JPS6250486A - エッチング槽の液冷却装置 - Google Patents
エッチング槽の液冷却装置Info
- Publication number
- JPS6250486A JPS6250486A JP18877185A JP18877185A JPS6250486A JP S6250486 A JPS6250486 A JP S6250486A JP 18877185 A JP18877185 A JP 18877185A JP 18877185 A JP18877185 A JP 18877185A JP S6250486 A JPS6250486 A JP S6250486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- soln
- vessel
- heat exchanger
- etching tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、アルミ陽極酸化処理の前処理となるアルミ
素材の小さい表面欠陥を除去する際における陽極酸化エ
ツチング槽の液冷却方法に関するものである。
素材の小さい表面欠陥を除去する際における陽極酸化エ
ツチング槽の液冷却方法に関するものである。
一般にアルミ陽極酸化処理の前処理となるエツチング槽
でのアルミ表面処理手段は、ＮａＯＨ水溶液を用いて行
われることが多い。すなわちアルミ素材の小さい表面欠
陥を除去するために、このアルミ素材をＮａＯＨ水溶液
を収容したエツチング槽内に浸漬すると、上記アルミ素
材の溶解反応により多量の水素ガスが発生して小さい表
面欠陥を容易に除去することができる。しかしアルミ素
材の熔解反応により、同時に発熱作用が起こってエツチ
ング槽内の液温か上昇し、これによって製品に種々の弊
害が生じることになる。このため従来は、第２図に示す
ように、外部にポンプ３の操作により単位流量が１００
０１１／ｍｉｎの液路２を有するエツチング槽゛ｌお内
部に冷却蛇管８を収納して上記槽１内部の液温を３０〜
ｂ を維持させるために、この冷却蛇管８内に１５℃の冷却
水Ｗを流通させて、エツチング槽１内の液冷却を行うよ
うにした。
でのアルミ表面処理手段は、ＮａＯＨ水溶液を用いて行
われることが多い。すなわちアルミ素材の小さい表面欠
陥を除去するために、このアルミ素材をＮａＯＨ水溶液
を収容したエツチング槽内に浸漬すると、上記アルミ素
材の溶解反応により多量の水素ガスが発生して小さい表
面欠陥を容易に除去することができる。しかしアルミ素
材の熔解反応により、同時に発熱作用が起こってエツチ
ング槽内の液温か上昇し、これによって製品に種々の弊
害が生じることになる。このため従来は、第２図に示す
ように、外部にポンプ３の操作により単位流量が１００
０１１／ｍｉｎの液路２を有するエツチング槽゛ｌお内
部に冷却蛇管８を収納して上記槽１内部の液温を３０〜
ｂ を維持させるために、この冷却蛇管８内に１５℃の冷却
水Ｗを流通させて、エツチング槽１内の液冷却を行うよ
うにした。
上記により、従来におけるエツチング槽の液冷却方法に
は次のような問題点があった。
は次のような問題点があった。
（１）通常エツチング液はアルミ熔解により、水酸化ア
ルミの沈澱や析出が進行しやすくて不安定な状況にある
うえ、エツチング槽１は容積が大きいので液対流の速度
は７ｍ／Ｈ程度になる。従って冷却前管８の表面に水酸
化アルミがタリンカー状に付着し、これによって冷却効
果が減衰したり、製品の出し入れに支障を与えた。
ルミの沈澱や析出が進行しやすくて不安定な状況にある
うえ、エツチング槽１は容積が大きいので液対流の速度
は７ｍ／Ｈ程度になる。従って冷却前管８の表面に水酸
化アルミがタリンカー状に付着し、これによって冷却効
果が減衰したり、製品の出し入れに支障を与えた。
（２）冷却蛇管８をエツチング槽１の内部に収納したの
で、この冷却蛇管８から水酸化アルミの析出物付着を除
去する際には相当の期間にわたってこれらの機能を停止
することになり、かつ多くの労力を要して経済的損失を
招いた。
で、この冷却蛇管８から水酸化アルミの析出物付着を除
去する際には相当の期間にわたってこれらの機能を停止
することになり、かつ多くの労力を要して経済的損失を
招いた。
この発明は、上記した従来技術の問題点を解決するもの
であり、エツチング槽内に水酸化アルミの析出を助長す
る冷却管を無くし、かつ発生しやすい水酸化アルミの析
出沈澱は、事前の流量チェックと洗浄ライン等により確
実に予防できる陽極酸化エツチング槽の液冷却方法を提
供することにある。この発明の特徴とするところは、ア
ルミ陽極酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表
面欠陥を除去するエツチング槽のアルミ表面処理手段に
およて、上記エツチング槽内でのアルミ素材とＮａＯＨ
水溶液との反応による発熱作用を、このエツチング槽外
に設置した液路の積極的な液循環と冷却器とによりおど
効果の調節を行うようにしたことにある。
であり、エツチング槽内に水酸化アルミの析出を助長す
る冷却管を無くし、かつ発生しやすい水酸化アルミの析
出沈澱は、事前の流量チェックと洗浄ライン等により確
実に予防できる陽極酸化エツチング槽の液冷却方法を提
供することにある。この発明の特徴とするところは、ア
ルミ陽極酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表
面欠陥を除去するエツチング槽のアルミ表面処理手段に
およて、上記エツチング槽内でのアルミ素材とＮａＯＨ
水溶液との反応による発熱作用を、このエツチング槽外
に設置した液路の積極的な液循環と冷却器とによりおど
効果の調節を行うようにしたことにある。
上記により、エツチング槽内における液温の降下操作は
、この槽内に連通する液路を解しての積極的な液循環と
上記液路中に設置した冷却器とにより行うようにしたの
で、アルミ素材の表面処理手段における水酸化アルミの
