JPS6249205A - 自動駆動型三次元測定機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［ｊｌｆｆｉｌ−の利用分野］ 本発明ｉＪ、自動駆動ｊ（１一ビ次バ１測定ａ（こ係り
、特１、こプロク′ラＪ、！．：　、１、る予設定モー
１・に対して実千一１に差ｙにがｚ［＋．：’．たとき
に駆動ずる安全装置を設１１たミ次几測定機に関づる。

〔背景技ｆ＋７とその問題点〕 載１ヲク台に載置さ才１た測定対象物と、車Ｉ１゛１方
向に変位可能なスピンドルの先端に取付（、１られた検
出子と４−次元的に相対｛ゼ・勅さ−１遍、両者４接触
等さｌて関ｒノ．ｔ！ｊ，め、そのときの相対移動変角
Ｖから測定処１象物の形状、＼１法智’！ｉ？ｉｌｌｌ
定ずる三次元測定機が知ら１Ｉでいる．近年、前記相対
移動をコンビョーータのブロゲラノ・に、｛、り自動的
Ｃこ行わ」土、測定作業の効率向−［、省力化′！！７
を図るようにした自動駆Φｊ１型三次元測定機が昔ルし
７つつある。

従来、自動駆Φ｝１型と”次冗渭１定機では、検出子と
し７て例えばタソチ｛へ号式ブＩＪ−ブを１゛を用Ｌ２
た場合、机Ｉ−のル１算に％づいてまたは基ｉｌｉ伴Ｇ
．：沿って倣い運転さ・ｌ！１７収拾したデータに基づ
いて測定対象物、１ブｌ−１−ブとの相対移動軌跡で〕
速度等をブ１１グラミングし、実測定は測定対象物をむ
；吻合にｉ！買置定したのシ）そのブ１７グラｌ、によ
って自ＩＪ＋駆Φ１１するごとに、Ｌり行っていた。フ
゛Ｌ１グラｌ、の￥、十１−Ｊ　ｉｆｆ　（直の１前ぐ
測定り・■象物と検出子とが関すした。）：き、または
基ｔｉｉ＋　し＋標仙を行き過ぎて両Ｉｆが関りし７た
とき、あるいＣ才測定り１１象物乙こ対する検出子の相
対オーバーラン早が・定Ｍを越えた古き前記相対移動が
停止されるように八っ゛（いる。オーバーうン許容Ｍは
検出子の構造（７こＷついて設定さ才１、一般的に数ｍ
　ｒｎである。

ここで、いずれの場合であっても夕＝次元測定機の本体
構造、駆動機構、イーＪ・−シ・中等の事項を一剋ｊａ
　Ｕ７で１．タソ千信叶式プｉ：Ｉ　−ブからタソーｆ
〜信号が発信されると前記相対移動が減速または停止Ｆ
−１、または減速Ｕまたの４）停＋ｌするよ・うに構成
され−Ｃいた。

し、かじ、以［のよ・うに許容されろオーバーラン景を
越５えたときに停止１−さ−口たδ′）タッチ信号が発
信されたときに減速、停止Ｉ、さ一１！たりする手段を
講し−こも、実用１−問題が残さ１１ていた４、４なｉ
）’Ｅｌ、Ｏ）測定）、ｌ象物の４（１１定而が１′・
め定め（：ン（またｌ−口′Ｐ値再傍にない場Ｈ″ｉ、
　（−は、イｌｊ、　ｉｊ４　ｔｌ　ｊ負誓萌の１）ｊ
、連ｉ１転中（１、′検出子か測定面Ｃ，＝激−′とし
２、測５ｉｙ　、−；、ｐ−夕の収拾が不１１「に４（
ろばか２’ｌか検出子、また（、［ブニ）ス千・２・り
等の軟弱ｆｉｌｌ定対象物の場合Ｃにはその測定〉、１
象１０すが破１ト１１イ）、Ｌい・）問題が１ｂろ。・
、ｈ、１］（連切換え後１−１４ｆｉ　（＋”ヲＪｋ　
ｘ−（もナオ測定ｊｒｒｉ　Ｑｌ’：、　Ｉｌｌ達１．
　ナイｔｉ？ｒ合ａ：＝　ｔ、；ｔいたずらｔこ無駄な
時間４費シー４、＝１−にな４９．１’ｌ業２１１　’
ｕ　カ低ド１ろとイ）ｌｉｉ１？ＩＩＪ１ノ）＜４１す
る。

