JPS6275314A - 変位検出器 - Google Patents
変位検出器Info
- Publication number
- JPS6275314A JPS6275314A JP21519685A JP21519685A JPS6275314A JP S6275314 A JPS6275314 A JP S6275314A JP 21519685 A JP21519685 A JP 21519685A JP 21519685 A JP21519685 A JP 21519685A JP S6275314 A JPS6275314 A JP S6275314A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- displacement
- phase difference
- signal
- sensor
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、長さ、回転角等を検出する変位検出器に関し
、特に変位量に対し９０度の位相差を有する２相の正弦
波に近似した信号を出力するインクリメンタル型の変位
検出器に関する。
、特に変位量に対し９０度の位相差を有する２相の正弦
波に近似した信号を出力するインクリメンタル型の変位
検出器に関する。
従来、長さや回転角等を検出する変位検出器として光学
式エンコーダや磁気式エンコーダが広く利用されている
。これらはガラス板や磁性体に等ピッチに信号を書込み
、これらを目盛として長さや回転角等を検出するもので
ある。
式エンコーダや磁気式エンコーダが広く利用されている
。これらはガラス板や磁性体に等ピッチに信号を書込み
、これらを目盛として長さや回転角等を検出するもので
ある。
ところで、書込まれた目盛以下まで読取る変位検出器と
して、変位量に対し９０゛の位相差を有する２相の正弦
波に近似した信号を出力するインクリメンタル型の変位
検出器の２相の出力信号のそれぞれと周波数で９０度位
相差の正弦波キャリア信号を乗算し、それらを加えるこ
とで変位ｍａ位相変調する回路がある。
して、変位量に対し９０゛の位相差を有する２相の正弦
波に近似した信号を出力するインクリメンタル型の変位
検出器の２相の出力信号のそれぞれと周波数で９０度位
相差の正弦波キャリア信号を乗算し、それらを加えるこ
とで変位ｍａ位相変調する回路がある。
ここで、２相検出信号Ｖ＾、 Ｖｎは目盛ピッチをλ、
変位！ｌをＸとすると、 ＶＡ ＝ Ｅｌ ｓｉｎ （２Ｔ［Ｘ／λ）
−−−−−・（１）Ｖｎ ＝ Ｅ２ ｃｏｓ （
２Ｔ［Ｘ／入） −−−−−−
（２）で表わされる。これとキャリア信号ＣＯＳωｃｔ
、ｓｉｎωｅｔ （周期：ωＣ）を乗算するとＶｌ′
Ｉ ＝ Ｅ２ Ｓｉｎ （２πＸ／λ）・ｃｏｓωｃｔ
−（３）ＶＪ−１２＝ Ｅ２ ｃｏｓ （２Ｔ［Ｘ
／λ）・５ｉｎｕｃｔ −−−−−・Ｃ４）となり、
これらを加えると Ｖｐ ＝ Ｅ２５ｉｎ（ｃｉ＋ｅｔ＋ ２Ｔ［ｘ／λ）
・−・−・（５）の出力を得る。つまり、キャ
リア信号ｓｉｎωｃｔに対し変位ｆｉｘによって位相変
調した信号■ｐヲ得ることができ、この位相差２１Ｘ／
λを測定することで一目盛以下までも高分解能に測定で
きる。
変位！ｌをＸとすると、 ＶＡ ＝ Ｅｌ ｓｉｎ （２Ｔ［Ｘ／λ）
−−−−−・（１）Ｖｎ ＝ Ｅ２ ｃｏｓ （
２Ｔ［Ｘ／入） −−−−−−
（２）で表わされる。これとキャリア信号ＣＯＳωｃｔ
、ｓｉｎωｅｔ （周期：ωＣ）を乗算するとＶｌ′
Ｉ ＝ Ｅ２ Ｓｉｎ （２πＸ／λ）・ｃｏｓωｃｔ
−（３）ＶＪ−１２＝ Ｅ２ ｃｏｓ （２Ｔ［Ｘ
／λ）・５ｉｎｕｃｔ −−−−−・Ｃ４）となり、
これらを加えると Ｖｐ ＝ Ｅ２５ｉｎ（ｃｉ＋ｅｔ＋ ２Ｔ［ｘ／λ）