析出沈澱を大幅に抑制することができる。また槽外に設
置した冷却器の使用により、水酸化アルミの析出沈澱が
発生しやすい状況は、事前に流量チェックと洗浄ライン
とにより円滑容易に予防し、かつ微量のうちにこれを確
実に排除することがでのる。
、この槽内に連通する液路を解しての積極的な液循環と
上記液路中に設置した冷却器とにより行うようにしたの
で、アルミ素材の表面処理手段における水酸化アルミの
析出沈澱を大幅に抑制することができる。また槽外に設
置した冷却器の使用により、水酸化アルミの析出沈澱が
発生しやすい状況は、事前に流量チェックと洗浄ライン
とにより円滑容易に予防し、かつ微量のうちにこれを確
実に排除することがでのる。
以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
アルミ陽極酸化処理の前処理としてアルミ素材の小さい
表面欠陥を除去するために、第１図に示すようなエツチ
ング槽１を用いて図示しないアルミ表面処理手段を行う
際には、まず上記エツチング槽１の外部に、この槽１と
連通ずるようにしてポンプ３の操作により単位流量が１
０００ｆｆｉ／ｍｉｎの液路２を循環状に接続する。そ
してこの液路２の中途位置には、上記エツチング槽１内
でのアルミ素材とＮａＯＨ水溶液との反応による発熱作
用を、この槽１の外部で温度降下の調節を行うために、
内部を１５℃の冷却水Ｗを流通させることにより冷却器
となる熱交換器４を一連状に接続する。この場合熱交換
器４内の流速は４３２０ｍ／Ｈに設定する。次にこの熱
交換器４の隣接位置には、その前後の液路２における流
量をチェックするための差圧径５を配置する。さらにエ
ツチング槽重に近傍する上記液路２の初端側には外部か
ら図示しない洗浄水を液路２内に導入する洗浄入路６を
、またこの洗浄入路６に対応する上記液路２の終端側に
は洗浄入路６からの図示しない洗浄水を液路２の外へ排
出するための洗浄出路７をそれぞれ接続して一連の洗浄
ラインを設置し、これによって工、チング槽１の液冷却
を行うようにする。なお９は、エツチング槽１と液路２
とを切断するバルブである。また１０は、洗浄ライン６
゜７と液路２とを切断するバルブである。
表面欠陥を除去するために、第１図に示すようなエツチ
ング槽１を用いて図示しないアルミ表面処理手段を行う
際には、まず上記エツチング槽１の外部に、この槽１と
連通ずるようにしてポンプ３の操作により単位流量が１
０００ｆｆｉ／ｍｉｎの液路２を循環状に接続する。そ
してこの液路２の中途位置には、上記エツチング槽１内
でのアルミ素材とＮａＯＨ水溶液との反応による発熱作
用を、この槽１の外部で温度降下の調節を行うために、
内部を１５℃の冷却水Ｗを流通させることにより冷却器
となる熱交換器４を一連状に接続する。この場合熱交換
器４内の流速は４３２０ｍ／Ｈに設定する。次にこの熱
交換器４の隣接位置には、その前後の液路２における流
量をチェックするための差圧径５を配置する。さらにエ
ツチング槽重に近傍する上記液路２の初端側には外部か
ら図示しない洗浄水を液路２内に導入する洗浄入路６を
、またこの洗浄入路６に対応する上記液路２の終端側に
は洗浄入路６からの図示しない洗浄水を液路２の外へ排
出するための洗浄出路７をそれぞれ接続して一連の洗浄
ラインを設置し、これによって工、チング槽１の液冷却
を行うようにする。なお９は、エツチング槽１と液路２
とを切断するバルブである。また１０は、洗浄ライン６
゜７と液路２とを切断するバルブである。
上記のエツチング槽１を含む各要部を用いてアルミ陽極
酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表面欠陥を
除去するためのアルミ表面処理手段を行う場合は、液路
２の中途に接続した熱交換器４内を１５℃の冷却水Ｗを
前記した４３００ｍ／Ｈの設定値により連続的に通過さ
せると、液路２およびこの熱交換器４内に析出物が付着
するのを防止することができる。そして上記の熱交換器
４による冷却器の液冷却をもってエツチング槽１内の液
温を３０〜ｂ することができ、これによってエツチング槽１内の水酸
化アルミの析出沈殿を大幅に制御することができる。
酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表面欠陥を
除去するためのアルミ表面処理手段を行う場合は、液路
２の中途に接続した熱交換器４内を１５℃の冷却水Ｗを
前記した４３００ｍ／Ｈの設定値により連続的に通過さ
せると、液路２およびこの熱交換器４内に析出物が付着
するのを防止することができる。そして上記の熱交換器
４による冷却器の液冷却をもってエツチング槽１内の液
温を３０〜ｂ することができ、これによってエツチング槽１内の水酸
化アルミの析出沈殿を大幅に制御することができる。
またエツチング槽１の使用により、仮に液路２や熱交換
器４のいずれかに少量の析出物の付着が進行することに
なるが、液路２中における熱交換器４の隣接位置に差圧
計５を配置して絶えず設定流量をチェックしているので
、析出物が付着するのを容易に防止することができる。
器４のいずれかに少量の析出物の付着が進行することに
なるが、液路２中における熱交換器４の隣接位置に差圧
計５を配置して絶えず設定流量をチェックしているので
、析出物が付着するのを容易に防止することができる。
そしてこのように析出物の付着性が高まって液路２中に
おける単位流量が減少した場合は、いったんエツチング
槽１例の各バルブ９を閉じて洗浄入路６から液路２およ
び洗浄出路７を介して洗浄水を流通させることにより、
上記液路２および熱交換器４内を洗浄して水酸化アルミ
の析出沈澱が発生するのを円滑容易に防止し、かつ微量
のうちにこれを確実に排除することができる。
おける単位流量が減少した場合は、いったんエツチング
槽１例の各バルブ９を閉じて洗浄入路６から液路２およ
び洗浄出路７を介して洗浄水を流通させることにより、
上記液路２および熱交換器４内を洗浄して水酸化アルミ
の析出沈澱が発生するのを円滑容易に防止し、かつ微量
