JPS626187B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS626187B2 JPS626187B2 JP57191005A JP19100582A JPS626187B2 JP S626187 B2 JPS626187 B2 JP S626187B2 JP 57191005 A JP57191005 A JP 57191005A JP 19100582 A JP19100582 A JP 19100582A JP S626187 B2 JPS626187 B2 JP S626187B2
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- JP
- Japan
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- rotating body
- resistors
- magnetic
- rotation
- magnetoresistive device
- Prior art date
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- Expired
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
- G01P3/487—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by rotating magnets
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、例えば回転機器の回転速度を検出
する機構等に使用される磁気抵抗装置に関する。
する機構等に使用される磁気抵抗装置に関する。
回転機器の回転速度を検出する手段として、こ
の被測定回転機器に同期的に回転される周面に複
数の磁極を設定した回転体を用い、この回転体の
外周面に近接して磁気抵抗装置を固定設定するこ
とが考えられている。すなわち、回転体の回転状
態を、磁気抵抗装置で検知し、その検知信号から
回転速度を算出するもので、回転体は例えば永久
磁石によつて構成し、その磁極に対応する磁気信
号が回転体周面部に対応して設定されるように構
成する。そして、固定設定される磁気抵抗装置
で、回転体の回転に伴なう磁気信号記録部の近接
通過を検知するもので、特定される時間幅で上記
検出信号数を計数することによつて回転速度が検
出される。この場合、回転体の周面にｍ個の磁気
信号が記録設定されていたとすると、磁気抵抗装
置では、回転体の１回転に対してｍ個の検出信号
を出力するものである。
の被測定回転機器に同期的に回転される周面に複
数の磁極を設定した回転体を用い、この回転体の
外周面に近接して磁気抵抗装置を固定設定するこ
とが考えられている。すなわち、回転体の回転状
態を、磁気抵抗装置で検知し、その検知信号から
回転速度を算出するもので、回転体は例えば永久
磁石によつて構成し、その磁極に対応する磁気信
号が回転体周面部に対応して設定されるように構
成する。そして、固定設定される磁気抵抗装置
で、回転体の回転に伴なう磁気信号記録部の近接
通過を検知するもので、特定される時間幅で上記
検出信号数を計数することによつて回転速度が検
出される。この場合、回転体の周面にｍ個の磁気
信号が記録設定されていたとすると、磁気抵抗装
置では、回転体の１回転に対してｍ個の検出信号
を出力するものである。
このような回転検出機構において、より高精度
な回転速度検出を行なうためには、回転体の１回
転当りの検知信号の数を増加させることである。
しかし、回転体に対する磁気信号の記録間隔を小
さくするにも限度があり、特に回転体は被測定回
転機器に対して充分な応答性をもつて回転制御す
る必要のあるものであるため、大型化することが
困難である。したがつて、回転体の１回転当りの
検知信号数を充分に増大させることができない。
な回転速度検出を行なうためには、回転体の１回
転当りの検知信号の数を増加させることである。
しかし、回転体に対する磁気信号の記録間隔を小
さくするにも限度があり、特に回転体は被測定回
転機器に対して充分な応答性をもつて回転制御す
る必要のあるものであるため、大型化することが
困難である。したがつて、回転体の１回転当りの
検知信号数を充分に増大させることができない。
この発明は上記のような点に鑑みなされたもの
