JPS6265913A - アルゴンガスの精製方法 - Google Patents
アルゴンガスの精製方法Info
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- JPS6265913A JPS6265913A JP20502085A JP20502085A JPS6265913A JP S6265913 A JPS6265913 A JP S6265913A JP 20502085 A JP20502085 A JP 20502085A JP 20502085 A JP20502085 A JP 20502085A JP S6265913 A JPS6265913 A JP S6265913A
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- JP
- Japan
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- gaseous argon
- argon gas
- molecular sieves
- type zeolite
- zeolite
- Prior art date
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- Pending
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B23/00—Noble gases; Compounds thereof
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は粗アルゴンガスから、不純物として含有する窒
素および酸素を除去するアルゴンガスの精製方法に関す
る。
素および酸素を除去するアルゴンガスの精製方法に関す
る。
アルゴンガスは化学的に不活性であるところから、化字
反厄の雰囲気用としてＮ１等とともに広く利用されてい
る。特に近年、半導体工業の発展ｌこ伴ない、高純度結
晶シリコンの合成、或いは加工の雰囲気用に昼純度アル
ゴンガスが多く用いられるようになり、また発光分析の
分析用等として、その需要は飛躍的に伸びている。
反厄の雰囲気用としてＮ１等とともに広く利用されてい
る。特に近年、半導体工業の発展ｌこ伴ない、高純度結
晶シリコンの合成、或いは加工の雰囲気用に昼純度アル
ゴンガスが多く用いられるようになり、また発光分析の
分析用等として、その需要は飛躍的に伸びている。
アルゴンガスは、空気中に約Ｑ、９ｖｏｌチ含まれてお
り、通常、望気を冷却し、Ｎ、、０！等と共に、その僅
かな沸点差を利用して、精笛によって分離し、得られた
粗アルゴンガスを、ざら擾こ反復精留して液体アルゴン
、またはボンベ充填したアルゴンガスとして使用に供し
ている。
り、通常、望気を冷却し、Ｎ、、０！等と共に、その僅
かな沸点差を利用して、精笛によって分離し、得られた
粗アルゴンガスを、ざら擾こ反復精留して液体アルゴン
、またはボンベ充填したアルゴンガスとして使用に供し
ている。
しかし、半導体工業用、精密分析用等では、ざらに舗純
変のアルゴンガスを必要とする場合があり、この際、液
体アルゴンまたはボンベに充填されたアルゴンガス（以
下粗アルゴンガスという）をさらに精製して不純物を除
去しなければならない。
変のアルゴンガスを必要とする場合があり、この際、液
体アルゴンまたはボンベに充填されたアルゴンガス（以
下粗アルゴンガスという）をさらに精製して不純物を除
去しなければならない。