のうちにこれを確実に排除することができる。
この発明は、アルミ陽極酸化処理の前処理となるアルミ
素材の小さい表面欠陥を除去するエツチング槽のアルミ
表面処理手段におよて、上記エツチング槽内でのアルミ
素材とＮａＯＨ水溶液との反応による発熱作用を、この
エツチング槽外に設置した液路の積極的な液循環と冷却
器とにより温度降下の調節を行うようにしたことを特徴
とするものである。従ってエツチング槽内に水酸化アル
ミの析出を助長する冷却管を無くし、かつ微量でも発生
しやすい水酸化アルミの析出沈澱は、事前の流量チェッ
クと洗浄ライン等により確実に防止されるため、アルミ
陽極酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表面欠
陥を除去するための表面処理手段の信頼性を大幅に高め
ることができる等の効果がある。
素材の小さい表面欠陥を除去するエツチング槽のアルミ
表面処理手段におよて、上記エツチング槽内でのアルミ
素材とＮａＯＨ水溶液との反応による発熱作用を、この
エツチング槽外に設置した液路の積極的な液循環と冷却
器とにより温度降下の調節を行うようにしたことを特徴
とするものである。従ってエツチング槽内に水酸化アル
ミの析出を助長する冷却管を無くし、かつ微量でも発生
しやすい水酸化アルミの析出沈澱は、事前の流量チェッ
クと洗浄ライン等により確実に防止されるため、アルミ
陽極酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい表面欠
陥を除去するための表面処理手段の信頼性を大幅に高め
ることができる等の効果がある。
第１図はこの発明による液冷却方法に用、いるエツチン
グ槽と各要部の設置態様を示す説明図、第２図は従来例
による液冷却方法に用いるエツチング槽と各要部の設置
態様を示す説明図である。
グ槽と各要部の設置態様を示す説明図、第２図は従来例
による液冷却方法に用いるエツチング槽と各要部の設置
態様を示す説明図である。
Claims (1)
- アルミ陽極酸化処理の前処理となるアルミ素材の小さい
表面欠陥を除去するエッチング槽のアルミ表面処理手段
におょて、前記エッチング槽内でのアルミ素材とＮａＯ
Ｈ水溶液との反応による発熱作用を、前記エッチング槽
外に設置した液路の積極的な液循環と冷却器とにより温
度効果の調節を行うようにしたことを特徴とする陽極酸
化エッチング槽の液冷却方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18877185A JPS6250486A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | エッチング槽の液冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18877185A JPS6250486A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | エッチング槽の液冷却装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6250486A true JPS6250486A (ja) | 1987-03-05 |
| JPH0567711B2 JPH0567711B2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=16229487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18877185A Granted JPS6250486A (ja) | 1985-08-28 | 1985-08-28 | エッチング槽の液冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6250486A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5433086A (en) * | 1992-10-09 | 1995-07-18 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Refrigerator having independent temperature control of plural compartments |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421182A (en) * | 1977-10-20 | 1979-02-17 | Toshiba Corp | Manufacture for semiconductor device |
-
1985
- 1985-08-28 JP JP18877185A patent/JPS6250486A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5421182A (en) * | 1977-10-20 | 1979-02-17 | Toshiba Corp | Manufacture for semiconductor device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5433086A (en) * | 1992-10-09 | 1995-07-18 | Daewoo Electronics Co., Ltd. | Refrigerator having independent temperature control of plural compartments |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0567711B2 (ja) | 1993-09-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |