JPS6253103A - 磁気浮上式走行装置用位置検出器 - Google Patents
磁気浮上式走行装置用位置検出器Info
- Publication number
- JPS6253103A JPS6253103A JP19026385A JP19026385A JPS6253103A JP S6253103 A JPS6253103 A JP S6253103A JP 19026385 A JP19026385 A JP 19026385A JP 19026385 A JP19026385 A JP 19026385A JP S6253103 A JPS6253103 A JP S6253103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensing coil
- slider
- resin member
- guide rail
- position detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
主呈上立科■分に
本発明はスライダが磁気力で浮上し、案内レールに沿っ
て走行する磁気浮上式走行装置の位置検出器に関する。
て走行する磁気浮上式走行装置の位置検出器に関する。
丈釆匹伎間
磁気浮上式走行装置においては、スライダに設けられる
浮上用の磁気軸受および左右方向制御用の磁気軸受と、
案内レールのガイド面との間隙を検出し、スライダを適
正位置に制御する必要がある。
浮上用の磁気軸受および左右方向制御用の磁気軸受と、
案内レールのガイド面との間隙を検出し、スライダを適
正位置に制御する必要がある。
そのだめの位置検出器に用いるセンサには、通常、特開
昭５９−１０５５０５号公報の第１図に示すような巻線
タイプのプローブが用いられている。すなわち、絶縁被
覆銅細線を樹脂芯に数回〜数七回リング状に巻き付けて
、その外周部を樹脂モールドすると共に、位置調整用の
雄ねじを樹脂の外周部に備えてなるものである。
昭５９−１０５５０５号公報の第１図に示すような巻線
タイプのプローブが用いられている。すなわち、絶縁被
覆銅細線を樹脂芯に数回〜数七回リング状に巻き付けて
、その外周部を樹脂モールドすると共に、位置調整用の
雄ねじを樹脂の外周部に備えてなるものである。
八日 りｎ゛１シよ−１」０占
しかし、前記プローブは、コイルの製造に工数が掛りす
ぎて製造コストが高価になり、かつ位置調整手段がねじ
式であるため、取付位置の正確な設定に手数を要する問
題点があった。
ぎて製造コストが高価になり、かつ位置調整手段がねじ
式であるため、取付位置の正確な設定に手数を要する問
題点があった。
本発明は前記事情にＷみてなされたもので、製造コスト
が安（面であり、しかも正確な位置に設定できる調整不
要なセンサ部を有する磁気浮上式走行装置用位置検出器
を提供することを目的とする。
が安（面であり、しかも正確な位置に設定できる調整不
要なセンサ部を有する磁気浮上式走行装置用位置検出器
を提供することを目的とする。
則日占ｆＪｊ−るための一介
前記目的を達成するため、本発明はスライダに取付られ
て案内レールのガイド面に対向配置されるセンシングコ
イルを有するセンサ部と、センシングコイルと対になっ
て同調回路を形成するコンデンサと、この同調回路を駆
動する高周波発振回路と、同調回路に生じる高周波を検
波する検波部と、検波後の高周波成分を阻止するローパ
スフィルタとを備えた磁気浮上式走行装置において、特
に前記センサ部のセンシングコイルを、エツチング法に
よりフラットなうず巻き状に形成すると共に、スライダ
への取付用の樹脂部材の表面に貼着した。
て案内レールのガイド面に対向配置されるセンシングコ
イルを有するセンサ部と、センシングコイルと対になっ
て同調回路を形成するコンデンサと、この同調回路を駆
動する高周波発振回路と、同調回路に生じる高周波を検
波する検波部と、検波後の高周波成分を阻止するローパ
スフィルタとを備えた磁気浮上式走行装置において、特
に前記センサ部のセンシングコイルを、エツチング法に
よりフラットなうず巻き状に形成すると共に、スライダ
への取付用の樹脂部材の表面に貼着した。
■
高周波発振回路からの高周波が同調回路に加えられる。
このとき、同調回路の同調周波数がセンシングコイルと
案内レールとの間隙の変化に対応して変化すると共に、
