JPS6251025A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS6251025A JPS6251025A JP6183985A JP6183985A JPS6251025A JP S6251025 A JPS6251025 A JP S6251025A JP 6183985 A JP6183985 A JP 6183985A JP 6183985 A JP6183985 A JP 6183985A JP S6251025 A JPS6251025 A JP S6251025A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- coercive force
- recording medium
- vertically magnetized
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光磁気記録、熱転写記録等に用いられ、レーザ
光等の熱、光等を用いて情報の記録、再生を行なう磁性
記録媒体に関する。
光等の熱、光等を用いて情報の記録、再生を行なう磁性
記録媒体に関する。
一般に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、室温よ
シ高いキュリ一温度を有する磁性薄膜は、レーザ光等の
光ビームを照射することによって数μｍ以下の情報を記
録、再生できることができ、高密度の磁気記録媒体とし
て用いることができる。
シ高いキュリ一温度を有する磁性薄膜は、レーザ光等の
光ビームを照射することによって数μｍ以下の情報を記
録、再生できることができ、高密度の磁気記録媒体とし
て用いることができる。
このような２碌媒体として、ＭｎＢ１等の多結晶金属薄
膜、ＧｄＩＧ （カドリニウム鉄ガーネット）等の化合
物単結晶薄膜がちる。
膜、ＧｄＩＧ （カドリニウム鉄ガーネット）等の化合
物単結晶薄膜がちる。
ＭｎＢ１等の多結晶金属薄膜はキュリ一温度σＣ）を利
用し、て書き込みが行なわれるが Ｔｃ ＝３６０°Ｃ
程問と高いため、書き込みに大きなエネルギーを要する
欠点がるる。文、多結晶体で多るため化学量論的な組成
の薄膜を作成する必要が有シ、製造が困難であるという
欠点もめる。
用し、て書き込みが行なわれるが Ｔｃ ＝３６０°Ｃ
程問と高いため、書き込みに大きなエネルギーを要する
欠点がるる。文、多結晶体で多るため化学量論的な組成
の薄膜を作成する必要が有シ、製造が困難であるという
欠点もめる。
又、ＧｄＴＧ等はＧＧＧ（ガドリニウムガリウムガーネ
ット）単結晶基板上に膜形成が行なわれるため、この基
板の状態に磁気特性が影響されやすいこと、大面積の基
板を得にくい等の欠点がちる。
ット）単結晶基板上に膜形成が行なわれるため、この基
板の状態に磁気特性が影響されやすいこと、大面積の基
板を得にくい等の欠点がちる。
これに対し、Ｇｄ０ｏ、ＧｄＦｅ等の希土類−鉄族の非
晶質合金薄膜（ＢＥ−ＴＭ膜）は、任意の大きざの磁性
薄膜が形成できること、組成制御が容易でろること、結
晶粒子がないため再生Ｓ／Ｎ比が良好である等の利点を
有し、近年研究が盛んである。
晶質合金薄膜（ＢＥ−ＴＭ膜）は、任意の大きざの磁性
薄膜が形成できること、組成制御が容易でろること、結
晶粒子がないため再生Ｓ／Ｎ比が良好である等の利点を
有し、近年研究が盛んである。
しかしながらこのＲＥ−ＴＭ膜は一般に磁気光学ファラ
デー効果及びカー効果が小ｇ＜、Ｓ／Ｎ比等に問題が残
シ、また保磁力も小さく情報記録の安定性にも問題から
うた。さらに高価な重希土類を多量に用いる声めコスト
が高くなる等の欠点がおる。
デー効果及びカー効果が小ｇ＜、Ｓ／Ｎ比等に問題が残
シ、また保磁力も小さく情報記録の安定性にも問題から
うた。さらに高価な重希土類を多量に用いる声めコスト
