JPS62502022A - 数値制御電気機械型精密駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、請求の範囲第１項の総括的な用語で定義した種類の数値制御電気′ｌ ａ械型錆密駆動装置に関する。 西独特許出願公開公報第ＤＥ−Ｏ５３３４５５２８号に、モータ駆動高圧パルプ の制御方法が開示され、この方法ではパルプ制御ロッドの動作は、圧力、温度、 パルプコーンの位置などの変数の連続的に変動し、連続的に表示される結果に応 じて、自動的かつ完全に電子工学的に制御されｇ、　この方法を実施する装置で は、パルプ制御ロッドに制御モータを１基しか設けていない。　そのためモータ が故障するとユニット全体を停止せねばならない。 西独特許出願公開公報第ＤＥ−Ｏ３２９５２６９５号には流体流れパルプの制御 、監視および消責量測定の方法および機構か開示され、ここでは流体のパルプ通 過流量を測定するのに弁体の位置制御用信号を使用している。　ここでもステッ プモータを１基しか設けていない。 これまで設計された電気機械式駆動装置は買置の慣性のせいで比較的遅く、あま り動的ではない。　その始動はむつかしく、十分な精度をもって駆動させること はできない。　公知のパルプ制御では、特に測定および制御工学の分野で大型で 重い電気機械式駆動装置に課される、多様な要求を満たせないことがわかってい る。 これに対して、本発明は始めに言及した型式の数値制御電気機械型Ｍ密駆動装置 を、低い自己消責電力で、回転運動でも並進運動でも、また回転／並進連動の組 み合わせでも、重い部品を高精度で広いトルク範囲にわたって最短測定長さでも 移動させることのできる高速、確実で効率のよい駆動装置が得られるよう形成す ることに基づいている。　本発明では、この課題を、請求の範囲第１項の特徴部 分に記載した手段を備えた当該形式の電気機械型績密駆勧装置で達成する。 本発明のさらなる構成は従属項に記載されている。 このようにして、トルクまたは押圧力および張力の駆動装置の体積に対する関係 の極めて良好な電気機械型駆動装置が得られる。 この装置には以下の利点がある。 １、小体積したがって軽量、 ２、この小さな体積にしては大きなトルクまたは押しモメント、 ３、他エネルギー消′Ｒ１！、 ４、対応するフィードバックによる極めて精確な位置決めおよび高い再現性、 ５、油圧駆動に比べて、すばやい操作性、６、標準インタフェースを介してのコ ンピュータ適合性。 以下の使用分野は特に重要である。 すべての型式のパルプ制御、特にパルプの精確な設定が必要な場合、したがって 特に化学加工工学、航空学、宇宙での運転ならびに核技術。　通常の機械工学に おける精確な駆動装置、たとえばトラバースのようなあらゆる種類の並進運動を 伴う精確な並進運動、またはロボットやマニピュレータを含むＣＮＣ機械の分野 、または反応器制御手段の駆動装置のような安全に関連したプラント、そして特 に高度の操作信頼性が要求され、電力が落ちても駆動装置が完全に機能する必要 のある場合。 次に本発明を、本発明の要旨の実施態様を示す図面を参照しながら詳しく説明す る。 第１図は、回転駆動用装置の長さ方向断面の部分切取図を示し、 第２図は、駆動装置の略平面図を示し、第３図は、並進運動用の装置の長さ方向 の断面図を示し、菓４ＩＡは、回転運動と並進運動を交互に行う装置の長さ方向 の断面図を示し、 第５図は、回転運動と並進運動を同時に行う装置の長さ方、向の断面図を示し、 第６図は、シャーシを上から見た図を示し、第７図は、第６図のカバーの平面図 を示し、第８図は、第７図のＡ−Ｂ線の方向に見た断面図を示し、第９図は、シ ャーシ、カバーおよびハウジングの組立体の部分切取平面図を示し、 第１０図はモータユニット、緊急電源およびケーブルを含む菓９図の組立体の図 を示し、 第１１図は、シャーシ、カバー、モータユニット、駆動電子部および制御電子部 の構成を示し、 第１２図は、制御電子部およびケーブルを含む第３図の組立体の長さ方向の断面 図を示す、 不１３図は、ブロック図を示し、 東１４図は、モジュールの寸法の比較を示し、第１５図は負荷図である。 