JPS6242526A - 電子ビ−ム露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 電子ビーム露光装置であって、ウェハに付された識別コ
ードを露光前に読み取り、これにより該ウェハに対応す
る所定の露光スケジュールデータを露光スケジュールデ
ータファイルの中から確実、かつ自動的に選択可能な構
成にすることにより、操作者によるウェハと露光スケジ
ュールデータとの対応付けの誤りの防ｌ二および作業の
煩雑さを除去する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は電Ｆビーム露光装置、更に詳しくＪえば露光ス
ケジュールデータの自動選択機能を有する電−ｆビーム
露光装置に関する。

〔従来の技術〕

最近、紫外光に比較して解像力が優れている等の理由に
より、゛ト導体！Ｉ積回路の製造において、電子−ヒー
ム露光装置が使用されている。すなわちウェハ）二に塗
７μされたレジスト膜を′Ｉｔ！、ｆビームにより感光
させるのである。この方式によれば−・般に露光はｆめ
設定された露光スケジュールデータに基づいて行なわれ
るから、ウェハごとに露光パターンが異なる場合にも、
特にマスクを取り換える必要もなイ便利である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、従来の方式によれば操作者が露光すべきウェハ
をｔめ作成されたスケジュールデータの作成順序に従っ
て供給しなければならないので、作ズが煩雑となって作
業能率が低ドしたり、ウェハ供給順序を誤ってウェハが
不良となる場合があった。

本発明はかかる従来例の問題点に鑑み創作されたもので
あり、各ウェハに対応する露光スケジュールデータを自
動的に選択する機能ｔｌ−愉えた゛市ｆ−ビート露光装
置の提供を目的とする。

〔問題点を解決すべき「段〕

較９．す１は、露光前に露光すべきウェハに付されたウ
ェハ識別コードを読み取る読み取り４段と、複数種類の
パターンデータが苓植５れたパターンデータファイルと
、露光すべき複数のウェハのそれぞれに対応する露光ス
ケジュールデータが蓄積された露光スケジュールデータ
ファイルと、前記読み取りｒ　ｔ＋によって読み取られ
た識別コードに従って前記Ａターンデータファイルの中
から所定のパターンデータを選択するとともに、　＋ｉ
ｉｉ記露光スケジュールファイルの中から所定の露光ス
ケジュールデータを選択する中央処理装置と、前記中央
処理装置によって選択された露光スケジュールデータお
よびパターンデータに従い前記露光すべきウェハに対し
て電子−ビーム露光する露光−Ｌ段とを愉えたことを特
徴とする。

〔作用〕

まず読み取り装置が露光前に露光すべきウェハに付され
た識別コードを読み取る１次に中央処理装置が読み取ら
れた識別コードに従ってパターンデータファイルおよび
露光スケジュールデータファイルの中から所定のパター
ンデータおよび露光スケジュールデータを選択する。露
光ｆ段は中央処理装置により選択されたパターンデータ
を、回じ〈中央処理！Ａ２ｔにより選択された露光スケ
ジュールデータに従って供給ウェハに１了・ビームを照
射する。このように本発明によれば供給ウェハに対応す
るパターンデータおよび露光スケジュールデータの選択
が自動的に、かつ適ｉＥに行うことがＩｒｆ滝となる。

〔Ｘ施例〕

次に図を８照しながら本発明の実施例について説明する
。第１図は本発明の実施例に係る電Ｆビーム露光装置の
全体の構成図であり、ｌは露光すべきウェハの格納り段
である。２はウェハ上に付された識別コードを読み取り
、これに対応してｖｋ述の中央処理装置７に信号を出力
する読み取り１段、３はウェハ格納１段ｌから１１＆述
のステージ１０内にウェハを供給するためのウェハ搬送
り段、４は露光すべき各ウェハごとに露光スケジュール
データがソースファイルデータとして蓄積されている露
光スケジュールデータファイルであり１，５は露光スケ
ジュールデータファイル４から出力されるソースファイ
ルデータを所定の順序に展開してオブジェクトファイル
データとしての露光制御データに変換する露光実行デー
タファイルである。

