該論理回路28は
信号X及びYを出力してカウンター24とON/
OFF比−電圧変換器29にそれぞれ供給する。
第6図は論理回路28の入力関係を示す。
以上の2つの実施例で説明したように、本発明
による変位検出システムは単純な機械的構造を有
する検出端を用いることにより検出の安定性と各
部材の耐久性に寄与し、リアクタンスの変化とし
て検出した変位量を電子回路によつて直読できる
信号形成に変換し、更に検出端の動作環境の変化
に帰因して生ずるリアクタンスの変化を自動的に
補正することにより、簡単な操作で高精度の測定
を可能にするものである。
【図面の簡単な説明】
第1図の上側は本発明による変位検出部材の機
械的構造を示し、下側は等価的な電気回路を示
す。第2図は本システムの電子回路の一実施例を
示す。第3図は第2図の回路における各信号の時
間的動作図である。第4図と第5図は電子回路の
他の実施例を示す。第6図は第4図と第5図の回
路における各信号の動作図である。 10……検出部材(ピストン)、12……リン
グ部材(電極)、13,14……等価可変静電容
量、16,17……電圧制御発振器、20,21
……位相比較器、22……電圧周波数変換器、2
4……カウンター、28……論理回路、29……
ON/OFF比−電圧変換器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 電圧制御発振器16,17と位相比較器2
    0,21とを含み電圧−周波数変換器22からの
    基準周波数の位相に追随するように制御される一
    対のPLL回路と、 上記電圧制御発振器は、同時相補的に変化する
    リアクタンス値を有するリアクタンス要素をそれ
    ぞれ有してその各発振出力の位相が互いに同時相
    補的に変化し、 上記要素のリアクタンス値の和に依存する電圧
    を発生して上記電圧−周波数変換器22に加える
    手段と、 2つの上記電圧制御発振器16,17の出力の
    位相を比較する手段にして、該手段の出力がカウ
    ンター24に与えられ、該カウンター24は上記
    電圧−周波数変換器22から更に別の入力を受
    け、該カウンター24による計数値は2つの上記
    電圧制御発振器16,17の出力の位相差を示
    し、該位相差は2つのリアクタンス要素のリアク
    タンス値の差、従つて検出部材10の位置を表わ
    すところの該位相比較手段とを有することを特徴
    とする変位検出システム。 2 上記の各PLL回路が低域フイルター18,1
    9を位相比較器20,21と電圧制御発振器1
    6,17の間に含むことを特徴とする上記特許請
    求の範囲第1項に記載の変位検出システム。 3 上記リアクタンス要素のリアクタンス値の和
    に依存する電圧を発生する上記手段が各低域フイ
    ルター18,19の出力電圧を加え合わせる手段
    を含むことを特徴とする上記特許請求の範囲第2
    項に記載の変位検出システム。 4 上記電圧加算手段がタツプ付抵抗器26を含
    み、上記各低域フイルター18,19の出力電圧
    がそれぞれ増幅器を介して該抵抗器26の両端に
    供給され、該抵抗器26のタツプが電圧−周波数
    変換器22に接続されることを特徴とする上記特
    許請求の範囲第3項に記載の変位検出システム。 5 上記電圧制御発振器16,17の出力の位相
    を比較する手段が位相比較回路25を含むことを
    特徴とする上記特許請求の範囲第4項に記載の変
    位検出システム。 6 上記リアクタンス要素のリアクタンス値の和
    に依存する電圧を発生する手段が論理回路28と
    ON/OFF比−電圧変換器29とを含み、上記電
    圧制御発振器16,17の出力が該論理回路28
    に供給されることを特徴とする上記特許請求の範
    囲第1項又は第2項に記載の変位検出システム。 7 上記論理回路28が上記の各電圧制御発振器
    16,17の出力の位相を比較する手段を構成す
    ることを特徴とする上記特許請求の範囲第6項に
    記載の変位検出システム。
JP8655679A 1978-07-12 1979-07-10 Displacement detecting system Granted JPS5515090A (en)