が高くなる等の欠点がおる。
最近、Ｎｄ３４ Ｆｅ６１．ＨＴｉ４．＠ 薄膜が垂
直磁気異方性を有し、磁化が膜面に垂直になることが見
出された（ＪＪＡＰ２３（１９８４） Ｌ １６９ ）
。この膜は希土類として埋蔵量の多いＮｄを用いている
ため、低コスト化が可能でろる。しかしこの膜は保磁力
が５０００ｅ程度と小さく、磁気記録媒体としては不適
である。また磁化曲線の角形性も悪いという欠点かめる
。
直磁気異方性を有し、磁化が膜面に垂直になることが見
出された（ＪＪＡＰ２３（１９８４） Ｌ １６９ ）
。この膜は希土類として埋蔵量の多いＮｄを用いている
ため、低コスト化が可能でろる。しかしこの膜は保磁力
が５０００ｅ程度と小さく、磁気記録媒体としては不適
である。また磁化曲線の角形性も悪いという欠点かめる
。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、Ｎｄ−Ｆ
ｅ−Ｔｉ薄膜の高保磁力化を達成することにょシ、新規
な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
ｅ−Ｔｉ薄膜の高保磁力化を達成することにょシ、新規
な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
本発明は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一般
式 ％式％ の組成を有すること膜を用いたことを特徴とする磁気記
録媒体である。
式 ％式％ の組成を有すること膜を用いたことを特徴とする磁気記
録媒体である。
本発明においてＴｉは垂直磁化膜形成に必須の成分でろ
シ、Ｔｉ量を示す２が１未満では垂直磁化膜が形成し難
く、ｚが１０を越えてしまうと著しく飽和磁化が減少し
、Ｋｅｒｒ 回転角が小さくなってし。
シ、Ｔｉ量を示す２が１未満では垂直磁化膜が形成し難
く、ｚが１０を越えてしまうと著しく飽和磁化が減少し
、Ｋｅｒｒ 回転角が小さくなってし。
まり。従って１．０ ＜ ｚ （＝ １０ とする。
ＲはＴｂ 、Ｄｙ 、Ｇｄ 、Ｈｏ及びＥｒ の少な
くとも一種の重希土類元素で１ハ高保磁力化に寄与する
成分でらるｏＲｔを示すＸは０．０５ ＜Ｘ ＜０．４
５ テ９ リ、この範囲内で保磁力が１ｋＯｅ以上の高
保磁力の垂直磁化膜を得ることができる。
くとも一種の重希土類元素で１ハ高保磁力化に寄与する
成分でらるｏＲｔを示すＸは０．０５ ＜Ｘ ＜０．４
５ テ９ リ、この範囲内で保磁力が１ｋＯｅ以上の高
保磁力の垂直磁化膜を得ることができる。
またＲ及びＮｄの合計量でらるｙは垂直磁化膜形成能に
寄与し、、２５ ＜ｙ ＜４５とする。この範囲をはず
れると垂直磁化膜の形成が困離となる。
寄与し、、２５ ＜ｙ ＜４５とする。この範囲をはず
れると垂直磁化膜の形成が困離となる。
以上の組成比を同時に満足することによシ、１ｋＯｅ以
上ａｅの高保磁力を有する垂直磁化膜を得ることができ
る。このような薄膜のＴｅは室温より十分高く、またＴ
ｃ ８０〜２００’０程度と比較的低いため、記録の安
定性が良く、また書き込みに要するエネルギーが少なく
てすむ。
上ａｅの高保磁力を有する垂直磁化膜を得ることができ
る。このような薄膜のＴｅは室温より十分高く、またＴ
ｃ ８０〜２００’０程度と比較的低いため、記録の安
定性が良く、また書き込みに要するエネルギーが少なく
てすむ。
本発明においては、磁気記録媒体の作製は蒸発法で行う
ことが好ましい。蒸発法としては例えば、高周波スパッ
タリング法、直流スパッタリング法、マグネトロ／スパ
ッタリング法、イオンビームスパッタリング法、イオン
ブレーティング法、電子ビーＡ蒸着法、真空蒸着法など
が挙げられ、上記の蒸発法によシ形成された本発明に係
る膜は、膜面に対して垂直方向に磁化容易軸を有する垂
直磁化膜となる。
ことが好ましい。蒸発法としては例えば、高周波スパッ