第１１Ａは、最も単純な適用例である回転運動用の構造を示す。 回転運動を特徴づけるのは、すべてのモータとモータ歯車ユニット１が、それぞ れ駆動ビニオン２を介して従軸４に固定連結された中央歯車３に同時に作用する ことである。 モータユニット１は、中央歯車３のまわりに円状に集まっており、遊星歯車の形 態のビニオン２が太陽歯車３とかみ合って、双方の基準円が接触している。 この固定連結は、第１図では中央歯車３と従軸４が一体部品であることで表わさ れている。 他の装置への動力の伝導は通常の方法、たとえばすべりクラッチ、スロットとキ ー、すべりキーなどによって行うことができる。 従軸４はカバー５にベアリング６とベアリング７で装着され、上記カバーは装置 連結手段１５に結合している。 シャーシ９内のベアリング手段８は追加のベアリングとして作用する。　シャー シ９上には各モータ１用の緊急電源１０がさらに配置され、電圧降下時にはある 程度の期間駆動ユニット１に電力を供給する。 カバー５とシャーシ９はねじ４９により連結されている（第９図）。　モータユ ニット１のシャーシ９へのとりつけは、後に説明するブラケットを介して行う。 従軸４は、シャーシ９内の２つの軸線方向のベアリング１１および１２、たとえ ば針状ベアリング内を通る。　従軸４は止めナツト１３でシャーシ９に位置決め されている。 ハウジング１６は装置全体を囲み、ねじ手段１７を介してカバー５に固定されて いる。 製造機械への機械的連結は、装置連結手段１５を介し、適当なアダプタをそれぞ れ必要な方法で通用して行われる。 電力供給は、ケーブルダクトとひずみ逃げを備えたケーブル８７（第１１図）に よって、または装置コネクタとジャック３１（第３図）を介して行われる。 モータ１は、無鉄電機子と永久磁石固定子を備えた低電流サーボモータとするの が好ましい。 第２図は、モータユニット１の円状配列と、遊星歯車２と太陽歯車３の作用の総 合効果とを図式的に示す。　同時に、それぞれトルクＭ、、Ｍ３　、Ｍ５　、Ｍ ７・・・・・・Ｍｎを有する一群のモータユニットがシャーシ９の片側に位置し 、それぞれトルクＭ２　、Ｍ４　、Ｍ５およびＭ、を有する同一寸法の一群のモ ータユニットがシャーシのもう一方の側、すなわち対応するカバー５上に空間の 節約のために互い違いに配列されていることが示される。 本発明の以下の実施態様はすべてこのモータユニット１がシャーシ９の両側にあ る両面配列を示す。 このｆ多重駆動装置」の個々の構造は、多数の小さなトルクが中央歯車に伝達さ れることを意味し、これはビニオンと中央歯車の小さなトルクに対応する極めて 微細なかみ合せを介して行われる。　その理由は各トルクの和が式：％式％ によフて、大きな中央歯車の中心点でしか積算されないことにある。 第３図はいかにして回転連動から並進運動か達成されるかを示す。 回転運動の場合とはちがって、直線運動の場合には中央歯車３のハブにねじ部材 、ボールねじまたは衛星歯車１９が配置されている。　ねじ部材と協働する従軸 ４の構成部分はねしスピンドル２０として形成され、ねじスピンドル２０は回転 防止案内手段２１によって、回転を妨げられている。　回転防止案内手段２１は ねじ手段２２によってカバー５に固定されている。 スピンドル２０は精密案内手段２３を介して回転防止案内手段２１内を動く。　 精密案内手段２３はねじ手段２４または他の形態の取付具でスピンドル２０に固 着されている。 