（２）測定ケ、１象物を前囲測定時、Ｌ、同Ｕ−次−１
１、的１１″！置−ｅ蔽物台に固定しないさ、ｔｉｌ’
を記（］）の不郁八が顕ハ゛か・−）多くノ’ｒ’ｉｊ
所−ご牛１：：　ロＣ＃　１．ｍ　ｊ＜　”ｌ、（′ｏ
）タメ（ｌ　ｔＬを回避ずべく極めテ＊＃　ＮＴＪなｌ
１ｇイ４イｎ７貝を測定ケ、１象！！！、ｑＧｕｔ、：
、ｊ’Ａ　（ｌｉｆｔ　（，１，：　ＩＬ　ｌばならず
、上人その取付け、取り夕）しの作業１１．とも（、こ
経済的１′１、）１１も人へい。

Ｑ＜’＋測測定、１象１１をりが所定位ｉ６か（゛）大
きく力司Ｊβ８１１１１て載物台に七ノｌさ１１ている
１１、きにＩｔ、　ｓ検出ｊ’　、ｌ？、Ｊ夕）の測定
機＋１１ＸＩｉ物が測定）・１象物（、ご激′λするた
め、４（す定（！ｌ！横ＩＷ　’Ｊ”ｌＪ　ｉ；ｔ　検
出ｒ／Ｊ）　：Ａ−’　−ｔ＼−ｌｌ　ｉ　口、／　（
１’、）　１Ｉｌｌ　Ｊ　吸収特性を有しないこ場二か
らその破拌１等し１としいものになる。

■自φタ１駆Φ１１型−モー次元測定機、には名、種の
タイプがあり、特に必ずしも測定対象物の測定、＋’Ｑ
ｉの全てを自動測定するように構成さねでいないノ）の
、またはそ−のよう乙こ運用されないものがある。例え
ば、同しプログラムで迦（１’λ的測定対象物に−）い
て駆軸運転し、その余ν）１３Ｉ検出了の代わりの補助
測定器による測定データで補庄ずろよ）にしｌ−ものが
ある。

ごのようなタイプの一次元測定機の自動運転中に測定機
構造物か測定作業者に衝突しあイ）いは測定機構造物と
測定対象物との間に作業者が挟土れ、機器の破ｉ１が発
生すイ）ばかりか作業者の安全対策■−問題がイートシ
・、こいた。

■測定機構造物との接触、衝突１１５故は）Ｊ　トの他
に例えば他の長寸部材の搬入時にこれが過−１て測定範
囲内に突出した場合や測定作業１以外の者が覗き込む行
為を行った場合等番１−もＬトシろ。

〔発明の目的〕

本発明は、以（〜の各問題は−”次回測定機がＮＣ−１
−作機（代の如く力１１丁−１１）唄４１＠　（、ニー
、、向か−２でｊ（ｌス動制ｔａｌｌさ１＋るのとｌｉ
−￥５なり、測定１”べきｊ！ｆ（−がその中に含ま′
！１ている−・Ｗ中ｉｌｌをも′−）いわぽ■ＩＵ自勺
ｉ１　＋！Ｖｊ　（偵ｔ１．二文・ｌｔ、２７態ド・（
１１軍軒さ１１ろとい・）′Ｉ、ＮＩ列」７１をｆｌす
るＣ　ｔ：：、また１、測定精度がｐ　ｎ’ｌ菫位゛（
？測定力が例えば５０ｇ程度の精巧な測定器（′１とな
っ−ｒいろ、−と、史１１７は測定体１象物と測定機構
ｉ！ｌｆ’ｌ”Ｊ　ｈが７次元山川ｔ、ｌ　？＄動を行
い、し２かもごθ）相対移ΦＩＩがち（台から突出ｊ−
７た箇所で行わわろ、−と、などの固ｆ１の特性δ、′
起因１．２て’Ｌ　Ｌ−；ていると認識されて成された
ちの゛ごあシ゛）、検出１′の作動ｎｉｔの胃常を察知
ｊ７て具体的蝮理を行）安全装置を自ΦＩ］駆η・１ｊ
型の一′次尾測定機乙コ装備−・ｒべく本発明は成され
た。