検波回路に入力される高周波の強さが同調同波数と対応
して変化することにより、検波器からセンシングコイル
と案内レールとの間隙に対応する信号が出力される。そ
して、ローパスフィルタは検波後の信号に含まれる変位
出力のみを取出す。
案内レールとの間隙の変化に対応して変化すると共に、
検波回路に入力される高周波の強さが同調同波数と対応
して変化することにより、検波器からセンシングコイル
と案内レールとの間隙に対応する信号が出力される。そ
して、ローパスフィルタは検波後の信号に含まれる変位
出力のみを取出す。
災胤皿
第４図はこの発明の一実施例にかかる磁気浮上式走行装
置の縦断正面図である。
置の縦断正面図である。
この図において、ベース１０上には案内レール２０の脚
部３０が固定され、案内レール２０の両側にはガイド部
２１．２１が張り出し、案内レール２０の中央上部には
誘導型リニアモータのステーク２３が配置されている。
部３０が固定され、案内レール２０の両側にはガイド部
２１．２１が張り出し、案内レール２０の中央上部には
誘導型リニアモータのステーク２３が配置されている。
一方、スライダ４０は案内レール２０の両側に配置され
た縦板４１．４２と、この縦板４１．４２の上下からガ
イド部２１．２１の下部に延出した上部横板４３．４４
および下部横板４５．４６とを備えている。そしてステ
ータ２３に対向してこのステータ２３とで前記リニアモ
ータを構成する二次導体４７により、上部横板・１３．
４４が互いに連結されている。二次導体４７の上面部は
空隙４８を保ってパレット４９に被われ、その空隙４８
には複数枚の電気回路基板５０が配置されている。
た縦板４１．４２と、この縦板４１．４２の上下からガ
イド部２１．２１の下部に延出した上部横板４３．４４
および下部横板４５．４６とを備えている。そしてステ
ータ２３に対向してこのステータ２３とで前記リニアモ
ータを構成する二次導体４７により、上部横板・１３．
４４が互いに連結されている。二次導体４７の上面部は
空隙４８を保ってパレット４９に被われ、その空隙４８
には複数枚の電気回路基板５０が配置されている。
スライダ４０の下部横板４５．４６の上面前後２カ所（
第５図参照）には電磁石からなる上下方向案内用磁気軸
受６０Δ、６０Ｂ、６０Ｃ１６０Ｄが設けられ、左側の
磁気軸受６０Ａ 、ＧＯＢのＶｉ極面６０Ｊは左側のガ
イド部２１の下部ガイド面２１Ｊに所要の間隙を持って
対向し、かつ右側の磁気軸受６０Ｃ，６００の磁極面６
０には右側の下部ガイド面２１Ｋに所定の間隙をもって
対向している。また、縦板４１．４２の内面前後２カ所
には電磁石からなる左右方向案内用磁気軸受ＧＯＥ 、
６０Ｆ 、６０Ｇ 、６０Ｈが設けられ、左側の磁気軸
受６０Ｅ 、６０Ｆの磁極面６０Ｌは左側のガイド部２
１の側部ガイド面２１Ｌに所要の間隙をもって対向し、
かつ右側の磁気軸受６０Ｇ 、６０＋１の磁極面６０Ｍ
は右側のガイド部２１の側部ガイド面２１Ｍに所要の間
隙をもって対向している。
第５図参照）には電磁石からなる上下方向案内用磁気軸
受６０Δ、６０Ｂ、６０Ｃ１６０Ｄが設けられ、左側の
磁気軸受６０Ａ 、ＧＯＢのＶｉ極面６０Ｊは左側のガ
イド部２１の下部ガイド面２１Ｊに所要の間隙を持って
対向し、かつ右側の磁気軸受６０Ｃ，６００の磁極面６
０には右側の下部ガイド面２１Ｋに所定の間隙をもって
対向している。また、縦板４１．４２の内面前後２カ所
には電磁石からなる左右方向案内用磁気軸受ＧＯＥ 、
６０Ｆ 、６０Ｇ 、６０Ｈが設けられ、左側の磁気軸
受６０Ｅ 、６０Ｆの磁極面６０Ｌは左側のガイド部２
１の側部ガイド面２１Ｌに所要の間隙をもって対向し、
かつ右側の磁気軸受６０Ｇ 、６０＋１の磁極面６０Ｍ
は右側のガイド部２１の側部ガイド面２１Ｍに所要の間
隙をもって対向している。
磁気軸受６０Ａ 、６０Ｂおよび６０Ｃ，６００とガイ
ド面２１Ｊおよび２１にとの間の間隙を検出し、スライ
ダ４０の上下方向の姿勢を制御するための第１センサ（
第５図参照） ７０ａ 、第２センサ７０ｂは磁気軸受
６０Ａ 、６０Ｂの近くに、かつ第３センサ７０ｃは磁
気軸受６０Ｃ，６００の間にそれぞれ配置されている。
ド面２１Ｊおよび２１にとの間の間隙を検出し、スライ
ダ４０の上下方向の姿勢を制御するための第１センサ（
第５図参照） ７０ａ 、第２センサ７０ｂは磁気軸受
６０Ａ 、６０Ｂの近くに、かつ第３センサ７０ｃは磁