精密案内手段２３はさらに直線運動ピックアップ２６のスライダ２５に作用する 。　直線運動ピックアップ２６の読み取り電圧はスピンドル２０の運動に比例す る。 シャーシ９には、またカバー５上には、モータユニットまたはモータ歯車ユニッ ト１および１゛ならびにその緊急電源１０および１０゛がそれぞれ装着されてい る。 モータユニットおよび緊急電源への電力供給は、ハウジング１６上に配置された プラグコネクタ３１を介して行われる。 ハウジング１６は、ねじ手段３４により装置連結手段１５に、そしてねじ手段１ ７によりカバー５に取付けられてい製造１ａ械への連結は回転運動の場合と同様 、ねじ手段３６または他の適当なアダプタを介して行われる。 スピンドル２０の位置は、直線運動ピックアップ２６の他に、モータユニットま たはモータ歯車ユニット１．１′上に直接置かれたインクリメント運動ピックア ップ２８によっても読みとることができる。 運動ピックアップは公知の方法で、誘導型運動ピックアップ、直線運動ピックア ップ、回転運動ピックアップまたはインクリメント運動ピックアップとして形成 することができる。　運動ピックアップをポテンショメータとして形成するとき は、運動に比例する電圧を取り出すことができる。　インクリメント運動ピック アップでは、運動に対応するパルスを数え、インジケータに表示する。　このよ うにして１０′ｂの読みとり精度が得られる。 スピンドル２０の回転防止はもちろん各種の過当な方法で行うことができ、たと えばハウジング１６を入れ子に形成し、ハウジング１６の上部をスピンドル２０ とともに移動させ、その際シャーシ９、カバー５およびハウジング１６の上部と の間にすべりキー、案内ボルトまたは同様の取付具を用いてスピンドルの回転を 防止することができる。 軍４図に示すように、回転運動と並進運動を交互に行うことができる。 回転−並進運動は、スピンドル案内シリンダ２１を回転運動時には締つけ手段３ ７で中央歯車３に固定し、他方並進運動時には締つけ手段３９により駆動部の静 止部分３８に固定するもので、こうすればまず回転が生じてから並進運動が起こ る。　回転トルクは前述した回転運動原理に対応し、同様に、押したり引いたり する力は前述した並進運動に対応する。 回転運動から並進運動に切り換えるための誘導型スイッチを設けるのが有利であ る。 インダクタ４０に供給する直流の極性を反転することにより、電機子として作用 するスピンドル案内シリンダ２１を、締つけ手段３９または３７に対して押し上 げるか押し下げる。　したがって、スピンドル案内シリンダ２１は回転部分すな わち中央歯車３、または静止部分３８のいずれかに連結される。　このようにし て回転−並進運動が次々と生じる。 第５図に示すように、回転運動と並進運動を同時に行わせることもできる。 回転運動と並進運動を同時に行う際は、ボールねじ１９内を通るスピンドル２０ はクラッチ４２を介して、別のボールねじ４４内を通る別のスピンドル４３に作 用する。　スピンドル２０の回転は、回転防止案内部材２１によって防止されて いるので、スピンドル２０は並進運動を行う。　スピンドル４３がスピンドル２ ０に連結されておらず、適当なピッチのボールねじ４４内に配置されているので 、追加のスピンドル４３は同時に回転−並進運動を行う。 並進速度はモータ歯車ユニット１の回転速度とボールねじ１９のピッチに対応す る。 スピンドル４３の並進一回転運動は、上述のスピンドル２０の運動とボールねじ ４４のピッチとで決められる。 ２本のスピンドル２０および４３は互いに固着されておらず、すべり結合されて いる。　針状ベアリングを配置しても、すべりクラッチ４２を設けて連結しても よく、クラッチの伝達トルクは各種の値に設定できる。　