JPH1019602A - 磁気エンコーダ - Google Patents
磁気エンコーダInfo
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- JPH1019602A JPH1019602A JP19146596A JP19146596A JPH1019602A JP H1019602 A JPH1019602 A JP H1019602A JP 19146596 A JP19146596 A JP 19146596A JP 19146596 A JP19146596 A JP 19146596A JP H1019602 A JPH1019602 A JP H1019602A
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- Japan
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- signal
- phase
- sensors
- voltage
- magnetic
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転数および回転方向が変化したとき非線形
に変化する中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット
電圧を除去し、さらに振れ回りによる振幅変動の影響も
少なくすることができる磁気エンコーダ装置を提供す
る。 【解決手段】 表面にＮ対の磁石が等間隔に配置された
回転体と、Ａ相、Ｂ相２つの信号を検出する磁気抵抗効
果素子からなる２個のＭＲセンサを、前記回転体の回転
軸に直角に対向配置し、前記磁気抵抗効果素子の各Ａ相
信号、各Ｂ相信号それぞれの差動信号を検出信号とする
磁気エンコーダにおいて、前記２個のＭＲセンサの対向
角度を１８０度±１８０度／Ｎとするものである。
に変化する中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット
電圧を除去し、さらに振れ回りによる振幅変動の影響も
少なくすることができる磁気エンコーダ装置を提供す
る。 【解決手段】 表面にＮ対の磁石が等間隔に配置された
回転体と、Ａ相、Ｂ相２つの信号を検出する磁気抵抗効
果素子からなる２個のＭＲセンサを、前記回転体の回転
軸に直角に対向配置し、前記磁気抵抗効果素子の各Ａ相
信号、各Ｂ相信号それぞれの差動信号を検出信号とする
磁気エンコーダにおいて、前記２個のＭＲセンサの対向
角度を１８０度±１８０度／Ｎとするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械のテーブ
ルの移動、モータの回転位置など、高速回転する回転体
の回転位置を検出する磁気エンコーダに関する。
ルの移動、モータの回転位置など、高速回転する回転体
の回転位置を検出する磁気エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、工作機械のテーブルの移動やモー
タの回転位置を検出する手段として磁気エンコーダが使
われている。磁気エンコーダは９０゜位相の異なるsin
相、cos 相（以下それぞれＡ相、Ｂ相という）２つのア
ナログ信号を出力し、この９０゜位相の異なる前記Ａ
相、Ｂ相のアナログ信号の加減算により目的とする位相
の正弦波信号を生成し、これをディジタル化し、このデ
ィジタル信号の演算により、高分解能のデジタル信号を
得るようにしたものである。２つのＭＲセンサ（磁気抵
抗効果素子）の中点電圧すなわちオフセット電圧がロー
タの回転数により変化するため、この磁気エンコーダで
は、オフセット電圧の変化により前述の高分解能のディ
ジタル信号の精度が低下するという問題がある。特願平
５ー２１４８５９は、この問題の解決方法を提案したも
ので、実施例を図５に示す。この発明による磁気エンコ
ーダにおいて、磁気エンコーダのロータ１の回転数によ
り、２組の磁気抵抗効果素子２ａ・２ｂ、２ｃ・２ｄの
中点電圧のＤＣ成分すなわちオフセット電圧が変化す
る。その対策として、オフセット電圧の変化量がロータ
の回転数に比例することを前提として、Ｆ／Ｖ変換器９
・１０により得られた回転数と、回転方向検出回路１１
の信号とからオフセット電圧を推定し、この推定値によ
りオフセット電圧を補正をするものである。
タの回転位置を検出する手段として磁気エンコーダが使
われている。磁気エンコーダは９０゜位相の異なるsin
相、cos 相（以下それぞれＡ相、Ｂ相という）２つのア
