JPS6259477B2 - - Google Patents

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JPS6259477B2
JPS6259477B2 JP56068804A JP6880481A JPS6259477B2 JP S6259477 B2 JPS6259477 B2 JP S6259477B2 JP 56068804 A JP56068804 A JP 56068804A JP 6880481 A JP6880481 A JP 6880481A JP S6259477 B2 JPS6259477 B2 JP S6259477B2
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electrodes
region
semiconductor substrate
light
electric field
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JP56068804A
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Eiichi Yamaguchi
Takeshi Kobayashi
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPS57183076A publication Critical patent/JPS57183076A/ja
Publication of JPS6259477B2 publication Critical patent/JPS6259477B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/08Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
    • H01L31/10Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
    • H01L31/101Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
    • H01L31/112Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by field-effect operation, e.g. junction field-effect phototransistor
    • H01L31/113Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by field-effect operation, e.g. junction field-effect phototransistor being of the conductor-insulator-semiconductor type, e.g. metal-insulator-semiconductor field-effect transistor
    • H01L31/1133Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by field-effect operation, e.g. junction field-effect phototransistor being of the conductor-insulator-semiconductor type, e.g. metal-insulator-semiconductor field-effect transistor the device being a conductor-insulator-semiconductor diode or a CCD device

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電界の制御によつて光の強度に応じ
た光導電度乃至光起電力を呈する電界制御型光半
導体装置に関する。
従来、電界の制御によつて光の強度に応じた光
導電度を呈する電界制御型光半導体装置として、
第1図で全体としてUで示すような、例えばGe
でなる真性半導体基板1を有し、その主面2上
に、第1及び第2の電極3及び4がオーミツクに
付され、そして、真性半導体基板1の電極3及び
4間の領域5に、主面2側から光6が入射される
構成を有するものが提案されている。
ところで、このような第1図に示す構成を有す
る電界制御型光半導体装置Uは、その真性半導体
基板1の電極3及び4間の領域5に光6の入射を
受けた場合にその領域5に電気伝導に寄与しない
ワニエモツト励起子が生成されることになる、と
いう低い温度に保たれた状態で、電極3及び4間
に、電源7を、負荷8を通じて接続して使用され
るが、いま、このように電界制御型光半導体装置
