JPH0342768B2 - - Google Patents

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JPH0342768B2
JPH0342768B2 JP60190214A JP19021485A JPH0342768B2 JP H0342768 B2 JPH0342768 B2 JP H0342768B2 JP 60190214 A JP60190214 A JP 60190214A JP 19021485 A JP19021485 A JP 19021485A JP H0342768 B2 JPH0342768 B2 JP H0342768B2
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detector
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conductive member
measuring machine
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  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、自動駆動型三次元測定機に係り、特
にプログラムによる予設定モードに対して実モー
ドに差異が生じたときに作動する安全装置を設け
た三次元測定機に関する。
〔背景技術とその問題点〕
載物台に載置された測定対象物と、垂直方向に
変位可能なスピンドルの先端に取付けられた検出
子とを三次元的に相対移動させ、両者を接触等さ
せて関与せしめ、そのときの相対移動変位量から
測定対象物の形状、寸法等を測定する三次元測定
機が知られている。近年、前記相対移動をコンピ
ユータのプログラムにより自動的に行わせ、測定
作業の効率向上、省力化等を図るようにした自動
駆動型三次元測定機が普及しつつある。
従来、自動駆動型三次元測定機では、検出子と
して例えばタツチ信号式プローブを採用した場
合、机上の計算に基づいてまたは基準体に沿つて
倣い運転させて収拾したデータに基づいて測定対
象物とプローブとの相対移動軌跡や速度等をプロ
グラミングし、実測定は測定対象物を載物台に載
置固定したのちそのプログラムによつて自動駆動
することにより行つていた。プログラムの基準目
標値の手前で測定対象物と検出子とが関与したと
き、または基準目標値を行き過ぎて両者が関与し
たとき、あるいは測定対象物に対する検出子の相
対オーバーラン量が一定量を越えたとき前記相対
移動が停止されるようになつている。オーバーラ
ン許容量は検出子の構造に基づいて設定され、一
般的に数mmである。
ここで、いずれの場合であつても三次元測定機
の本体構造、駆動機構、イナーシヤ等の事項を考
慮して、タツチ信号式プローブからタツチ信号が
発信されると前記相対移動が減速または停止、ま
たは減速したのち停止するように構成されてい
た。
しかし、以上のように許容されるオーバーラン
量を越えたときに停止させたりタツチ信号が発信
されたときに減速、停止させたりする手段を講じ
ても、実用上問題が残されていた。すなわち、 測定対象物の測定面が予め定められた目標値
近傍にない場合には、低速切換え前の高速運転
中に検出子が測定面に激突し、測定データの収
拾が不能になるばかりか検出子、またはプラス
チツク等の軟弱測定対象物の場合にはその測定
対象物が破損するという問題がある。一方、低
速切換え後目標値を越えてもなお測定面に到達
しない場合にはいたずらに無駄な時間を費やす
ことになり、作業効率が低下するという問題が
生ずる。
測定対象物を前回測定時と同じ三次元的位置
で載物台に固定しないと、前記の不都合が顕
著かつ多くの箇所で生じることになり、このた
めこれを回避すべく極めて精巧な取付治具を測
定対象物毎に準備しなければならず、またその
取付け、取り外しの作業とともに経済的負担も
大きい。
測定対象物が所定位置から大きくかけ離れて
載物台にセツトされているときには、検出子以
外の測定機構造物が測定対象物に激突するた
め、測定機構造物は検出子のオーバーストロー
クの如き吸収特性を有しないからその破損等は
著しいものになる。
自動駆動型三次元測定機には各種のタイプが
あり、特に必ずしも測定対象物の測定点の全て
を自動測定するように構成されていないもの、
またはそのように運用されないものがある。例
えば、同じプログラムで近似的測定対象物につ
いて駆動運転し、その余りは検出子の代わりの
補助測定器による測定データで補正するように
