JPS6244941A - 透過型電子顕微鏡における試料の観察方法 - Google Patents
透過型電子顕微鏡における試料の観察方法Info
- Publication number
- JPS6244941A JPS6244941A JP18184585A JP18184585A JPS6244941A JP S6244941 A JPS6244941 A JP S6244941A JP 18184585 A JP18184585 A JP 18184585A JP 18184585 A JP18184585 A JP 18184585A JP S6244941 A JPS6244941 A JP S6244941A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- sample
- electron beam
- electron
- electron microscope
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は透過型電子顕微鏡における試料の観測方法に
係り、特に対物レンズ中に試料を配置するタイプの電子
顕微鏡で磁性体等の試料を観察する場合の電子顕微鏡に
おける試料の観察方法に関する。
係り、特に対物レンズ中に試料を配置するタイプの電子
顕微鏡で磁性体等の試料を観察する場合の電子顕微鏡に
おける試料の観察方法に関する。
一般に透過型電子顕微鏡にあっては、試料は対物レンズ
のポールピースの間に設置され、この試料に電子線を照
射し、この試料を透過した電子線を下段の電子レンズで
拡大して蛍光板等に照射することにより試料の拡大像を
得るようにしている。
のポールピースの間に設置され、この試料に電子線を照
射し、この試料を透過した電子線を下段の電子レンズで
拡大して蛍光板等に照射することにより試料の拡大像を
得るようにしている。
従って試料は対物レンズ中に位置するから、強力な磁場
に曝されることとなり、磁性体等を磁場の影響のない状
態で観察するには不適当である。
に曝されることとなり、磁性体等を磁場の影響のない状
態で観察するには不適当である。
そこで、このような場合には試料が磁場に曝されないよ
うにして観察しなければならない。
うにして観察しなければならない。
このため、従来においては、このような電子顕微鏡を用
いて磁性体の観察を行なうには、例えば、試料付近にお
いて磁場の強度を小さくした特殊な対物レンズをこの電
子顕微鏡取り付けて観察する方法を用いる。
いて磁性体の観察を行なうには、例えば、試料付近にお
いて磁場の強度を小さくした特殊な対物レンズをこの電
子顕微鏡取り付けて観察する方法を用いる。
また、このような特殊な対物レンズを使用しない観察方
法としては、通常の対物レンズの励磁を停止トして試料
付近の磁場をなくし、試料に後続する後段の電子レンズ
により拡大像を得るようにする方法も用いられる。
法としては、通常の対物レンズの励磁を停止トして試料
付近の磁場をなくし、試料に後続する後段の電子レンズ
により拡大像を得るようにする方法も用いられる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
ところで、このような磁性体の観察においても、高分解
能（例えば２ｎｍ以下）で観察を行ないたい場合がある
。このような場合、上述した特殊な対物レンズを用いる
方法ではこのような観察は可能であるが、新たな対物レ
ンズを準備しなければならないし、また対物レンズの交
換作業は煩雑である。
能（例えば２ｎｍ以下）で観察を行ないたい場合がある
。このような場合、上述した特殊な対物レンズを用いる
方法ではこのような観察は可能であるが、新たな対物レ