気軸受６０Ｃ，６００の間にそれぞれ配置されている。
また、磁気軸受６０Ｅ 、６０［’および６０Ｇ 、６
０１１とガイド面２１シおよび２１Ｍとの間の間隙を検
出し、スライダ４０の左右方向の姿勢を制御するための
第１センサ７０ｄおよび第２センサ７０ｅは磁気軸受６
０Ｅ、６０Ｆの近くに配置されている。第５図において
、８０はバッテリである。
０１１とガイド面２１シおよび２１Ｍとの間の間隙を検
出し、スライダ４０の左右方向の姿勢を制御するための
第１センサ７０ｄおよび第２センサ７０ｅは磁気軸受６
０Ｅ、６０Ｆの近くに配置されている。第５図において
、８０はバッテリである。
第１図は前述したセンサ７０（ａ−ｅ）の平面図である
。この図に示すように、案内レール２０の所定のガイド
面２１（Ｊ−Ｍ）に対向するセンシングコイル７０１は
、エツチング法によりフラットなうず巻き状に形成され
、樹脂部材７０２の表面に貼着されている。センシング
コイル７０１の両端部には樹脂部材７０２の下方からス
ルーホール７０３．７０４を通って同軸ケーブル７０５
（第２図参！１６）の電線が接続されている。
。この図に示すように、案内レール２０の所定のガイド
面２１（Ｊ−Ｍ）に対向するセンシングコイル７０１は
、エツチング法によりフラットなうず巻き状に形成され
、樹脂部材７０２の表面に貼着されている。センシング
コイル７０１の両端部には樹脂部材７０２の下方からス
ルーホール７０３．７０４を通って同軸ケーブル７０５
（第２図参！１６）の電線が接続されている。
第２図のように、樹脂部材７０２はスライダ４０への取
付用ホルダ７０６に固定され、かつ取付用ホルダ７０６
のケーブル挿通孔７０７にはモールド樹脂７０８が充填
されている。また、センシングコイル７０１は＋１１脂
やガラスなどの保護シール７０９により被われている。
付用ホルダ７０６に固定され、かつ取付用ホルダ７０６
のケーブル挿通孔７０７にはモールド樹脂７０８が充填
されている。また、センシングコイル７０１は＋１１脂
やガラスなどの保護シール７０９により被われている。
なお、具体的には、取付用ホルダ７０６ばスライダ４０
の縦板４１．４２の内面や下部横板４５．４６の上面、
あるいは第６図のように、磁気軸受の鉄心６ＯＮの側部
に取付けられる。
の縦板４１．４２の内面や下部横板４５．４６の上面、
あるいは第６図のように、磁気軸受の鉄心６ＯＮの側部
に取付けられる。
第３図は位置検出回路のブロック図である。この位置検
出回路は、センシングコイル７０１ と対になって同調
回路８０を形成するコンデンサ８１と、この同調回路８
０を駆動する高周波発振回路８２と、同調回路８０に生
じる高周波を検波する検波部８３と、検波後の高周波成
分を阻止するローパスフィルタ８４とからなっている。
出回路は、センシングコイル７０１ と対になって同調
回路８０を形成するコンデンサ８１と、この同調回路８
０を駆動する高周波発振回路８２と、同調回路８０に生
じる高周波を検波する検波部８３と、検波後の高周波成
分を阻止するローパスフィルタ８４とからなっている。
第７図は位置制御装置のブロック図である。この図にお
いて、９０ａ 、９０ｂ 、９０ｃは第３図で説明した
位置検出器で、位置検出器９０ａは第５図のセンサ７０
ａを、位置検出器９０ｂはセンサ７０ｂを、また位置検
出Ｗ９０ｃはセンサ７０ｃをそれぞれ含んでいる。また
、１０１は演算回路、１０２は制御回路である。
いて、９０ａ 、９０ｂ 、９０ｃは第３図で説明した
位置検出器で、位置検出器９０ａは第５図のセンサ７０
ａを、位置検出器９０ｂはセンサ７０ｂを、また位置検
出Ｗ９０ｃはセンサ７０ｃをそれぞれ含んでいる。また
、１０１は演算回路、１０２は制御回路である。
次に前記構成の動作を説明する。
第３図において、同調回路８０および検波部８３には高
周波発振回路８２からの高周波が加えられる。
周波発振回路８２からの高周波が加えられる。
そのトキ、案内レール２０とセンシングコイル７０１と
の間隙δの変化に対応して同調回路８０の周波数が変化
する。また検波部８３に入力された高周波の強さが同調
周波数と対応して変化することにより、検波部８３から
間隙δに対応した信号が出力される。
の間隙δの変化に対応して同調回路８０の周波数が変化
する。また検波部８３に入力された高周波の強さが同調
周波数と対応して変化することにより、検波部８３から
間隙δに対応した信号が出力される。
