JPS6257637A - 薬液の混合装置 - Google Patents
薬液の混合装置Info
- Publication number
- JPS6257637A JPS6257637A JP60197539A JP19753985A JPS6257637A JP S6257637 A JPS6257637 A JP S6257637A JP 60197539 A JP60197539 A JP 60197539A JP 19753985 A JP19753985 A JP 19753985A JP S6257637 A JPS6257637 A JP S6257637A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical
- liquid chemical
- liquid
- mixed
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F23/00—Mixing according to the phases to be mixed, e.g. dispersing or emulsifying
- B01F23/40—Mixing liquids with liquids; Emulsifying
- B01F23/45—Mixing liquids with liquids; Emulsifying using flow mixing
- B01F23/451—Mixing liquids with liquids; Emulsifying using flow mixing by injecting one liquid into another
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Accessories For Mixers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、薬液の混合装置に関するものである。
半導体の製造工程では、例えば１３０〜１５０°Ｃの加
熱した硫酸に常温の硝酸を混合することがしばしば行わ
れる。この場合、一般には第４図に示すように、硝酸を
入れた秤量槽１に設けた注入管２を加熱硫酸を入れた槽
３の上に導き、上記各薬液の落差を利用して秤量槽ｌ内
の薬液を槽３に注入していた。しかしながら上記例のよ
うに、常温の硝酸を加熱した硫酸槽に注入するときは、
上記硝酸の沸点が８６℃であるため、例えば１３０℃の
硫酸に注入すると硫酸の液面近傍で蒸発がおこり、ガス
・ミストを発生し、一定量の硝酸を均一に混合すること
は非常に難しい。同質液、同濃度以外は、上記のように
いずれかの薬液に蒸発を生じ、精確な混合比に保持する
ことが困難である。このため上記槽３内に泡発生装置を
設けたり、上記槽３内の薬液を撹伴したりして処理して
いるが、注入時の蒸発のため両薬液が混合する割合は低
くなり、混合比を定量に保つことは難しい。
熱した硫酸に常温の硝酸を混合することがしばしば行わ
れる。この場合、一般には第４図に示すように、硝酸を
入れた秤量槽１に設けた注入管２を加熱硫酸を入れた槽
３の上に導き、上記各薬液の落差を利用して秤量槽ｌ内
の薬液を槽３に注入していた。しかしながら上記例のよ
うに、常温の硝酸を加熱した硫酸槽に注入するときは、
上記硝酸の沸点が８６℃であるため、例えば１３０℃の
硫酸に注入すると硫酸の液面近傍で蒸発がおこり、ガス
・ミストを発生し、一定量の硝酸を均一に混合すること
は非常に難しい。同質液、同濃度以外は、上記のように
いずれかの薬液に蒸発を生じ、精確な混合比に保持する
ことが困難である。このため上記槽３内に泡発生装置を
設けたり、上記槽３内の薬液を撹伴したりして処理して
いるが、注入時の蒸発のため両薬液が混合する割合は低
くなり、混合比を定量に保つことは難しい。
本発明は、混合する薬液のそれぞれの沸点や薬液温度に
影響されることなく、−薬液を他の薬液内に所定の比率
で混合する薬液の混合装置を得ることを目的とする。
影響されることなく、−薬液を他の薬液内に所定の比率
で混合する薬液の混合装置を得ることを目的とする。
本発明による薬液の混合装置は、２種以上の薬液を一定
の比率で混合する薬液の混合装置において、混合する薬
液が注入される槽の底面近傍に、注入管の先端付近を底
面に沿って設置し、上記注入管の底面に沿う部分の上面
に多数の小孔を設けるとともに、上記混合する薬液の秤
量槽に、上記混合する薬液を注入管を通して圧送する手
段を備えたことにより、薬液の沸点と温度の影響によっ
て生じる蒸発を防ぎ、上記薬液を一定の比率で混合でき
るようにしたものである。
の比率で混合する薬液の混合装置において、混合する薬
液が注入される槽の底面近傍に、注入管の先端付近を底
面に沿って設置し、上記注入管の底面に沿う部分の上面
に多数の小孔を設けるとともに、上記混合する薬液の秤
量槽に、上記混合する薬液を注入管を通して圧送する手
段を備えたことにより、薬液の沸点と温度の影響によっ
て生じる蒸発を防ぎ、上記薬液を一定の比率で混合でき
るようにしたものである。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明する第１図は
本発明による薬液の混合装置の一実施例を示す構成図、
第２図は上記実施例における注入管の部分断面拡大図、
第３図は本発明の他の実施例を示す構成図である。第１
図において、秤量槽ｌに設けられた注入管２はポンプ４
によりバルブ５を介して槽３の底面近くに導かれ、槽３
の底面に沿って設置されている。上記注入管３は第２図
にその断面を示すように、上記槽３の底面に沿う部分の
上面に多数の小孔６を設けている。本実施例では注入管
３の先端は閉じているが、上記小孔６とほぼ同等の孔が
開口されていても差支えない。
本発明による薬液の混合装置の一実施例を示す構成図、
第２図は上記実施例における注入管の部分断面拡大図、
第３図は本発明の他の実施例を示す構成図である。第１
図において、秤量槽ｌに設けられた注入管２はポンプ４
によりバルブ５を介して槽３の底面近くに導かれ、槽３
の底面に沿って設置されている。上記注入管３は第２図
にその断面を示すように、上記槽３の底面に沿う部分の
上面に多数の小孔６を設けている。本実施例では注入管
３の先端は閉じているが、上記小孔６とほぼ同等の孔が
開口されていても差支えない。
上記の構成による薬液の混合装置は、ポンプ４により圧
力を加え、秤量槽ｌ中の薬液Ａを注入管２に圧入するこ