ト発明の目的は、測定機構造物（７あるス１：ン１小が
敏吻合に所定信置かＣ′：１大、＼くかけ８１１れ−（
′ｔ・ソトされたＮ１１ｌ定対象物や、測定イ１業者（
、ｉ″：接触や）衝突したり、測定作業１イがスピン（
ル３トー測定ケ、Ｉ象物１１の間に挟ま才）だ１１づろ
ブｔ−７グーｉ　、１、予定夕）（））緊、ｔひ串１声
がＬ１゛シた３１−き乙、′これを検出１、自動ｊ車転
を停由さ・ｌｊてイ１粟打、ｎ器の安全・を６６保−Ｃ
き？）よパ）にし。

た自動Ｉ）［ス動型７−次）１−測定機を提イ１（する
＾５′−乙にある。

ｃ問題点を解決するための手段ＦンＪ、びイ１用〕この
ため本発明に係る自動駆動型ニー次元測定機ば、載物台
に叔；６された測定対象物と、本体構造に垂直ＪＪ向に
変イ☆ｉｉ’Ｊ能に（持されたスピン１ルの先端に取り
（くＪ！−１ら：４１だ検出子と４丁次元］ｂ向に相対
移動さυ、両者を関−５さ・ｌ！たときの相＆−，１移
動変位量から前記測定対象物の形状、・１法等を測定す
る自Φｊ１馴動型三次几測定機に松いて、ｉ；１記スピ
ンドルの外面と前隅し５かつスピンドルの且、・「方向
に沿った異常検出部をイ１するスピン１ルｃ、二取り付
けられた異常検出器と、この異常検出器の出力４％ｒ号
を受益」て前記測定対象物と前記検出子とを相対移動さ
一ロるための駆φ１１装置を緊急に停止さＭる緊急停止
ト丁段とか−）構成された安全装置を（ｍえたものであ
る。

スピンドルと作業者との接触などにより異常検出器が作
動して出）Ｊ伯りを全仏−づろと、緊、ｅ、停止１−１
段により駆Φｊ１装置の駆動が停止１されてぞ旧Ｊ？２
　）の５“シ當事態が防市さ１９る。巽常検出器苓相対
移動ツノ向にお；Ｊる少なくとも水平四：））’　１ｉ
ｉｌに月応ｊ−７でスピンドルに畏ける、札、駆動装置
を仁・１１−さ−ｌるだほでなく、前記接触なとの発生
方向と（７：ｖ逆］ｈ向・＼−三次元測定機後退駆１ｊ
】さ・口る、二とが可能になる。

異常検出器は例えはスイソナング作用をイ１して電気的
閉ループを形成する導電部十イによるものや、発光器、
受光器に土る究バクθ）化リンＩ！ｔを利用し７だもの
に。Ｉ、って構成される。

〔実施例〕

第１図１，１本実施例に係る三次元測定機の４体斜衿と
図である。基台ｌには載物台２が）′軸方向へ移＊！＋
自在に配置どｔさね、！に台Ｉ（７″＋４＋４右側定さ
Ｊまた支材３の土部には横桁部材４が横断配置されてい
る。横桁部材４にはスライダ５がＸ軸方向・＼摺動自１
′Ｆに直重ら才１、スラ・イダ５と・体化さ第１たスピ
ンドル支持部材６にはスピン］・ルアが垂直方向ずなわ
らＺ軸、ｂ向に移ΦＩＩ　［’ｌ　／＋（ｉ：二支持さ
れている。