そして、ローパスフィルタ８４により、検波後の信号に
含まれた高周波成分の出力が阻止され、変位出力のみが
取り出される。
含まれた高周波成分の出力が阻止され、変位出力のみが
取り出される。
一方、センサ７０ｄは左右前部の磁気軸受６０１Ｅ、６
０Ｇを制御し、センサ７０ｅは左右後部の磁気軸受６０
Ｆ 、６０＋１を制御するもので、前後の軸受にわたっ
ての制御は不要であるため、この制御には特に問題はな
く、従来公知の手段によることができる。
０Ｇを制御し、センサ７０ｅは左右後部の磁気軸受６０
Ｆ 、６０＋１を制御するもので、前後の軸受にわたっ
ての制御は不要であるため、この制御には特に問題はな
く、従来公知の手段によることができる。
しかし、センサ７０ａ 、 ７０ｂ 、７０ｃは、左右
方向の傾きと、前後方向の傾きを検出して４個の磁気軸
受６０Ａ 、 ６０１１ 、６０Ｃ、６０Ｄを制御する
ことになるので、３個所の変位を各磁気軸受６０Ａ 、
６０Ｂ、６０Ｃ２６０Ｄに適当に配分する必要がある。
方向の傾きと、前後方向の傾きを検出して４個の磁気軸
受６０Ａ 、 ６０１１ 、６０Ｃ、６０Ｄを制御する
ことになるので、３個所の変位を各磁気軸受６０Ａ 、
６０Ｂ、６０Ｃ２６０Ｄに適当に配分する必要がある。
いま、第７図において、位置検出器９０ａ 、９０ｂ、
９０ｃの変位検出値をそれぞれａ、ｂ、ｃとすると、左
右の明きについては、位置検出器９０ａ 、９０ｂの変
位検出値ａ、ｂの算術平均値１／２ （ａ＋ｂ）によっ
て磁気軸受６０Ａ 、６０１１を制御すると共に、位置
検出器９０ｃの変位検出値Ｃによって磁気軸受６０Ｃ，
６００を制御する。
９０ｃの変位検出値をそれぞれａ、ｂ、ｃとすると、左
右の明きについては、位置検出器９０ａ 、９０ｂの変
位検出値ａ、ｂの算術平均値１／２ （ａ＋ｂ）によっ
て磁気軸受６０Ａ 、６０１１を制御すると共に、位置
検出器９０ｃの変位検出値Ｃによって磁気軸受６０Ｃ，
６００を制御する。
また、前後の傾きについては、位置検出器９０ａの変位
検出値ａにより磁気軸受６０Ａ 、６０Ｃを制御すると
共に、位置検出器９０ｂの変位検出値すにより磁気軸受
６０Ｂ 、６０Ｄを制御する。
検出値ａにより磁気軸受６０Ａ 、６０Ｃを制御すると
共に、位置検出器９０ｂの変位検出値すにより磁気軸受
６０Ｂ 、６０Ｄを制御する。
したがって、スライダ４０の上下面全体としての姿勢制
御は、各位置検出器９０ａ 、９０ｂ 、９０ｃの変位
検出値ａ、ｂ、ｃを第７図のように演算回路１゜１にお
いて加算し、その加算出力を、制御回路１０２の位相補
償回路１０３および電力増幅回路１０４を通して各磁気
軸受６０Ａ 、６０Ｂ 、６０Ｃ，６０Ｄに入力するこ
とにより行う。
御は、各位置検出器９０ａ 、９０ｂ 、９０ｃの変位
検出値ａ、ｂ、ｃを第７図のように演算回路１゜１にお
いて加算し、その加算出力を、制御回路１０２の位相補
償回路１０３および電力増幅回路１０４を通して各磁気
軸受６０Ａ 、６０Ｂ 、６０Ｃ，６０Ｄに入力するこ
とにより行う。
１皿勿立且
本発明によれば、センシングコイルはエツチング法によ
りフラフトなうず巻き状に形成し、樹脂部材の表面に貼
着するように構成されているので、製造の工数が少なく
、製造コストが安価であると共に、調整不要で取付位置
の正確な設定を行い得るという効果がある。
りフラフトなうず巻き状に形成し、樹脂部材の表面に貼
着するように構成されているので、製造の工数が少なく
、製造コストが安価であると共に、調整不要で取付位置
の正確な設定を行い得るという効果がある。
第１図は本発明の一実施例にかかる磁気浮上式走行装置
用位置検出器のセンサの平面図、第２図はセンサ部全体
の一部破断正面図、第３図は位置検出器のブロック図、
第４図は磁気浮上式走行装置の縦断正面図、第５図は第
４図のＶ−Ｖ線断面図、第６図はセンサ部の鉄心への取
付状態を示す斜視図、第７図は位置制御装置のブロック
図であ２０・・・案内レール、２１Ｊ 、２１Ｋ 、２
１Ｌ 、２１？！・・・ガイド面、４０・・・スライダ
、６０Ａ 、６０Ｂ、６０Ｃ１６０Ｄ ・・・上下方
向案内用磁気軸受、６０Ｅ、６０Ｆ 、６０Ｇ 、６０
＋１ ・・・左右方向案内用磁気軸受、７０ａ、７０
ｂ、７０ｃ、７０ｄ、７０ｅ・・・センサ、８０・・・
同調回路、８１・・・コンデンサ、８２・・・高周波発
振回路、８３・・・検波部、８４・・・ローパスフィル