ナログ信号を出力し、この９０゜位相の異なる前記Ａ
相、Ｂ相のアナログ信号の加減算により目的とする位相
の正弦波信号を生成し、これをディジタル化し、このデ
ィジタル信号の演算により、高分解能のデジタル信号を
得るようにしたものである。２つのＭＲセンサ（磁気抵
抗効果素子）の中点電圧すなわちオフセット電圧がロー
タの回転数により変化するため、この磁気エンコーダで
は、オフセット電圧の変化により前述の高分解能のディ
ジタル信号の精度が低下するという問題がある。特願平
５ー２１４８５９は、この問題の解決方法を提案したも
ので、実施例を図５に示す。この発明による磁気エンコ
ーダにおいて、磁気エンコーダのロータ１の回転数によ
り、２組の磁気抵抗効果素子２ａ・２ｂ、２ｃ・２ｄの
中点電圧のＤＣ成分すなわちオフセット電圧が変化す
る。その対策として、オフセット電圧の変化量がロータ
の回転数に比例することを前提として、Ｆ／Ｖ変換器９
・１０により得られた回転数と、回転方向検出回路１１
の信号とからオフセット電圧を推定し、この推定値によ
りオフセット電圧を補正をするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述の特願平５ー２１
４８５９では、中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセ
ット電圧は、回転数に比例すると仮定してオフセット電
圧を補正していた。しかし、リラクタンス式磁気エンコ
ーダにおいては、図３に示すようにオフセット電圧は回
転数に比例せず、原点にほぼ対称な非線形な関係にな
る。これに対して、２つのＭＲセンサを機械角で１８０
゜対向する位置に配置し、ＭＲセンサからの信号の差分
を取ることにより、２つのＭＲセンサに発生するオフセ
ット電圧を差し引いてオフセット電圧の影響をなくす方
法が考えられる。しかし、機械角で１８０゜の位置に２
つのＭＲセンサを配置する場合、振幅電圧をＡ、回転角
をＸ、磁性体歯車の歯数をＮ（Ｎは通常２ｎとされる。
但し、ｎは整数）、磁性体歯車に振れ回りがあるとき、
その振幅をａとし、回転数により変化する中点電圧のＤ
Ｃ電圧成分すなわちオフセット電圧をＶoff とすると
き、ＭＲセンサ１、ＭＲセンサ２の信号f 、 gはそれぞ
れ（１式）（２式）で表すことができる。 f ＝(A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（１式） g ＝(A+a*sin(X+180゜))*sin(N*(X+180 ゜))+Voff さらに、Ｎは通常２の倍数であるので、次のように変形
される。 g ＝(A-a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（２式） （１式）、（２式）の差分信号f-g は、 f-g ＝2*a*sinX*sin(N*X) ・・・（３式） となり、差分信号は図４のようになる。但し、* 印は×
と同じ。すなわち、中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオ
フセット電圧成分は除去できるが振れ回りによる振幅変
動は強調されることになる。そこで本発明は、回転数お
よび回転方向が変化したとき非線形に変化する中点電圧
のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧を除去し、さら
に振れ回りによる振幅変動の影響も少なくすることがで
きる磁気エンコーダ装置を提供する。
４８５９では、中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセ
ット電圧は、回転数に比例すると仮定してオフセット電
圧を補正していた。しかし、リラクタンス式磁気エンコ
ーダにおいては、図３に示すようにオフセット電圧は回
転数に比例せず、原点にほぼ対称な非線形な関係にな
る。これに対して、２つのＭＲセンサを機械角で１８０
゜対向する位置に配置し、ＭＲセンサからの信号の差分
を取ることにより、２つのＭＲセンサに発生するオフセ
ット電圧を差し引いてオフセット電圧の影響をなくす方
法が考えられる。しかし、機械角で１８０゜の位置に２
つのＭＲセンサを配置する場合、振幅電圧をＡ、回転角
をＸ、磁性体歯車の歯数をＮ（Ｎは通常２ｎとされる。
但し、ｎは整数）、磁性体歯車に振れ回りがあるとき、
その振幅をａとし、回転数により変化する中点電圧のＤ
Ｃ電圧成分すなわちオフセット電圧をＶoff とすると
き、ＭＲセンサ１、ＭＲセンサ２の信号f 、 gはそれぞ