スピンｌ−ルアの下端には検出子８が装着され、を実施
例ではこの検出子８は叔’４’ｒＪ台２に載置固定、５
れた測定対象物９！こ接触−４ることによりタソ千信号
を出力４−るタソ千イ菖−Ｍ代プ１−Ｉ−ブになってい
る。

基台１に対して４１Ｍ物台２か移動ずろことにより検出
子８と測定対象物！（とのＹ軸方向への相対移動がなさ
才１、またスライダ５か横桁部材４に対し２て移動する
、二とにより検出子８は測定対象物９に対し２゛ζＸ輔
ツノ向へ移動し２、スピン１〜゛ル支持部材６に対して
スピンドル７が移動変位することにより検出子８と４１
１定対象物９との間でＸ軸方向・＼の相対移動がη−す
る。以上の直交三軸７ｂ向への相対移動変位量は基台１
と載物台２との間に設けられたＹ軸変位検出製置１０（
第４図参照）、横桁部材４とスライダ５との間に設けら
れたＸ！ｌｌＩ変位検出ｌ置１１装スピンドル支持部材
６とスピンドル７との間に設けられたＺ４１１１１変イ
☆検出装置１２により検出され、これらの検出装置１０
．１１．１２は光学的スケール、光電変換素子等により
構成さノっている。

載物台２のＹ輔ノＪ向移動、スうイダ５のＸ軸ノ）自移
動、スピンドル７のＺｔｉｌｈ、、＃Ｊ向移動ｉｌｌ第
４図で示した）′軸、Ｘ軸、Ｚ軸の各干−夕１３．１４
゜１５を駆動；埠さする駆動装置４ｊより行われ、この
駆動装置ｉ；ｔ　１ｕｌｌ　犬ば送りねし７軸やプーリ
、ヘルド等により構成さ４′）ている。ぞれそ４１の千
−夕１３゜１４．１５はトライバ］ｆｉ、１７．１８及
び駆動制御回路１９を介してｃｐｕ　ｃ中央処理装置）
２０に接続さ拘、ｃ　Ｐ　ＬＪ　２０　！１前記検出装
置ｘｏ。

１１．１２による電気信号のデータに枯づいで測定対象
物９の形状、寸法等を求める演算機能４有するとともに
、予め設定さ１１だブログラノ、に従いそれぞ相の干−
タ１３．１，１１５旬に設しｊられたトライバ１６．１
７．１８を制御する駆動制御回路１９４こ電気指餐信−
昂４出力する機能を自し、これによりブＩＩグラＪ、　
ｉｌｌりに各干−夕１３，１４゜１５の起動夕・（Ｓン
カ゛、回転数、回転速度等が制１ｆｆ１１され、前記検
＋１了８が測定対象物９に工１１、で自動的に丁次元ｔ
ｈＩｌ跡を１１４きながら移φ１１１．　、、デ次元測
定が行わ］１ろ。

ここで、前記プ１１グラＪ、はＮ〔：［作機械のように
検出Ｙ８を一定の１１控埴番、゛向か、−（駆φＪＩ制
御するように設定されておら４゛、ある１幅を持ついわ
ばｌ“１安的１」標）直に向かって検出−７−８が駈動
制ｉ’ｉ’Ｊされるように設定されており、この目安的
！＋ｌ標値の中に測定すべき真値が含まれ、それぞ１１
の測定対象物９毎に胃なる真値に対応できるようになっ
ている。従ってスピンドル７、検出子８は１Ｊ安的目標
値の幅内では測定対象物！１７）！こ胃なる移動変位を
行　・う　。

第２図は前記スピンドル７の縦断面図を示し、このスピ
ンドル７は舒属等の導電材により形成されている。スピ
ンドル７にはスピン１゛ルアの長手方向に沿ってワ・イ
）・状の導電部）第２１が配置され、この導電部材２１
はスピンドル７の外面から離隔されつつ上下端が１〒持
部＋４２２．２３でＩＹ持され、導電部材２Ｉのトド端
の（采持は絶縁部材２４，２５を介して行われているた
めスピンドル７と導電部（イ２Ｉとは通常時電気的絶縁
１に態になっている。

