JPS6231182A - 積層型圧電体 - Google Patents
積層型圧電体Info
- Publication number
- JPS6231182A JPS6231182A JP60170045A JP17004585A JPS6231182A JP S6231182 A JPS6231182 A JP S6231182A JP 60170045 A JP60170045 A JP 60170045A JP 17004585 A JP17004585 A JP 17004585A JP S6231182 A JPS6231182 A JP S6231182A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- piezoelectric
- plates
- plate
- laminated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 57
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 57
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 abstract description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/871—Single-layered electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. internal electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/057—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by stacking bulk piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/067—Forming single-layered electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
- H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電素子からなる板上部材を多数枚積層して
形成され、印加電圧に応じて伸縮作用する積層型圧電体
に関する。
形成され、印加電圧に応じて伸縮作用する積層型圧電体
に関する。
従来から、リボン状金属板よりなる電極板と圧電板とを
交互に積層して積層型圧電体を構成するものが考案され
ている。ところが、このような積層型圧電体は単に積層
しただけでは一体構造を維持することが難しく、その駆
動中の振動等により、電極板と圧電板との相対的な位置
が変化し、電極板同士が接触してショートする等の問題
点も有していた。
交互に積層して積層型圧電体を構成するものが考案され
ている。ところが、このような積層型圧電体は単に積層
しただけでは一体構造を維持することが難しく、その駆
動中の振動等により、電極板と圧電板との相対的な位置
が変化し、電極板同士が接触してショートする等の問題
点も有していた。
本発明は上記の点に鑑みてなされるものであって、その
目的は外部からの振動等の作用するいかなる条件下にお
いて積層型圧電体を駆動しても、電極板と圧電板との相
対的な位置が変化することなく、良好に一体構造を維持
することができる積層□型圧電体を提供することにある
。
目的は外部からの振動等の作用するいかなる条件下にお
いて積層型圧電体を駆動しても、電極板と圧電板との相
対的な位置が変化することなく、良好に一体構造を維持
することができる積層□型圧電体を提供することにある
。
本発明においては、複数個の圧電板と折曲げられる第１
及び第２のリボン状金属板とを交互に重合積層して積層
体を形成するとともに、前記積層体をケース内に収納し
、そのケースの内壁には前記リボン状金属板の折曲部が
挿入されるようにケースの長手方向に沿う溝が設けられ
ていることを特徴とする。
及び第２のリボン状金属板とを交互に重合積層して積層
体を形成するとともに、前記積層体をケース内に収納し
、そのケースの内壁には前記リボン状金属板の折曲部が
挿入されるようにケースの長手方向に沿う溝が設けられ
ていることを特徴とする。
本発明の構成によると、ケースの長手方向に沿って設け
られる溝に、電極板となるリボン状金属板の折曲部が挿
入されているため、リボン状金属板と圧電板とを交互に
重合積層した構造のままケース内に収納されて一体構造
を良好に保つことができる。
られる溝に、電極板となるリボン状金属板の折曲部が挿
入されているため、リボン状金属板と圧電板とを交互に
重合積層した構造のままケース内に収納されて一体構造
を良好に保つことができる。
次に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図〜第６図は本発明の第１実施例を示すものであっ
て、第１図はその積層型圧電体の縦断面図、第２図は積
層型圧電体の上面図、第３図は積層する前のリボン状金
属板の平面図、第４図は圧電板とリボン状金属板を積層
する時の説明に供する図、第５図はケースの正面図、第
６図はケースの側面図である。