ンズを準備しなければならないし、また対物レンズの交
換作業は煩雑である。
また、Ｌ述した第２の観察方法にあっては、対物レンズ
の交換は不要で容易であるが、結像系の球面収差及び色
収差が極めて大きくなり高分解能を得ることはできない
、という問題点がある。
の交換は不要で容易であるが、結像系の球面収差及び色
収差が極めて大きくなり高分解能を得ることはできない
、という問題点がある。
この発明は以上の問題点を解決して対物レンズを交換す
ることなく磁性体等の試料高分解能の像を得ることがで
きるようにするため、対物レンズの励磁を停止ｌ二して
試料への磁気の影響を軽微なものとし、試料の後段に位
置するレンズにより拡大像を形成する透過型電子顕微鏡
における試料の観察方法において、電子線の加速電圧を
Ｕボルト、相対論補正した電子線の加速電圧をＵ″ボル
トト記試料の後段に位置するレンズのギャップをＳミリ
メートル、孔径を５３９メートルとしたとき、２ａ＝０
．９７（ｓ２ ＋０．４５ｂ２）” を満足Ｌ、−ト
記レンズの磁場分布の半イメ幅を表す定数なａ、ｉ ＝
８．７８Ｘ １０−７なる定数をε（１／ボルト）と
したとき、試料と上記レンズとの距離を、２１ ≧４
ａ Ｚｌ ＜４Ｘ ｌ ０−２ａｊ Ｕ’士亭す ｚＬ ≦１Ｏ−６Ｕ ／（１＋２εＵ）の各条件を満
たす値Ｚｔ ミリメートルとするー・方、上記レンズ
の焦点距離を、 Ｆ［≦Ｚｌ の条件を満たすＦＬ ミリメートルとすると共に、上
記レンズのみによる電子線の拡大率を２以上にするよう
にした。
ることなく磁性体等の試料高分解能の像を得ることがで
きるようにするため、対物レンズの励磁を停止ｌ二して
試料への磁気の影響を軽微なものとし、試料の後段に位
置するレンズにより拡大像を形成する透過型電子顕微鏡
における試料の観察方法において、電子線の加速電圧を
Ｕボルト、相対論補正した電子線の加速電圧をＵ″ボル
トト記試料の後段に位置するレンズのギャップをＳミリ
メートル、孔径を５３９メートルとしたとき、２ａ＝０
．９７（ｓ２ ＋０．４５ｂ２）” を満足Ｌ、−ト
記レンズの磁場分布の半イメ幅を表す定数なａ、ｉ ＝
８．７８Ｘ １０−７なる定数をε（１／ボルト）と
したとき、試料と上記レンズとの距離を、２１ ≧４
ａ Ｚｌ ＜４Ｘ ｌ ０−２ａｊ Ｕ’士亭す ｚＬ ≦１Ｏ−６Ｕ ／（１＋２εＵ）の各条件を満
たす値Ｚｔ ミリメートルとするー・方、上記レンズ
の焦点距離を、 Ｆ［≦Ｚｌ の条件を満たすＦＬ ミリメートルとすると共に、上
記レンズのみによる電子線の拡大率を２以上にするよう
にした。
本発明によれば、試料と電子レンズとの距離Ｚ［を、
Ｚｌ ≧４ａ
としており、試料に影響を与える磁場は軽微なものとな
る。これは試料後段に位置し、磁極間隔をＳ、孔径をｂ
とした電子レンズ付近の磁場の分布は第１図に示すよう
に光軸Ｚ方向にレンズの磁極中心において最大値がＢｅ
となるような分布となる。ここで、 ２ ａ＝０．８７ （Ｓ２ ＋０．４５ｂ２ ）”で表
される磁場の最大値Ｂｅの半値幅をａとしたとき、位置
２における磁場の強さＢｚが最大強度Ｂｅの０．０１倍
となるｚ ／ ａのｓ ／ ｂの変化に対するグラフを
描くと第２図のようになり、ｓ／ｂをどのような値とし
ても、Ｚ ／ ａが４以上であれば位置２における磁場
の強さは必ず最大強度Ｂａの０．０１倍以下となる。
る。これは試料後段に位置し、磁極間隔をＳ、孔径をｂ
とした電子レンズ付近の磁場の分布は第１図に示すよう
に光軸Ｚ方向にレンズの磁極中心において最大値がＢｅ
となるような分布となる。ここで、 ２ ａ＝０．８７ （Ｓ２ ＋０．４５ｂ２ ）”で表
される磁場の最大値Ｂｅの半値幅をａとしたとき、位置
２における磁場の強さＢｚが最大強度Ｂｅの０．０１倍