第３図の１泊りスピンドル７ばＸ軸、Ｙ軸の水平四方向
に四側面が向いた平断面四角形状に７．ニー＞ており、
導電部材２１番よ、１れらの四側面に８−１個２１、へ
、２ｔ＋ｔ、２ｔｃ、２１１）設番ｌらｔｌていイ、。

、−の太！＋ｉ！！例では導電部ｔｔ　ｉシ１が異常検
出部１２〔ｉを構成［７、また導電部ｉｉ２＋と、■型
部材２１と１とｔ）に電気的スイッチ作用を角する導ｍ
　’ｆ’Ｆ゛スビ〉・Ｉ・ルア、トーで胃帛検出詫２７
が構成されろ。Ｗ常検出器２゛１１．１．置市部材２１
の個数が・１個であるため４　！ｆｕｌｌあり１、−（
１らの異常検出器２７は第４図のｉｍリスビントル・７
を共連瑞了と（７てへ￥７ｈ検出回＋’ｉ’ｐ、　２８
　’ｔ”＋９　ｋｈ　ｉ”５　ｔ’ｌ、ｎ　Ｓ　険ｊｊ
ｊ　回路２８　！；ｌ緊急１’ｌ　ＩＬ二回路２９を介
し、て前記駆・ｔ）１制御回路１９に接続、＼ね、てい
る。

次に作用について述べる。

プ「２グう１．６．ご２４づ＜　ＣＩ）　［１２ＣＩの
１トトガにより駆ｐ）制御囲路１つ、ドライバ＋６．１
７．１８を介し７て駆Φ１１装置を構成ＶるＹ軸、Ｘ軸
、Ｙ軸の丼モータ１３．１４．１５が駆ωＩし７１、−
れに４Ｌり検出−Ｙ−８が測定）・１女“ｌす＋９乙こ
）・１（−７て）［１χ・に一次元（多動を行い、ごの
相対ゾ次元（多１・Ｉ］変（☆量はＹ重重、×４曲、Ｙ
軸の各変１１７検出装置１０．１１．１２４こより検出
され、それぞれの変１１７険出゛装置１０．１１．’ｉ
、２からのＳｉｎ波、ｅｏｓ波の電気１ざ号は変位検出
回路３０．３１．３２において分割、波形整形され゛ζ
移動変位￥に応じた数のパルスが発信される。

このパルスの数はカウンタ３３，３４．３５において計
数され、計数！＋ｉ’ｆ信号はＣＰ　ｔ−１２０に入力
される。タッチ信号式プローブである検出子８が測定対
象物９の測定箇所に接触づ−ると検出′Ｆ８からタツ′
Ｊ−信号が発信され、これがＣＰ　Ｕ　２０に人力され
る。ごれＣ，″、よ勾タッチ信号発１１時ｔ２こおける
カウンタ３３，３４．３５からの計数（面信号に基づき
測定対象物９の形状、寸法等がＣＰ　ＩＪ　２０におい
て演算され、演算結果はＣＰ　ｔＪ　２０に接続された
表示装置に表示され、また、記録装置に記録される０ 検出子８がカウンタ３３．３４．．３５４こ接続されて
いる場合には、検出−Ｆ８からタッチ信号が発信される
とカウンタ３３，３４．３５で計数されたパルス数がホ
ールドされ、このホールドされたパルス数に基づきＣＰ
　Ｕ　２０において測定対象物９の寸法、形状等が演算
される。