て、第１図はその積層型圧電体の縦断面図、第２図は積
層型圧電体の上面図、第３図は積層する前のリボン状金
属板の平面図、第４図は圧電板とリボン状金属板を積層
する時の説明に供する図、第５図はケースの正面図、第
６図はケースの側面図である。
圧電素子を直径１５１ｍ、厚さ０．５鶴の円盤状に成形
した複数個の圧電板１０の両面には、図示せぬ銀電極が
直径１３１ｍで同心状に形成されている。
した複数個の圧電板１０の両面には、図示せぬ銀電極が
直径１３１ｍで同心状に形成されている。
第３図に示される電圧印加用の第１、第２の金属板１）
．１２は、折曲部１）ａ、１２ａとなる部分が切り欠き
加工によって周期的に形成されたリボン形状をしており
、例えば厚さ約２０μｍ程度のステンレス板を用いる。
．１２は、折曲部１）ａ、１２ａとなる部分が切り欠き
加工によって周期的に形成されたリボン形状をしており
、例えば厚さ約２０μｍ程度のステンレス板を用いる。
これらの複数個の圧電板１０と第１、第２の金属板１）
．１２とは、交互に重合積層されて第４図に示す積層体
Ａを形成する。
．１２とは、交互に重合積層されて第４図に示す積層体
Ａを形成する。
次にこの積層体Ａの積層状態について詳細に説明すると
、まず初めは圧電板１０を第１の金属板１）の上にセッ
トした後、圧電板１０の上面に第２の金属板１２をセッ
トし、次に別の圧電板１０を第２の金属板１２の上にセ
ットした後、第１の金属板１）を折曲部１）ａで折曲げ
て積層していく。これを第４図の積層途中の状態で示す
と、圧電板１０をセットした後金属板１２を図中後方へ
折曲部１２ａより折り曲げ（第３図の状態）、次にこの
上に別の圧電板１０をセットした後金属板１）を折曲部
１）ａより右側へ折り曲げる。さらに別の圧電板１０を
セットした後、上記金属板１２を手前へ折り曲げるとい
うように交互に重合積層していった。こうして積層した
積層体への圧電板１０の外周には、第１、第２の金属板
１）．１２の折曲部１）ａ、１２ａの一部が中央部で０
．５鶴未満で突出して、その軸方向に４列に並んで存在
することとなる。このとき折曲部１）ａ、１２ａの各列
は、積層体Ａの外周に交互に、かつ等間隔になるように
位置させると好ましい。
、まず初めは圧電板１０を第１の金属板１）の上にセッ
トした後、圧電板１０の上面に第２の金属板１２をセッ
トし、次に別の圧電板１０を第２の金属板１２の上にセ
ットした後、第１の金属板１）を折曲部１）ａで折曲げ
て積層していく。これを第４図の積層途中の状態で示す
と、圧電板１０をセットした後金属板１２を図中後方へ
折曲部１２ａより折り曲げ（第３図の状態）、次にこの
上に別の圧電板１０をセットした後金属板１）を折曲部
１）ａより右側へ折り曲げる。さらに別の圧電板１０を
セットした後、上記金属板１２を手前へ折り曲げるとい
うように交互に重合積層していった。こうして積層した
積層体への圧電板１０の外周には、第１、第２の金属板
１）．１２の折曲部１）ａ、１２ａの一部が中央部で０
．５鶴未満で突出して、その軸方向に４列に並んで存在
することとなる。このとき折曲部１）ａ、１２ａの各列
は、積層体Ａの外周に交互に、かつ等間隔になるように
位置させると好ましい。
この積層体Ａは、外周が円筒状の樹脂製ケース１３内に
一体に収納されて、第１図、第２図に示す積層型圧電体
となる。
一体に収納されて、第１図、第２図に示す積層型圧電体
となる。
ケース１３は、第５図、第６図に示す様に半円筒状のケ
ース一対を固定して、円筒状になる。このケース１３の
内周は圧電板１０の外径とほぼ同一の形状であるととも
に、その長手方向に沿って中央部で深さ０．５ ｍ＋ｉ
程度の溝１３ａが設けられてあり、一対のケース１３を
一体に固定すると、その溝１３ａは金属板１）．１２の
折曲部１）ａ１）２ａが挿入される溝となる。またケー
ス１３の上、下端部には、積層体Ａを維持するストッパ
部１３ｂが一体に形成されている。ストッパ部１３ｂは
、ケース１３の内周の４本のａｌ ３ ａの間に ・あ
り、内側に向って約１龍突出して最下段、最上段の圧電
板１０の外周を保持する。
ース一対を固定して、円筒状になる。このケース１３の
内周は圧電板１０の外径とほぼ同一の形状であるととも
に、その長手方向に沿って中央部で深さ０．５ ｍ＋ｉ
程度の溝１３ａが設けられてあり、一対のケース１３を
一体に固定すると、その溝１３ａは金属板１）．１２の
折曲部１）ａ１）２ａが挿入される溝となる。またケー
ス１３の上、下端部には、積層体Ａを維持するストッパ
部１３ｂが一体に形成されている。ストッパ部１３ｂは
、ケース１３の内周の４本のａｌ ３ ａの間に ・あ
り、内側に向って約１龍突出して最下段、最上段の圧電
板１０の外周を保持する。
また第１の金属板１）、第２の金属板１２には、各々リ
ードｗＡ１４．１５を介して電圧が印加される。リード
線１４．１５は、ケース１３に設けられる小孔１３Ｃを
介して外部に取り出され、小孔１３はグロメット等で密
閉される。
ードｗＡ１４．１５を介して電圧が印加される。リード
線１４．１５は、ケース１３に設けられる小孔１３Ｃを
介して外部に取り出され、小孔１３はグロメット等で密
閉される。
このような構成の積層型圧電体の両リードｍ １４．１
５に圧電板１０の分極方向に５００〜７００■の電圧が
印加されると、その軸方向に５０〜７０ミクロン伸縮し
、これによりアクチュエータとして作用する。