上記粗アルゴンガス中の不純物としては、籍にＮ、、Ｏ
ｌが問題となる場合が多く、これらの除去については、
いくつ力）の方法が知られている。
ｌが問題となる場合が多く、これらの除去については、
いくつ力）の方法が知られている。
すなわち、Ｎ！ ′Ｉｋ除去ｒる方法としては、金属を
ある温度に加熱してゲッタリングして除去する方法が知
られているが、金属ゲッタリングに用いるチタン、ジル
コニウムは、７００〜１０００℃に加熱する必要があり
、運転経費の増加、装置の耐高湿性、加熱用ヒータの維
持が必要で、さらに、ゲッタ材は再生が困難で、消耗品
となるため′！ｙｌＳコストが高くなる。また、吸着法
もあるが、粗アルゴン中のＮ、の除去である。
ある温度に加熱してゲッタリングして除去する方法が知
られているが、金属ゲッタリングに用いるチタン、ジル
コニウムは、７００〜１０００℃に加熱する必要があり
、運転経費の増加、装置の耐高湿性、加熱用ヒータの維
持が必要で、さらに、ゲッタ材は再生が困難で、消耗品
となるため′！ｙｌＳコストが高くなる。また、吸着法
もあるが、粗アルゴン中のＮ、の除去である。
０、の除去法としては、粗アルゴンガスに、Ｈｌを添加
してパラジウム等の触媒によってＨ，Ｏとした後、ゼオ
ライト等を用いて吸涜脱水する方法、或いは微量の鋼、
ニッケル等を担持したシリカ又はアルミナと、１５０〜
３００℃で接触させ、金属の酸化物として除去する方法
がある。しかし、この方法も、鋼等、Ｏ３と箱合し易い
金属と化合しているＯ２をＨｏによるデオキソ法ｌこよ
って除去した後、上記粗アルゴンガスと接触される。し
たがって、上記方法は、いずれもｆｆＷアルゴンガス中
に微量のＨ８が混入することは避けられない。
してパラジウム等の触媒によってＨ，Ｏとした後、ゼオ
ライト等を用いて吸涜脱水する方法、或いは微量の鋼、
ニッケル等を担持したシリカ又はアルミナと、１５０〜
３００℃で接触させ、金属の酸化物として除去する方法
がある。しかし、この方法も、鋼等、Ｏ３と箱合し易い
金属と化合しているＯ２をＨｏによるデオキソ法ｌこよ
って除去した後、上記粗アルゴンガスと接触される。し
たがって、上記方法は、いずれもｆｆＷアルゴンガス中
に微量のＨ８が混入することは避けられない。
また、０．の除去においても吸着法があるが、Ｎｔの場
合と同様０．のみの除去である。吸ｆ法により、Ｎ、と
Ｏ８と全同時に除去する方法はない。
合と同様０．のみの除去である。吸ｆ法により、Ｎ、と
Ｏ８と全同時に除去する方法はない。
このように従来の方法は、いずれもＮ、と０゜と金別工
程によって除去するもので、２工程を必−要とし、しか
もそれぞれの工程が、難め）しい操作を必要とするもの
であった。
程によって除去するもので、２工程を必−要とし、しか
もそれぞれの工程が、難め）しい操作を必要とするもの
であった。
本発明者等は、不純物としてＮ、 、０．を含有する粗
アルゴンガス中のＮ、、０．を同時に、かつ容易に除去
する方法を鋭意研究した結果、Ａ型ゼオライトのイオン
交換可能な陽イオンの一部をＺｎで置換すると、Ｎ、、
Ｏ，を共に吸着する性質を生ずることを発見した。
アルゴンガス中のＮ、、０．を同時に、かつ容易に除去
する方法を鋭意研究した結果、Ａ型ゼオライトのイオン
交換可能な陽イオンの一部をＺｎで置換すると、Ｎ、、
Ｏ，を共に吸着する性質を生ずることを発見した。
本発明は、上記の発見に基づいてなされたもので、吸着
によって−Ｎｔ 、Ｏｓ ｔ’ １工程で除去する方法
を提供することを目的とする。
によって−Ｎｔ 、Ｏｓ ｔ’ １工程で除去する方法
を提供することを目的とする。
本発明は上記の目的を達成するもので、その要旨は、イ
オン交換可能な陽イオンの一部を亜鉛イオンと置換した
Ａ′Ｎ！ゼオライトに、 −１６０〜−１００°０の温
度条件下で、粗アルゴンガス’ｔ−接触させ、粗アルコ
ンガス中のＮ、と０！を同時に除去するアルゴンガスの
精製方法にある。
オン交換可能な陽イオンの一部を亜鉛イオンと置換した
Ａ′Ｎ！ゼオライトに、 −１６０〜−１００°０の温
度条件下で、粗アルゴンガス’ｔ−接触させ、粗アルコ
ンガス中のＮ、と０！を同時に除去するアルゴンガスの
精製方法にある。
本発明に使用するＡ型ゼオライトは、例えば「Ａ型モレ
キュラーシーブス」の商品名のもとに、米国ユニオンカ
ーバイド社から世界的に市販されているもので、ナトリ
ウム塩として合成され、一般的にはＮａ、、（ＡＩＩＯ
，）、、（Ｓｉｎ、 ）、、 ・２７Ｈ，０の化学組成
を有するとされている。このナトリウム塩は［モレキュ
ラーシーブス４ＡＪとして市販されており、また、上記
ナトリウ塩をカリウム塩でｆ換したカリウム塩が「モレ
キュラーシー１３３人」、カルシウム塩でｆ供したカル
シウム塩が「モレキラーシーブス５ＡＪとして市販され
ている。
キュラーシーブス」の商品名のもとに、米国ユニオンカ
ーバイド社から世界的に市販されているもので、ナトリ
ウム塩として合成され、一般的にはＮａ、、（ＡＩＩＯ
，）、、（Ｓｉｎ、 ）、、 ・２７Ｈ，０の化学組成
を有するとされている。このナトリウム塩は［モレキュ
ラーシーブス４ＡＪとして市販されており、また、上記
ナトリウ塩をカリウム塩でｆ換したカリウム塩が「モレ
キュラーシー１３３人」、カルシウム塩でｆ供したカル
シウム塩が「モレキラーシーブス５ＡＪとして市販され
ている。
上記Ａ型ゼオライトのＮａ１Ｚｎでｔ換するには、これ
を純水に浸漬して減圧脱気した抜水を切り、Ｚｎ塩の水
浴液に浸漬する。この処通によってＮａイオンがＺｎイ
オンに置換されるが、そのｆｉｔ換される率は、Ｚｎ塩
水溶液の＠度、麓によって自由に調製出来る。
を純水に浸漬して減圧脱気した抜水を切り、Ｚｎ塩の水
浴液に浸漬する。この処通によってＮａイオンがＺｎイ
オンに置換されるが、そのｆｉｔ換される率は、Ｚｎ塩
水溶液の＠度、麓によって自由に調製出来る。
上記Ｚｎの置換率によって、Ｎ、およびＯ８の吸看麓が
変化する。すなわち、Ｚｎ（１）置侯率が尚くなると、
Ｎ、の吸着量か増大し、Ｏｔの吸７１？量が減少する。
変化する。すなわち、Ｚｎ（１）置侯率が尚くなると、
Ｎ、の吸着量か増大し、Ｏｔの吸７１？量が減少する。
また、Ｚｎの＃Ｌ俟率が低くなると、Ｎｔの吸着量が減
少し、Ｏ！の吸７ｆ］ｉｌ［が増加する。
少し、Ｏ！の吸７ｆ］ｉｌ［が増加する。
したがって、粗アルゴン中のＮ、および０．の混合比に
よって、これに通したＺｎｒＩｔ換率のＡ型ゼオライト
を用いることにより、Ｎ、と０．とが同時に、吸漕層か
ら破過する最も効率のよい吸涜剤の使用が可能となる。
よって、これに通したＺｎｒＩｔ換率のＡ型ゼオライト
を用いることにより、Ｎ、と０．とが同時に、吸漕層か
ら破過する最も効率のよい吸涜剤の使用が可能となる。
例えば、粗アルゴン中のＮ、および０．の混合比が、空
気と同じＮｔ：４ｖｏ１１０、：１ｖｏｌの場合には、
４Ａ型ゼオライトのＮａの約２０％をＺｎ４Ｃ置換した
ものが好適に使用出来る。
気と同じＮｔ：４ｖｏ１１０、：１ｖｏｌの場合には、
４Ａ型ゼオライトのＮａの約２０％をＺｎ４Ｃ置換した
ものが好適に使用出来る。
温度条件が一１６０℃より低ユになると、アルゴンの液
化・固化となりこのましくない。又−１００°Ｃより？