となるｚ ／ ａのｓ ／ ｂの変化に対するグラフを
描くと第２図のようになり、ｓ／ｂをどのような値とし
ても、Ｚ ／ ａが４以上であれば位置２における磁場
の強さは必ず最大強度Ｂａの０．０１倍以下となる。
従って、実際には、Ｂｅの大きさは、数ＫＧａｕｓｓ程
度であるので、試料付近の磁場を数十〇ａｕｓｓ以下に
することができる。
度であるので、試料付近の磁場を数十〇ａｕｓｓ以下に
することができる。
また本発明によれば、この電子レンズのみによる電子線
の拡大率を２以上としており、このレンズの球面色収差
及び色収差を少ないものとすることができる。
の拡大率を２以上としており、このレンズの球面色収差
及び色収差を少ないものとすることができる。
これは、一般に電子レンズの球面収差係数Ｃｓ、色収差
係数Ｃｃは ” ＝ １２８ｍｏｌＪ’ Ｌ ［（９−Ｂ ｉ’
ｔ ９ Ｂ’ Ｚつ’Ｊ”−ｓｓｚ’、）”ｙ”）Ｌｚ
と表わされる。ここでｅは電子の電荷、ｍｏは電子の質
駄、Ｕ は相対補正された加速電圧、ｙは電子線の軌道
、ＢＺは電子レンズの光軸−ににおける磁場の分布、Ｚ
Ｏは試料の位置、Ｚｌは像面の位置を示している。この
式に一般的に用いられる電子レンズの値を代入して、拡
大率Ｚ ｌ ／ Ｚ ６に対するＣ ｓ 、 Ｃｃの
値をグラフとすると第３図及び第４図に示すようになる
。拡大率２以下では。
係数Ｃｃは ” ＝ １２８ｍｏｌＪ’ Ｌ ［（９−Ｂ ｉ’
ｔ ９ Ｂ’ Ｚつ’Ｊ”−ｓｓｚ’、）”ｙ”）Ｌｚ
と表わされる。ここでｅは電子の電荷、ｍｏは電子の質
駄、Ｕ は相対補正された加速電圧、ｙは電子線の軌道
、ＢＺは電子レンズの光軸−ににおける磁場の分布、Ｚ
Ｏは試料の位置、Ｚｌは像面の位置を示している。この
式に一般的に用いられる電子レンズの値を代入して、拡
大率Ｚ ｌ ／ Ｚ ６に対するＣ ｓ 、 Ｃｃの
値をグラフとすると第３図及び第４図に示すようになる
。拡大率２以下では。
Ｃｓ、Ｃｃは急速に大きくなる。これによりＺｌ／Ｚｏ
の値を２以−Ｌとすれば、球面収差係数Ｃｓ、色収差係
数Ｃｃの値を小さいものとすることができることがわか
る。
の値を２以−Ｌとすれば、球面収差係数Ｃｓ、色収差係
数Ｃｃの値を小さいものとすることができることがわか
る。
さらに本発明においては、
’１１ ≦４Ｘ １０−２ａ＋ Ｕ” ０８．
（ｆ：）としているから、試料の高分解能で試料の観察
ができる。即ち、薄い試料の球面収差による分解能限界
δＳは、 ８５ ＝０．８５Ｃ，↓ え” 、＠で表される。但
し電子線の波長を入とした。
（ｆ：）としているから、試料の高分解能で試料の観察
ができる。即ち、薄い試料の球面収差による分解能限界
δＳは、 ８５ ＝０．８５Ｃ，↓ え” 、＠で表される。但
し電子線の波長を入とした。
また、色収差により、
なるコントラストの減衰を受は分解能が低下する。
但し、ｋは空間周波数、ΔＵは電子源のエネルギー分布
幅であり、通常２ｅＶ程度である。
幅であり、通常２ｅＶ程度である。
■式から色収差による分解能限界δ。が導かれる。
またＩＺｏ ｌ＞＞ａ、Ｚｌ ＞＞ａのとき（本発明
の場合ＩＺｏｌ≧４ａ、Ｚｌ≧８ａである）、比較的弱
い励磁の電子レンズでは、球面収差係数Ｃ８、色収差係
数Ｃｃは近似的に ｃ ｃ ＝ −７Ｏ（訃−１） ・・・■と表
される。ｌ Ｚ＋ ／Ｚｏ ｌ≧２なる場合（レンズ
の拡大率は本発明においては２以−Ｌである）には、０
０式よりδＳ≦２ｎｍを得るレンズ位置Ｚｃ （＝ｌ
Ｚｏ ｌ）の条件として、■式が、また００式よりδ
Ｓ≦２ｎｍを得る条件として０式が得られる。
の場合ＩＺｏｌ≧４ａ、Ｚｌ≧８ａである）、比較的弱
い励磁の電子レンズでは、球面収差係数Ｃ８、色収差係
数Ｃｃは近似的に ｃ ｃ ＝ −７Ｏ（訃−１） ・・・■と表