５に圧電板１０の分極方向に５００〜７００■の電圧が
印加されると、その軸方向に５０〜７０ミクロン伸縮し
、これによりアクチュエータとして作用する。
このようにして作製した積層型圧電体は、圧電板１０と
金属板１）．１２の積層体Ａをケース１３内に収納した
ことにより一体構造を保つことができる。また、金属板
１）．１２の折曲部１）ａ１）２ａがケース１３の溝１
３ａ内に挿入され、しかも圧電板１０の外周はケース１
３の内壁で４方向から固定されているため、積層型圧電
体に所望の電圧、周波数を印加して駆動した際にも、振
動等により圧電板１０と金属板１）．１２の相対的位置
の移動が生じない。従って両極（金属板１）．１２）の
間でショートが起こる等の問題点を解決することができ
る。更に、上述の構造の積層型圧電体は構造が単純であ
るため製造コストを低下することができる。また積層体
Ａは全て樹脂製のケース内に収納されているため、この
ままで各種アクチュエータ、例えばインジェクタ（燃料
噴射弁）、切換バルブ等のハウジング内に配設してもち
いることができるというメリットも有する。
金属板１）．１２の積層体Ａをケース１３内に収納した
ことにより一体構造を保つことができる。また、金属板
１）．１２の折曲部１）ａ１）２ａがケース１３の溝１
３ａ内に挿入され、しかも圧電板１０の外周はケース１
３の内壁で４方向から固定されているため、積層型圧電
体に所望の電圧、周波数を印加して駆動した際にも、振
動等により圧電板１０と金属板１）．１２の相対的位置
の移動が生じない。従って両極（金属板１）．１２）の
間でショートが起こる等の問題点を解決することができ
る。更に、上述の構造の積層型圧電体は構造が単純であ
るため製造コストを低下することができる。また積層体
Ａは全て樹脂製のケース内に収納されているため、この
ままで各種アクチュエータ、例えばインジェクタ（燃料
噴射弁）、切換バルブ等のハウジング内に配設してもち
いることができるというメリットも有する。
尚、上述実施例ではリボン状金属板１）．１２として厚
さ２０μｍのステンレス板を用いたが、その材質、板厚
は用途に応じて変更することが可能であって、例えば銅
板（２０μｍ）を用いると、積層型圧電体の変位置を５
〜１０％増加することができる。また、一対のケース１
３の固定方法としては、テーピング、接着、はめこみ、
等の方法によって一体に固定することができる。
さ２０μｍのステンレス板を用いたが、その材質、板厚
は用途に応じて変更することが可能であって、例えば銅
板（２０μｍ）を用いると、積層型圧電体の変位置を５
〜１０％増加することができる。また、一対のケース１
３の固定方法としては、テーピング、接着、はめこみ、
等の方法によって一体に固定することができる。
次に、第２実施例を第７図〜第９図に基づいて説明する
。
。
圧電板２０は正方形の形状をしており、ケース２３は角
柱形状となるこのような積層型圧電体は金属板２１．２
２として第９図に示すような極めて単純なリボン状金属
板を用いて、折曲部２１ａ、２２ａにて前述の実施例と
同様に折り曲げて積層される。ケース２３の内壁には、
折曲部２１ａ、２２ａを挿入する溝２３ ａが形成され
、また上、下端部にはストッパ部２３ｂが設けられてい
る。
柱形状となるこのような積層型圧電体は金属板２１．２
２として第９図に示すような極めて単純なリボン状金属
板を用いて、折曲部２１ａ、２２ａにて前述の実施例と
同様に折り曲げて積層される。ケース２３の内壁には、
折曲部２１ａ、２２ａを挿入する溝２３ ａが形成され
、また上、下端部にはストッパ部２３ｂが設けられてい
る。
尚、２４．２５はリード線である。また圧電板２０は、
第１実施例と同様に積層された後、ケース２３内に収納
される。
第１実施例と同様に積層された後、ケース２３内に収納
される。
よって、金属板２１．２２の折曲部２１ａ、２２ａは、
ケース２３の溝２３ａに挿入されて保持されるので、積
層型圧電体を駆動しても金属板２１．２２がずれること
なく、電極間のショートも発生することはない。更にこ
の金属板２１．２２の形状が極めて単純な形状のリボン
状であるため、金属板２１．２２の加工時にパリ等の凹
凸が発生しない。このため、金属板２１．２２を用いて
製造した積層型圧電体に高圧荷重がその軸方向に作用し
た場合でも、圧電板２０には無理な応力が発生すること
がないので、圧電板２０に切裂等が入ったりすることも
なくなるというメリットもある。
ケース２３の溝２３ａに挿入されて保持されるので、積
層型圧電体を駆動しても金属板２１．２２がずれること
なく、電極間のショートも発生することはない。更にこ
の金属板２１．２２の形状が極めて単純な形状のリボン
状であるため、金属板２１．２２の加工時にパリ等の凹
凸が発生しない。このため、金属板２１．２２を用いて
製造した積層型圧電体に高圧荷重がその軸方向に作用し
た場合でも、圧電板２０には無理な応力が発生すること
がないので、圧電板２０に切裂等が入ったりすることも
なくなるというメリットもある。
次に、第１０図に第３実施例を示す。第１０図は、第２
実施例で使用したケース２３の外周側面に長穴２３ｄを
設けた構造であって、その他は第２実施例と同様である
。このように長大２３ｄを設けることにより、積層型圧
電体を駆動した時に発生する熱をケース２３の外部に放
熱することができるため、積層型圧電体の耐久性を向上