Uを使用するものとして、その電界制御型光半導
体装置Uの呈する機能を述べれば、次のとおりで
ある。
すなわち、いま、真性半導体基板1の電極3及
び4間の領域5に光6が入射されていなければ、
電極3及び4間に接続している電源7の電圧を、
ある閾値電圧(これをVTとする)以上の電圧に
して、領域5にある閾値電界(これをETとす
る)以上の電界をかけても、領域5が真性半導体
基板で構成されているので、電極3及び4間でみ
て十分小なる値の導電度を呈する。このため、負
荷8に光電流を供給しないという機能を呈する。
また、領域5に光6が入射されれば、電源7の
電圧を閾値電圧VT以上の電圧として、領域5に
閾値電界ET以上の電界をかけない限りにおい
て、領域5に、光6の強度に応じた量の、導電度
に寄与せざるワニエモツト励起子が生成し、しか
しながら、この場合、領域5に導電度に寄与する
キヤリアはほとんど生じない。このため、電極3
及び4間でみて十分小なる値の導電度を呈し、よ
つて、光6の入射があるにも拘らず、負荷8に光
電流を供給していないという機能を呈する。
さらに、領域5に光6が入射されている状態
で、電源7の電圧を閾値電圧VT以上の電圧とし
て、領域5に閾値電界ET以上の電界をかけれ
ば、領域5において、上述したように生成される
ワニエモツト励起子が解離し、これにもとずき、
領域5に導電度に寄与するキヤリア(電子・正
孔)が生成するという機構で、領域5に、光6の
強度に応じた量の導電度に寄与するキヤリアが生
成する。このため、電極3及び4間でみて、光6
の強度に応じた値をとる大なる値の導電度を呈
し、よつて、負荷8に光6の強度に応じた値の光
電流を供給するという機能を呈する。
なおさらに、上述したように、電極3及び4間
でみて、光6の強度に応じた値をとる大なる値の
導電度を呈している状態から、電源7の電圧を閾
値電圧VT以下の電圧として領域5にかけられて
いる電界を閾値電界ET以下とすれば、上述した
ワニエモツト励起子の解離が生じない。このた
め、領域5に導電度に寄与するキヤリアが生成せ
ず、よつて、電極3及び4間でみて、十分小なる
導電度を呈し、従つて、光6の入射があるにも拘
らず負荷8に光電流を供給せしめていないという
機能を呈する。
従つて、第1図に示す電界制御型光半導体装置
Uは、電界の制御によつて光の強度に応じた光導
電度を呈し、これに応じて光電流を負荷に供給す
るという機能を呈する。
しかしながら、第1図に示す電界制御型光半導
体装置Uの場合、電源7の電圧を閾値電圧VT
上の電圧とすることによつて、光6の入射がある
場合、電極3及び4間でみて、光6の強度に応じ
た導電度を呈するが、電極3及び4間で光6の強
度に応じた導電度を呈するとき、電極3及び4間
でみたインピーダンスが低下し、一方、電極3及
び4間に閾値電圧VT以上の電圧を与えるための
電源7が接続されているので、電極3及び4間に
閾値電圧VT以上の電圧を与えるとするその閾値
電圧VTの値が大となる。
従つて、電極3及び4間でみて、光6の強度に
応じた導電度を呈せしめるべく、電源7の電圧を
閾値電圧VT以上の電圧とするその電圧の値を、
十分大なるものとする必要があり、このため、電
源7をこのような大なる値の電圧の得られる電源
とする必要がある、という欠点を有していた。
よつて、本発明は、上述した欠点のない、新規
な、電界の制御によつて光の強度に応じた光導電
度乃至光起電力を呈する電界制御型光半導体装置
を提案せんとするもので、以下詳述するところか
ら明らかとなるであろう。
第2図は、本発明による電界制御型光半導体装
置の一例を示し、全体としてUで示され、第1図
の場合と同様の真性半導体基板1を有し、その主
面2上に、第1図の場合と同様の第1及び第2の
電極3及び4が、第1図の場合と同様にオーミツ
クに付され、一方、真性半導体基板1の電極3及
び4間の領域5上に、主面2側において、透光性
を有する絶縁層11を介して、透光性を有する第
3の電極12が配され、そして、真性半導体基板
1の領域5の主面2側から、絶縁層11及び電極
12を介して光6が入射されるように構成されて
いる。
以上が、本発明による電界制御型光半導体装置
の一例構成である。
このような構成を有する本発明による電界制御
型光半導体装置Uによれば、第1図で上述した場
合と同様の、真性半導体基板1の電極3及び4間
の領域5に光6の入射を受けた場合にその領域5
に電気伝導に寄与しないワニエモツト励起子が生
成されることになるという低い温度に保たれた状
態で、電極3及び4間に、第1図の場合と同様
に、電源7を負荷8を通じて接続し且つ電極3及
び12間に他の電源13を負荷8を通じて接続し
て使用することによつて、第1図で上述した従来
の電界制御型光半導体装置Uが呈すると同様の機
能を呈する。
その理由は、第2図に示す本発明による電界制
御型光半導体装置の一例構成が、第1図で上述し
た従来の電界制御型光半導体装置において、その
真性半導体基板1の電極3及び4間の領域5上に
主面2側において、絶縁層11を介して、電極1