れ（１式）（２式）で表すことができる。 f ＝(A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（１式） g ＝(A+a*sin(X+180゜))*sin(N*(X+180 ゜))+Voff さらに、Ｎは通常２の倍数であるので、次のように変形
される。 g ＝(A-a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（２式） （１式）、（２式）の差分信号f-g は、 f-g ＝2*a*sinX*sin(N*X) ・・・（３式） となり、差分信号は図４のようになる。但し、* 印は×
と同じ。すなわち、中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオ
フセット電圧成分は除去できるが振れ回りによる振幅変
動は強調されることになる。そこで本発明は、回転数お
よび回転方向が変化したとき非線形に変化する中点電圧
のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧を除去し、さら
に振れ回りによる振幅変動の影響も少なくすることがで
きる磁気エンコーダ装置を提供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】そこで本発明による磁気
エンコーダは、表面にＮ対の磁石が等間隔に配置された
回転体と、Ａ相、Ｂ相２つの信号を検出する磁気抵抗効
果素子からなる２個のＭＲセンサを、前記回転体の回転
軸に直角に対向配置し、前記磁気抵抗効果素子の各Ａ相
信号、各Ｂ相信号それぞれの差動信号を検出信号とする
磁気エンコーダにおいて、前記２個のＭＲセンサの対向
角度を１８０度±１８０度／Ｎとするものである。ま
た、本発明による磁気エンコーダは、前記回転体が磁性
体歯車を有するものである。さらに、本発明による磁気
エンコーダは、前記回転体の表面に直接着磁された磁性
要素を設けたものである。
エンコーダは、表面にＮ対の磁石が等間隔に配置された
回転体と、Ａ相、Ｂ相２つの信号を検出する磁気抵抗効
果素子からなる２個のＭＲセンサを、前記回転体の回転
軸に直角に対向配置し、前記磁気抵抗効果素子の各Ａ相
信号、各Ｂ相信号それぞれの差動信号を検出信号とする
磁気エンコーダにおいて、前記２個のＭＲセンサの対向
角度を１８０度±１８０度／Ｎとするものである。ま
た、本発明による磁気エンコーダは、前記回転体が磁性
体歯車を有するものである。さらに、本発明による磁気
エンコーダは、前記回転体の表面に直接着磁された磁性
要素を設けたものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】課題で述べたように、１８０゜対
向して配置すると、磁性体歯車に回転による振れ回りが
あるとき振幅変動の影響が強調されるので、本発明で
は、回転歯車の歯数をＮとするとき、配置する角度は機
械角で１８０゜から±１８０゜／Ｎずれた位置にＭＲセ
ンサ２２を配置する。この時ＭＲセンサ２２の信号は、 g'＝(A-a*sin(X+180゜/N))*sin(N*(X+180 ゜/N))+Voff ≒ (-A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（４式） と近似される。この時センサ１の信号は課題にも述べた
ように、 f ＝(A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（１式） と表すことができるため、２つのセンサの差動信号は、 f-g'＝2*A*sin(N*X)・・・（５式） となる。すなわち、差動信号は、前述のオフセット電圧
成分および振れ回りによる電圧成分が除去され、回転角
の正弦関数信号に比例した信号になる。前記手段による
リラクタンス式磁気エンコーダでは、回転数の変化に伴
い発生する中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット
電圧成分がＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２２で同じで
あるためその差分を取ることによりロータの回転数及び
回転方向の変化に伴い変化する中点電圧のＤＣ電圧成分
すなわちオフセット電圧成分を除去することができる。
また、対向位置を１８０゜±１８０゜／Ｎとすることに
より振れ回りによる回転による振幅変動の影響を無くす
ことができる。以下本発明による実施例を図に基づいて