することができる。尚、穴２３ｄは長穴の形状の他、多
数の円孔、４角形状の孔であっても、ケース２３内の圧
電板２０、金属板２１．２２の一部がケース２３外の流
体（空気あるいはオイル）に直接に接触する穴であれは
良いことは言うまでもない。
実施例で使用したケース２３の外周側面に長穴２３ｄを
設けた構造であって、その他は第２実施例と同様である
。このように長大２３ｄを設けることにより、積層型圧
電体を駆動した時に発生する熱をケース２３の外部に放
熱することができるため、積層型圧電体の耐久性を向上
することができる。尚、穴２３ｄは長穴の形状の他、多
数の円孔、４角形状の孔であっても、ケース２３内の圧
電板２０、金属板２１．２２の一部がケース２３外の流
体（空気あるいはオイル）に直接に接触する穴であれは
良いことは言うまでもない。
また第１実施例のケース１３にも、同様な長大を設けて
もよい。
もよい。
尚、上述の実施例においては、ケース１３．２３の上、
下端部にストッパ１３ｂ、２３ｂが設けられていたが、
ストッパはケース１３．２３と別体にして、ケース１３
．２３内に積層体Ａが収納された後、リング状のストッ
パ部材を固定するようにしてもよい。
下端部にストッパ１３ｂ、２３ｂが設けられていたが、
ストッパはケース１３．２３と別体にして、ケース１３
．２３内に積層体Ａが収納された後、リング状のストッ
パ部材を固定するようにしてもよい。
以上述べた様に、本発明の構成によると、ケースの長手
方向に沿って設けられる溝に、電極板となるリボン状金
属板の折曲部が挿入されているため、リボン状金属板と
圧電板とを交互に重合積層した構造のままケース内に収
納されて一体構造を良好に保つことができる。
方向に沿って設けられる溝に、電極板となるリボン状金
属板の折曲部が挿入されているため、リボン状金属板と
圧電板とを交互に重合積層した構造のままケース内に収
納されて一体構造を良好に保つことができる。
更に、積層型圧電体の駆軌によって生じる振動に対して
も、金属板と圧電板は移動しないため、耐久性が向上す
るという効果も有する。
も、金属板と圧電板は移動しないため、耐久性が向上す
るという効果も有する。
第１図〜第６図は本発明の第１実施例を示すものであっ
て、第１図はその積層型圧電体の縦断面図、第２図は積
層型圧電体の上面図、第３図は積層する前のリボン状金
属板の平面図、第４図は圧電板とリボン状金属板を積層
する時の説明に供する図、第５図はケースの正面図、第
６図はケースの側面図である。 第７図〜第９図は第２実施例を示し、第７図はその積層
型圧電体の縦断面図、第８図はその積層型圧電体の上面
図、第９図は積層する前のリボン状金属板の平面図、第
１０図は第３実施例を示す積層型圧電体の側面図である
。 １０．２０・・・圧電板、１）．１２２１．２２・・・
金属板、１３．２３・・・ケース、ｌｌａ、１２ａ。 ２１ａ、２２ａ−折曲部、１３ａ、２３ａ＝・溝。
て、第１図はその積層型圧電体の縦断面図、第２図は積
層型圧電体の上面図、第３図は積層する前のリボン状金
属板の平面図、第４図は圧電板とリボン状金属板を積層
する時の説明に供する図、第５図はケースの正面図、第
６図はケースの側面図である。 第７図〜第９図は第２実施例を示し、第７図はその積層
型圧電体の縦断面図、第８図はその積層型圧電体の上面
図、第９図は積層する前のリボン状金属板の平面図、第
１０図は第３実施例を示す積層型圧電体の側面図である
。 １０．２０・・・圧電板、１）．１２２１．２２・・・
金属板、１３．２３・・・ケース、ｌｌａ、１２ａ。 ２１ａ、２２ａ−折曲部、１３ａ、２３ａ＝・溝。
Claims (2)
- （１）圧電素子から成形される複数個の圧電板と、第１
のリボン状金属板、及び第２のリボン状金属板とを備え
、前記第１及び第２のリボン状金属板が折曲げられ所定
の前記圧電板の間に挿入され、前記複数個の圧電板と前
記第１及び第２のリボン状金属板とが交互に重合積層さ
れて積層体を形成するとともに、前記積層体をケース内
に収納し、前記ケースの内壁には前記第１及び第２のリ
ボン状金属板の折曲部が挿入されるように前記ケースの
長手方向に沿う溝が設けられていることを特徴とする積
層型圧電体。 - （２）前記ケースには、前記リボン状金属板を冷却する
ように前記ケースの内壁と外壁とを連通する冷却孔が設
けられている特許請求の範囲第１項記載の積層型圧電体
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60170045A JPS6231182A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 積層型圧電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60170045A JPS6231182A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 積層型圧電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6231182A true JPS6231182A (ja) | 1987-02-10 |
| JPH0416029B2 JPH0416029B2 (ja) | 1992-03-19 |
Family
