JPS6272125A - 半導体焼付装置 - Google Patents

半導体焼付装置

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JPS6272125A
JPS6272125A JP60211138A JP21113885A JPS6272125A JP S6272125 A JPS6272125 A JP S6272125A JP 60211138 A JP60211138 A JP 60211138A JP 21113885 A JP21113885 A JP 21113885A JP S6272125 A JPS6272125 A JP S6272125A
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Yoichi Kuroki
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007027771A (ja) * 2006-08-11 2007-02-01 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置
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JP2010166075A (ja) * 2010-03-16 2010-07-29 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置における表示方法及び半導体製造装置
JP2011228739A (ja) * 2011-07-07 2011-11-10 Hitachi Kokusai Electric Inc 半導体製造装置における表示方法及び半導体製造装置
JP2012227539A (ja) * 2012-06-20 2012-11-15 Hitachi Kokusai Electric Inc ウエハ搭載状況の表示方法、表示プログラム、半導体製造装置及び半導体装置の表示方法

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