市販の他の型式のクラ ッチを必要に応じて用いてもよい。 この駆動部を製造機械に取付ける取付具も前述の原則にしたがって選べばよい。 第６図はシャーシ９の平面図である。　シャーシは装置全体の支持要素である。 　このシャーシ９内には、モータユニットまたはモータ歯車ユニット１と、全動 力伝達要素（ピニオン２、歯車３、ボールねじ１９および従軸４）の両方が組み 込まれている。 シャーシは、装置連結手段１５を介して広範囲の応用分野のあらゆる製造機械と 連結することのできる唯一の支持要素である。 第７図はシャーシ９のカバー５を示す。 カバー５には、次にねじ４９を用いてシャーシ９に取り付けるための通し穴４５ が設けである。 また、カバー５には、回転防止案内手段２１とベアリング６のための、ねじ切り したボアホール４６が設けである。 さらにカバー５にはモータまだはモータ歯車取りつけブラケット１４のための案 内面４８が設けである。 第８１Ａは、茅７図のＡ−Ｂの方向に見たベアリング６を有するカバー５の断面 図である。　モータまたはモータ歯車ユニット１のための案内面４８も同時に示 しである。 第９図は、モータ歯車ユニットをはずしたシャーシ９、カバー５およびハウジン グ１６の組立体の平面図である。 カバー５はねじ４９でシャーシ９にしっかりねじ止めされ、ハウジング１６はね じ５６でカバー５に同様に取りつけられている。 第１０図は、モータユニットまたはモータ歯車ユニット１が取り付はブラケット １４に装着されたシャーシ９の一部と、モータユニットまたはモータ歯車ユニッ ト１′が取り付け′ブラケット１４′に装着されたカバー５の一部の正面図を示 す。 緊急電源１０および１０′もシャーシ９とカバー５それぞわの上に配置されてい る。 モータまたはモータ歯車ユニット１は取り付はブラケット１４とともに、シャー シ面内に埋め込まれており、シャーシ９にねじ手段５１でねじ止めされている。 　モータまたはモータ歯車ユニット１′は、取り付はブラケット１４′　ととも にシャーシカバー５内に埋め込まれているが、こちらのブラケット１４′は、ね じ手段５１′でシャーシ９に固定されている。 モータまたはモータ歯車ユニット１および１′は、緊急電源１０および１０′　 と一体の駆動電子部に接続される。　具体的には、モータの８ｉ５２を、緊急電 源と一体の制御電子部の端子板５３上に位置する接点５５に接続する。　この接 続は配線５４を介して行う。 菓１１図は、全ての部品の配列の平面図で、同時に制御電子８５とそのコネクタ シック３１への接続を示す。　シャーシ９上では、モータまたはモータ歯車ユニ ット１が取り付はブラケット１４上に配置され、上記モータユニット１はねじ手 段７８によってブラケットに取り付けられている。　ここでもモータ歯車ユニッ ト１は、モータまたはモータ歯車ユニットの使用数に応じて所定の角度で互い違 いに装着されている。 カバー５の上には、はんだビンブロック８２が設けられた緊急電源１０′と一体 の駆動電子部８１が配置されている。 はんだビン＋／−およびＡ−Ｅはコネクタジャック３１に電気接続されている。 　接点Ｍ“７Ｍ−はケーブル８３を介してモータのｇ！８４に電気接続されてい る。 制御電子部８５への接続は、装置コネクタ８６とケーブル８７とを介して行われ る。　ケーブル８７の他端は装置コネクタ８８に接続され、装置コネク多８８は 埋め込み装置ソケット８９に接続されている。　このようにして制御電子部８５ から駆動電子部８１へのデータの伝達を行う。　制御電子部には、非調整室カニ ニット９１と給電電流／電圧調整器９２を介して調整済の電圧を調整電圧供給器 ９０から供給する。 第１２図は、数値制御電気機械型精密駆動装置の制御電子部８５への接続を示す 。　