JPS6260028U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一例による乾燥装置の全体を
示す縦断面図、第２図はその要部の平面図、第３
図は第１図のＡ部の拡大図、第４図は第２図の線
Ｂ―Ｂ断面図、第５図はチヤツク状態を示す第３
図は類似した断面図、第６図は第５図に示された
部分の底面図、第７図はチヤツク状態を示す要部
の平面図、第８図は他の実施例を示す平面図、そ
して第９図は他のチヤツクコマを示す斜視図であ
る。 図中、１……主軸、３……回転テーブル、４…
…ハウジング、１１……チヤツクコマ、１２……
受け部材、１３……保持部材、１４……ピン、１
５……チヤツク部、１６……重り、１７……ばね
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ハウジング内に回転自在に垂直に設けられ
   た主軸と、前記主軸の頂部に水平に取付けられた
   回転テーブルと、前記回転テーブル上に半導体材
   料を支持するためのテーブル面から上方に突出す
   る受け部材と、前記回転テーブル上の半導体材料
   の外周縁の当接を受ける保持部材と、前記回転テ
   ーブル上の半導体材料の外周の上面を抑える少な
   くも３つのチヤツクコマを含み、各前記チヤツク
   コマは前記テーブルを回転自在に貫通するピンと
   、そのピンの上端に取付けられて前記テーブル上
   の半導体材料の上昇を抑えるチヤツク部と、前記
   テーブルの下側に在つて前記ピンに偏心して取付
   けられた重りと、遠心力が作用しないときには前
   記チヤツクコマを半導体材料の縁を抑えない定位
   置に戻すばねを含む半導体材料の乾燥装置。 (2) 前記チヤツクコマは前記回転テーブルの周
   囲に等間隔に設けられている実用新案登録請求に
   範囲第(1)項記載の乾燥装置。 (3) 前記受け部材はそれぞれピンからなる実用
   新案登録請求の範囲第(1)項記載の乾燥装置。 (4) 前記保持部材はそれぞれピンからなる実用
   新案登録請求の範囲第(1)項記載の乾燥装置。 (5) 前記チヤツク部は切欠きのある円板からな
   る実用新案登録請求の範囲第(1)項記載の乾燥装
   置。 (6) 前記重りは前記ピンに垂直なねじの自由端
   に取付けられている実用新案登録請求の範囲第(1
   )項記載の乾燥装置。