したものがある。
このようなタイプの三次元測定機の自動運転
中に測定機構造物が測定作業者に衝突しあるい
は測定機構造物と測定対象物との間に作業者が
挟まれ、機器の破損が発生するばかりか作業者
の安全対策上問題が生じていた。
測定機構造物との接触、衝突事故は以上の他
に例えば他の長寸部材の搬入時にこれが過つて
測定範囲内に突出した場合や測定作業者以外の
者が覗き込む行為を行つた場合等にも生じる。
〔発明の目的〕
本発明は、以上の各問題は三次元測定機がNC
工作機械の如く加工目標値に向かつて駆動制御さ
れるのとは異なり、測定すべき真値がその中に含
まれている一定幅をもついわば目安的目標値に対
して駆動運転されるという特殊性を有すること、
また、測定精度がμm単位で測定力が例えば50g
程度の精巧な測定条件となつていること、更には
測定対象物と測定機構造物とが三次元の相対移動
を行い、しかもこの相対移動が基台から突出した
箇所で行われること、などの固有の特性に起因し
て生じていると認識されて成されたものであり、
検出子の作動前の異常を察知して具体的処置を行
う安全装置を自動駆動型の三次元測定機に装備す
べく本発明は成された。
本発明の目的は、測定機構造物であるスピンド
ル載物台に所定位置から大きくかけ離れてセツト
された測定対象物や、測定作業者に接触や衝突し
たり、測定作業者がスピンドルと測定対象物との
間に挟まれたりするプログラム予定外の緊急事態
が生じたときにこれを検出し、自動運転を停止さ
せて作業者、機器の安全を確保できるようにした
自動駆動型三次元測定機を提供するところにあ
る。
〔問題点を解決するための手段および作用〕
このため本発明に係る自動駆動型三次元測定機
は、載物台に載置された測定対象物と、本体構造
に垂直方向に変位可能に支持されたスピンドルの
先端に取り付けられた検出子とを三次元方向に相
対移動させ、両者を関与させたときの相対移動変
位量から前記測定対象物の形状、寸法等を測定す
る自動駆動型三次元測定機において、導電性材料
からなる前記スピンドル、およびこのスピンドル
の外面と離隔しかつスピンドルの長手方向に長さ
が延びる導電部材を含んで構成された異常検出器
と、前記導電部材が前記スピンドルに接触するこ
とによるこの異常検出器からの出力信号を受けて
前記測定対象物と前記検出子とを相対移動させる
ための駆動装置を緊急に停止させる緊急停止手段
とから構成された安全装置を備えている。
作業者などがスピンドルに接触する異常事態発
生時には導電部材はこの作業者などに押圧されて
スピンドルに接触し、これにより異常検出器はス
イツチング作動する。異常検出器が出力信号を発
信すると、緊急停止手段により駆動装置の駆動が
停止されてそれ以上の異常事態が防止される。前
記導電部材を相対移動方向における少なくとも水
平四方向に設けると、駆動装置を停止させるだけ
でなく、前記接触などの発生方向とは逆方向へ三
次元測定機を後退駆動させることが可能になる。
〔実施例〕
第1図は本実施例に係る三次元測定機の全体斜
視図である。基台1には載物台2がY軸方向へ移
動自在に配置され、基台1の左右側面に固定され
た支柱3の上部には横桁部材4が横断配置されて
いる。横桁部材4にはスライダ5がX軸方向へ摺
動自在に設けられ、スライダ5と一体化されたス
ピンドル支持部材6にはスピンドル7が垂直方向
すなわちZ軸方向に移動自在に支持されている。
スピンドル7の下端には検出子8が装着され、本
実施例ではこの検出子8は載物台2に載置固定さ
れた測定対象物9に接触することによりタツチ信
号を出力するタツチ信号式プローブになつてい
る。
基台1に対して載物台2が移動することにより
検出子8と測定対象物9とのY軸方向への相対移
動がなされ、またスライダ5が横桁部材4に対し
て移動することにより検出子8は測定対象物9に
対してX軸方向へ移動し、スピンドル支持部材6
に対してスピンドル7が移動変位することにより
検出子8と測定対象物9との間でZ軸方向への相
対移動が生ずる。以上の直交三軸方向への相対移
動変位量は基台1と載物台2との間に設けられた
Y軸変位検出装置10(第4図参照)、横桁部材
4とスライダ5との間に設けられたX軸変位検出
装置11、スピンドル支持部材6とスピンドル7
との間に設けられたZ軸変位検出装置12により
検出され、これらの検出装置10,11,12は
光学的スケール、光電変換素子等により構成され
ている。
載物台2のY軸方向移動、スライダ5のX軸方
向移動、スピンドル7のZ軸方向移動は第4図で
示したY軸、X軸、Z軸の各モータ13,14,
