JPS6260645A - Laminator - Google Patents

Laminator

Info

Publication number
JPS6260645A
JPS6260645A JP60200615A JP20061585A JPS6260645A JP S6260645 A JPS6260645 A JP S6260645A JP 60200615 A JP60200615 A JP 60200615A JP 20061585 A JP20061585 A JP 20061585A JP S6260645 A JPS6260645 A JP S6260645A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
laminating
dfr
roller
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60200615A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
佐野 忠男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Asahi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP60200615A priority Critical patent/JPS6260645A/en
Publication of JPS6260645A publication Critical patent/JPS6260645A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/10Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the pressing technique, e.g. using action of vacuum or fluid pressure
    • B32B37/1045Intermittent pressing, e.g. by oscillating or reciprocating motion of the pressing means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00Electrical equipment
    • B32B2457/08PCBs, i.e. printed circuit boards

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、感光性ドライフィルムレジスト(以下DFR
と略記する)を導電性金属貼り積層板(以下基板と称す
る)にラミネートする装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to photosensitive dry film resist (hereinafter referred to as DFR).
The present invention relates to a device for laminating a conductive metal laminated board (hereinafter referred to as a substrate) to a conductive metal laminated board (hereinafter referred to as a substrate).

更に、詳述すればDFRを基板にラミ坏−卜するに際し
、DFRと基板との間の空気の抱込みを防ぐ装置に関す
るものである。
More specifically, the present invention relates to a device that prevents air from being trapped between the DFR and the substrate when the DFR is laminated onto the substrate.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来のDFRラミネータは、第3因に示すように、カバ
ーフィルム、キャリヤフィルム及び感光層の三層構造体
よりなるDFRが巻かれているローラ20.20よシ剥
離ローラ21,21によってカバーフィルムを剥離し、
剥離されたカバーフィルムは剥離フィルム巻き取りロー
ラ22,22に巻き上げられ、カバーフィルムが剥離さ
れたDFRを一対のラミネートローラ23.23に導き
、搬送されてくる基板24に前記のラミネートO=う2
3をエアシリンダ25等にて加圧しながらDFRを基板
に圧着するラミネート装置が用いられている。
In the conventional DFR laminator, as shown in the third factor, the cover film is removed by peeling rollers 21, 21 from a roller 20, 20 around which a DFR consisting of a three-layer structure of a cover film, a carrier film, and a photosensitive layer is wound. Peel off,
The peeled off cover film is wound up by peeling film take-up rollers 22, 22, and the DFR from which the cover film has been peeled off is guided to a pair of laminating rollers 23, 23, and the above-mentioned laminate O=U2 is applied to the conveyed substrate 24.
A laminating apparatus is used that presses DFR 3 onto a substrate while applying pressure with an air cylinder 25 or the like.

しかしながら、上記した従来装置では基板の表面研摩に
よる疵及びガラスクロス織目によって生ずる基板の凹凸
部に感光性組成物が入り込まず空気溜9が生じ、密着不
良となる欠点があった。
However, the above-mentioned conventional apparatus has the disadvantage that the photosensitive composition does not penetrate into the irregularities of the substrate caused by surface polishing of the substrate and the texture of the glass cloth, resulting in air pockets 9, resulting in poor adhesion.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

近年、電子工業技術は急速な進歩を遂げ、各種プリント
配線基板の製造が行われている。このプリント配線基板
の製造は、基板上にデュポン社製の「リストン」■や脂
化成製「サンフォート」■などの商品名で代表される三
層構造常温固体型でかつ可撓性を有するフィルム状の感
光性樹脂組成物をローラにより熱圧着した後、その感光
性組成物上に配線パターンが描かれているネガ又はポジ
フィルムを通して活性光線を照射し、活性光線を照射さ
れた部分の感光性組成物を光重合又は光崩壊させ、その
感光性樹脂組成物が光重合型である場合には光重合部分
を、光崩壊型である場合には光崩壊部分を溶剤で除去し
て基板の導電性金属を露出状態とし、その露出した導電
性金属部を導電性金属腐蝕液によってエツチング除去後
、基板上に残っている溶解液に対しレジスト材の役目を
していた感光性組成物を剥離液で除去することによって
行っている。
In recent years, electronic industrial technology has made rapid progress, and various printed wiring boards are being manufactured. This printed wiring board is manufactured using a three-layer structure that is solid at room temperature and is flexible, represented by product names such as DuPont's "Riston" ■ and Fuikasei's "Sunfort" ■. After thermo-compression-bonding a photosensitive resin composition with a roller, actinic rays are irradiated through a negative or positive film on which a wiring pattern is drawn on the photosensitive composition, and the photosensitivity of the area irradiated with actinic rays is determined. The composition is photopolymerized or photodegraded, and if the photosensitive resin composition is photopolymerizable, the photopolymerized portion is removed, and if it is photodegradable, the photodegradable portion is removed with a solvent to make the substrate conductive. After exposing the conductive metal and removing the exposed conductive metal by etching with a conductive metal etchant, remove the photosensitive composition that served as a resist material from the solution remaining on the substrate with a stripping solution. This is done by removing it.