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GB7829554 1978-07-12

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JPS5515090A JPS5515090A (en) 1980-02-01
JPS627961B2 true JPS627961B2 (ja) 1987-02-20

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Country Status (14)

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JP (1) JPS5515090A (ja)
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AU (1) AU523355B2 (ja)
BR (1) BR7904395A (ja)
CA (1) CA1139393A (ja)
DE (1) DE2928034A1 (ja)
ES (1) ES482454A1 (ja)
FR (1) FR2431115A1 (ja)
IN (1) IN152222B (ja)
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PL (1) PL123406B1 (ja)
ZA (1) ZA793368B (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3029743C2 (de) * 1980-08-06 1986-02-27 Messer Griesheim Gmbh, 6000 Frankfurt Vorrichtung zur Konstanthaltung des Abstandes eines Werkzeuges von einem zu bearbeitenden Werkstück
US4654663A (en) * 1981-11-16 1987-03-31 Piezoelectric Technology Investors, Ltd. Angular rate sensor system
US4646009A (en) * 1982-05-18 1987-02-24 Ade Corporation Contacts for conductivity-type sensors
EP0305871B1 (en) * 1987-08-26 1991-05-08 Oki Electric Industry Company, Limited Wire-dot print head driving apparatus
DE3804721A1 (de) * 1988-02-15 1989-08-24 Siemens Ag Messumformer fuer weg- und/oder winkelmessungen an rotierenden teilen nach dem traegerfrequenzprinzip
JP2738786B2 (ja) * 1991-10-25 1998-04-08 沖電気工業株式会社 ワイヤドットヘッドの駆動装置
US5204674A (en) * 1991-10-28 1993-04-20 Conameter Corporation Servo mechanism with differential phase shift feedback
JP3335122B2 (ja) 1998-05-06 2002-10-15 松下電器産業株式会社 角速度センサ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL214535A (ja) * 1956-02-14 1963-08-15
FR72067E (fr) * 1957-06-17 1960-03-21 Onera (Off Nat Aerospatiale) Perfectionnements apportés aux appareils à variation d'inductance
US3127571A (en) * 1958-06-13 1964-03-31 Ici Ltd Apparatus for producing frequency changes by oppositely varying two inductors
DE1131900B (de) * 1958-09-30 1962-06-20 Hagenuk Neufeldt Kuhnke Gmbh Verfahren zur Umwandlung mechanischer Verschiebungen oder Schwingungen in elektrische Strom- oder Spannungswerte
US2978638A (en) * 1959-01-26 1961-04-04 Sperry Rand Corp Coercion-free capacitance bridge pick-off
US3312903A (en) * 1959-03-04 1967-04-04 Itt Jitter compensating circuit for angle encoding apparatus
US2991462A (en) * 1959-03-06 1961-07-04 Cubic Corp Phase-to-digital and digital-to-phase converters
FR1311838A (fr) * 1961-08-29 1962-12-14 Telecomputing Corp Système de mesure de phase
US3188627A (en) * 1962-01-30 1965-06-08 Itt Shaft angle encoding apparatus
US3263167A (en) * 1962-10-04 1966-07-26 Reliance Electric & Eng Co Apparatus for measuring the non-linear dimension of a workpiece
US3323699A (en) * 1965-10-04 1967-06-06 Allegheny Ludlum Steel Strip centerline sensor and control
US3753373A (en) * 1965-10-22 1973-08-21 Bissett Berman Corp Transducer system
GB1175803A (en) * 1968-02-12 1969-12-23 Rank Organisation Ltd Improvements in or relating to Potentiometers
US3857089A (en) * 1972-06-08 1974-12-24 Royal Industries Magnetic position indicator
FR2254779B1 (ja) * 1973-12-18 1980-02-08 Roulements Soc Nouvelle

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