６は複数のパターンデータが蓄積されたパターンデータ
ファイルである。７は中央処理装置であり、読み取り１
段２によって読み取られたウェハｌ−の識別コードに従
って、該識別コードに対応する露光スケジュールデータ
を露光スケジュールデータファイル４から選択して実行
データファイル５に譲り、さらに露光実行データファイ
ル５から出力される露光制御データを後述の制御！Ａ置
８に送るとともに、パターンデータファイル６から所定
のパターンデータを選択して制御装置８に送る。

９は不図示の電子ビーム露光り段を内蔵するコラムであ
り、１０はウェハ搬送１段３によって供給されたウェハ
をａ２１するステージである。８は制御装置であり、転
送された露光制御データおよびパターンデータにノふづ
いてコラム９およびステージｌＯを制御してウェハの所
定の位置に所定のパターンを所定の露光条件のｒに電子
ビーム露光する。

次に本発明の実施例の動作について説明する。

（ａ）まず不図示の操作ボタンによりスタートすると、
ウェハの格納り段ｌからウェハが取り出されるが、いま
このウェハはＷ３であったとする。

（ｂ）ｗ３のウェハはウェハ搬送り段３によってステー
ジ１０内まで搬送されるが、搬送１ｉｆに読み取りＬ段
２によってウェハＬに付された識別コードが読み取られ
る。

（Ｃ）中央処理装置７は読み取られた識別コードにより
、そのウェハがＷ３であることを判断して露光スケジュ
ールデータを選択し、露光実行データファイルに転送す
る。

（ｄ）　Ａ充実行データファイル５は転送された露光ス
ケジュールデータのソースファイルデータ形式をオブジ
ェクトファイルデータ形式に変換するとともに、データ
を展開して実行順に並べ、露光制御データとして制御装
置８に転送する。

（ｅ）　　・方、中央処理袋ｒｉ７は読み取られた識別
コードに従ってパターンデータファイル６をも制御し、
ｔめ蓄積された複数のパターンデータからウェハＷ３に
対応するパターンデータを選択して制御装置８に転送す
る。

（「）制御装置？Ｉ８は露光制御データに従ってステー
ジ１０を制御してウェハＷ３の位置を設定する。また制
Ｗ装置８はコラム９を制御して露光制御データによって
定められた露光時間や露光賃等の露光条件のドにパター
ンデータに従ってウェハＷ３を電子ビーム露光する。

（ｇ）露光後、ウェハ搬送１段３により搬送されて、出
「−１から取り出される。

このように、本実施例によれば読み取り装置２によって
読み取られたウェハの識別コードに従って、自動的に所
定の露光スケジュールデータを選択することができる。

〔発明の効果〕

以り説明したように、本発明によれば露光すべきウェハ
に付された識別コードに従って自動的に露光スケジュー
ルデータを選択することができるので、操作者は操作中
、露光スケジュールデータと供給ウェハとの対応を何ら
考慮する必要がない、従って従来のような作業の煩雑さ
と供給ウェハ順序の誤りによる不良ウェハの発生を防に
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は未発Ｉｊｌの実施例に係る’；ｗ　ｒビーム露
光装置の全体の構成ＩΔである。 ｌ・・・ウェハ格納り段 ２・・・読み取りｒ一段 ３・・・ウェハ搬送Ｆ段 ４・・・露光スケジュールデータフγイル５・・・露光
実行データファイル ６−・・バター／データファイル ７・・・中央処理装置 ８・・・制御装置 ９・・・コラム ＩＯ・・・ステージ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 露光前に露光すべきウェハに付されたウェハ識別コード
   を読み取る読み取り手段と、 複数種類のパターンデータが蓄積されたパターンデータ
   ファイルと、 露光すべき複数のウェハのそれぞれに対応する露光スケ
   ジュールデータが蓄積された露光スケジュールデータフ
   ァイルと、 前記読み取り手段によって読み取られた識別コードに従
   って前記パターンデータファイルの中から所定のパター
   ンデータを選択するとともに、前記露光スケジュールフ
   ァイルの中から所定の露光スケジュールデータを選択す
   る中央処理装置と、前記中央処理装置によって選択され
   た露光スケジュールデータおよびパターンデータに従い
   前記露光すべきウェハに対して電子ビーム露光する露光
   手段とを備えたことを特徴とする電子ビーム露光装置。