15を駆動源とする駆動装置により行われ、この
駆動装置は例えば送りねじ軸やプーリ、ベルト等
により構成されている。それぞれのモータ13,
14,15はドライバ16,17,18及び駆動
制御回路19を介してCPU(中央処理装置)20
に接続され、CPU20は前記検出装置10,1
1,12による電気信号のデータに基づいて測定
対象物9の形状、寸法等を求める演算機能を有す
るとともに、予め設定されたプログラムに従いそ
れぞれのモータ13,14,15毎に設けられた
ドライバ16,17,18を制御する駆動制御回
路19に電気指令信号を出力する機能を有し、こ
れによりプログラム通りに各モータ13,14,
15の起動タイミング、回転数、回転速度等が制
御され、前記検出子8が測定対象物9に対して自
動的に三次元軌跡の描きながら移動し、三次元測
定が行われる。
ここで、前記プログラムはNC工作機械のよう
に検出子8を一定の目標値に向かつて駆動制御す
るように設定されておらず、ある幅を持ついわば
目安的目標値に向つて検出子8が駆動制御される
ように設定されており、この目安的目標値の中に
測定すべき真値が含まれ、それぞれの測定対象物
9毎に異なる真値に対応できるようになつてい
る。従つてスピンドル7、検出子8は目安的目標
値の幅内では測定対象物9毎に異なる移動変位を
行う。
第2図は前記スピンドル7の縦断面図を示し、
このスピンドル7は金属等の導電材により形成さ
れている。スピンドル7にはスピンドル7の長手
方向に沿つてワイヤ状の導電部材21が配設さ
れ、この導電部材21はスピンドル7の外面から
離隔されつつ上下端が保持部材22,23で保持
され、導電部材21の上下端の保持は絶縁部材2
4,25を介して行われているためスピンドル7
と導電部材21とは通常時電気的絶縁状態になつ
ている。第3図の通りスピンドル7はX軸、Y軸
の水平四方向に四側面が向いた平断面四角形状に
なつており、導電部材21はこれらの四側面に各
1個21A,21B,21C,21D設けられて
いる。
この実施例では導電部材21が異常検出部26
を構成し、また導電部材21と、導電部材21と
ともに電気的スイツチ作用を有する導電性スピン
ドル7とで異常検出器27が構成される。異常検
出器27は導電部材21の個数が4個であるため
4個あり、これらの異常検出器27は第4図の通
りスピンドル7を共通端子として異常検出回路2
8に接続され、異常検出回路28は緊急停止回路
29を介して前記駆動制御回路19に接続されて
いる。
次に作用について述べる。
プログラムに基づくCPU20の作動により駆
動制御回路19、ドライバ16,17,18を介
して駆動装置を構成するY軸、X軸、Z軸の各モ
ータ13,14,15が駆動し、これにより検出
子8が測定対象物9に対して相対三次元移動を行
い、この相対三次元移動変位量はY軸、X軸、Z
軸の各変位検出装置10,11,12により検出
され、それぞれの変位検出装置10,11,12
からのsin波、cos波の電気信号は変位検出回路3
0,31,32において分割、波形整形されて移
動変位量に応じた数のパルスが発信される。この
パルスの数はカウンタ33,34,35において
計数され、計数値信号はCPU20に入力される。
タツチ信号式プローブである検出子8が測定対象
物9の測定箇所に接触すると検出子8からタツチ
信号が発信され、これがCPU20に入力される。
これによりタツチ信号発信時におけるカウンタ3
3,34,35からの計数値信号に基づき測定対
象物9の形状、寸法等がCPU20において演算
され、演算結果はCPU20に接続された表示装
置に表示され、また、記録装置に記録される。
検出子8がカウント33,34,35に接続さ
れている場合には、検出子8からタツチ信号が発
信されるとカウンタ33,34,35で計数され
たパルス数がホールドされ、このホールドされた
パルス数に基づきCPU20において測定対象物
9の寸法、形状等が演算される。
例えば測定対象物9が載物台2に所定位置から
大きくかけ離れてセツトされたり、三次元測定機
の自動運転時に作業者が過つて三次元測定領域に
手を出したりすると三次元運動を行つているスピ
ンドル7に測定対象物9等が接触、或いは衝突す
る。このようなプログラム予定外の事態が生じた
とき、スピンドル7には導電部材21が設けられ
ているため、測定対象物9等は導電部材21を横
方向から押圧して弾性的に撓ませ、この結果導電
部材21はスピンドル7に接触して電気的閉ルー
プの電気回路が形成される。導電部材21はスピ
ンドル7の長手方向(Z軸方向)の長さを有する
ため、測定対象物9等がスピンドル7の長手方向