で、例えば周面に磁気信号を記録した回転体の回
転に対応して、その磁気信号記録数よりも充分に
多数の検知信号が得ることができ、回転機器の回
転速度等の物体の相対移動速度を高精度で計測可
能にする磁気抵抗装置を提供しようとするもので
ある。
で、例えば周面に磁気信号を記録した回転体の回
転に対応して、その磁気信号記録数よりも充分に
多数の検知信号が得ることができ、回転機器の回
転速度等の物体の相対移動速度を高精度で計測可
能にする磁気抵抗装置を提供しようとするもので
ある。
すなわち、この発明に係る磁気抵抗装置は、相
対的に移動されるようになる磁気発生装置の磁極
間隔をλとした場合、０＜ｄ＜λで特定されるｄ
の範囲内に、複数の強磁性薄膜でなる抵抗体を並
べて配設し、奇数順位および偶数順位の抵抗体を
それぞれ相互に接続して抵抗体群とすると共に、
この２つの抵抗体群を１チツプ上で直列接続して
ブリツジ回路を形成し得るようにするものであ
る。
対的に移動されるようになる磁気発生装置の磁極
間隔をλとした場合、０＜ｄ＜λで特定されるｄ
の範囲内に、複数の強磁性薄膜でなる抵抗体を並
べて配設し、奇数順位および偶数順位の抵抗体を
それぞれ相互に接続して抵抗体群とすると共に、
この２つの抵抗体群を１チツプ上で直列接続して
ブリツジ回路を形成し得るようにするものであ
る。
以下図面を参照してこの発明の一実施例を説明
する。第１図は回転検出機構を示す概略的な図を
示すもので、１１は軸１２によつて図示されない
被測定回転機器等で回転駆動される回転体であ
り、この回転体１１は磁気発生装置を構成するも
ので、周面部に沿つてＮ極およびＳ極の磁気信号
が、等間隔で記録設定される。この磁気信号は、
磁性材料でなる回転体１１に対して着磁すること
によつて記録される。そして、この回転体１１の
周面に近接対向する位置に、磁気抵抗装置１３を
固定設定するもので、回転体１１に記録された磁
気信号による磁界が、回転体１１の回転に対応し
て磁気抵抗装置１３に作用するようにしてなる。
する。第１図は回転検出機構を示す概略的な図を
示すもので、１１は軸１２によつて図示されない
被測定回転機器等で回転駆動される回転体であ
り、この回転体１１は磁気発生装置を構成するも
ので、周面部に沿つてＮ極およびＳ極の磁気信号
が、等間隔で記録設定される。この磁気信号は、
磁性材料でなる回転体１１に対して着磁すること
によつて記録される。そして、この回転体１１の
周面に近接対向する位置に、磁気抵抗装置１３を
固定設定するもので、回転体１１に記録された磁
気信号による磁界が、回転体１１の回転に対応し
て磁気抵抗装置１３に作用するようにしてなる。
第２図は上記磁気抵抗装置１３に対応する部分
を拡大して示したもので、この磁気抵抗装置１３
は絶縁性基板１４によつて１チツプに構成され
る。この絶縁性基板１４には、回転体１１の軸線
方向に延びるように配置して、細長い複数の抵抗
体R1，R2，…………Ｒ2oが形成される。この抵抗
体R1〜Ｒ2oは、例えば基板１１上にNi−Coの強
磁性薄膜を蒸着し、これをエツチングすることに
よつて形成される。
を拡大して示したもので、この磁気抵抗装置１３
は絶縁性基板１４によつて１チツプに構成され
る。この絶縁性基板１４には、回転体１１の軸線
方向に延びるように配置して、細長い複数の抵抗
体R1，R2，…………Ｒ2oが形成される。この抵抗
体R1〜Ｒ2oは、例えば基板１１上にNi−Coの強
磁性薄膜を蒸着し、これをエツチングすることに
よつて形成される。
この場合、並列的に形成される抵抗R1とＲ2oと
の両側端の相互間隔ｄは、回転体１１の磁気信号
記録部に相当する磁極の相互間隔λに対して、０
＜ｄ＜λとなるように設定される。
の両側端の相互間隔ｄは、回転体１１の磁気信号
記録部に相当する磁極の相互間隔λに対して、０
＜ｄ＜λとなるように設定される。
上記複数の抵抗体は、その並列順位に対応して
奇数順位の抵抗体R1，R3，…………Ｒ2o-1と、偶
数順位の抵抗体R2，R4，…………Ｒ2oとでそれぞ
れグループ化し、第１および第２の抵抗体群とす
るもので、この各抵抗体群を構成する抵抗体は、
群単位で並列接続するもので、この並列接続状態
にある第１および第２の抵抗体群は直列に接続す
る。そして、この直列接続した両端から端子ａお
よびｂを取り出し、また第１および第２の抵抗体
群の相互接続部から端子ｃを取り出すようにす
る。
奇数順位の抵抗体R1，R3，…………Ｒ2o-1と、偶