される。ｌ Ｚ＋ ／Ｚｏ ｌ≧２なる場合（レンズ
の拡大率は本発明においては２以−Ｌである）には、０
０式よりδＳ≦２ｎｍを得るレンズ位置Ｚｃ （＝ｌ
Ｚｏ ｌ）の条件として、■式が、また００式よりδ
Ｓ≦２ｎｍを得る条件として０式が得られる。
即ち、ＺＬが両式■■を満たすことにより分解能として
２ｎｍを得ることができる。
２ｎｍを得ることができる。
また、実際の電子顕微鏡の結像においては、該レンズと
後段のレンズとで１個の実像を形成することがあるが、
この場合、ｃｓ、ｃｃが大きくなり易い。
後段のレンズとで１個の実像を形成することがあるが、
この場合、ｃｓ、ｃｃが大きくなり易い。
本発明では、上記レンズの焦点距離をＦ［≦Ｚ［なるＦ
［ミリメートルとしているから、球面収差係数Ｃ５の値
は小さなものとなり、高分解能の像を得ることができる
。これは第５図に示すように、ｆｌ ≦７１ （即ち−
ｋ 〉Ｏ）の範囲では球面収差係数がそれほど大きくな
らないためである。なお、この図においては、一般的な
値として、Ｚｚ（＝ ｌＺｏ ｌ）＝５０ｍｍ、ＺＬ
２＝１５０ｍｍとし、第６図に示すように、同一の個所
Ｚ２＝２００ｍｍに像が形成されるようレンズ■及びレ
ンズＩＩの励磁を変化させて、プロットしたものである
。
［ミリメートルとしているから、球面収差係数Ｃ５の値
は小さなものとなり、高分解能の像を得ることができる
。これは第５図に示すように、ｆｌ ≦７１ （即ち−
ｋ 〉Ｏ）の範囲では球面収差係数がそれほど大きくな
らないためである。なお、この図においては、一般的な
値として、Ｚｚ（＝ ｌＺｏ ｌ）＝５０ｍｍ、ＺＬ
２＝１５０ｍｍとし、第６図に示すように、同一の個所
Ｚ２＝２００ｍｍに像が形成されるようレンズ■及びレ
ンズＩＩの励磁を変化させて、プロットしたものである
。
以りのように、本発明によれば、試料の強力な磁場中に
おくことなく、高分解能で観察することができることと
なる。
おくことなく、高分解能で観察することができることと
なる。
以下本発明に係るの透過型電子顕微鏡における試料の観
察方法実施例を説明する。
察方法実施例を説明する。
本実施例において電子顕微鏡は対物レンズ内に試料を設
置して観察するタイプのものであり、通常は試料に強い
磁場が作用するものである。
置して観察するタイプのものであり、通常は試料に強い
磁場が作用するものである。
そしてこの電子顕微鏡を用い試料である磁性体を観察す
るには、先ず対物レンズの励磁を停止する。これで試料
には対物レンズの磁力は影響を与えなくなる。そして、
この試料に電子線を入射して、試料の後段の電子レンズ
によって拡大像を形成する。そして、この電子レンズと
試料との距離ＺＬ を本願発明の条件とする。本実施例
においては、電子レンズのギャップＳを１０ｍｍ、孔径
Ｓを１０ｍｍとすると、距１ｌＩｌ：ＺＩ は第７図に
おいて曲線１，２．３に囲まれた範囲とすればよい。
るには、先ず対物レンズの励磁を停止する。これで試料
には対物レンズの磁力は影響を与えなくなる。そして、
この試料に電子線を入射して、試料の後段の電子レンズ
によって拡大像を形成する。そして、この電子レンズと
試料との距離ＺＬ を本願発明の条件とする。本実施例
においては、電子レンズのギャップＳを１０ｍｍ、孔径
Ｓを１０ｍｍとすると、距１ｌＩｌ：ＺＩ は第７図に
おいて曲線１，２．３に囲まれた範囲とすればよい。
図において曲線１は、
ｉ 摩士
ＺＬ≦４Ｘ１０−２ａ’ Ｕ
を満足するもので７１はこの曲線より下に位置しなけれ
ばならない。また曲＆１ｉＩ２は、Ｚｌ ＜ Ｉ ０−
６Ｕ’／ （１＋ ｅ Ｕ）を満足するもので、Ｚｌは
この曲線より下に位置しなければならない。