説明する。図１は本発明の実施例を示したものである。
以下の説明では、磁性歯車１の歯数は３２個とする。磁
性歯車は、マルエージング鋼材などの磁性体で作成され
モータのロータに直結されている。ＭＲセンサ２１及び
ＭＲセンサ２２には磁気抵抗効果素子が使用され、本実
施例では半導体磁気抵抗効果素子を使用することで説明
する。この場合、磁気抵抗効果素子の回転歯車の反対側
にはバイアス磁界が加わるように磁石が配置されてい
る。２つのＭＲセンサは、対向する位置に配置されてい
る。その対向する角度は１８０°から±１８０°／３２
回転した位置に配置される。歯車が回転して、歯車の凸
部が、ＭＲセンサ２１のＡ相検出磁気抵抗効果素子のブ
リッジの片端にきたとき、ＭＲセンサの裏側に配置され
た磁石の磁気抵抗が下がるため磁気抵抗素子２ａを通る
磁束密度は大きくなる。このため、ＭＲセンサ２１の磁
気抵抗素子２ａの抵抗値は増加する。一方磁気抵抗素子
２ｂの位置には、磁性歯車１の凹部がくる。磁気抵抗素
子２ｂの裏側に配置された磁石の磁気抵抗は上がるため
磁気抵抗素子２ｂを通る磁束密度は小さくなり、Ａ相検
出磁気抵抗素子２ｂの抵抗値は減少するので、ＭＲセン
サ２１の出力電圧は最小値となる。回転数に伴う中点電
圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧にこの出力電
圧が加わる。一方、１８０°±１８０゜／３２回転した
ＭＲセンサ２２においては、Ａ相検出磁気抵抗素子２ａ
には磁性歯車１の凹部が、Ａ相検出磁気抵抗素子２ｂに
は磁性歯車１の凸部が対抗して位置することになり、Ｍ
Ｒセンサ２２のＡ相出力電圧は最大値となる。回転数に
伴う中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧に
この電圧が加わる。ロータである磁性歯車が偏心しなが
ら回転する時、ＭＲセンサ２１のＡ相信号ｆａおよびＭ
Ｒセンサ２２のＡ相信号ｇａ’は図２ｆａ、ｇａ’のよ
うな波形を示す。すなわち、モータのロータ一回転で正
弦波信号が３２回現れ、その振幅電圧が一回転で一回変
化する。ロータである磁性歯車が偏心しながら回転する
とき、ＭＲセンサ２１のＡ相信号それぞれｆａ、ｇ
ａ’、および両信号を差し引いた差分信号ｆａーｇａ’
を図２に示す。ＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２２の対
向位置が、図１に示されるとおりであるので、センサ１
及びセンサ２の正弦波信号の位相は電気的に１８０°異
なるものとなる。振れ回りによる振幅変動の位相も一回
転で逆位相のものとなる。中点電圧のＤＣ電圧成分すな
わちオフセット電圧はＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２
２共に同じ大きさとなる。したがって、ＭＲセンサ２１
の信号ｆからＭＲセンサ２２の信号ｇ’の差を取ること
により、回転数に起因する中点電圧のＤＣ電圧成分すな
わちオフセット電圧および回転の偏心に起因する振幅変
動を除去することができる。これを式で表すと次のよう
になる、すなわちｆは（１式）より、f=(A+a*sinx)*sin
(32*x)+Voff（４式）を近似しない時ｇ’は g'=(A-a*sin(x+180 ゜/32))*sin(32*(x+180 ゜/32))+Voff =(-A+a*sin(x+180゜/32))*sin(32*x)+Voff ｆとｇ’の差分f-g'は（５式）より、 f-g'=(2*A+a*sinx-a*sin(x+180゜/32))*sin(32*x) = ｛2*A-2*a*sin(2.8125゜)*cos(x+2.8125゜) ｝*sin(32*x) ≒2*｛A-0.049*a*cos(x+2.8125゜) ｝*sin(32*x) すなわち、オフセット電圧を除くことができ、振れ回り
による振幅変動を約１／２０に減ずることができる。歯
車の歯数が増加すれば、振れ回りの振幅変動の影響を更
に小さくすることができる。なお、実施例では回転体を
磁性体歯車で説明したが、本発明は歯車形状に限定され
るものではなく、図５に示したような着磁ロータでもよ
い。
向して配置すると、磁性体歯車に回転による振れ回りが
あるとき振幅変動の影響が強調されるので、本発明で
は、回転歯車の歯数をＮとするとき、配置する角度は機
械角で１８０゜から±１８０゜／Ｎずれた位置にＭＲセ