ID=15897591
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60170045A Granted JPS6231182A (ja) | 1985-08-01 | 1985-08-01 | 積層型圧電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6231182A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6117446U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-31 | 三菱自動車工業株式会社 | 内燃機関のシリンダライナ支持装置 |
| US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
| US5208506A (en) * | 1990-11-14 | 1993-05-04 | Nec Corporation | Laminated piezoelectric actuator |
-
1985
- 1985-08-01 JP JP60170045A patent/JPS6231182A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6117446U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-01-31 | 三菱自動車工業株式会社 | 内燃機関のシリンダライナ支持装置 |
| JPH037560Y2 (ja) * | 1984-07-09 | 1991-02-25 | ||
| US5208506A (en) * | 1990-11-14 | 1993-05-04 | Nec Corporation | Laminated piezoelectric actuator |
| US5168189A (en) * | 1991-09-18 | 1992-12-01 | Caterpillar Inc. | Solderless connector for a solid state motor stack |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416029B2 (ja) | 1992-03-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4752712A (en) | Piezoelectric laminate stack | |
| EP1814170A2 (en) | Piezoelectric/electrostrictive actuator | |
| US5477102A (en) | Piezoelectric actuator and process for fabricating the same | |
| JPS6231182A (ja) | 積層型圧電体 | |
| JPH06269183A (ja) | 超音波モータ | |
| EP0550435B1 (en) | Piezoelectric solid state motor stack | |
| JPS60121784A (ja) | 積層型圧電体 | |
| US7336022B2 (en) | Piezoelectrical bending converter | |
| JP2645832B2 (ja) | たて効果型モノモルフ素子及びその駆動方法 | |
| JPH1131854A (ja) | 積層型アクチュエータとその圧電素子の製造方法 | |
| JPS61276278A (ja) | 積層型圧電体 | |
| JPS62104182A (ja) | 積層圧電体の製造方法 | |
| JPH03183371A (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JPH0354876A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH0316798B2 (ja) | ||
| JPH04116990A (ja) | 圧電積層体 | |
| JP2012028614A (ja) | リアクトル | |
| JPH05121792A (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| JPH0456179A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JPH0372684A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP3063235B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
| JP2812994B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH039580A (ja) | 電歪アクチュエータ | |
| JPS62179783A (ja) | 圧電式アクチユエ−タ | |
| JPH0670260U (ja) | 積層型圧電アクチュエータ |