タリング法、直流スパッタリング法、マグネトロ／スパ
ッタリング法、イオンビームスパッタリング法、イオン
ブレーティング法、電子ビーＡ蒸着法、真空蒸着法など
が挙げられ、上記の蒸発法によシ形成された本発明に係
る膜は、膜面に対して垂直方向に磁化容易軸を有する垂
直磁化膜となる。
このようにして得られた膜は多少の結晶質を含む場合も
あるが実質的に非晶質合金薄膜となる。
あるが実質的に非晶質合金薄膜となる。
基板としては磁性薄膜の磁気特性に影響を与えることが
ないように非磁性でろれは良く、例えばＡＪ板等の金属
板、塩化ビニール、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ガラス
アクリル樹脂等の樹脂基板等を用いることかで・きる
。また膜厚がろまシ大きくなると垂直磁気異方性が損な
われるため、２ｏｏ。
ないように非磁性でろれは良く、例えばＡＪ板等の金属
板、塩化ビニール、ポリカーボネイト（ＰＣ）、ガラス
アクリル樹脂等の樹脂基板等を用いることかで・きる
。また膜厚がろまシ大きくなると垂直磁気異方性が損な
われるため、２ｏｏ。
とが望ましい。
以上説明したように本発明によれば、保磁力が大きく、
情報記録の安定性が大きくかっキュリ一温度が低く、書
き込みに安するエネルギーが少なくてすむ新規な磁気記
録媒体を得ることができる。
情報記録の安定性が大きくかっキュリ一温度が低く、書
き込みに安するエネルギーが少なくてすむ新規な磁気記
録媒体を得ることができる。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
（実施例１）
第１表に示した組成の非晶質合金膜７は第１図に示ス高
周波スパッタリング装置を用いてガラス基板１上に形成
されるが、それは次のようにして行われる。高周波電源
２を接続したＦｅターゲットの上にＴｉ、Ｎｄ、Ｔｂの
薄いチップを所定の組成になるよう、所定の数量を置い
た複合ターゲット３を用いる。そして、スパッタリング
装置のガス導入パルプ４と排気パルプ５を設けたチャン
バー６内の真空設をＩ Ｘ １０’−’ Ｔｏｒｒ以上
にした後、チャンバー６内に高純度のアルゴンを導入し
て３×１Ｏ−１Ｔｏｒｒ の圧力でスパッタリングを
行い、上記複合ターゲット３に対向して配置されたガラ
ス基板１に１００ＯＡの合金膜７を作製した。このよう
に作製した合金膜７をＸ線回折で調べたところ、わずか
に結晶質を含む非晶質でめった。又、組成を分析した結
果、（ＮｄＯ，１ｌＴｂ０．２ ）ｓｓ Ｔｉｓ Ｆｅ
５ｏでらった。又、試料撮動形磁力計を用い磁気特性を
調べたところ、この膜は保磁力３．２ ｋＯｅを持ち角
形性に優れた膜面に垂直方向に磁化容易軸を有すること
が分った。
周波スパッタリング装置を用いてガラス基板１上に形成
されるが、それは次のようにして行われる。高周波電源
２を接続したＦｅターゲットの上にＴｉ、Ｎｄ、Ｔｂの
薄いチップを所定の組成になるよう、所定の数量を置い
た複合ターゲット３を用いる。そして、スパッタリング
装置のガス導入パルプ４と排気パルプ５を設けたチャン
バー６内の真空設をＩ Ｘ １０’−’ Ｔｏｒｒ以上
にした後、チャンバー６内に高純度のアルゴンを導入し
て３×１Ｏ−１Ｔｏｒｒ の圧力でスパッタリングを
行い、上記複合ターゲット３に対向して配置されたガラ
ス基板１に１００ＯＡの合金膜７を作製した。このよう
に作製した合金膜７をＸ線回折で調べたところ、わずか
に結晶質を含む非晶質でめった。又、組成を分析した結
果、（ＮｄＯ，１ｌＴｂ０．２ ）ｓｓ Ｔｉｓ Ｆｅ
５ｏでらった。又、試料撮動形磁力計を用い磁気特性を
調べたところ、この膜は保磁力３．２ ｋＯｅを持ち角
形性に優れた膜面に垂直方向に磁化容易軸を有すること
が分った。
この薄膜はキュリ一温度がＴｃ＝１２０°Ｃ程度であっ
た。また角形性が良いため安定した記録ビットの薯き込