とによって、上記薬液Ａは注入管２に設けた小孔６から
槽３の薬液Ｂ中に直接拡散されて混合するため、薬液Ａ
と薬液Ｂとの混合過程で、薬液の沸点や温度に起因する
蒸発がな（、薬液Ｂの表面から極めて僅かな蒸発がある
だけであるから、混合比が変化することなく、一定混合
比の混合薬液を得ることができる。なお、上記実施例は
秤量槽を用いることによって定量的に混合比を制御して
いるが、定量ポンプを使用することによっても、同様に
混合比を定量的におさえることは勿論可能である。
力を加え、秤量槽ｌ中の薬液Ａを注入管２に圧入するこ
とによって、上記薬液Ａは注入管２に設けた小孔６から
槽３の薬液Ｂ中に直接拡散されて混合するため、薬液Ａ
と薬液Ｂとの混合過程で、薬液の沸点や温度に起因する
蒸発がな（、薬液Ｂの表面から極めて僅かな蒸発がある
だけであるから、混合比が変化することなく、一定混合
比の混合薬液を得ることができる。なお、上記実施例は
秤量槽を用いることによって定量的に混合比を制御して
いるが、定量ポンプを使用することによっても、同様に
混合比を定量的におさえることは勿論可能である。
第３図に示す他の実施例は、密閉した秤量槽７を使用し
て、上記秤量槽７に例えば窒素等のガスをガス注入管８
より供給し、加圧した薬液Ａを注入管２の小孔６から槽
３の薬液Ｂ中に拡散させるため、前記実施例と同様の効
果を得ることができる。
て、上記秤量槽７に例えば窒素等のガスをガス注入管８
より供給し、加圧した薬液Ａを注入管２の小孔６から槽
３の薬液Ｂ中に拡散させるため、前記実施例と同様の効
果を得ることができる。
上記各実施例において、泡発生装置や循環ポンプ等を用
いて槽３中のＢ液を撹伴することにより混合を促進でき
ることはもちろんである。
いて槽３中のＢ液を撹伴することにより混合を促進でき
ることはもちろんである。
上記のように本発明による薬液の混合装置は、２種以上
の薬液を一定の比率で混合する薬液の混合装置において
、混合する薬液が注入される槽の底面近傍に、注入管の
先端付近を底面に沿って設置し、上記注入管の底面に沿
う部分の上面に多数の小孔を設けるとともに、上記混合
する薬液の秤量槽に、上記混合する薬液を注入管を通し
て圧送する手段を備えたことにより、上記混合する薬液
を混合される薬液の槽の底面付近で、多数の小孔から直
接分散させるため、薬液の沸点や温度の影響による蒸発
を生じることなく混合させることができ、そのため一定
の混合比率をもった混合薬液を容易に作ることができる
。
の薬液を一定の比率で混合する薬液の混合装置において
、混合する薬液が注入される槽の底面近傍に、注入管の
先端付近を底面に沿って設置し、上記注入管の底面に沿
う部分の上面に多数の小孔を設けるとともに、上記混合
する薬液の秤量槽に、上記混合する薬液を注入管を通し
て圧送する手段を備えたことにより、上記混合する薬液
を混合される薬液の槽の底面付近で、多数の小孔から直
接分散させるため、薬液の沸点や温度の影響による蒸発
を生じることなく混合させることができ、そのため一定
の混合比率をもった混合薬液を容易に作ることができる
。
第１図は本発明による薬液の混合装置の一実施例を示す
構成図、第２図は上記実施例における注入管の部分断面
拡大図、第３図は本発明の他の実施例を示す構成図、第
４図は従来の薬液混合装置の構成例を示す図である。
構成図、第２図は上記実施例における注入管の部分断面
拡大図、第３図は本発明の他の実施例を示す構成図、第
４図は従来の薬液混合装置の構成例を示す図である。
Claims (2)
- （１）２種以上の薬液を一定の比率で混合する薬液の混
合装置において、混合する薬液が注入される槽の底面近
傍に、注入管の先端付近を底面に沿って設置し、上記注
入管の底面に沿う部分の上面に多数の小孔を設けるとと
もに、上記混合する薬液の秤量槽に、上記混合する薬液
を注入管を通して圧送する手段を備えたことを特徴とす
る薬液の混合装置。 - （２）上記２種以上の薬液は、加熱された薬液に、その
加熱温度より沸点が低い１種以上の薬液であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載した薬液の混合装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60197539A JPS6257637A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 薬液の混合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60197539A JPS6257637A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 薬液の混合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6257637A true JPS6257637A (ja) | 1987-03-13 |
Family
ID=16376155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60197539A Pending JPS6257637A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 薬液の混合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6257637A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104640A (en) * | 1979-02-07 | 1980-08-11 | Ube Ind Ltd | Method and apparatus for dispersing liquid into liquid |
-
1985
- 1985-09-09 JP JP60197539A patent/JPS6257637A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55104640A (en) * | 1979-02-07 | 1980-08-11 | Ube Ind Ltd | Method and apparatus for dispersing liquid into liquid |
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