ｉ１Ｊ温だと吸着法が減じ、０．とＮ、の除去上このま
しくない。
化・固化となりこのましくない。又−１００°Ｃより？
ｉ１Ｊ温だと吸着法が減じ、０．とＮ、の除去上このま
しくない。
上記吸漕剤は、加熱することにより、吸庸しているＮ、
および０．を放出して再生され、反復使用するこおが可
能となる。また、再生に景する加熱温度ｉ；！、２５０
〜３００°Ｃの比較的低い温にで十分であり、運転経費
も少なくてすむ。
および０．を放出して再生され、反復使用するこおが可
能となる。また、再生に景する加熱温度ｉ；！、２５０
〜３００°Ｃの比較的低い温にで十分であり、運転経費
も少なくてすむ。
以上のように、Ａ型ゼオライトのＮａｆＺｎで置換する
ことにより、従来、同じ条件下ではＮ。
ことにより、従来、同じ条件下ではＮ。
またはＯｆの一方のみし力１除去出来なかったものを、
同時に吸着除去するこ七が可能となった。
同時に吸着除去するこ七が可能となった。
次に実４例を示して本発明を説明する。
〔実施例１〕
純水二３００−に８〜１２メツシユ球状のモレキュラー
シーブス４Ａ：４０．Ｆ′ｆ？：加え、ロータリーエバ
ポレータを用い、室温において水柱で５０〜６０ｍに減
圧して脱気した。
シーブス４Ａ：４０．Ｆ′ｆ？：加え、ロータリーエバ
ポレータを用い、室温において水柱で５０〜６０ｍに減
圧して脱気した。
脱気後モレキュラーシーブスの水を切り、これを硝酸亜
鉛（６水埴）１７．８．９を溶解した水浴液：４００−
に浸貢し、室温で６時間イオン交換を行なった。
鉛（６水埴）１７．８．９を溶解した水浴液：４００−
に浸貢し、室温で６時間イオン交換を行なった。
次いで、このイオン交換したモレキュラーシーブスを純
水でよく洗浄し、さらにＮ２雰囲気中、３００〜３２０
℃で２時間賦活した。
水でよく洗浄し、さらにＮ２雰囲気中、３００〜３２０
℃で２時間賦活した。
このモレキュラーシーブスのＺｎ含有ｊｉｉｔ常法によ
って分析した。その結果、モレキュラーシーブスｌｙ中
にＺｎが７４．５２１１９甘肩していた。これは、モレ
キュラーシーブスの組成式を、 「Ｎａ、（Ｊ・Ａ／
２（Ｊ３・２ＳｉｌＪ、 −４，５Ｈ，ＯＪ 、：し、
Ｎａ２ モルがＺｎ １モルと置換するので、そのｉ
ｔ置換率４６．１％となる。
って分析した。その結果、モレキュラーシーブスｌｙ中
にＺｎが７４．５２１１９甘肩していた。これは、モレ
キュラーシーブスの組成式を、 「Ｎａ、（Ｊ・Ａ／
２（Ｊ３・２ＳｉｌＪ、 −４，５Ｈ，ＯＪ 、：し、
Ｎａ２ モルがＺｎ １モルと置換するので、そのｉ
ｔ置換率４６．１％となる。
上記ｚｎによってＮａの一部が置換されたものは％原料
のモレキュラーレーブス４人と同様８〜１２メツシユの
球状籾子であった。
のモレキュラーレーブス４人と同様８〜１２メツシユの
球状籾子であった。
このモレキュラーシーブス１４．３＆を内径二８龍、長
さ：４Ｕｃ１ｎのカラムに充填し、−１６０℃に冷却し
た。この吸着カラムにＮｔ ’ １０８０ ｖｏｌ−Ｐ
ｐｍ 、０．： １０２０ｖｏｌ−ｐｐｍ を含む粗
アルゴンガスｉ １．９ ｋｇ７ｃｒｔｉ Ｇの圧力下
、標準状態で０、５１ ／ ｍの速度で通した。そのＭ
来、Ｎ、、ＯＲが破過して流出ガス甲のＮ、 、０２の
濃度がそれぞれ１０１００ｖｏｌ−ｐｐこ達するまでｌ
こ、モレキュラーシーフ゛スｌこ吸層＃されたＮ２は１
．７３１／１００１吸漕剤、０．は０．０３．Ｐ／１０
０＆吸着剤であった。
さ：４Ｕｃ１ｎのカラムに充填し、−１６０℃に冷却し
た。この吸着カラムにＮｔ ’ １０８０ ｖｏｌ−Ｐ
ｐｍ 、０．： １０２０ｖｏｌ−ｐｐｍ を含む粗