例えば測定χ・↑象物９が代物台２　？、ｒ所定位置か
ら大きくかｉｔ　Ｍ　４１でセットされたり、−τ次元
測定撥の自動ｉ重転時Ｑこ作業に′ｈ＜過って三次圧測
定領域に丁７を出したりする上玉次元連動を行−，７い
ろスピンドル７に測定対象物９等が接触、０（いは衝突
する。このようなプ１：ＺグラムＹ定外のり■態が生し
たとき、スピンドル７には導電部）４２１が設けられて
いるため、１創定対象物９等は導電部＋４２１を横方向
から押圧して弾性的に撓ま１！′、この結果導電部材２
１はスピンドル７に接触して電気的閉ループの電電回路
が形成される。導電部（第２１はスピンドル７のに丁、
方向（Ｚ軸方向）の長さをｈ−するため、測定対象物９
等がスピンドル７の長手方向の任意の箇所に衝突等して
も電気的閉ループが形成される。

スピンドル７と導電部材２１とによるスイッチング作用
により電気信号が発生と７、この電気信号は異常検出回
路２８に送られてパルス−・の波形整形等の処理が行わ
れ、更に駆動制御回路１９に入ノＪさせるための増幅等
の処理が緊急停止回路２９においで行われイ）。緊急停
止１−、回路２９からの（ａ８乙こ、Ｉ、り駆動制御回
路Ｉ　Ｑ　ｌｉ：　ｌ−ラ・イハ１６．１７゜１８を介
して４ｉｊ記駆動装置のｈモータ］−３，１４゜１５を
停止Ｉ−さ・ｉ！、測定対象物９Ｇこ対するスピン１ル
ア、検出子８の移動変位を停止さ干る。こイ９により三
次元測定機の自動運転Ｃ５１緊急停止トされ、それ以上
の５”？常事態は防１トされる。

ｙ５常事態の発生原因となった測定対象物９等が取り除
かれると、導電部材２１はそれ自重の弾性力によりもと
の直線状態に復元する。

この実施例では異常検出回路２８と緊急停止）−回路２
９とにより駆１．．ｌｌ装置を緊急停止１ユさせるため
の緊急停止１手段３Ｇが構成されろ。この緊急停止１段
３６目駆動装置を直接停」Ｉさセるので（」なく、ブレ
ーキ装置を作動さセて駆動装置を間接的に停止にさせる
ものでもよい。

また異常検出回路２８の出力をＣＰＵ２０に入力させる
ことにより前記プログラムに割込ま…、これにより駆動
装置を緊急停往、させてもよく、更に異常検出回路２８
の出力をトライバ１６．１７゜１Ｂに入力させて％ｕΦ
）ｊ装置を緊急停止１さυるようにし２でも、Ｌい。、
−の、（−う（、′、構成した場合モ、二はＷ常検出回
路２Ｈによって緊、Ｓ、（ｔ’　、ｉｌｌｉ；段３６が
構成さ１１る。

第５図はスピンドル７打よび４個の導電部材２１が接続
される電気回路を異常検出、方向弁別回路３７とした場
合の実施例を示す。この回路３７は曲記巽常検出回路２
８と同様に電気的閉ノト−ブ電気回路からの信号をパル
スＱ、−波形整形等するとともに、Ｘ軸、Ｙ軸の水平四
方”向Ｃに　・致−υしめら才″１了スピンドル７に設
し１られた導電部材２１Ａ１２１Ｂ、２１Ｃ，２１ｒ）
のいずれの導電部＋４２１がスイソ千ング作用をＪ’ｉ
−）だかを判別する。、−れに、■、り測定対象物９等
がいずれの方向からスピンドル７に？ｆｉ突等したか弁
別され、異常検出、方向弁別回路３７からの信号はＣＩ
）　Ｌｌ　２０に送られて処理される。この結果、駆動
装置は緊急停止上するだυでなく、測定対象物９等が衝
突等した方向とは逆方向・＼スピンドル７を後退移動さ
せてスピン１ルア、検出子８を胃常事熊から回避さ−Ｉ
↓る。検重子８が測定対象物９の測定箇所に近づくまで
は測定時間の短縮のためスピンドル７はＸ軸、Ｙ軸の合
成方向に移動・佳しぬられるが、それ１ス後、検出子８
が測定箇所に接触ずろまではスピン（゛ルアは一般的に
Ｘ軸、Ｙ軸のいずれかの方向へ移動セしめられるため、
衝突等の方向の弁別のためには前記４個の導電部材２１
で足りる。