ンサ２２を配置する。この時ＭＲセンサ２２の信号は、 g'＝(A-a*sin(X+180゜/N))*sin(N*(X+180 ゜/N))+Voff ≒ (-A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（４式） と近似される。この時センサ１の信号は課題にも述べた
ように、 f ＝(A+a*sinX)*sin(N*X)+Voff・・・（１式） と表すことができるため、２つのセンサの差動信号は、 f-g'＝2*A*sin(N*X)・・・（５式） となる。すなわち、差動信号は、前述のオフセット電圧
成分および振れ回りによる電圧成分が除去され、回転角
の正弦関数信号に比例した信号になる。前記手段による
リラクタンス式磁気エンコーダでは、回転数の変化に伴
い発生する中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット
電圧成分がＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２２で同じで
あるためその差分を取ることによりロータの回転数及び
回転方向の変化に伴い変化する中点電圧のＤＣ電圧成分
すなわちオフセット電圧成分を除去することができる。
また、対向位置を１８０゜±１８０゜／Ｎとすることに
より振れ回りによる回転による振幅変動の影響を無くす
ことができる。以下本発明による実施例を図に基づいて
説明する。図１は本発明の実施例を示したものである。
以下の説明では、磁性歯車１の歯数は３２個とする。磁
性歯車は、マルエージング鋼材などの磁性体で作成され
モータのロータに直結されている。ＭＲセンサ２１及び
ＭＲセンサ２２には磁気抵抗効果素子が使用され、本実
施例では半導体磁気抵抗効果素子を使用することで説明
する。この場合、磁気抵抗効果素子の回転歯車の反対側
にはバイアス磁界が加わるように磁石が配置されてい
る。２つのＭＲセンサは、対向する位置に配置されてい
る。その対向する角度は１８０°から±１８０°／３２
回転した位置に配置される。歯車が回転して、歯車の凸
部が、ＭＲセンサ２１のＡ相検出磁気抵抗効果素子のブ
リッジの片端にきたとき、ＭＲセンサの裏側に配置され
た磁石の磁気抵抗が下がるため磁気抵抗素子２ａを通る
磁束密度は大きくなる。このため、ＭＲセンサ２１の磁
気抵抗素子２ａの抵抗値は増加する。一方磁気抵抗素子
２ｂの位置には、磁性歯車１の凹部がくる。磁気抵抗素
子２ｂの裏側に配置された磁石の磁気抵抗は上がるため
磁気抵抗素子２ｂを通る磁束密度は小さくなり、Ａ相検
出磁気抵抗素子２ｂの抵抗値は減少するので、ＭＲセン
サ２１の出力電圧は最小値となる。回転数に伴う中点電
圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧にこの出力電
圧が加わる。一方、１８０°±１８０゜／３２回転した
ＭＲセンサ２２においては、Ａ相検出磁気抵抗素子２ａ
には磁性歯車１の凹部が、Ａ相検出磁気抵抗素子２ｂに
は磁性歯車１の凸部が対抗して位置することになり、Ｍ
Ｒセンサ２２のＡ相出力電圧は最大値となる。回転数に
伴う中点電圧のＤＣ電圧成分すなわちオフセット電圧に
この電圧が加わる。ロータである磁性歯車が偏心しなが
ら回転する時、ＭＲセンサ２１のＡ相信号ｆａおよびＭ
Ｒセンサ２２のＡ相信号ｇａ’は図２ｆａ、ｇａ’のよ
うな波形を示す。すなわち、モータのロータ一回転で正
弦波信号が３２回現れ、その振幅電圧が一回転で一回変
化する。ロータである磁性歯車が偏心しながら回転する
とき、ＭＲセンサ２１のＡ相信号それぞれｆａ、ｇ
ａ’、および両信号を差し引いた差分信号ｆａーｇａ’
を図２に示す。ＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２２の対
向位置が、図１に示されるとおりであるので、センサ１
及びセンサ２の正弦波信号の位相は電気的に１８０°異
なるものとなる。振れ回りによる振幅変動の位相も一回
転で逆位相のものとなる。中点電圧のＤＣ電圧成分すな
わちオフセット電圧はＭＲセンサ２１及びＭＲセンサ２
２共に同じ大きさとなる。したがって、ＭＲセンサ２１
の信号ｆからＭＲセンサ２２の信号ｇ’の差を取ること
により、回転数に起因する中点電圧のＤＣ電圧成分すな
わちオフセット電圧および回転の偏心に起因する振幅変
動を除去することができる。これを式で表すと次のよう
になる、すなわちｆは（１式）より、f=(A+a*sinx)*sin
