JPS6252980A - 圧電共振子用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は複数枚の圧電シートが導電性物質層を間にして
積層されてなる圧電共振子用基板の製造方法に関する。

（従来技術） 一般に、圧Ｎ基板の辺振動を利用する圧電共振子は、圧
電基板の辺振動以外に、圧Ｔｒｉ基板の対角振動や厚み
振動等の多くのスプリアス振動を有している。

このような圧電共振子を通信機のフィルタ素子として使
用した場合、フィルタ素子は共振子のスプリアス振動の
周波数において不要信号を受信してしまい、混信となる
。また、上記圧電共振子を反転増幅器と組み合わせて発
振回路を構成すると、スプリアス振動による異常発振が
惹起される。かかる異常発振を避けるためには、コンデ
ンサや抵抗からなる低域通過フィルタを上記発振回路に
付加して圧電基板のスプリアス振動による異常発振を抑
えなければならず、発振回路の部品点数が多くなってし
まう。

このような事情に鑑み、本願の出願人は、特願昭５９−
２１２２７８号明細書にて、第４図に示すように、２つ
の圧電共振子ＩＯと１４とを、その圧電基板Ｉｔと１５
の分極軸の方向を一致させて導電性物質１８により相互
に接着してなる構成をａする圧電共振子１９を提案した
。この圧電共振子１９において、圧電共振子ｌＯは、隣
り合う２辺の長さがＱ、およびＱｔで、厚みが１＋の圧
電基板＋１の両生表面に夫々電極１２および１３が形成
されたものである。また、いま一つの圧電共振子１４は
、隣り合う２辺の長さがＱｌおよびｈで、厚みがｔ、の
圧電基板！５の両生表面に夫々電極１６および１７が形
成されたものである。圧電基板ｌｌはその厚み方向に電
極１３から電極１２に向かって矢印Ｐ、で示す方向に分
極されており、圧電基板１５もまた、その厚み方向に電
極１７から電極１６に向かって矢印Ｐ３で示す方向に分
極されている。

Ｌ記のような構成を有する圧電共振子１９では、圧電共
振子１０において発生するスプリアスと圧電共振子１４
において発生するスプリアスとでは、圧電基板１１の厚
み１．と圧電基板１５の厚み１１とが異なるため、スプ
リアス周波数が互いに異なり、総合的にはスプリアスが
抑圧される。従って、上記圧電共振子１９を発振素子と
して発振回路を構成する場合には、第５図に示すように
、反転増幅器５、帰還抵抗Ｉｆｆ、負荷容量Ｃ１および
Ｃ２の４点の部品と上記圧電共振子１９とにより発振回
路を構成できる。

ところで、従来、上記圧電共振子１９を製造するには、
第６図に示すように、圧′ｒｉ材料を混練してロール２
０．２０の間から押し出したグリーンノート２１を、パ
ンチ２２により所定の寸法にパンチングし、シート２３
を形成する。このシート２３を図示しない焼成炉にて焼
成後、第７図に示すように、重研磨工程２４にて両生表
面を鏡面研磨し、電極形成工程２５にて両生表面に夫々
電極を形成する。このようにして両生表面に夫々電極が
形成された２枚のシート２３．２３を、接着工程２６に
て積層して導電性物質（図示せず。）により、相互に接
着すれば、第４図の圧電共振器１９を切り出すための基
板（図示せず。）を得ることができる。圧電共振子１９
は、この基板を分極工程２７にて分極処理した後、カッ
ト工程２８にて隣り合う２辺の長さが夫々乙およびＱ、
となるように上記基板をカットすることにより得られる
。

ところで、焼成後の上記ノート２３は、一枚の圧？！Ｘ
基板からなる従来の共振子と同程度の厚さとするために
、ソート２３は厚さが従来の圧電共振子の圧電基板の約
１／２の程度と非常に薄くなっており、しかも焼成処理
されているので、シート２３にンヨソク等が加わると割
れやクラック等が発生しやすい。しかしながら、上記従
来の圧電共振子用基板の製造方法では、焼成処理後、上
記シート２３は、重研磨工程２４、電極形成工程２５お
よび接着工程２６等、多くの工程で夫々の処理を行う必
要があり、これら工程でシート２３にショック等が加わ
り、シート２３にクラックや割れが発生しやすいという
問題があった。また、両生表面に夫々電極を形成したシ
ート２３を使用するので、電極材料コストおよび電極形
成のための表面研磨等の加工コストが高くなるといった
問題もあった。

（発明の目的） 本発明の目的は、製造時の不良発生が少なく、使用材料
コストおよび加工コストの削減を図った圧電共振子用基
板の製造方法を提供することである。

（発明の構成） このため、本発明は、圧７Ｉ＠器材料を混練してシート
状に形成してなるグリーンシート上に導電性物質粉末の
散布、印刷もしくは滴下部により、導電性物質層を形成
した後、その上からいま一つのグリーンシートを積層し
て圧着し、これらグリーンシートを所定の大きさにパン
チングし、焼成するようにしたことを特徴としている。