・−・−・（５）の出力を得る。つまり、キャ
リア信号ｓｉｎωｃｔに対し変位ｆｉｘによって位相変
調した信号■ｐヲ得ることができ、この位相差２１Ｘ／
λを測定することで一目盛以下までも高分解能に測定で
きる。
しかしながら、上述した回路は、単位時間当りの変位量
、つまり速度が大きくなるにつれて出力ｖｐの変調周波
数が大きくなり、位相差が２■がら○へ変化するオーバ
ーフロー、またＯがら２ＴＴへ変化するアンダーフロー
を正しく検出できず、正確に変位量を検出することがで
きなくなるという欠点があった。
、つまり速度が大きくなるにつれて出力ｖｐの変調周波
数が大きくなり、位相差が２■がら○へ変化するオーバ
ーフロー、またＯがら２ＴＴへ変化するアンダーフロー
を正しく検出できず、正確に変位量を検出することがで
きなくなるという欠点があった。
本発明の目的は、速度か広節囲に変化する系においでも
高分解能な位相変調型の変位検出器を提供することであ
る。
高分解能な位相変調型の変位検出器を提供することであ
る。
本発明の変位検出器は、等ピッチｒ目盛られたスケール
と、前記スケールとの相対変位を２相の正弦波イこ近似
した信号に変換するセンサと、９０度位相差の２相の正
弦波のキャリア信号を発生するキャリア信号発生器と、
前記センサの出力信号と前記キャリア信号から変位量を
位相変調信号に変換する手段と、位相変調信号から変位
、ｔを取り出す手段と、前記センサの出力信号を矩形波
に整形する手段と、前記矩形波の信号を変位方向に応じ
て計数する手段と、前記矩形波の信号と前記位相変調信
号からの変位量により補正値を決定する手段と、前記矩
形波の信号の計数値を前記補正値で補正する手段を有す
る。
と、前記スケールとの相対変位を２相の正弦波イこ近似
した信号に変換するセンサと、９０度位相差の２相の正
弦波のキャリア信号を発生するキャリア信号発生器と、
前記センサの出力信号と前記キャリア信号から変位量を
位相変調信号に変換する手段と、位相変調信号から変位
、ｔを取り出す手段と、前記センサの出力信号を矩形波
に整形する手段と、前記矩形波の信号を変位方向に応じ
て計数する手段と、前記矩形波の信号と前記位相変調信
号からの変位量により補正値を決定する手段と、前記矩
形波の信号の計数値を前記補正値で補正する手段を有す
る。
スケールとセンサの相対位置が高速で移動した場合、前
述したように、位相変調信号の周波数が大きく、従来の
ように位相変調信号の位相差から変位量を検出できない
ので、この場合、矩形波の信号の計数値から変位Ｊｌを
検出する。ところで、この計数値は、位相変調信号から
変位ｌｉｔ取り出す手段の値（変位量）がオーバーフロ
ーした時点でインクリメントされ、アンダーフローした
時点でデクリメントされるべきであるが、整形する手段
の設定条件や特性変化により必ずしも一敗しないので、
補正（！ｉを決定する手段により、整形された矩形波の
両信号が１目盛の１／４のどのゾーンに位置するか判別
し、かつこれと変位量を取り出す手段の値（変位量）を
比較して補正値を決め、矩形波の信号の計数値をこの補
正値で補正する。
述したように、位相変調信号の周波数が大きく、従来の
ように位相変調信号の位相差から変位量を検出できない
ので、この場合、矩形波の信号の計数値から変位Ｊｌを
検出する。ところで、この計数値は、位相変調信号から
変位ｌｉｔ取り出す手段の値（変位量）がオーバーフロ
ーした時点でインクリメントされ、アンダーフローした
時点でデクリメントされるべきであるが、整形する手段
の設定条件や特性変化により必ずしも一敗しないので、
補正（！ｉを決定する手段により、整形された矩形波の
両信号が１目盛の１／４のどのゾーンに位置するか判別
し、かつこれと変位量を取り出す手段の値（変位量）を