制御電子部８５は、埋込み装置ソケット８９、ケーブルコネクタ８８および ケーブルコネクタ８６を介してコネクタジャック３１に接続されている。 コネクタジャック３１はケーブル９７を介して駆動電子部８１に電気的に接続さ れている。 第１３図のブロック図には、電子部品間の相互関係が示しである。　詳細につい ては西独特許出願公開公報第ＤＥ−ＯＳ３３４５５２８号を参照されたい。 また電子制御部と作用モードの詳細も示しである。　この制御も西独特許出願公 開公報第ＤＥ−ＯＳ３３４５５２８号の場合と同様、コンピュータおよびｒＣＡ ＭＡＣＪに適合する。 本発明の原理は何よりも、通常の電気モータかステップごとのスイッチモータで あるかにかかわらず、１基のサーボモータのかわりに多数の小型の低電流モータ を用いることに基づいている。 第１４図は、これまで知られているようにモータを１基だけ使用した場合と、多 数のモータまたはモータ歯車ユニットを使用した場合の歯合連結のモジュールｍ のちがいを示す。 図示例では、適当な押圧力を得るのに２０ＯＮｍのトルクが必要とされる。 単一の駆動部を用いると、 中央歯車３の直径は　３８９．８８８ｍｍビニオン２の直径゛は　５４．０００ ｍｍ中心間距離は　４４３．０００ｍｍ となり、これはモジュール７１、ｍ　＝　３に対応する。 一方１６個の駆動部１．１′を用いると、中央歯車の直径はちょうど１０３．９ ７０ｍｍ、ビニオンの直径はちょうど１４．４００ｍｍとなり、これはモジュー ル７２、ｍ＝０．８に対応する。 したがフて、すでに述べた利点に加えて、同じ性能を得るのに必要な空間が著し く減り、すべりが減るだけでなく、不動時間が減り、それに対応して装置の動力 学的性質が増大する。 第１５図には負荷図を示す。　負荷図ＭＳ／ＭＧは、従軸４またはスピンドル２ ０への負荷Ｆ　（Ｍ、Ｉ）の増大に比例して増大する、太陽歯車３のトルクＭＳ を図式的に描いたものである。 ＭＳが必要な全トルク（太陽歯車）で、ＭＧが各駆動部（モータユニット）の従 軸（ビニオン）に必要なトルクで、Ｘａが独立の駆動部の数（たとえば１６）で あれば、ＭＧ＝１／Ｘａ−ＭＳ となる。 負荷図の曲ｍＭＧは、数個の別個の駆動部を使用した際に必要なトルクの変化を 示す。　この式かられかるように、曲線ＭＧは双曲線を描き、すなわち各駆動部 の負荷も双曲線的に減少する。　さらに、ＭＧ曲線は値Ｘａ＝１０で直線変化に 移ることを示す。　この範囲は各駆動部の負荷を最大まて上げなくてもよい範囲 （安全範囲）である。 この駆動装置の興味深い現象は、全駆動部の動的挙動が各駆動部の動的挙動に対 応すること、すなわち全駆動部のロータの慣性モメント（Ｋｇｍ２）が各駆動部 のロータの慣性モメントに対応することで、もちろん太陽歯車３の慣性モメント を考慮する必要がある。 曲線Ｆ　（ＭＳ）は全トルクが負荷に対して比例することを示している。　個々 の駆動部に必要なトルクは変速比ｉに伴なって減少し、また同様に駆動装置の従 軸の回転速度（ｒｐｍ）も比例して減少する。 図示した例で、個々の駆動部が１６個、すなわちＸａ＝１６のときは、駆動部の 負荷は約３２％でしかない。　この結果、破損率６０％以上でも、駆動部の機能 が完全に保証されることになる。　通常の駆動装置で破損率が６０％であれば、 その機能はもはや保証されない。 したがって、力が中央歯車すなわち太陽歯車３の全周にわたって分配されている ので、噛み合い部にかかる機械的負荷も減少する。 実際の例では、１６個の低電流サーボモータ１．１′が太陽歯車３をとり囲んで いるとして、グラフＦ　（ＭＳ）に対応する負荷Ｆ＝１０００ＯＮでは、各モー タはそれぞれ１２Ｖｘ１．ＩＡ＝１３．２Ｗ（７）電力カ必要テ、スナワチ１６ 個全部をあわせると２１１．２０Ｗの電力が必要になる。 