すなわち、本発明は、複数枚のグリーンシートを導電性
物質層を間にして積層圧着し、この状態で所定の寸法に
パンチングして焼成するようにしたものである。

（発明の効果） 本発明によれば、割れやクラックの発生の恐れのないグ
リーンシートを積層圧着してパンチングした後、焼成す
るようにしたので、焼成により得られる圧電共振子用基
板は既に厚みがグリーンシートの積層により厚くなって
おり、面研磨、電極形成および分極等の焼成後の工程に
おける割れやクラック等の発生が少なく圧電共振子の製
造時の歩留りも高くなり、圧電共振子の製造効率が高く
なる。また、本発明によれば、焼成により得られた圧電
共振用基板は、面研磨して電極を形成する必要のある面
が２面だけとなり、面研磨工程が簡略化されるとともに
、使用電極材料も削減することができる。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。

本発明方法では、先ず、圧電材料を混練して、第１図に
示すように、一対のロール３０．３０から第１グリーン
シ〜１−３１を押し出すととらに、いま一対のロール３
２．３２から第２グリーンシート３３を押し出す。

ロール３０，３０の間から押し出されたグリーンシート
３１の上には、ホッパ３４から導電性物質粉末として金
属粉末３５を散布する。なお、この金属粉末３５は、第
１グリーンシート３１上に散布する他、第１グリーンシ
ート３１上に印刷らしくは滴下するようにしてらよい。

一方、ロール３２．３２の間から押し出された第２グリ
ーンノート３３は、ガイトロール３６および圧着ロール
３７により、金属粉末３５が散布された第１グリーンシ
ー）３１上に導き、圧着ロール３７により、第１グリー
ンシート３１に圧着させる。これにより、第１グリーン
ンート３１と第２グリーンシート３３とは、金属粉末３
５の散布により形成された導電性物質Ｆ！ｉ３８を間に
して圧着される。

その後、導電性物質層３８を間にして積層された第１グ
リーンシート３１と第２グリーンシート３３とは、パン
チ３９により所定の寸法にパンチングし、シート４０を
形成する。このシート４０を図示しない焼成炉中で焼成
すれば、第２図に示すように、圧電シート４１．４２の
間に導電性物質層３８を有する圧電共振子用基板４３を
得ることができる。

この圧電共振子用基板４３は、第３図に示すように、面
研磨工程４４にて圧電ンー）４１および４２の各外側面
を面研磨した後、電極形成工程４５にて圧電ソート４Ｉ
および４２の上記各外側面に電極（図示せず。）を形成
し、分極工程４６およびカット工程４７にて夫々上記圧
電共振子用基板４３を分極およびカットすれば、実質的
に第４図と同様の構成を有する圧電共振子（図示せず。

）を得ることができる。ただし、この圧電共振子は第４
図の圧電共振子の電極１３および１６を有していない。

上記のようにすれば、第２図に示す圧電共振子用基板４
３の圧電シート４１．４２は、割れやクラックの発生の
恐れのない、グリーンシートの状態で積層圧着される。

また、面研磨工程４４や電極形成工程４５では、圧電共
振子用基板４３の厚みは第１グリーンシー）３１と第２
グリーンシート３３の積層により厚くなっている。従っ
て、圧電共振子用基板４３から圧電共振子を製造する過
程での圧電共振子用基板４３に割れやクラックが発生す
ることが少なくなる。

さらに、第４図の共振子１９の電極１３および１６に相
当する電極材料およびこれら電極１３および１６の形成
に必要とする工程をなくすことができる。

上記実施例では、２枚のグリーンシートを積層した場合
について説明したが、３枚以上のグリーンシートを積層
した圧電共振子用基板も同様に製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る圧電共振子用基板の製造方法の一
実施例の説明図、 第２図は第１図の方法により製造された圧電共振子用基
板の斜視図、 第３図は第２図の圧電共振子用基板から圧電共振子を製
造する工程の説明図、 第４図は２つの圧電共振子を接着して形成した圧電共振
子の斜視図、 第５図は第４図の圧電共振子を使用した発振回路の説明
図、 第６図および第７図は夫々従来の圧電共振子用基板の製
造方法の説明図である。 ３１・第１グリーンノート、 ３３・・・第２グリーンノート、 ３４・・・ホッパ、　　３５・・金属粉末、３８・・・
導電性物質層、　　３９・・パンチ、４１．４２・・圧
電シート、 ４３・・・圧電共振子用基板。 特許出願人　　法式会社　　村田製作所代理人　弁理士
　青　山　　葆ほか２名ｗｉ１廖 第２択 １ｊ４３図 ｓ４図 第５囚 へ 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数枚の圧電シートが導電性物質層を間にして積
   層されてなる圧電共振子用基板の製造方法であって、圧
   電磁器材料を混練してシート状に成形してなる複数枚の
   グリーンシートを用意し、導電性物質粉末の散布、印刷
   もしくは滴下等により一つのグリーンシートの主表面上
   に導電性物質層を形成した後、その上からいま一つのグ
   リーンシートを積層して圧着し、これらグリーンシート
   を所定の大きさにパンチングし、焼成するようにしたこ
   とを特徴とする圧電共振子用基板の製造方法。