の任意の箇所に衝突等しても電気的閉ループが形
成される。
スピンドル7と導電部材21とによるスイツチ
ング作用により電気信号が発生し、この電気信号
は異常検出回路28に送られてパルスへの波形整
形等の処理が行われ、更に駆動制御回路19に入
力させるための増幅等の処理が緊急停止回路29
において行われる。緊急停止回路29からの信号
により駆動制御回路19はドライバ16,17,
18を介して前記駆動装置の各モータ13,1
4,15を停止させ、測定対象物9に対するスピ
ンドル7、検出子8の移動変位を停止させる。こ
れにより三次元測定機の自動運転は緊急停止さ
れ、それ以上の異常状態は防止される。
異常事態の発生原因となつた測定対象物9等が
取り除かれると、導電部材21はそれ自身の弾性
力によりもとの直線状態に復元する。
この実施例では異常検出回路28と緊急停止回
路29とにより駆動装置を緊急停止させるための
緊急停止手段36が構成される。この緊急停止手
段36は駆動装置を直接停止させるのではなく、
ブレーキ装置を作動させて駆動装置をい間接的に
停止させるものでもよい。
また異常検出回路28の出力をCPU20に入
力させることにより前記プログラムに割込ませ、
これにより駆動装置を緊急停止させてもよく、更
に異常検出回路28の出力をドライバ16,1
7,18に入力させて駆動装置を緊急停止させる
ようにしてもよい。このように構成した場合には
異常検出回路28によつて緊急停止手段36が構
成される。
第5図はスピンドル7および4個の導電部材2
1が接続される電気回路を異常検出、方向弁別回
路37とした場合の実施例を示す。この回路37
は前記異常検出回路28と同様に電気的閉ループ
電気回路からの信号をパルスに波形整形等すると
ともに、X軸、Y軸の水平四方向に一致せしめら
れてスピンドル7に設けられた導電部材21A,
21B,21C,21Dのいずれの導電部材21
がスイツチング作用を行つたかを判別する。これ
により測定対象物9等がいずれの方向からスピン
ドル7に衝突等したか弁別され、異常検出、方向
弁別回路37からの信号はCPU20に送られて
処理される。この結果、駆動装置は緊急停止する
だけでなく、測定対象物9等が衝突等した方向と
は逆方向へスピンドル7を後退移動させてスピン
ドル7、検出子8を異常事態から回避させる。検
出子8が測定対象物9の測定箇所に近づくまでは
測定時間の短縮のためスピンドル7はX軸、Y軸
の合成方向に移動せしめられるが、それ以後、検
出子8が測定箇所に接触するまではスピンドル7
は一般的にX軸、Y時軸のいずれかの方向へ移動
せしめられるため、衝突等の方向の弁別のために
は前記4個の導電部材21で足りる。
なお、X軸、Y軸の合成方向移動中のスピンド
ル7に測定対象物9等が衝突等する場合を考慮し
て導電部材21を第6図の通り配置してもよい。
即ち、導電部材21の配置位置を平断面四角形の
スピンドル7の四隅位置とし、4個の導電部材2
1E,21F,21G,21HをX軸、Y軸の対
角水平四方向に設ける。導電部材21が2個(例
えば21E,21F)同時に作動したときはX
軸、Y軸の四方向に一方向から、また導電部材2
1が1個(例えば21E)作動したときは対角四
方向の一方向から測定対象物9等がスピンドル7
に衝突等したことを弁別できる。導電部材21の
数は以上の各実施例の4個に限られず、例えば第
3図と第6図の実施例を組み合わせて8個として
もよく、また以上の導電部材21の配置はスピン
ドル7が平断面円形の場合にも適用できる。
以上において、前記衝突等の方向の弁別を行わ
ない場合には、それぞれの導電部材21を並列ま
たは直列にまとめて接続して異常検出回路28ま
たはこれと同様な機能を有する電気回路に接続し
てもよい。
第7図は導電部材21を直線の緊張状態にする
ことができる実施例を示す。導電部材21の下端
は絶縁部材38を介して保持部材39で保持さ
れ、上端は絶縁部材40を介してばね41で上方
へ引つ張られ、常に導電部材21にはばね41に
よる引張力が作用している。これによると、導電
部材21は通常時直線状となつて攣曲することは
ないため、スピンドル7に接触して誤動作するの
を防止できる。
なお第1図で示した三次元測定機はY軸方向移
動について検出子が固定側で測定対象物が移動
側、X軸方向移動およびZ軸方向移動については
検出子が移動側で測定対象物が固定側のタイプで
あつたが、本発明はX軸、Y軸、Z軸の各移動方
向について検出子、測定対象物のいずれが固定側
或いは移動側であつても適用でき、要すれば測定
対象物と検出子とが相対的に三次元移動を行つて