中央歯車の直径が８０ｍｍ、ピニオン２の直径が１２ｍｍ、軸４またはスピンド ル２０の直径が’）、　８　ｍ　ｍで長さが７０ｍｍであれば、このきわめて低 い電力および２０ｍｍのすべり工程で、約１００００８ｍの押圧力が得られる。 　このようにしてｉｌＪｍの精度を０．１−３００００７分の速度範囲で調整す ることができる。 この新規の数値制御ＭＦｆＥ駆動装置の開発目標は、中立帯を減らし、通常の電 気駆動装置では極めて高い変数をできるだけ低い値まで減少させることにある。 この効果は、通常の電気モータの所望のトルク（ＭＳ、Ｎｍで表示）のかわりに 、トルクＭｎを有する別個の駆動部を用いてそれらをピニオン（遊星歯車）を介 して中央歯車（太陽歯車）に同時に作用させることによって得られる。 したがって、動的挙動と始動トルクが増大し、アイドリンク中のエネルギ消費が 最低まで減少する。　体積の性能および効率との関係もかなり上昇する。 各駆動部として無鉄電機子（ベル形電機子またはドラム電機子）を備えたサーボ モータを用いると、体積の重量および性能との関係も、従来通りに組み立てた電 気機械型駆動装置よりかなり好適になる。 ダイナモシートから作製された電機子は重たいため、始動が極めて遅い。　ロー タの慣性モメント（Ｋｇｍ２）と機械的時定数（ｍ　ｓ　）は比較的高い。 これらの速度の達成はロータ質量慣性モメントによ゛ってかなり妨げられる。　 たとえば、通常のモータはこの性能範囲ではＬｏｏｍｓ程度で上記速度に達する 。　しかし本発明の駆動装置を用いれば、これらの速度を８０％少ない時間で達 成することができる。 同様のことが駆動の動力学的性質、すなわちすばやい始動、切り換えなどについ てもあてはまる。　また、逆駆動もかない速くなり、たとえば単一の駆動部を用 いると逆操作に１３０ｍ５かかるのが、本発明の新規な駆動装置を用いると逆操 作に２０〜３０ｎｓしかかからない。　これらの値は制御および駆動電子部内の 標準ダイオードに基づいている。 特別な電子部品を用いれば、さらに良い制御値を得ることさえできる。 結論として、上述の駆動装置の 小さな機械的時定＠（ｍｓ＞ わずかなロータの慣性モメント（Ｋｇｍ’　）わずかなすべし、したがって 極めて短い不動時間（ｍｓ） が動的挙動を通常の電気機械型駆動装置とははっきり異ったものとする決定的な 要因であることが確認された。 したがって、この新規なｌｆｔｆｔ動駆動装置いると、極めて速い制御を行うこ とができる。 各駆動部を順次追加駆動させることにより、駆動部の数Ｘａに対応した多数の動 力段階を得ることができる。　その特有の機械的構造のため、この装置は連続制 御することができる。　時定数によって、位置決め、速度制御、引フ張りまたは 押し速度（すなわち張力または押圧力）が問題なく絶対的に精確な方法で行われ る。 低電流モータの電力消責量が少ないため、電池（緊急電力供給装＊）での作動が 可能になり、このことは安全分野および人が危険な媒体に直接接触する分野では もちろん極めて重要なことである。　このようにしてコンピュータ制御電子部の 故障、ケーブル破断、爆発などが生じても、たとえば安全領域の高圧バルブが所 定の予めプログラムされた状態を達成していることが常に可能である。 同しこ、とが、前述の他の適用分野についてもあてはまる。 最後に、本発明の新規な多重駆動装置の利点が、中央歯車のスピンドルのトルク 、したがってまた押圧力または張力が、各駆動部の数したがって小さなトルクの 数によフて決まり、しかも多重駆動装置の動力学的性質が損なわれないという事 実に基づいていることを指摘しておく。 このようにして、高性能で速く、軽くて寸法が小さい１ｎ相の多重駆動装置」が 得られ、その体積、重量と性能との関係も極めて好適である。 特人聞６２−５０２０２２　（８） Ｆ旧、１０ 国際調査報告 ＋ｍｍｍｍａ、＃１ｍＰＣ？／ＤＥ　８５１００５５２