みができ、又、Ｃ／Ｎが高い（５０ｄＢ以上）という特
徴がらる。
た。また角形性が良いため安定した記録ビットの薯き込
みができ、又、Ｃ／Ｎが高い（５０ｄＢ以上）という特
徴がらる。
Ｔｉを含むため耐食性がよく長時間に亘って保磁力の変
化がほとんどない。
化がほとんどない。
（実施例２）
上記組成以外の例についても磁性薄膜記録媒体を作成し
た結果を併せて第１表に示した。淘、比較例としてＴｉ
を含まない場合、および凡の含有量の少い場合の例とし
てＲ＝Ｔｂの場合を第１表に併せて示した。これよシ本
発明の磁性２鎌媒体は、ｘｋｏｅ以上の高い保磁力を有
する膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する膜でるるこ
とがわかる。
た結果を併せて第１表に示した。淘、比較例としてＴｉ
を含まない場合、および凡の含有量の少い場合の例とし
てＲ＝Ｔｂの場合を第１表に併せて示した。これよシ本
発明の磁性２鎌媒体は、ｘｋｏｅ以上の高い保磁力を有
する膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する膜でるるこ
とがわかる。
第１表
本発明の磁性薄膜記録媒体は、膜面に垂直方向に磁化容
易軸を有し、保磁力が大きく、埋蔵量の豊富なＮｄを主
体とする低コスト型の実用性の高い光磁気記録媒体ある
いは熱転写記録媒体などを供することができる。まだ、
本発明の磁性薄膜記録第１図は高周波スパッタ装置の概
略図ゎ豊±」〜 ｌ・・・基板、２・・・高周波電源、３・・・ガス導入
パルプ、４・・・排気パルプ、５・・・真空チャンバー
、６・・・ターゲット、７・・・非晶質合金膜。
易軸を有し、保磁力が大きく、埋蔵量の豊富なＮｄを主
体とする低コスト型の実用性の高い光磁気記録媒体ある
いは熱転写記録媒体などを供することができる。まだ、
本発明の磁性薄膜記録第１図は高周波スパッタ装置の概
略図ゎ豊±」〜 ｌ・・・基板、２・・・高周波電源、３・・・ガス導入
パルプ、４・・・排気パルプ、５・・・真空チャンバー
、６・・・ターゲット、７・・・非晶質合金膜。
代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一般式（Ｎｄ＿
１＿−＿ｘＲ＿ｘ）＿ｙＴｉ＿ｚＦｅ＿１＿０＿０＿−
＿ｙ＿−＿ｚＲ；Ｔｂ、Ｄｙ、Ｇｄ、Ｈｏ及びＥｒの少
なくとも一種（０．０５≦ｘ≦０．４５ ２５≦ｙ≦４５ １．０≦ｚ≦１５） の組成を有すること膜を用いたことを特徴とする磁気記
録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183985A JPS6251025A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183985A JPS6251025A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6251025A true JPS6251025A (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=13182659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6183985A Pending JPS6251025A (ja) | 1985-03-28 | 1985-03-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6251025A (ja) |
-
1985
- 1985-03-28 JP JP6183985A patent/JPS6251025A/ja active Pending
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