上記したようにプリント配線基板を製造する場合、製造
されるプリント配線基板の良否を決定する最も重要な点
は、基板上にDFRを熱圧着せしめる際、該フィルムと
基板との間にガラスクロスの織目等の原因による基板表
面の凹凸に起因する空気の抱込みを生じ密着不良になる
ことである。
When manufacturing printed wiring boards as described above, the most important point that determines the quality of the manufactured printed wiring board is that when bonding the DFR to the board by thermocompression, there is no glass cloth between the film and the board. The problem is that air is trapped due to irregularities on the substrate surface due to texture, etc., resulting in poor adhesion.

上記したような基板とDFRとの間に空気抱込みを生じ
たものは光線照射ランプから照射された活性光線が散乱
又は収束したりする。この結果、DFRの光重合又は光
崩壊すべき部分が充分な光重合又は光崩壊が生じなかっ
たジ、また、全く光重合又は光崩壊が生じなかったり、
更には光重合又は光崩壊してはいけない部分まで光重合
、光崩壊分生じたジする。もし、光重合、光崩壊が充分
性われたとしても基板からDFRが浮き上ってエツチン
グやめつきなどの後工程での画像の信頼性が失われて非
常に高い精密度を生命とするプリント配線基板としての
要求に合致しなくなる。
When air is trapped between the substrate and the DFR as described above, the active light rays emitted from the light irradiation lamp are scattered or converged. As a result, the portion of the DFR that should be photopolymerized or photodegraded may not undergo sufficient photopolymerization or photodegradation, or may not be photopolymerized or photodegraded at all.
Furthermore, photopolymerization and photodegradation occur even in areas that should not be photopolymerized or photodegraded. Even if photopolymerization and photodegradation are sufficient, the DFR will lift up from the board and the reliability of images in subsequent processes such as etching and plating will be lost, resulting in printed wiring that relies on extremely high precision. It no longer meets the requirements for a substrate.

前述したように、基板のガラスクロスの織目に沿って生
ずる基板の凹凸及び基板の研摩工程で生ずる研摩疵に起
因する基板とDFR間の空気抱込みは前記した従来のラ
ミネータでは解決できない問題であυ、本発明は、上記
の問題点を解決することを目的とするものである。
As mentioned above, the air entrapment between the substrate and the DFR caused by unevenness of the substrate along the texture of the glass cloth of the substrate and polishing scratches caused in the polishing process of the substrate is a problem that cannot be solved by the conventional laminator described above. Ah, the present invention aims to solve the above problems.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

本発明は、上記の目的を達成するために、表面にゴムラ
イニングを施したラミネートローラにて導電性金属貼り
積層板に感光性ドライフィルムレジストをラミネートす
る装置において、前記ラミネートローラを振動せしめる
発振器を備えるとともに、前記ラミネートローラを加圧
する手段と設けたことをその特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the present invention includes an oscillator that vibrates the laminating roller in an apparatus for laminating a photosensitive dry film resist on a conductive metal laminated board using a laminating roller whose surface is rubber-lined. The present invention is characterized in that the laminating roller is provided with a means for pressurizing the laminating roller.

〔作用〕[Effect]

本発明は、表面にゴムライニングが施されたラミネート
ローラを加圧手段によって加圧状態に保持しながら、ラ
ミネートローラを発振器を作動して高速で上下に振動さ
せることによって、前記のライニングされたゴムの弾性
回復エネルギ及び振動エネルギそのものによって感光性
樹脂組成物を基板に生じている凹凸部に充填し、基板と
DFR間の空気の抱込みを解消するものである。
The present invention operates an oscillator to vibrate the laminating roller up and down at high speed while holding the laminating roller whose surface is rubber-lined in a pressurized state by a pressurizing means. The elastic recovery energy and vibration energy themselves fill the photosensitive resin composition into the uneven portions of the substrate, thereby eliminating air entrapment between the substrate and the DFR.

〔実施例〕〔Example〕

本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。 The present invention will be explained based on embodiments shown in the drawings.