2が配されていることを除いて、第1図の場合と
同様の構成を有し、一方、電極3及び12間に接
続している電源13の電圧を適当に選べば、領域
5に、第1図で上述した閾値電界ET以上の電界
をかけたときの電界に対応する電界(これを閾値
電界ET′以上の電界とする)及び閾値電界ET
下の電界を与えたときの電界に対応する電界(こ
れを閾値電界ET′以下の電界とする)をかけるこ
とができるので、第1図の場合のように、電源7
の電圧を閾値電圧VT以上の電圧としているのに
代え、電源13の電圧を、第1図で上述した閾値
電圧VT以上の電圧に対応する電圧(これを閾値
電圧VT′以上の電圧とする)とすれば、領域5に
閾値電界ET′以上の電界をかけることができ、ま
た、同様に第1図の場合のように電源7の電圧を
閾値電圧VT以下の電圧とするのに代え、電源1
3の電圧を、閾値電圧VT′以下の電圧とすれば、
領域5に閾値電界ET′以下の電界をかけることが
できるからである。
従つて、第2図に示す本発明による電界制御型
光半導体装置Uもまた、第1図で上述した従来の
電界制御型光半導体装置Uと同様に、電界の制御
によつて、光の強度に応じた光導電度を呈し、こ
れに応じて光電流を負荷に供給するという機能を
呈する。
しかしながら、第2図に示す本発明による電界
制御型光半導体装置Uの場合、第1図の場合に準
じて電源13の電圧を閾値電圧VT′以上の電圧と
することによつて、光6の入射がある場合、電極
3及び4間でみて光6の強度に応じた導電度を呈
するが、電極3及び4間で光6の強度に応じた導
電度を呈するとき、電極3及び4間でみたインピ
ーダンスが低下しても、電極3及び4間には、領
域5に閾値電界ET′以上の電界をかけるための電
源13が接続されておらず、その電源13が電極
3及び4間とは異なる電極3及び12間に接続さ
れているので、電源13に閾値電圧VT′以上の電
圧を与えるとするその閾値電圧VT′の値が、第1
図の場合における閾値電圧VTの値が大となるよ
うには、大とならない。
このため、電極3及び4間でみて、光6の強度
に応じた導電度を呈せしめるべく、電源13の電
圧を閾値電圧VT′以上の電圧とするその電圧の値
を、第1図の場合において電源7の電圧を閾値電
圧VT以上の電圧とするその電圧の値を十分大な
るものとするようには、大なるものとする必要が
ない。
よつて、電源13を、第1図の場合において電
源7を大なる値の電圧の得られる電源とするよう
には、大なる値の電圧の得られる電源とする必要
がなく、勿論、電源7も大なる値の電圧の得られ
る電源とする必要がない。
次に、第3図を伴つて、本発明による電界制御
型光半導体装置の他の例を述べると、全体として
Uで示され、第2図の場合と同様の真性半導体基
板1を有し、その真性半導体基板1内に、その主
面2側から、互に導電型を異にする第1及び第2
の半導体領域21及び22が形成され(図におい
ては、半導体領域21がN型、半導体領域22が
P型を有するものとして示されている)、一方、
半導体領域21及び22に、主面2側において、
それぞれ第2図の場合と同様の第1及び第2の電
極3及び4がオーミツクに付され、また、真性半
導体基板1の半導体領域21及び22間の領域2
3上に、主面2側において、第2図の場合と同様
の透光性を有する絶縁層11を介して、第2図の
場合と同様の透光性を有する第3の電極12が配
され、そして、第2図の場合と同様に、真性半導
体基板1の領域23に、主面2側から、絶縁層1
1及び電極12を介して、光6が入射せしめられ
る構成を有する。
以上が、本発明による電界制御型光半導体装置
の他の一例構成である。
このような構成を有する本発明による電界制御
型光半導体装置Uによれば、第2図で上述した場
合と同様に、真性半導体基板1の半導体領域21
及び22間の領域23に、光6の入射を受けた場
合にその領域23に電気伝導に寄与しないワニエ
モツト励起子が生成されることになるという低い
温度に保たれた状態で、電極3及び4間に電源7
を負荷8を通じて接続し且つ電極3及び12間
に、他の電源13を負荷8を通じて接続して使用
するという使用態様を採ることにより、第2図で
上述した本発明による電界制御型光半導体装置U
が呈すると同様の機能を呈する。ただし、電極3
及び4間でみて小なる導電度を呈し、負荷8に光
電流を供給する機能が得られる場合において、負
荷8には光電流が一方向にしか流れない。その理
由は、第3図に示す本発明による電界制御型光半
導体装置の一例構成が、第2図で上述した本発明
による電界制御型光半導体装置Uにおいて、その
真性半導体基板1の電極3及び4下に、それら電
極3及び4とそれぞれオーミツクに接触している
互に異なる導電型を有する半導体領域21及び2
2が形成されていることを除いて、第2図の場合
と同様の構成を有し、一方、真性半導体基板1の
電極3及び4下にそれら電極3及び4とそれぞれ
オーミツクに連結している半導体領域21及び2
2が、図示のように、それぞれN型及びP型であ