比較して補正値を決め、矩形波の信号の計数値をこの補
正値で補正する。
本発明の実施例について図面ヲ参照して説明する。
第１図は本発明の変位検出器の一実施例（磁気式ロータ
リエンコーダ）の構成図、菓２図は第１図中のスケール
１とセンサ２そ構成するＭＲ（磁気抵抗効果）素子の配
Ｍを示す図、第３図はセンサ２の回路図、第４図は第１
図中の方向判別回路１０の入出力信号の関係を示す図、
第５図は本実施例のタイムチャートである。
リエンコーダ）の構成図、菓２図は第１図中のスケール
１とセンサ２そ構成するＭＲ（磁気抵抗効果）素子の配
Ｍを示す図、第３図はセンサ２の回路図、第４図は第１
図中の方向判別回路１０の入出力信号の関係を示す図、
第５図は本実施例のタイムチャートである。
スケールにの場合、着磁ドラムのトラック）］には第２
図に示すように、着磁ピッチλでＮ極とＳ極が対向して
耐雷され、１周当りｎ個の極を有している。センサ２は
着磁トラック１の磁束変化を検出するＭＲ（磁気抵抗効
果）素子で構成され、ＭＲ素子Ｒ１とＲ２、Ｒ３とＲ４
は着磁ピッチλに対しでλ／また１す位置をずらして耐
雪され、またＭ日素子Ｒ１と８３は（＋／４＋Ｐ）λ（
第２図ではＰ＝２）だけずらして耐雷されでいる。これ
らＭＲ素子Ｒ１〜Ｒ４に直流電源を加えると、端子ａ２
． ｂ２には、（１）、 （２）式で表わされる２相検
出信号Ｖ＾、■［］が得られる。キャリア信号発生器３
は周波数ω。の９０度位相差の２相正弦波信号Ｖ［：＝
ＶＣＣＯＳ！１３ ｔ 、 Ｖｐ ＝Ｖｃ ｓｉｎω
ｔを出力する。アナログ乗算器４，５はそれぞれ信号Ｖ
Ａと信号ＶＥ、信号ＶＤと信号Ｖｐ％乗算Ｔる。アナロ
グ加算器６はアナログ乗算器４，５の乗算結果、すなわ
ち（３）、（４）式で表わされる信号ＶＭＩ、 ＶＨ
２を加算し、（５）式で表わされる位相変調信号ｖｐを
得る。位相差測定回路７は位相変調信号Ｖｐとキャリア
信号Ｖｃ ｓｉｎωａｔの位相差ＰＨ８測定し、変位量
を得る。この位相変調信号Ｖｐとキャリア信号Ｖｃ ｓ
ｉｎωａｔの位相差ＰＨを測定する例として周波数か６
４ω６のクロックパルスでキサ１ノア信号Ｖｃ ｓｉｎ
ωｃｔの立ち土がつ零クロス点から位相変調信号Ｖｐの
立ち上がり零クロス点までクロックパルスを計数すると
すると、位相差ＰＨ！ Ｉ／６４の分解能で測定できる
。つまり、−目盛の１／６４まで読取れることになる。
図に示すように、着磁ピッチλでＮ極とＳ極が対向して
耐雷され、１周当りｎ個の極を有している。センサ２は
着磁トラック１の磁束変化を検出するＭＲ（磁気抵抗効
果）素子で構成され、ＭＲ素子Ｒ１とＲ２、Ｒ３とＲ４
は着磁ピッチλに対しでλ／また１す位置をずらして耐
雪され、またＭ日素子Ｒ１と８３は（＋／４＋Ｐ）λ（
第２図ではＰ＝２）だけずらして耐雷されでいる。これ
らＭＲ素子Ｒ１〜Ｒ４に直流電源を加えると、端子ａ２
． ｂ２には、（１）、 （２）式で表わされる２相検
出信号Ｖ＾、■［］が得られる。キャリア信号発生器３
は周波数ω。の９０度位相差の２相正弦波信号Ｖ［：＝
ＶＣＣＯＳ！１３ ｔ 、 Ｖｐ ＝Ｖｃ ｓｉｎω
ｔを出力する。アナログ乗算器４，５はそれぞれ信号Ｖ
Ａと信号ＶＥ、信号ＶＤと信号Ｖｐ％乗算Ｔる。アナロ
グ加算器６はアナログ乗算器４，５の乗算結果、すなわ
ち（３）、（４）式で表わされる信号ＶＭＩ、 ＶＨ
２を加算し、（５）式で表わされる位相変調信号ｖｐを
得る。位相差測定回路７は位相変調信号Ｖｐとキャリア
信号Ｖｃ ｓｉｎωａｔの位相差ＰＨ８測定し、変位量
を得る。この位相変調信号Ｖｐとキャリア信号Ｖｃ ｓ
ｉｎωａｔの位相差ＰＨを測定する例として周波数か６
４ω６のクロックパルスでキサ１ノア信号Ｖｃ ｓｉｎ
ωｃｔの立ち土がつ零クロス点から位相変調信号Ｖｐの
立ち上がり零クロス点までクロックパルスを計数すると