1.1′はローラに巻かれた三層構造体のDFRで機枠
(第XOには図示しない)に基板搬送経路の上下に一対
支持されている。前記の三層構造体のDFRを剥離ロー
ル2,2′によってカバーフィルムを剥離し、剥離され
たカバーフィルムは巻き取りローラ3,3′に巻き取ら
れる。カバーフィルムが除去されたDFRは表面がゴム
ライニング4a、5aされた一対のラミネー)o−ラ4
,5に導かれる。一方コンベアローラ6,6.・・曲・
にょって搬送される基板7け前記ラミネートローラ4゜
5間に送り込まれ、前記ラミネートローラ4,5に導か
れたDFRは前記基板7にラミネートされるものである
。8は、前記のラミネート時にラミネートローラ4を加
圧するエアシリンダである。
Reference numeral 1.1' denotes a pair of DFRs having a three-layer structure wound around a roller and supported by a machine frame (not shown in XO) above and below the substrate conveyance path. The cover film of the DFR of the three-layer structure is peeled off by peeling rolls 2, 2', and the peeled cover film is wound up by winding rollers 3, 3'. The DFR from which the cover film has been removed is a pair of laminates whose surfaces are rubber-lined (4a, 5a).
, 5. On the other hand, conveyor rollers 6,6. ··song·
The seven substrates being conveyed are fed between the laminating rollers 4.5, and the DFR guided to the laminating rollers 4 and 5 is laminated onto the substrate 7. 8 is an air cylinder that pressurizes the laminating roller 4 during the lamination described above.

本実施例では加圧手段としてエアシリンダを示したが、
他の例えばばね装置等を加圧手段としても可能である。
In this example, an air cylinder is shown as the pressurizing means, but
It is also possible to use other means, such as a spring device, as the pressurizing means.

そして、本発明は、ラミネート時にラミネートローラ4
,5を振動せしめるところに特徴を有するものであるが
、その振動手段を第2図に示す実施例に基づいて説明す
ると、前記した表面がゴムライニング5aが施された下
部ラミネータ口−ラ5は軸受9,9′によってフレーム
10に取付けられる。11は前記した下部ラミネーbロ
ーニア5?回転せしめるスプロケットである。
Further, the present invention provides the laminating roller 4 during lamination.
, 5 is vibrated, and the vibration means will be explained based on the embodiment shown in FIG. 2. It is attached to the frame 10 by bearings 9, 9'. 11 is the lower laminated B Laonia 5 mentioned above? It is a sprocket that rotates.

12は前記したフレーム10.10間に架設したエアシ
リンダ8固定用バーであり、該バーにはエアシリンダ8
を上部ラミネートローラ4を加圧できるように垂設固定
する。13は上部ラミネーの長手方向に平行な横部材1
3aとその両端を下方に折曲した垂設部材13b、13
bとからなり、i′fJ記の垂設部材13b 、 13
bにて上部ラミネートローラ4の軸4b’6軸受を介し
て保持し、前記ラミネートホルダ13の前記横部材13
aの上面には発振器14を固装し、該発振器14の上面
は前記エアシリンダ8の先端部が接するように配設され
ている。そして、前記発振器14の発振体としては電磁
式バイブレータ、振動モータ及び偏芯輪等が使用可能で
ある。
12 is a bar for fixing the air cylinder 8 installed between the frames 10 and 10, and the air cylinder 8 is attached to the bar.
is vertically fixed so that the upper laminating roller 4 can be pressurized. 13 is a horizontal member 1 parallel to the longitudinal direction of the upper laminate
3a and hanging members 13b and 13 whose both ends are bent downward.
b, and vertical members 13b and 13 of i'fJ.
The shaft 4b'6 of the upper laminating roller 4 is held at b through the bearing, and the horizontal member 13 of the laminating holder 13 is
An oscillator 14 is fixedly mounted on the upper surface of the air cylinder a, and the upper surface of the oscillator 14 is arranged so as to be in contact with the tip of the air cylinder 8. As the oscillating body of the oscillator 14, an electromagnetic vibrator, a vibration motor, an eccentric ring, etc. can be used.

したがって、発振器14の振動はラミネートローラホル
ダ13と介してそのま5ラミネートローしてもよい。
Therefore, the vibration of the oscillator 14 may be directly transmitted through the 5-laminate roller holder 13.