つて、電極3及び4間に接続している電源7が電
極4側を正側とする極性を有するとすれば、負荷
8に光電流が流れるとした場合、その光電流が負
荷8に電極3側から、電源7の負側に向つて流れ
るからである。
従つて、第3図に示す本発明による電界制御型
光半導体装置Uもまた、第2図で上述した本発明
による電界制御型光半導体装置Uと同様に、電界
の制御によつて光の強度に応じた光導電度を呈
し、これに応じて光電流を負荷に供給する(ただ
し方向性を以て)という機能を呈する。
また、第2図の場合と同様に、電極3及び4間
で光6の強度に応じた導電度を呈するとき、電極
3及び4間でみたインピーダンスが低下しても、
電極3及び4間には、領域5に閾値電界ET′以上
の電界を与える電源13が接続されておらず、そ
の電源13が、電極3及び12間に接続されてい
るので、電極13間に閾値電圧VT′以上の電圧を
与えるとするその閾値電圧VT′の値が、第2図の
場合と同様に大とならず、よつて、第2図の場合
と同様に、電源13及び7を大なる値の電圧の得
られるものとする必要がない。
また、第3図に示す本発明による電界制御型光
半導体装置の場合、電極3及び4間で、半導体領
域21及び22、及び真性半導体基板1の半導体
領域21及び22間の領域23を以て、いわゆる
PIN型ダイオードまたはNIP型ダイオードを構成
しているので、詳細説明は省略するが、上述した
ように、電極3及び4間でみて、光6の強度に応
じた導電度を呈するとき、電極3及び4間に起電
力が生じ、その起電力を負荷8に供給せしめ得、
そして、このような起電力の負荷8への供給は、
負荷8が電極3及び4間に接続されている限り、
電源7を省略しても、それを行い得る。
なお、上述においては、本発明の僅かな例を原
理的に示したに留まり、本発明の精神を脱するこ
となしに、種々の変型、変更をなし得るであろ
う。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の電界制御型光半導体装置を示
す略線図である。第2図及び第3図は、それぞれ
本発明による電界制御型光半導体装置の例を示す
略線図である。 1……真性半導体基板、2……主面、3,4,
12……電極、5,23……領域、6……光、
7,13……電源、8……負荷、11……絶縁
層、21,22……半導体領域。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 真性半導体基板を有し、 上記真性半導体基板の主面上に、第1及び第2
    の電極がオーミツクに付され、 上記真性半導体基板の上記第1及び第2の電極
    間の領域上に、上記主面側において、透光性を有
    する絶縁層を介して、透光性を有する第3の電極
    が配され、 (イ)上記第1及び第2の電極間に負荷を通じて第
    1の電源が接続され、上記第1及び第3の電極間
    に上記負荷を通じて第2の電源が接続されている
    状態で、且つ上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域に、光の入射を受けた場合、
    導電度に寄与しないワニエモツト励起子が生成さ
    れるという、低い温度に保たれた状態で、(ロ)上記
    真性半導体基板の上記第1及び第2の電極間の領
    域に光が入射されなければ、上記第1及び第2の
    電極間が十分小さな導電度を呈し、(ハ)上記(イ)の状
    態で、上記真性半導体基板の上記第1及び第2の
    電極間の領域に光が入射されれば、上記第2の電
    源の電圧を閾値電圧以上にして上記真性半導体基
    板の上記第1及び第2の電極間の領域に閾値電界
    以上の電界をかけない限り、上記真性半導体基板
    の上記第1及び第2の電極間の領域に、光の入射
    強度に応じた量の、導電度に寄与しないワニエモ
    ツト励起子が生成するが、導電度に寄与するキヤ
    リアがほとんど生じないという機構で、上記第1
    及び第2の電極間が十分小なる値の導電度を呈
    し、(ニ)上記(イ)の状態で、上記真性半導体基板の上
    記第1及び第2の電極間の領域に光が入射されて
    いる状態で、上記第2の電源の電圧を上記閾値電
    圧以上にして上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域に上記閾値電界以上の電界を
    かければ、上記真性半導体基板の上記第1及び第
    2の電極間の領域に生成している上記ワニエモツ
    ト励起子が解離し、これにもとずき、上記真性半
    導体基板の上記第1及び第2の電極間の領域に上
    記光の強度に応じた量の上記キヤリアが生成する
    機構で、上記第1及び第2の電極間で上記光の強
    さに応じた値をとる大きな導電度を呈し、(ホ)上記
    (ニ)の状態から、上記第2の電源の電圧を上記閾値
    電圧以下にして上記真性半導体基板の上記第1及