アルゴンガスｉ １．９ ｋｇ７ｃｒｔｉ Ｇの圧力下
、標準状態で０、５１ ／ ｍの速度で通した。そのＭ
来、Ｎ、、ＯＲが破過して流出ガス甲のＮ、 、０２の
濃度がそれぞれ１０１００ｖｏｌ−ｐｐこ達するまでｌ
こ、モレキュラーシーフ゛スｌこ吸層＃されたＮ２は１
．７３１／１００１吸漕剤、０．は０．０３．Ｐ／１０
０＆吸着剤であった。
〔実施例２〕
硝戚亜＠（６水頃）：１０．１．Ｆを溶解した水溶液４
００−を用いた外は、実施例１と全く同じｌこして、
ｏｆｉＺｎｆこ置換したモレキュラーシーブスをつくっ
た。このモレキュラーシーブスのＺｎ官有ｔは、モレキ
ュラーツーブス１９邑９４４．５＃Ｉ＆で、その置換率
は２４．８％であった。
００−を用いた外は、実施例１と全く同じｌこして、
ｏｆｉＺｎｆこ置換したモレキュラーシーブスをつくっ
た。このモレキュラーシーブスのＺｎ官有ｔは、モレキ
ュラーツーブス１９邑９４４．５＃Ｉ＆で、その置換率
は２４．８％であった。
上記モレキュラーシーブス１３．５＆を、内径：８１１
、長さ：４０儂のカラムに充填し、 −４５２℃に冷却
した。この孜着カラムに、Ｎｔ ： １０８０ＹｏＪ−
ｐＧ”ｎ−０！ ’ １０２０ ｖｏｌ−ｐｐｍ を含
む粗アルゴン金２．１ ｋｇ ／ａｄ Ｇの圧力下、標
準状態で０．５１７−の速、１處で遡した。その結果０
□、Ｎ、が破過して流出ガス中のＮ、、Ｏ，の濃ｊ及が
それぞれ、ｌ００ｖｏｌ−ｐｐ＋ｎ１ｃ４するまでに、
モレキュラーシープスＨＣｖｌＮＱｇレタＮ、 ４１１
．５ ｇ／ｌ ００ ＆ｅｔ、４剤、０゜は０．２５
＆／１００．９吸着剤であった。
、長さ：４０儂のカラムに充填し、 −４５２℃に冷却
した。この孜着カラムに、Ｎｔ ： １０８０ＹｏＪ−
ｐＧ”ｎ−０！ ’ １０２０ ｖｏｌ−ｐｐｍ を含
む粗アルゴン金２．１ ｋｇ ／ａｄ Ｇの圧力下、標
準状態で０．５１７−の速、１處で遡した。その結果０
□、Ｎ、が破過して流出ガス中のＮ、、Ｏ，の濃ｊ及が
それぞれ、ｌ００ｖｏｌ−ｐｐ＋ｎ１ｃ４するまでに、
モレキュラーシープスＨＣｖｌＮＱｇレタＮ、 ４１１
．５ ｇ／ｌ ００ ＆ｅｔ、４剤、０゜は０．２５
＆／１００．９吸着剤であった。
〔実施例３〕
硝酸亜鉛（６水塩）：４．５．＠を溶解した水浴液４０
０ｍ用いた外は、実施例１と全く同じにして、−＆１ｌ
Ｚｎに置換したモレキュラーシーブスをつくった。この
モレキュラーシーブスのＺｎ含有憧は。
０ｍ用いた外は、実施例１と全く同じにして、−＆１ｌ
Ｚｎに置換したモレキュラーシーブスをつくった。この
モレキュラーシーブスのＺｎ含有憧は。
モレキュラーレーブス１ｙ当り１８．７ダで、置換率は
、１０．４９６であった。
、１０．４９６であった。
上記一部Ｚｎに置換したモレ牛ユラーシーブス１３．６
．＠を内径：８ＩＩｊ、長さ：４０ｃｍのカラムに充填
し、−１５０°Ｃに冷却した。この［＆着カラムζこ、
Ｎ、 ： ｔｏｇｏｖｏｉ−ｐｐｍ、Ｏｔ ：
１１０２０ｖｏｌ−ｐｐを含む祖アルゴンガス？、
５．２ｋｇ／ｃ！ｌ１（ｌの圧力下、標準状態で０．５
Ｊ／ｍの速度で通した。
．＠を内径：８ＩＩｊ、長さ：４０ｃｍのカラムに充填
し、−１５０°Ｃに冷却した。この［＆着カラムζこ、
Ｎ、 ： ｔｏｇｏｖｏｉ−ｐｐｍ、Ｏｔ ：
１１０２０ｖｏｌ−ｐｐを含む祖アルゴンガス？、
５．２ｋｇ／ｃ！ｌ１（ｌの圧力下、標準状態で０．５
Ｊ／ｍの速度で通した。
その結果、Ｎ、、Ｏｌが破過して流出ガス中のＮ！、０
、の濃度が、それぞれ１００ ｖｏｌ−ｐｐｍ ４Ｃ達
するまでに、モレキュラーシーブスに板層されたＪＮ２
は０．１８ｆｌ／１００．Ｖ吸漕剤、０．は０．５１．