ばならない。また曲＆１ｉＩ２は、Ｚｌ ＜ Ｉ ０−
６Ｕ’／ （１＋ ｅ Ｕ）を満足するもので、Ｚｌは
この曲線より下に位置しなければならない。
さらに曲線３は、
Ｚ［≧４ａ
を満足するもので、Ｚｌ はこの曲線より−にに位置し
なければならない。
なければならない。
例えば電子線の加速電圧が１２０ＫＶである場合には（
第６図中縦線で示した）、Ｚｌは曲線ｌの条件より４５
ｍｍ以下、曲線２の条件より４０ｍｍ以下、曲線３の条
件より２３ｍｍ以」；となる。これらを総合すると、Ｚ
ｌ は２３ｍｍ以上４０ｍｍ以下にすればよいことと
なる。
第６図中縦線で示した）、Ｚｌは曲線ｌの条件より４５
ｍｍ以下、曲線２の条件より４０ｍｍ以下、曲線３の条
件より２３ｍｍ以」；となる。これらを総合すると、Ｚ
ｌ は２３ｍｍ以上４０ｍｍ以下にすればよいことと
なる。
そして試料下段の電子レンズの焦点距離をここで定めた
ＺＬ より大きくしてこの電子レンズで実像を形成でき
るようにすると共に、この拡大率を２以上とするように
この電子レンズの励磁を行なうのである。
ＺＬ より大きくしてこの電子レンズで実像を形成でき
るようにすると共に、この拡大率を２以上とするように
この電子レンズの励磁を行なうのである。
従って本実施例によればＺＬ ≧４ａとしたから、試料
には計算−１〕最大でも電子レンズ中の磁場の最大強度
Ｂｏの０．０１倍以下の強度の磁場しか影響を４えない
、しかも現実には、試料は対物レンズ中に存在するから
、更にその影響を軽減することができ、磁性体の観察を
行なうことができる。
には計算−１〕最大でも電子レンズ中の磁場の最大強度
Ｂｏの０．０１倍以下の強度の磁場しか影響を４えない
、しかも現実には、試料は対物レンズ中に存在するから
、更にその影響を軽減することができ、磁性体の観察を
行なうことができる。
また、本実施例においては球面収差係数色収差係数を小
さいものとすることができ、高分解能（２ｎｍ以下）を
得ることができる。
さいものとすることができ、高分解能（２ｎｍ以下）を
得ることができる。
この実施例を用いた場合における具体的な透過型電子顕
微鏡の具体的構成としては、第８図及び第９図に示すよ
うにすればよい。
微鏡の具体的構成としては、第８図及び第９図に示すよ
うにすればよい。
これは第８図に示す第１の例によれば試料１とレンズ２
との距離を４０ｍｍ、該レンズ２の穴径およびギャップ
を共に１０ｍｍとし、このレンズの後方２００ ｍ ｍ
（ｒ）位Ｈ（ＩＬ＝ ２００ ＝ ５）に、ｌｔｒ
４０ １段目の実像４を形成し、さらに後続するレンズ５．７
により拡大し、投影像８を得るようにした場合のＣ，、
ＣＣは Ｃｓ ＝ｌＸ１０３ｍｍ、 Ｃｃ ＝４．５ｍｍであ
り、分解能は１２０ＫＶにおいて、１．８ｎｍとなり、
２ｎｍ以下の分解能が得られる。
との距離を４０ｍｍ、該レンズ２の穴径およびギャップ
を共に１０ｍｍとし、このレンズの後方２００ ｍ ｍ
（ｒ）位Ｈ（ＩＬ＝ ２００ ＝ ５）に、ｌｔｒ
４０ １段目の実像４を形成し、さらに後続するレンズ５．７
により拡大し、投影像８を得るようにした場合のＣ，、
ＣＣは Ｃｓ ＝ｌＸ１０３ｍｍ、 Ｃｃ ＝４．５ｍｍであ
り、分解能は１２０ＫＶにおいて、１．８ｎｍとなり、
２ｎｍ以下の分解能が得られる。
第１段目のレンズの拡大率を２以下にすると、後段のレ
ンズの収差が影響し、全系のレンズの収差、特に色収差
が大きくなり易い。例えば第８図において、レンズ２に
より該レンズ２の後方ｆ３ Ｑ ｒｒｌ ｍ （丁−１
１＝ １．５ ）の位置に実像を形成し、これを該レン
ズの後方１００ｍｍの位置に置かれたレンズ３（穴径ギ
ャップ共に１０ｍｍとする）にて、更にその後方１００
ｍｍの位置に２番目の像を形成し、更に後続するレンズ