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. １．独自の電源を有する駆動モータ（１）のモータ軸が共通のハウジング（１６ ）内に配置された中央歯車（３）とかみ合うピニオン（２）を有し、上記中央歯 車（３）が被動部品のためのモータ軸と同軸に配置されたスピンドル（２０）を 有し、制御パルスが被動部品に関連した変数で決定される数値制御電気機械型精 密駆動装置において、緊急電力供給装置を有する駆動用電子部を介して互いに独 立に同期制御される、多数のほぼ無慣性の低電流サーボモータ（１，１′）がそ れぞれ小さなトルクを有し、ピニオン（２，２′）が遊星歯車として設けられ、 中央歯車（３）が比較的細かい歯を有する太陽歯車として設けられ、個別のトル クの和が中央歯車（３）のスピンドル（２０）に積算されて、スピンドルの回転 および／または並進運動を行う多重トルク駆動が生じることを特徴とする数値制 御電気機械型精密駆動装置。
2. ２．サーボモータ（１，１′）が無鉄電機子と永久磁石固定子を備えた過負荷容 量の大きいモータとして形成されたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の数 値制御電気機械型精密駆動装置。
3. ３．サーボモータ（１，１′）と、緊急電力供給装置（１０、１０′）を含む対 応する駆動電子部（８１）とが連結されて、それぞれユニットを形成することを 特徴とする請求の範囲第１項記載の数値制御電気機械型精密駆動装置。
4. ４．回転運動の際、中央歯車（３）が従軸として作用するスピンドルと一体に形 成されたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の数値制御電気機械型精密駆動 装置。
5. ５．並進運動の際、中央歯車（３）のハブとスピンドル（２０）がねじ部（１９ ）を介して連結されたことを特徴とする請求の範囲第１項記載の数値制御電気機 械型精密駆動装置。
6. ６．ねじ部（１９）がボールねじまたは衛星歯車であることを特徴とする請求の 範囲第１項記載の数値制御電気機械型精密駆動装置。
7. ７．モータ軸またはその関連ピニオン（２，２′）が、中央歯車（３）のスピン ドル（２０）のまわりに等間隔で円状に配置され、駆動ピニオンと中央歯車の基 準円が互いに接触することを特徴とする請求の範囲第１項ないし第６項のいずれ かに記載の数値制御電気機械型精密駆動装置。
8. ８．モータ（１，１′）が中央歯車（３）の平面の両側に対応しつつ互い違いに 配列されたことを特徴とする請求の範囲第７項記載の数値制御電気機械型精密駆 動装置。
9. ９．中央歯車（３）が、共通のハウジング（１６）に連結されたシャーシ（９） に、好ましくは針状ベアリングで軸線方向に装着されたことを特徴とする請求の 範囲第７項記載の数値制御電気機械型精密駆動装置。
10. １０．中央歯車（３）が装置取りつけ手段（１５）およびカバー（５）のシャー シ（９）側に半径方向に装着されたことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の 数値制御電気機械型精密駆動装置。
11. １１．スピンドル（２０）が並進運動を行う際、その回転を回転防止部材（２１ ）によって防止することを特徴とする請求の範囲第１項記載の数値制御電気機械 型精密駆動装置。
12. １２．回転運動と並進運動を同時に行う際、スピンドル（２０）がすべりクラッ チ（４２）を介してすべり連結されている２つの部分から構成されていることを 特徴とする請求の範囲第１項記載の数値制御電気機械型精密駆動装置。