９／１００９吸着剤であった。
、の濃度が、それぞれ１００ ｖｏｌ−ｐｐｍ ４Ｃ達
するまでに、モレキュラーシーブスに板層されたＪＮ２
は０．１８ｆｌ／１００．Ｖ吸漕剤、０．は０．５１．
９／１００９吸着剤であった。
〔比較例１〕
Ｎ１気流中、３１０〜３２０℃で加熱賦活した８〜１２
メツシユの球状のモレキュラーシーブス４Ａ１．４．６
ｇ’を、内径＝８諷り長さ：４０工のカラムに充填し、
−１６１℃に冷却した。この吸着カラＩＪｃ％Ｎｌ ：
１０８０ ｙｏｌ−ｐｐｍ、 Ｑ、： １０１０２０
ＶＯ１−ｐｐ含む粗アルゴ：／ Ｔｈ ５．２ ｋｇ／
ｃｒｔｔＧの圧力下、標準状態で０．５１／ｍの速度で
通した。その祠果、−Ｎ、 、Ｏ，が破過して流出ガス
中のＮ、、０！の＃度か、それぞれ１００ ｖｏｌ−ｐ
ｐｍに達するまでに、モレキュラーシーブスに吸着され
たＯｌは０．６．９／１００ 、！ｉ＋吸着剤であった
が、Ｎ２は導入したものがそのまま排出され、吸着は全
く認められなかった。
メツシユの球状のモレキュラーシーブス４Ａ１．４．６
ｇ’を、内径＝８諷り長さ：４０工のカラムに充填し、
−１６１℃に冷却した。この吸着カラＩＪｃ％Ｎｌ ：
１０８０ ｙｏｌ−ｐｐｍ、 Ｑ、： １０１０２０
ＶＯ１−ｐｐ含む粗アルゴ：／ Ｔｈ ５．２ ｋｇ／
ｃｒｔｔＧの圧力下、標準状態で０．５１／ｍの速度で
通した。その祠果、−Ｎ、 、Ｏ，が破過して流出ガス
中のＮ、、０！の＃度か、それぞれ１００ ｖｏｌ−ｐ
ｐｍに達するまでに、モレキュラーシーブスに吸着され
たＯｌは０．６．９／１００ 、！ｉ＋吸着剤であった
が、Ｎ２は導入したものがそのまま排出され、吸着は全
く認められなかった。
〔比較例２〕
Ｎｔ気流中、３１０〜３２０℃で加熱賦活した８〜１２
メツシユの球状モレキュラーシーブ３５人１３．３ｇを
内径：８ｇｍ、長ざ：４０ｃｍのカラムに充填し、−１
５２℃に冷却した。この吸着カラムに、Ｎｔ ： １１
０８０ｖｏｌ−ｐｐ、０！ ： １１０２０ｖｏｌ−ｐ
ｐを含む粗アルゴンを５．２ ｋｇ ／ｃＩＩｔＧの圧
力下、標準状態で１！／ｌｌ１ｍの速度で通した。その
結釆、Ｎｔ、Ｏ，か破過して流出するガス中のＮｔ、０
゜の濃度が、それぞれ１１００ｖｏｌ−ｐｐに達するま
でに、モレキュラーシーブス（こ殊着された盆は、Ｎｔ
においては、２．０ ＆／１００．９吸涜剤であったが
２０．は、通した当初より、導入したものがそのまま排
出され、吸着は認められなかった。
メツシユの球状モレキュラーシーブ３５人１３．３ｇを
内径：８ｇｍ、長ざ：４０ｃｍのカラムに充填し、−１
５２℃に冷却した。この吸着カラムに、Ｎｔ ： １１
０８０ｖｏｌ−ｐｐ、０！ ： １１０２０ｖｏｌ−ｐ
ｐを含む粗アルゴンを５．２ ｋｇ ／ｃＩＩｔＧの圧
力下、標準状態で１！／ｌｌ１ｍの速度で通した。その
結釆、Ｎｔ、Ｏ，か破過して流出するガス中のＮｔ、０
゜の濃度が、それぞれ１１００ｖｏｌ−ｐｐに達するま
でに、モレキュラーシーブス（こ殊着された盆は、Ｎｔ
においては、２．０ ＆／１００．９吸涜剤であったが
２０．は、通した当初より、導入したものがそのまま排
出され、吸着は認められなかった。
以上述べたように、本発明に係るアルゴンの絹製方法は
、Ａｆｉゼオライトの陽イオン一部をＺｎイオンに１３
１％えることによって、従来不可能であった粗アルゴン
中に含有されているＮｔおよびＯ７の開時除去か回層と
なり、１工程によって高純度アルゴンが得られ、しかも
、Ｎ、、Ｏ，を吸着したゼオライトは、比較的低い加熱
処理によって再生され１反復使用されるので、特別の材