５．７により拡大し、投影像を得るようにした場合のＣ
ｓ、Ｃｃは、 Ｃｓ ＝２Ｘ１０３ ｍｍ、Ｃｃ ＝９５ｍｍとなり、
分解能は１２０ＫＶにおいて２．６ｎｍとなってしまう
。
ンズの収差が影響し、全系のレンズの収差、特に色収差
が大きくなり易い。例えば第８図において、レンズ２に
より該レンズ２の後方ｆ３ Ｑ ｒｒｌ ｍ （丁−１
１＝ １．５ ）の位置に実像を形成し、これを該レン
ズの後方１００ｍｍの位置に置かれたレンズ３（穴径ギ
ャップ共に１０ｍｍとする）にて、更にその後方１００
ｍｍの位置に２番目の像を形成し、更に後続するレンズ
５．７により拡大し、投影像を得るようにした場合のＣ
ｓ、Ｃｃは、 Ｃｓ ＝２Ｘ１０３ ｍｍ、Ｃｃ ＝９５ｍｍとなり、
分解能は１２０ＫＶにおいて２．６ｎｍとなってしまう
。
また、第８図において、破線１１は試料により散乱され
なかった電子線束を示しているが、この集束点９あるい
はｌＯの位置に、可動絞りを入れて像のコントラストを
形成する。
なかった電子線束を示しているが、この集束点９あるい
はｌＯの位置に、可動絞りを入れて像のコントラストを
形成する。
１０の位置においても、試料における散乱電子線の開き
角をｌｏ−２ｒａｄ以下にすることができる。
角をｌｏ−２ｒａｄ以下にすることができる。
また、第９図に示すように、レンズ２のみにより、後方
１２の位１！（１”ｌ＞２）に像を形成すＺ。
１２の位１！（１”ｌ＞２）に像を形成すＺ。
るごとく、該レンズ２を励磁し、該レンズ２と、後方の
レンズ３により第１段目の実像４を形成するようにした
場合も、第８図と同様に小さい収差係数を得ることがで
きる（第５図及び第６図参照）。
レンズ３により第１段目の実像４を形成するようにした
場合も、第８図と同様に小さい収差係数を得ることがで
きる（第５図及び第６図参照）。
なお、本実施例にあっては、電子レンズのギャップおよ
び孔径を１０ｍｍにした場合、電子線の加速電圧を１２
０ＫＶにした場合について説明したが、本発明は他の場
合についても同様の計算を行いＺ」等を得て適用できる
ことは勿論である。
び孔径を１０ｍｍにした場合、電子線の加速電圧を１２
０ＫＶにした場合について説明したが、本発明は他の場
合についても同様の計算を行いＺ」等を得て適用できる
ことは勿論である。
以−■−説明したように本発明によれば、透過型電子１
１１１鏡における試料の観察方法を以りのようにしたか
ら、試料に磁場の影響を与えることな・〈観察すること
ができるから、磁性体を試料としても試料に影響をケえ
ることはなく、しかも分解能の高い観察を行うことがで
きるという効果を奏する。
１１１鏡における試料の観察方法を以りのようにしたか
ら、試料に磁場の影響を与えることな・〈観察すること
ができるから、磁性体を試料としても試料に影響をケえ
ることはなく、しかも分解能の高い観察を行うことがで
きるという効果を奏する。
第１図は電子レンズの磁場の分布状態を示す図、第２図
乃至第６図は本発明の詳細な説明する図、第７図は本発
明の実施例の試料からのレンズ位置を算出するための図
、第８図及び第９図は本発明の実施例の具体的構成を示
す図である。 ｌ・・・試料 ２・・・レンズ（電子レンズ） ８・・・投影像 特許出願人 株式会社国際精工 ＯＬ′） 第３図 １％。１− 第４図 し。１−
乃至第６図は本発明の詳細な説明する図、第７図は本発
明の実施例の試料からのレンズ位置を算出するための図
、第８図及び第９図は本発明の実施例の具体的構成を示
す図である。 ｌ・・・試料 ２・・・レンズ（電子レンズ） ８・・・投影像 特許出願人 株式会社国際精工 ＯＬ′） 第３図 １％。１− 第４図 し。１−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 対物レンズの励磁を停止して試料への磁気の影響を軽微