なお、Ｘ軸、Ｙ軸の合成方向移動中のスピンドル７に測
定対象物９等が衝突等する場合を考慮して導電部材２１
を第６図の通り配置してもよい。

即ち、導電部材２１の配置位置を平断面四角形のスピン
ドル７の四隅位置とし、４個の導電部材２１、Ｅ、２１
Ｆ、２１Ｇ、２１１１をＸ軸、Ｙ軸の対角水平四方向に
設けろ。導電部材２１が２個（例えば２１Ｂ、２１Ｆ）
同時に作動したときはＸ軸、Ｙ軸の四方向の一方向から
、また導電部＋４２１が１個（例えば２１Ｅ）作動した
ときは対角四方向の一方向から測定対象物９等がスピン
ドル７に衝突等したことを弁別できる。導電部材２１の
数は以−Ｌの各実施例の４個に限られず、例えば第３図
と第６図の実施例を８、■７ノ合わ−Ｕて８個としても
よく、また以Ｆ−の導電部材２１の配置はスピンｌ：’
　Ｊｌ・７が下ｉｕｉ面円正円形合にも適用できろ。

以上に才りいて、＋１；１記衝突晴のＪ】向の弁別を行
わない場合には、それぞれの導電部＋４２１を４（！列
または直列乙、二まとめて接続し２て異常検出回路２Ｂ
またはこれと同様な機能を有する電気回路に接続しても
よい。

第７図は導電部材２１を直線の緊張状態にすることがで
きる実施例を示す。導電？ｒＩＩ　＋４２１の下端は絶
縁部材３８を介Ｕ７て保持部十イ３９で保持され、１一
端は絶縁部材４０を介してばね４１で一ト方へ引っ張ら
れ、常に導電部材２１にばばね４１による引張力が作用
している。これに、Ｌると、導電部材２１はｉｍ常時直
綿状となって彎曲することはないため、スピンドル７に
接触して誤動作するのを防」ｌできる。

第８図はスピンドル７がプラスチ・ツク等の絶縁）イか
ら形成されている場合の実施例である。スピン１゛ルア
の外面には導電部材２１と対向し２て別の導電部＋４４
２が取イ・ｌ　ｉＪ　ｉｒ　ｆ、導電部材２１が導電部
材４２に接触する、二と？、ｒ　、１、り電気的閉ル・
−ブの電気回路が形成される。、１の実施例−ｅ　番；
ｌ導電部材２ＩがＷ常検出部２Ｇを構成するＬノーもｃ
、＝、２個の導電部１４２１．４２に３Ｆ、り異常検出
器２７が（ｈ成されろ。