質の装置を必要とせず、経済的で、操作が容易である等
。
、Ａｆｉゼオライトの陽イオン一部をＺｎイオンに１３
１％えることによって、従来不可能であった粗アルゴン
中に含有されているＮｔおよびＯ７の開時除去か回層と
なり、１工程によって高純度アルゴンが得られ、しかも
、Ｎ、、Ｏ，を吸着したゼオライトは、比較的低い加熱
処理によって再生され１反復使用されるので、特別の材
質の装置を必要とせず、経済的で、操作が容易である等
。
多くの長所を有する優れた方法である。
Claims (1)
- イオン交換可能な陽イオンの一部を亜鉛イオンと置換し
たＡ型ゼオライトに、−１６０〜−１００℃の温度条件
下で、粗アルゴンガスを接触させ、粗アルゴンガス中の
窒素と酸素を同時に吸着除去することを特徴とするアル
ゴンガスの精製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20502085A JPS6265913A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | アルゴンガスの精製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20502085A JPS6265913A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | アルゴンガスの精製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6265913A true JPS6265913A (ja) | 1987-03-25 |
Family
ID=16500112
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20502085A Pending JPS6265913A (ja) | 1985-09-17 | 1985-09-17 | アルゴンガスの精製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6265913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5601634A (en) * | 1993-09-30 | 1997-02-11 | The Boc Group, Inc. | Purification of fluids by adsorption |
| JP2006111506A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 不純物含有アルゴンガスの精製方法および精製装置 |
-
1985
- 1985-09-17 JP JP20502085A patent/JPS6265913A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5601634A (en) * | 1993-09-30 | 1997-02-11 | The Boc Group, Inc. | Purification of fluids by adsorption |
| JP2006111506A (ja) * | 2004-10-18 | 2006-04-27 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 不純物含有アルゴンガスの精製方法および精製装置 |
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