数順位の抵抗体R2，R4，…………Ｒ2oとでそれぞ
れグループ化し、第１および第２の抵抗体群とす
るもので、この各抵抗体群を構成する抵抗体は、
群単位で並列接続するもので、この並列接続状態
にある第１および第２の抵抗体群は直列に接続す
る。そして、この直列接続した両端から端子ａお
よびｂを取り出し、また第１および第２の抵抗体
群の相互接続部から端子ｃを取り出すようにす
る。
このように構成される磁気抵抗装置１３の端子
ａとｂと間に定電圧、定電流の電源を供給し、端
子ｂとｃ間から出力信号を取り出すように設定
し、回転体１１を回転すると、この回転体１１の
磁極間距離λに対応する回転角に対応して第３図
に示すような出力検出信号が得られる。
ａとｂと間に定電圧、定電流の電源を供給し、端
子ｂとｃ間から出力信号を取り出すように設定
し、回転体１１を回転すると、この回転体１１の
磁極間距離λに対応する回転角に対応して第３図
に示すような出力検出信号が得られる。
すなわち、抵抗体R1〜Ｒ2oの中の１つと、回転
体１１のＮあるいはＳの磁気信号記録部とが対設
する時に出力電圧が大きくパルス状に変化するよ
うになるもので、この磁気信号記録部がλだけ移
動する間に2n回の電圧変化を発生し、2n個のパ
ルス状検出信号が得られるようになる。したがつ
て、回転体１１に対する磁極設定数が例えばｍ個
に制限されたとしても、回転体１１の１回転当り
「ｍ×ｎ個」のパルス状検出信号の得られるもの
であり、この検出信号を例えば時間幅を特定して
計数することによつて、回転体１１の回転速度が
高精度に演算計測されるようになるものである。
体１１のＮあるいはＳの磁気信号記録部とが対設
する時に出力電圧が大きくパルス状に変化するよ
うになるもので、この磁気信号記録部がλだけ移
動する間に2n回の電圧変化を発生し、2n個のパ
ルス状検出信号が得られるようになる。したがつ
て、回転体１１に対する磁極設定数が例えばｍ個
に制限されたとしても、回転体１１の１回転当り
「ｍ×ｎ個」のパルス状検出信号の得られるもの
であり、この検出信号を例えば時間幅を特定して
計数することによつて、回転体１１の回転速度が
高精度に演算計測されるようになるものである。
この場合、検出信号の計数によつて回転速度の
計測されるものであるため、各抵抗体R1〜Ｒ2oの
相互間隔は特に一定に保つことなく、図で示され
るような状態で設定しても、充分高精度の回転速
度計測が可能である。
計測されるものであるため、各抵抗体R1〜Ｒ2oの
相互間隔は特に一定に保つことなく、図で示され
るような状態で設定しても、充分高精度の回転速
度計測が可能である。
尚、上記実施例では抵抗体R1〜Ｒ2oを第１およ
び第２の抵抗体群にグループ化し、この各グルー
プにおいて並列接続したが、これは第４図に示す
ように第１および第２の各抵抗体群において、各
抵抗体を直列接続するようにしてもよい。また当
然のことながら、各抵抗体R1〜Ｒ2oの相互間隔
も、ｄ／2n−１の等間隔に設定してもよいこと
はもちろんである。
び第２の抵抗体群にグループ化し、この各グルー
プにおいて並列接続したが、これは第４図に示す
ように第１および第２の各抵抗体群において、各
抵抗体を直列接続するようにしてもよい。また当
然のことながら、各抵抗体R1〜Ｒ2oの相互間隔
も、ｄ／2n−１の等間隔に設定してもよいこと
はもちろんである。
また、これらの抵抗体群は二連にして同一チツ
プ上に形成し、フルブリツジを構成するようにし
てもよいことはもちろんである。
プ上に形成し、フルブリツジを構成するようにし
てもよいことはもちろんである。
また、実施例では回転検出機構を構成する場合
を示し、回転体によつて磁気抵抗装置に作用する
磁界を発生したが、ＮおよびＳ極を一定間隔で記
録した長尺物で磁気発生装置を構成し、この磁気
発生装置と磁気抵抗装置とが相対的に対面して移
動し得るようにすれば、直線的な速度計測機構等
を効果的に構成し得るものである。
を示し、回転体によつて磁気抵抗装置に作用する
磁界を発生したが、ＮおよびＳ極を一定間隔で記
録した長尺物で磁気発生装置を構成し、この磁気
発生装置と磁気抵抗装置とが相対的に対面して移
動し得るようにすれば、直線的な速度計測機構等
を効果的に構成し得るものである。
以上のようにこの発明によれば、磁気発生装置
の磁極数に対して、充分多数の検出信号を発生さ
せることのできるものであり、例えば高精度の回
転検出機構等を効果的に構成することができる。