第９図は異常検出器２７４発光器４３　、！１受光器４
４とで構成し２だ実施例を示す。前記スピンドル支持部
＋４６に１３１発光器４３、受光器４４のいず第１か−
かが設けられ、スじン］ルアの下端には・！第１と対向
し２て他方が設（Ｊられている。発光器４３がらのレー
ザ光線等の光が受光器４４で受光さねるが、スピンｌル
アの長手方向に沿った異常検出部２６と第７てのこの光
が測定対象物９等によっ”Ｃ遮断されるとスイッチング
作用が４．シ、前記各実施例と同様に駆動装置が停止１
、・１！シ、められろ。この実施例のように異常検出器
２７１＋光の信号流を利用した非接触型であっ−（もよ
く、例えばＢ３音波を利用した非接触型とずろこともで
きる。なお竿９図において４５はスピンｌルアのスピン
１ル支持部＋４６１、′ケ、１すイ）　Ｚ　！ｌ’１ｉ
ｌ−ｊノ向移Φ１１　ｐ−等円・ｔイ、たゾ〕ので１了
−・ス゛１”リング−（’：　ｈ　／：）、、以上の・
８実１＋ｉ＋・例の、［、・）にスピンｌル（，１ｉ！
う＋、Ｉ−る異常検出器Ｉニーｔ　（−［＾−な））θ
）を−採用できる。７Ｅ　Ａ・第１図Ｃ示ｊ−７た１−
次ｉｌ）、　？則定機、はＹ軸Ｊ、向移Φ！■ごりいて
検出Ｙ−が固定側で測定χ・■貨物が移φＩＪ側、Ｘ輔
方向移動１−ｊ　＋−１：び７Φ、ｈ方向狩φＩ＋　（
、、Ｍついては検出子が移！！Ｉ　＋！！ＩＩで測定対
象物が固定側の４？・イブでｉ’ｈつ）、−が、本発明
はＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各移「」−１ら［ｉｌ　ｆ、、二
ついて検出Ｙ、測定対象物のい１゛１）が固定側或いは
移動側であ−、でも適用−ｒき、要−孝Ｊｔばｉｒｌｌ
Ｉ　１ｉｈ−χ・（果物、し検出Ｙとが相対的に丁次尾
移φｊ１を行って測定対象物の第１法、彫状等を神Ｉ定
する一”次元側５’ｌｌ四−くうあれば６１、い、また
、前記実ｆｉｉｊｉ例では検出ｒは測定り・１象−１！
７Ｊに１と触することに、１、リタノチ信シー；を出力
−４る夕・・千仁壮代プロー−７゛でＬＦ）ったが１、
−の検出子のタイプも（ｆｌｎであり、例えばし、−リ
゛光線（、゛。１、る−Ｊｌ’　ｌき触型検出子であっ
てもよい１、 〔発明の効用〕 本発明に３１、れば、スピン１ルと測′ｌｉテ対象’Ｊ
）ノ」マ）測定作業者等とが接触１．７たり衝￥したり
するブｒ１グラム予定外の巽常事熊が生１″イ）と、ご
れ庖検出して三次元測定機の自動運転を緊急停止さ１！
ることができるため、作業者や機器の安全性を確保でき
、自動駆動型三次元測定機の実用化を図る十で有効であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は丁次元測定機の全体斜視図、第２図はスピンド
ルの４ＩＭ断面図、第３図は第２図のｍ−ｍ断面図、第
４図は三次元測定機の電気的構成４示ずブロック図、第
５図は別実施例に係る要部のブロック図、第６図は異常
検出部である導電部本ｉの配置位置に係る別実施例を示
す第３図と同様の図、第７図は導電部４イζこ引張力を
作用させた実施例を示すスピンドルの縦断面図、第８図
はスピンドルが絶縁材よりなる場合の実施例を示すスピ
ンドルの縦断面図、第９図番」異常検出器が発光器と受
光器とからなる実施例を示すスピンドル周辺の−・部断
面の図である。 ２・・・載物台、７・・・スピンドル、８・・・検出子
、９・・・測定対象物、２１．・１２・・・】、り型部
９４　、、２　Ｇ　・＝　’ＪＪ常検出部、５！７・・
・異常検出器、３０・・・緊急停＋１ｆ段、４３・・・
発光器、４４・・・受）ｖ４器、。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）載物台に載置された測定対象物と、本体構造に垂
   直方向に変位可能に支持されたスピンドルの先端に取り
   付けられた検出子とを三次元方向に相対移動させ、両者
   を関与させたときの相対移動変位量から前記測定対象物
   の形状、寸法等を測定する自動駆動型三次元測定機にお
   いて、前記スピンドルの外面と離隔しかつスピンドルの
   長手方向に沿った異常検出部を有するスピンドルに取り
   付けられた異常検出器と、この異常検出器の出力信号を
   受けて前記測定対象物と前記検出子とを相対移動させる
   ための駆動装置を緊急に停止させる緊急停止手段とから
   構成された安全装置を備えた自動駆動型三次元測定機。
2. （２）特許請求の範囲第１項において、前記異常検出器
   は前記相対移動方向における少なくとも水平四方向に対
   応して前記スピンドルに設けられていることを特徴とす
   る自動駆動型三次元測定機。