すると、位相差ＰＨ！ Ｉ／６４の分解能で測定できる
。つまり、−目盛の１／６４まで読取れることになる。
しかし、この測定＠だけを検出量とし制御系で使用する
と、位相変調信号Ｖｐの周波数ωアかω、≦ωＣ／２．
２ω０≦ωアとなるとオーバーフロー、アンダーフロー
を検出できなく、ざらにω、＝Ｏのときには位相差ＰＨ
そのものを検出できなくなる。そこで、オーバーフロー
、アンダーフローを以下に述べる回路で検出する。まず
、信号Ｖ＾、 Ｖｎをそれぞれ整形回路９，８で整形す
る。方向判別回路１０は整形回路８，９の出力Ｓ＋、Ｓ
２’Ｆｒ入力し、第４図に示すように、スケール］が正
方向に回転した場合は出力Ｓ２の立ち上がりでパルスＳ
４を、またスケール１が負方向に回転した場合は出力Ｓ
２の立ち下がりでパルスＳ３ヲ出力する。アップダウン
カウンタ１１は方向判別回路１０の一出力Ｓ３＋Ｓ４を
それぞれダウンパルス、アップパルスとして入力し、こ
のパルスＳ３．Ｓ４を計数する。このアップダウンカウ
ンタ１１の計数値ＣＯは、位相差測定回路７の値がオー
バーフローした時点でインクリメントされ、アンダーフ
ローした時点でデクリメントされることによってオーバ
ーフロー、アンダーフローが検出されるべきであるが、
整形回路８，９の設定条件や特性変化のため、オーバー
フロー、アンダーフローの時点とアップダウンカウンタ
１１の計数値ＧＯの変化時点は必ずしも一敗せず、計数
値ＣＯは真のオーバーフロー、アンダーフロー数よりも
＋１ずれた値となる。そこで、補正値決定回路１２にお
いて、位相差ＰＨと整形回路８，９の両出力Ｓ、、Ｓ２
を入力し、位相差ＰＨと出力Ｓｚ’Ｆｒ比較してすれが
発生しでいる場合には、両出力Ｓｌ＋５２の値によって
分けた各ゾーンＴｌ ｒ Ｔ２＋ Ｔ３Ｌ Ｔ４に応じ
てアップダウンカウンタ１１の計数値ＣＯの補正値を決
定する。
と、位相変調信号Ｖｐの周波数ωアかω、≦ωＣ／２．
２ω０≦ωアとなるとオーバーフロー、アンダーフロー
を検出できなく、ざらにω、＝Ｏのときには位相差ＰＨ
そのものを検出できなくなる。そこで、オーバーフロー
、アンダーフローを以下に述べる回路で検出する。まず
、信号Ｖ＾、 Ｖｎをそれぞれ整形回路９，８で整形す
る。方向判別回路１０は整形回路８，９の出力Ｓ＋、Ｓ
２’Ｆｒ入力し、第４図に示すように、スケール］が正
方向に回転した場合は出力Ｓ２の立ち上がりでパルスＳ
４を、またスケール１が負方向に回転した場合は出力Ｓ
２の立ち下がりでパルスＳ３ヲ出力する。アップダウン
カウンタ１１は方向判別回路１０の一出力Ｓ３＋Ｓ４を
それぞれダウンパルス、アップパルスとして入力し、こ
のパルスＳ３．Ｓ４を計数する。このアップダウンカウ
ンタ１１の計数値ＣＯは、位相差測定回路７の値がオー
バーフローした時点でインクリメントされ、アンダーフ
ローした時点でデクリメントされることによってオーバ
ーフロー、アンダーフローが検出されるべきであるが、
整形回路８，９の設定条件や特性変化のため、オーバー
フロー、アンダーフローの時点とアップダウンカウンタ
１１の計数値ＧＯの変化時点は必ずしも一敗せず、計数
値ＣＯは真のオーバーフロー、アンダーフロー数よりも
＋１ずれた値となる。そこで、補正値決定回路１２にお
いて、位相差ＰＨと整形回路８，９の両出力Ｓ、、Ｓ２
を入力し、位相差ＰＨと出力Ｓｚ’Ｆｒ比較してすれが
発生しでいる場合には、両出力Ｓｌ＋５２の値によって
分けた各ゾーンＴｌ ｒ Ｔ２＋ Ｔ３Ｌ Ｔ４に応じ
てアップダウンカウンタ１１の計数値ＣＯの補正値を決
定する。
今、位相差ＰＨの分解能を１／６４ （８ビツト）とす
ると、位相差ＰＨのＭＳ８と出力Ｓ２とは本来−敗すべ
きであるので、第５図に示すように、これらが−敗しな
い時にずれが発生したことがわかる。ずれか発生した時