本発明の実施例は、以上のように構成されるので、カバ
ーフィルムを剥離したDFRを一対のラミネートローラ
4.5に導キ、コンベアロー56゜6、・・・・・・に
よって搬送された基板7は前記ラミネートローラ4,5
間に供給され、上下より前記DFRi基板7にラミネー
トするものであるが、このとき、発振器14によって上
部ラミネートローラ4を保持するラミネートホルダ13
を振動せしめると、この振動が直ちに上部ラミネートロ
ーラ4を上下に撮動させることとなる。そして、前記の
発振器14による振動は常時行うか又は、基板7がラミ
ネートo−ラ4,5間に供給されたときのみ行うことが
できるが、このときは基板検知センサ(図示しない)を
設けることによって可能である。
Since the embodiment of the present invention is constructed as described above, the DFR from which the cover film has been peeled off is guided to a pair of laminating rollers 4.5 and conveyed by a conveyor roller 56°6, . . . The substrate 7 is mounted on the laminating rollers 4 and 5.
The laminate holder 13 which holds the upper laminating roller 4 is supplied by the oscillator 14 to laminate the DFRi substrate 7 from above and below.
When the roller is vibrated, this vibration immediately causes the upper laminating roller 4 to move up and down. The vibration by the oscillator 14 can be performed constantly or only when the substrate 7 is supplied between the laminate rollers 4 and 5. In this case, a substrate detection sensor (not shown) may be provided. It is possible by

前記した一対のラミネートローラ4,5にてラミネート
するときは、ラミネートローラ4はエアシリンダ8にて
必要な圧力で加圧されているので、ラミネートローラが
上下に振動することによって、基板7の研摩疵及びガラ
スクロスの織目に起因するミクロな凹凸等が存在しても
前記ラミネートローラ4,5のゴムライニング部4a、
5aに生ずる弾性回復エネルギ及び微細な上下振動によ
って@記した基板70表面のミクロな凹凸部に感光性樹
脂組成物が入り込み空気溜りのないラミネートが得られ
るものである。
When laminating with the pair of laminating rollers 4 and 5 described above, the laminating roller 4 is pressurized with the necessary pressure by the air cylinder 8, so the laminating roller vibrates up and down, thereby polishing the substrate 7. The rubber lining portion 4a of the laminating rollers 4, 5,
The photosensitive resin composition penetrates into the microscopic irregularities on the surface of the substrate 70 (marked with @) due to the elastic recovery energy generated in 5a and minute vertical vibrations, resulting in a laminate free of air pockets.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明に係るラミネート弁弁弁≠チ秒裂良は、前述した
ようにラミネートローラを振動させてラミネートロール
の狭面にライニングされているゴムの弾性回復エネルギ
及びラミネートローラそのものの撮動によって基板の表
面の微細な凹凸部に感光性樹脂組成物が入り込み空気抱
込みのないラミネートができるものである。
The laminate valve according to the present invention vibrates the laminate roller as described above and uses the elastic recovery energy of the rubber lining the narrow side of the laminate roll and the motion of the laminate roller itself to vibrate the substrate. The photosensitive resin composition penetrates into the fine irregularities on the surface, making it possible to create a laminate without air entrapment.

そして、本発明は、精密、高信頼を生命とするプリント
基板の製造において、基板とDFRの接着不良、空気抱
込みに起因する断線、欠け、ショートピンホール等の不
良を低減するのに多大の効果がある。
In the manufacture of printed circuit boards, where precision and high reliability are essential, the present invention can greatly reduce defects such as poor adhesion between the board and DFR, disconnections, chips, and short pinholes caused by air entrapment. effective.

ちなみに昭和58年のプリント基板工業界の統計による
と、上部ラミネートの接着不良、空気抱込みに起因する
断線、欠け、ショートピンホールの割合は全不良の80
.6%に達するが、本発明のラミネート舞井≠≠*母装
置によシ、基板とDFR間の空気抱込みを排除すること
によってプリント基板の収率が大幅向上する効果がある
By the way, according to statistics from the printed circuit board industry in 1981, the proportion of wire breaks, chips, and short pinholes caused by poor adhesion of the upper laminate and air entrapment accounted for 80% of all defects.
.. However, the laminate Mai≠≠* mother device of the present invention has the effect of significantly improving the yield of printed circuit boards by eliminating air entrapment between the substrate and the DFR.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面は本発明の実施例を示し第1図はラミ坏〜りの側面
説明図、第2図はラミネートロール振動装置の説明図、
第3図は従来のラミネータの説明図である。 1.1’:三層構造体のDFR 2,2’:剥離ローラ 4.5;ラミネートローラ 4a 、 5a ;ゴムライニング部 7;基 板      8;エアシリ/ター13;ラミ
ネートローラホルダ 14;発振器 特許出願人 旭化成工業株式会社 代  理  人  岩  木  謙  二:1、;1、
・7.・・ニーへ二 同      大  島  道  男 層−一;゛・−
5′ 第1図
The drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a side view of a lamination roll, and FIG. 2 is an explanatory view of a laminating roll vibrating device.
FIG. 3 is an explanatory diagram of a conventional laminator. 1.1': DFR of three-layer structure 2,2': Peeling roller 4.5; Laminating rollers 4a, 5a; Rubber lining part 7; Substrate 8; Air silicate/tar 13; Laminating roller holder 14; Oscillator patent application Person: Asahi Kasei Corporation Representative Person: Kenji Iwaki: 1, ;1,
・7.・・Nihe 2 Michi Oshima layer 1;゛・−
5' Figure 1