(32*x)+Voff（４式）を近似しない時ｇ’は g'=(A-a*sin(x+180 ゜/32))*sin(32*(x+180 ゜/32))+Voff =(-A+a*sin(x+180゜/32))*sin(32*x)+Voff ｆとｇ’の差分f-g'は（５式）より、 f-g'=(2*A+a*sinx-a*sin(x+180゜/32))*sin(32*x) = ｛2*A-2*a*sin(2.8125゜)*cos(x+2.8125゜) ｝*sin(32*x) ≒2*｛A-0.049*a*cos(x+2.8125゜) ｝*sin(32*x) すなわち、オフセット電圧を除くことができ、振れ回り
による振幅変動を約１／２０に減ずることができる。歯
車の歯数が増加すれば、振れ回りの振幅変動の影響を更
に小さくすることができる。なお、実施例では回転体を
磁性体歯車で説明したが、本発明は歯車形状に限定され
るものではなく、図５に示したような着磁ロータでもよ
い。
【０００６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回転数及び回転方向の変化に影響される中点電圧のＤＣ
電圧成分すなわちオフセット電圧、および磁性歯車の偏
心による振幅電圧の変化を除去できるので、回転位置情
報である正弦波信号を精度良く求めることができ、この
信号を逓倍することによりさらに高精度の位置情報を得
ることができる。
回転数及び回転方向の変化に影響される中点電圧のＤＣ
電圧成分すなわちオフセット電圧、および磁性歯車の偏
心による振幅電圧の変化を除去できるので、回転位置情
報である正弦波信号を精度良く求めることができ、この
信号を逓倍することによりさらに高精度の位置情報を得
ることができる。
【図１】本発明によるリラクタンス式磁気エンコーダの
実施例を示す図
実施例を示す図
【図２】 ２つのＭＲセンサからの信号およびその差分
信号を示した図
信号を示した図
【図３】 磁気ドラムの回転数応じて変化するオフセッ
ト電圧を示す図
ト電圧を示す図
【図４】 １８０°対向するセンサ１、２信号の差分信
号を示す図
号を示す図
【図５】 従来の磁気エンコーダ装置を示す図面
１ 磁性体歯車 ２１、２２ ＭＲセンサ ｆａ ＭＲセンサ２１Ａ相信号 ｆｂ ＭＲセンサ２１Ｂ相信号 ｇａ’ ＭＲセンサ２２Ａ相信号 ｇｂ’ ＭＲセンサ２２Ｂ相信号
Claims (3)
- 【請求項１】 表面にＮ対の磁石が等間隔に配置された
回転体と、Ａ相、Ｂ相２つの信号を検出する磁気抵抗効
果素子からなる２個のＭＲセンサを、前記回転体の回転
軸に直角に対向配置し、前記磁気抵抗効果素子の各Ａ相
信号、各Ｂ相信号それぞれの差動信号を検出信号とする
磁気エンコーダにおいて、 前記２個のＭＲセンサの対向角度を１８０度±１８０度
／Ｎとすることを特徴とする磁気エンコーダ。 - 【請求項２】 前記回転体が磁性体歯車を有することを
特徴とする請求項１記載の磁気エンコーダ。 - 【請求項３】 前記回転体の表面に直接着磁された磁性
要素を設けたことを特徴とする請求項１記載の磁気エン
コーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146596A JPH1019602A (ja) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | 磁気エンコーダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19146596A JPH1019602A (ja) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | 磁気エンコーダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1019602A true JPH1019602A (ja) | 1998-01-23 |
Family
ID=16275111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19146596A Pending JPH1019602A (ja) | 1996-07-01 | 1996-07-01 | 磁気エンコーダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1019602A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7068001B2 (en) | 2004-07-29 | 2006-06-27 | Japan Servo Co., Ltd. | Motor control system |
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