    び第2の電極間の領域に上記閾値電界以下の電界
    をかければ、上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域における上記ワニエモツト励
    起子に解離が生ぜず、このため上記真性半導体基
    板の上記第1及び第2の電極間の領域に上記キヤ
    リアが生成しない、という機構で、上記第1及び
    第2の電極間で小なる値の導電度を呈することを
    特徴とする電界制御型光半導体装置。 2 真性半導体基板を有し、 上記真性半導体基板内に、その主面側から、互
    に導電型を異にする第1及び第2の半導体領域が
    形成され、 上記第1及び第2の半導体領域に、それぞれ第
    1及び第2の電極がオーミツクに付され、 上記真性半導体基板の上記第1及び第2の半導
    体領域間の領域上に、上記主面側において、透光
    性を有する絶縁層を介して透光性を有する第3の
    電極が配され、 (イ)上記第1及び第2の電極間に負荷を通じて第
    1の電源が接続され、上記第1及び第3の電極間
    に上記負荷を通じて第2の電源が接続されている
    状態で、且つ上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域に、光の入射を受けた場合、
    導電度に寄与しないワニエモツト励起子が生成さ
    れるという、低い温度に保たれた状態で、(ロ)上記
    真性半導体基板の上記第1及び第2の電極間の領
    域に光が入射されなければ、上記第1及び第2の
    電極間が十分小さな導電度を呈し、(ハ)上記(イ)の状
    態で、上記真性半導体基板の上記第1及び第2の
    電極間の領域に光が入射されれば、上記第2の電
    源の電圧を閾値電圧以上にして上記真性半導体基
    板の上記第1及び第2の電極間の領域に閾値電界
    以上の電界をかけない限り、上記真性半導体基板
    の上記第1及び第2の電極間の領域に、光の入射
    強度に応じた量の、導電度に寄与しないワニエモ
    ツト励起子が生成するが、導電度に寄与するキヤ
    リアがほとんど生じないという機構で、上記第1
    及び第2の電極間が十分小なる値の導電度を呈
    し、(ニ)上記(イ)の状態で、上記真性半導体基板の上
    記第1及び第2の電極間の領域に光が入射されて
    いる状態で、上記第2の電源の電圧を上記閾値電
    圧以上にして上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域に上記閾値電界以上の電界を
    かければ、上記真性半導体基板の上記第1及び第
    2の電極間の領域に生成している上記ワニエモツ
    ト励起子が解離し、これにもとずき、上記真性半
    導体基板の上記第1及び第2の電極間の領域に上
    記光の強度に応じた量の上記キヤリアが生成する
    機構で、上記第1及び第2の電極間で上記光の強
    さに応じた値をとる大きな導電度を呈し、(ホ)上記
    (ニ)の状態から、上記第2の電源の電圧を上記閾値
    電圧以下にして上記真性半導体基板の上記第1及
    び第2の電極間の領域に上記閾値電界以下の電界
    をかければ、上記真性半導体基板の上記第1及び
    第2の電極間の領域における上記ワニエモツト励
    起子に解離が生ぜず、このため上記真性半導体基
    板の上記第1及び第2の電極間の領域に上記キヤ
    リアが生成しない、という機構で、上記第1及び
    第2の電極間で小なる値の導電度を呈することを
    特徴とする電界制御型光半導体装置。
JP56068804A 1981-05-07 1981-05-07 Field control type optical semiconductor device Granted JPS57183076A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP56068804A JPS57183076A (en) 1981-05-07 1981-05-07 Field control type optical semiconductor device

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JP56068804A JPS57183076A (en) 1981-05-07 1981-05-07 Field control type optical semiconductor device

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JPS57183076A JPS57183076A (en) 1982-11-11
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