の磁極数に対して、充分多数の検出信号を発生さ
せることのできるものであり、例えば高精度の回
転検出機構等を効果的に構成することができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る磁気抵抗装
置を説明するための回転検出機構の概略的構成を
示す図、第２図は同じく磁気抵抗装置部を取り出
し拡大して示す図、第３図は上記磁気抵抗装置か
らの出力信号波形を示す図、第４図はこの発明の
他の実施例を説明する図である。 １１……回転体、１３……磁気抵抗装置、１４
……絶縁性基板、P1，R2，…………Ｒ2o……抵抗
体（強磁性薄膜）。
置を説明するための回転検出機構の概略的構成を
示す図、第２図は同じく磁気抵抗装置部を取り出
し拡大して示す図、第３図は上記磁気抵抗装置か
らの出力信号波形を示す図、第４図はこの発明の
他の実施例を説明する図である。 １１……回転体、１３……磁気抵抗装置、１４
……絶縁性基板、P1，R2，…………Ｒ2o……抵抗
体（強磁性薄膜）。
Claims (1)
- １ 絶縁性基板面に対して強磁性薄膜でなる複数
の抵抗体を、両端の抵抗体の間隔がｄとなるよう
にして平行状態に形成すると共に、上記各抵抗体
は奇数順位および偶数順位でそれぞれ相互に接続
される抵抗群を構成し、この抵抗群を直列接続し
てなり、上記複数の抵抗体の並び方向に相対的に
移動されるようになる磁極の相互間隔λに対して
０＜ｄ＜λとなるように設定したことを特徴とす
る磁気抵抗装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19100582A JPS5979857A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 磁気抵抗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19100582A JPS5979857A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 磁気抵抗装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979857A JPS5979857A (ja) | 1984-05-09 |
| JPS626187B2 true JPS626187B2 (ja) | 1987-02-09 |
Family
ID=16267281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19100582A Granted JPS5979857A (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 磁気抵抗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979857A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140707A (en) * | 1975-05-30 | 1976-12-03 | Hitachi Ltd | Multigap head and magnetic detectecting device |
| JPS561567A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1982
- 1982-10-30 JP JP19100582A patent/JPS5979857A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140707A (en) * | 1975-05-30 | 1976-12-03 | Hitachi Ltd | Multigap head and magnetic detectecting device |
| JPS561567A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of semiconductor device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5979857A (ja) | 1984-05-09 |
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