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  表面にゴムライニングを施したラミネートローラにて
導電性金属貼り積層板に感光性ドライフィルムレジスト
をラミネートする装置にして、前記ラミネートローラを
振動せしめる発振器を備えるとともに、前記ラミネート
ローラを加圧する手段を設けたことを特徴とするラミネ
ート装置。
A device for laminating a photosensitive dry film resist on a conductive metal laminated board using a laminating roller with a rubber lining on the surface, including an oscillator for vibrating the laminating roller, and a means for pressurizing the laminating roller. A laminating device characterized by:
JP60200615A 1985-09-12 1985-09-12 Laminator Pending JPS6260645A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60200615A JPS6260645A (en) 1985-09-12 1985-09-12 Laminator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60200615A JPS6260645A (en) 1985-09-12 1985-09-12 Laminator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6260645A true JPS6260645A (en) 1987-03-17

Family

ID=16427314

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60200615A Pending JPS6260645A (en) 1985-09-12 1985-09-12 Laminator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6260645A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003049925A1 (en) * 2001-12-10 2003-06-19 Hitachi Chemical Co., Ltd. Film laminating method and laminating apparatus
WO2010032740A1 (en) * 2008-09-17 2010-03-25 株式会社ブリヂストン Device for attaching tire forming members by pressure, tire manufacturing device, and tire manufacturing method

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003049925A1 (en) * 2001-12-10 2003-06-19 Hitachi Chemical Co., Ltd. Film laminating method and laminating apparatus
US7503991B2 (en) 2001-12-10 2009-03-17 Hitachi Chemical Co., Ltd. Film lamination method and lamination-apparatus
WO2010032740A1 (en) * 2008-09-17 2010-03-25 株式会社ブリヂストン Device for attaching tire forming members by pressure, tire manufacturing device, and tire manufacturing method
JP2010069659A (en) * 2008-09-17 2010-04-02 Bridgestone Corp Apparatus for press-bonding tire molding member, apparatus for manufacturing tire, and method for manufacturing tire

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7540079B2 (en) Laminated member for circuit board, method and apparatus for manufacturing of circuit board
JPH06171823A (en) Remover of protection film for dry film resist
JP2007260993A (en) Screen printing equipment
CN100579333C (en) The manufacture method of member for circuit board, circuit substrate and the manufacturing installation of circuit substrate
KR20070011052A (en) Exposing device
TW200532379A (en) Apparatus for coating photoresist having slit nozzle
JP3907062B2 (en) Interlayer connection structure and method for forming the same
JP2004273527A (en) Protective tape attaching/detaching method
JPS6260645A (en) Laminator
KR20120070387A (en) Apparatus of lifting off substrate
JPH10171125A (en) Proximity exposure device of sheet-like work
JP2004114585A (en) Method for laminating of flexible film and apparatus for laminating
JPH0261024B2 (en)
JP2004066812A (en) Method and apparatus for laminating flexible film, and manufacturing method of circuit board
JPH01215094A (en) Method of preparing polymer material for printed circuit and polymer material prepared by the method
JP3495272B2 (en) Lithographic method and wiring substrate manufacturing method
JP2004247721A (en) Method and apparatus for manufacturing electronic circuit board
JPS6148831A (en) Photosetting structural body
JP2005056901A (en) Apparatus and process for manufacturing semiconductor device
KR20000063732A (en) Apparatus for peeling film of printed circuit board
JPH07239550A (en) Continuous sticking method, production of substrate for producing printed circuit board stuck with photosensitive film and device used therein
JP2009295620A (en) Metal-coated substrate for printed wiring board, printed wiring board, and method of manufacturing the same
JPS635917B2 (en)
JPS5824144A (en) Formation of resist image
JP2549649B2 (en) Multi-layered material Copper clad laminate transportation method