タ、７０１ ・・・センシングコイル、７０２ ・・
・樹脂部材。 特許出願人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリング株式会
社 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図 第５図 第６図
用位置検出器のセンサの平面図、第２図はセンサ部全体
の一部破断正面図、第３図は位置検出器のブロック図、
第４図は磁気浮上式走行装置の縦断正面図、第５図は第
４図のＶ−Ｖ線断面図、第６図はセンサ部の鉄心への取
付状態を示す斜視図、第７図は位置制御装置のブロック
図であ２０・・・案内レール、２１Ｊ 、２１Ｋ 、２
１Ｌ 、２１？！・・・ガイド面、４０・・・スライダ
、６０Ａ 、６０Ｂ、６０Ｃ１６０Ｄ ・・・上下方
向案内用磁気軸受、６０Ｅ、６０Ｆ 、６０Ｇ 、６０
＋１ ・・・左右方向案内用磁気軸受、７０ａ、７０
ｂ、７０ｃ、７０ｄ、７０ｅ・・・センサ、８０・・・
同調回路、８１・・・コンデンサ、８２・・・高周波発
振回路、８３・・・検波部、８４・・・ローパスフィル
タ、７０１ ・・・センシングコイル、７０２ ・・
・樹脂部材。 特許出願人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリング株式会
社 代理人 弁理士 大 西 孝 治 第１図 第２図 第５図 第６図
Claims (1)
- （１）スライダが磁気力で浮上し、案内レールに沿って
走行する磁気浮上式走行装置において、スライダに取付
られて案内レールのガイド面に対向配置されるセンシン
グコイルを有するセンサ部と、センシングコイルと対に
なって同調回路を形成するコンデンサと、この同調回路
を駆動する高周波発振回路と、同調回路に生じる高周波
を検波する検波部と、検波後の高周波成分を阻止するロ
ーパスフィルタとを備え、前記センシングコイルはエッ
チング法によりフラットなうず巻き状に形成され、かつ
スライダへの取付用の樹脂部材の表面に貼着されたこと
を特徴とする磁気浮上式走行装置用位置検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19026385A JPS6253103A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気浮上式走行装置用位置検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19026385A JPS6253103A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気浮上式走行装置用位置検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253103A true JPS6253103A (ja) | 1987-03-07 |
Family
ID=16255233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19026385A Pending JPS6253103A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | 磁気浮上式走行装置用位置検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6253103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100985159B1 (ko) | 2010-03-16 | 2010-10-05 | (주) 세스 | 흡인식 모형 자기 부상 열차 장치 |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP19026385A patent/JPS6253103A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100985159B1 (ko) | 2010-03-16 | 2010-10-05 | (주) 세스 | 흡인식 모형 자기 부상 열차 장치 |
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