の補正値はその時の出力Ｓ２の値で判別でき、補正値決
定回路１２は出力Ｓ２が“０”の時は−１を、出力Ｓ２
が１”の時は＋１を補正値とする。ただし、ずれが発生
するのはゾーンがＴ４からＴ１へ、またはＴ、からＴ４
へ変わる時だけなので、ゾーンＴ２、Ｔ３にある時は補
正値は常にＯとする。加算器１３はアップダウンカウン
タ１１の計数値ＣＯに補正値決定回路１２で決定した補
正値を加算する。これにより、計数値ｃｏと位相差ＰＨ
のオーバーフロー、アンダーフローの時点を一敗きせる
ことができる。
ると、位相差ＰＨのＭＳ８と出力Ｓ２とは本来−敗すべ
きであるので、第５図に示すように、これらが−敗しな
い時にずれが発生したことがわかる。ずれか発生した時
の補正値はその時の出力Ｓ２の値で判別でき、補正値決
定回路１２は出力Ｓ２が“０”の時は−１を、出力Ｓ２
が１”の時は＋１を補正値とする。ただし、ずれが発生
するのはゾーンがＴ４からＴ１へ、またはＴ、からＴ４
へ変わる時だけなので、ゾーンＴ２、Ｔ３にある時は補
正値は常にＯとする。加算器１３はアップダウンカウン
タ１１の計数値ＣＯに補正値決定回路１２で決定した補
正値を加算する。これにより、計数値ｃｏと位相差ＰＨ
のオーバーフロー、アンダーフローの時点を一敗きせる
ことができる。
以上の構成において、スケール１とセンサ２の相対位貫
が高速で移動した場合、位相変調信号Ｖｐの変調周波数
が大きくなり、位相差測定回路７において位相差ＰＨヲ
正しく測定することができなくなり、位相差ＰＨのオー
バーフロー、アンダーフローが求められなくなる。そこ
で、スケール１とセンサ２の相対速度がある一定値以上
になるとアップダウンカウンタ１１の計数値のみを変位
量として用い、相対速度がある一定値以下になると補正
したアップダウンカウンタ１１の計数値と位相差ＰＨと
で変化量とする。
が高速で移動した場合、位相変調信号Ｖｐの変調周波数
が大きくなり、位相差測定回路７において位相差ＰＨヲ
正しく測定することができなくなり、位相差ＰＨのオー
バーフロー、アンダーフローが求められなくなる。そこ
で、スケール１とセンサ２の相対速度がある一定値以上
になるとアップダウンカウンタ１１の計数値のみを変位
量として用い、相対速度がある一定値以下になると補正
したアップダウンカウンタ１１の計数値と位相差ＰＨと
で変化量とする。
以上説明したように本発明は、インクリメンクル信号を
アップダウンカウンタで計数し、この計数値の変化時点
が位相変調信号の変位量のオーバーフロー、アンダーフ
ロ一時点と一敗するように計数値を補正し、低速域では
位相変調信号からの変位量とアップダウンカウンタの補
正された計数値、高速域ではアップダウンカウンタの計
数値を使用することにより、広範囲の速度系においで高
分解能な変位検出器を提供することができる効果がある
。
アップダウンカウンタで計数し、この計数値の変化時点
が位相変調信号の変位量のオーバーフロー、アンダーフ
ロ一時点と一敗するように計数値を補正し、低速域では
位相変調信号からの変位量とアップダウンカウンタの補
正された計数値、高速域ではアップダウンカウンタの計
数値を使用することにより、広範囲の速度系においで高
分解能な変位検出器を提供することができる効果がある
。
第１図は本発明の変位検出器の一実施例の構成図、第２
図は第１図中のスケール１とセンサ２を構成するＭＲ素
子の配置を示す図、第３図はセンサ２の回路図、第４図
は第１図中の方向判別回路１０の入出力信号の波形図、
第５図は第１図の実施例のタイムチャートである。 １・・・スケール、 ２・・・センサ、 ３・・・キャリア信号発生器、 ４．５−・・アナログ乗算器、 ６・・・アナログ加算器、 ７・・・位相差測定回路、 ８．９・・・整形回路、 １０・・・方向判別回路、 １１・・・アップダウンカウンタ、 １２・・・補正値決定回路、 １３・・・加算器。