測定対象物の寸法、形状等を測定する三次元測定
機であればよい。また、前記実施例では検出子は
測定対象物に接触することによりタツチ信号を出
力するタツチ信号式プローブであつたが、この検
出子のタイプも任意であり、例えばレーザ光線に
よる非接触型検出子であつてもよい。
〔発明の効果〕
本発明によれば、スピンドルと測定対象物や測
定作業者等とが接触したり衝突したりするプログ
ラム予定外の異常事態が生ずると、これを検出し
て三次元測定機の自動運転を緊急停止させること
ができるため、作業者や機器の安全性を確保で
き、自動駆動型三次元測定機の実用化を図る上で
有効である。
【図面の簡単な説明】
第1図は三次元測定機の全体斜視図、第2図は
スピンドルの縦断面図、第3図は第2図の−
断面図、第4図は三次元測定機の電気的構成を示
すブロツク図、第5図は別実施例に係る要部のブ
ロツク図、第6図は異常検出部である導電部材の
配置位置に係る別実施例を示す第3図と同様の
図、第7図は導電部材に引張力を作用させた実施
例を示すスピンドルの縦断面図である。 2……載置台、7……スピンドル、8……検出
子、9……測定対象物、21……導電部材、27
……異常検出器、36……緊急停止手段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 載物台に載置された測定対象物と、本体構造
    に垂直方向に変位可能に支持されたスピンドルの
    先端に取り付けられた検出子とを三次元方向に相
    対移動させ、両者を関与させたときの相対移動変
    位量から前記測定対象物の形状、寸法等を測定す
    る自動駆動型三次元測定機において、導電性材料
    からなる前記スピンドル、およびこのスピンドル
    の外面と離隔しかつスピンドルの長手方向に長さ
    が延びる導電部材を含んで構成された異常検出器
    と、前記導電部材が前記スピンドルに接触するこ
    とによるこの異常検出器からの出力信号を受けて
    前記測定対象物と前記検出子とを相対移動させる
    ための駆動装置を緊急に停止させる緊急停止手段
    とから構成された安全装置を備えた自動駆動型三
    次元測定機。 2 特許請求の範囲第1項において、前記導電部
    材は前記相対移動方向における少なくとも水平四
    方向に設けられていることを特徴とする自動駆動
    型三次元測定機。
JP19021485A 1985-08-28 1985-08-28 自動駆動型三次元測定機 Granted JPS6249205A (ja)

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JPS6249205A JPS6249205A (ja) 1987-03-03
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3833680A1 (de) * 1988-10-04 1990-04-05 Zeiss Carl Fa Schutzeinrichtung fuer langgestreckte maschinenteile
DE4130990A1 (de) * 1991-09-18 1993-03-25 Zeiss Carl Fa Schutzeinrichtung fuer langgestreckte maschinenteile

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5735604B2 (ja) * 1975-03-04 1982-07-30
JPS6042547B2 (ja) * 1981-10-08 1985-09-24 三菱電機株式会社 半導体記憶装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6216647Y2 (ja) * 1980-08-08 1987-04-27
JPS6042547U (ja) * 1983-08-27 1985-03-26 遠州製作株式会社 ツ−ルタツチセンサの安全装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5735604B2 (ja) * 1975-03-04 1982-07-30
JPS6042547B2 (ja) * 1981-10-08 1985-09-24 三菱電機株式会社 半導体記憶装置

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