なものとし、試料の後段に位置するレンズにより拡大像
を形成する透過型電子顕微鏡における試料の観察方法に
おいて、 電子線の加速電圧をＵボルト、 相対論補正した電子線の加速電圧をＵ＾＊ボルト、上記
試料の後段に位置するレンズのギャップをｓミリメート
ル、孔径をｂミリメートルとしたとき、２ａ＝０、９７
（ｓ＾２＋０．４５ｂ＾２）＾１＾／＾２を満足し、上
記レンズの磁場分布の半値幅を表す定数をａ、 ε＝９．７８×１０＾−＾７なる定数をε（１／ボルト
）としたとき、 試料と上記レンズとの距離を、 Ｚ＿Ｌ≧４ａ Ｚ＿Ｌ≦４×１０＾−＾２ａ＾２＾／＾３Ｕ＾＊＾１＾
／＾２Ｚ＿Ｌ≦１０＾−＾６Ｕ＾＊＾ａ＾／＾２（１＋
２εＵ）の各条件を満たす値Ｚ＿Ｌミリメートルとする
一方、 上記レンズの焦点距離を、 Ｆ＿Ｌ≦Ｚ＿Ｌ の条件を満たすＦ＿Ｌミリメートルとすると共に、上記
レンズのみによる電子線の拡大率を２以上としたことを
特徴とする透過型電子顕微鏡における試料の観察方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18184585A JPS6244941A (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 透過型電子顕微鏡における試料の観察方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18184585A JPS6244941A (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 透過型電子顕微鏡における試料の観察方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244941A true JPS6244941A (ja) | 1987-02-26 |
| JPH0533495B2 JPH0533495B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=16107820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18184585A Granted JPS6244941A (ja) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | 透過型電子顕微鏡における試料の観察方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244941A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096900A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の観察方法 |
-
1985
- 1985-08-21 JP JP18184585A patent/JPS6244941A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013096900A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Jeol Ltd | 透過電子顕微鏡および透過電子顕微鏡像の観察方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533495B2 (ja) | 1993-05-19 |
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