図は第１図中のスケール１とセンサ２を構成するＭＲ素
子の配置を示す図、第３図はセンサ２の回路図、第４図
は第１図中の方向判別回路１０の入出力信号の波形図、
第５図は第１図の実施例のタイムチャートである。 １・・・スケール、 ２・・・センサ、 ３・・・キャリア信号発生器、 ４．５−・・アナログ乗算器、 ６・・・アナログ加算器、 ７・・・位相差測定回路、 ８．９・・・整形回路、 １０・・・方向判別回路、 １１・・・アップダウンカウンタ、 １２・・・補正値決定回路、 １３・・・加算器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 等ピッチで目盛られたスケールと、 前記スケールとの相対変位を２相の正弦波に近似した信
号に変換するセンサと、 ９０度位相差の２相の正弦波のキャリア信号を発生する
キャリア信号発生器と、 前記センサの出力信号と前記キャリア信号から変位量を
位相変調信号に変換する手段と、 位相変調信号から変位量を取り出す手段と、前記センサ
の出力信号を矩形波に整形する手段と、 前記矩形波の信号を変位方向に応じて計数する手段と、 前記矩形波の信号と前記位相変調信号からの変位量によ
り補正値を決定する手段と、 前記矩形波の信号の計数値を前記補正値で補正する手段
を有する変位検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21519685A JPS6275314A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 変位検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21519685A JPS6275314A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 変位検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6275314A true JPS6275314A (ja) | 1987-04-07 |
Family
ID=16668275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21519685A Pending JPS6275314A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | 変位検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6275314A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020152761A1 (ja) * | 2019-01-22 | 2021-09-09 | 三菱電機株式会社 | 回転角度検出装置、および当該回転角度検出装置を含む電動パワーステアリング装置 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP21519685A patent/JPS6275314A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2020152761A1 (ja) * | 2019-01-22 | 2021-09-09 | 三菱電機株式会社 | 回転角度検出装置、および当該回転角度検出装置を含む電動パワーステアリング装置 |
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