JPS62294914A - 極低温冷媒液面計 - Google Patents
極低温冷媒液面計Info
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- JPS62294914A JPS62294914A JP62151208A JP15120887A JPS62294914A JP S62294914 A JPS62294914 A JP S62294914A JP 62151208 A JP62151208 A JP 62151208A JP 15120887 A JP15120887 A JP 15120887A JP S62294914 A JPS62294914 A JP S62294914A
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- JP
- Japan
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- double pipe
- liquid level
- liquid
- pipe
- electric heater
- Prior art date
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- Granted
Links
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- 239000002904 solvent Substances 0.000 title 1
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Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、極低温冷媒（液体窒素）の液面の、簡便かつ
連続的な測定に関する。
連続的な測定に関する。
従来、極低温冷媒（液体窒素等）の貯檜の液面を測定す
る方法として数多くの例が報告されている。その中でも
、液体の静水圧を利用する、比較的簡単な構造の、液面
計が、「低温」 （共立出版社発行）の１０７頁に記載
されている。
る方法として数多くの例が報告されている。その中でも
、液体の静水圧を利用する、比較的簡単な構造の、液面
計が、「低温」 （共立出版社発行）の１０７頁に記載
されている。
ところが、貯糟内の圧力が変化したりすると液の底から
の圧力取入れ管の中に液体が昇り、不正確な値が検知さ
れてしまうという難点があった。
の圧力取入れ管の中に液体が昇り、不正確な値が検知さ
れてしまうという難点があった。
本発明の目的は、構造が簡単で応答性に優れた極低温冷
媒液面計を提供することにある。
媒液面計を提供することにある。
本発明は、静水圧を利用した極低温冷媒の液面測定にあ
たり、下部圧力取り入れ管の断熱二重管内部に電気ヒー
タを設けたことによる、簡単な構造で、しかも感度の良
い極低温冷媒液面計を得ようとするものである。
たり、下部圧力取り入れ管の断熱二重管内部に電気ヒー
タを設けたことによる、簡単な構造で、しかも感度の良
い極低温冷媒液面計を得ようとするものである。
液面は静水圧に基づいて検出する。この際二重管内を液
体が流入するがヒータを加熱して管内の液体を蒸発させ
、管下端に液面を維持する。
体が流入するがヒータを加熱して管内の液体を蒸発させ
、管下端に液面を維持する。
以下、本発明の実施例を図により説明する。真空層１に
よって断熱された二重管２は、ステンレス鋼などで作る
。この二重管２の最下部内面に、電気ヒータ４を取り付
けておき、二重管２を被測定液体５中に浸す。この二重
管２は、最下端３より液の底の圧力を取り入れる管であ
る。液面６より上部のガス層を介して伝えられる液面６
の圧力を取り入れるのが７の管で、ガス層圧力取入れロ
アと二重管２を小型電気式差圧計８に取り付け。
よって断熱された二重管２は、ステンレス鋼などで作る
。この二重管２の最下部内面に、電気ヒータ４を取り付
けておき、二重管２を被測定液体５中に浸す。この二重
管２は、最下端３より液の底の圧力を取り入れる管であ
る。液面６より上部のガス層を介して伝えられる液面６
の圧力を取り入れるのが７の管で、ガス層圧力取入れロ
アと二重管２を小型電気式差圧計８に取り付け。
この電圧端子を電気ヒータ４電源及び、計測器９につな
ぎ計測する。又、電気ヒータ４のリード線を外部に取り
出しているのがターミナル１１であり、このターミナル
１１と電気ヒータ４電源及び、計測器９を配線する。二
重管２とガス層圧力取入れロアを固定かつ断熱液体容器
ｌｏ中の気密を保つため、ステンレス鋼製継手１２を設
け、手軽に容器１０との着脱が出来る。
ぎ計測する。又、電気ヒータ４のリード線を外部に取り
出しているのがターミナル１１であり、このターミナル
１１と電気ヒータ４電源及び、計測器９を配線する。二
重管２とガス層圧力取入れロアを固定かつ断熱液体容器
ｌｏ中の気密を保つため、ステンレス鋼製継手１２を設
け、手軽に容器１０との着脱が出来る。
液中に浸された二重管２の下端内面に取り付けている電
気ヒータ４を加熱すると、断熱二重管の内部に昇ってい
た液体を蒸発させ、容器１０底近くに位置する二重管２
の下部端面３までガスが充満し常に端面３の位置に二重
管内の液面が保たれる。この事により二重管２内部とガ
ス層との圧力差から正確な液面６の位置を測定出来る。
気ヒータ４を加熱すると、断熱二重管の内部に昇ってい
た液体を蒸発させ、容器１０底近くに位置する二重管２
の下部端面３までガスが充満し常に端面３の位置に二重
管内の液面が保たれる。この事により二重管２内部とガ
ス層との圧力差から正確な液面６の位置を測定出来る。
本実施例によれば、例えば液体を容器１０の外にサイホ
ンで汲み出すために容器１０内に圧力をかけた際、二重
管内部に液体が昇るが、これを迅速に追い出して正確な
液面の検出ができる。
ンで汲み出すために容器１０内に圧力をかけた際、二重
管内部に液体が昇るが、これを迅速に追い出して正確な
液面の検出ができる。
二重管２は複合プラスチック等の低熱伝導材からなる一
重管でもよい、又、電気ヒータは常時通電する必要まな
く、計測時、あるいは圧力変動時に通電するだけでもよ
い。
重管でもよい、又、電気ヒータは常時通電する必要まな
く、計測時、あるいは圧力変動時に通電するだけでもよ
い。
以上述べた如く１本発明によれば、構造が簡単で連続的
な計測が可能、しかも、正確な液面を計測することの可
能な、極低温冷媒液面計を得る効果がある。
な計測が可能、しかも、正確な液面を計測することの可
能な、極低温冷媒液面計を得る効果がある。
図は、本発明の実施例を示す縦断面図である。
Claims (1)
- １、静水圧を利用した液面計において、液面下圧力取入
管の断熱管内部に電気ヒータを設けたことを特徴とする
極低温冷媒液面計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151208A JPS62294914A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 極低温冷媒液面計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151208A JPS62294914A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 極低温冷媒液面計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62294914A true JPS62294914A (ja) | 1987-12-22 |
| JPH0547050B2 JPH0547050B2 (ja) | 1993-07-15 |
Family
ID=15513599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62151208A Granted JPS62294914A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | 極低温冷媒液面計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62294914A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220827A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
| CN102519543A (zh) * | 2011-12-14 | 2012-06-27 | 张家港圣汇气体化工装备有限公司 | 用于深冷液体贮槽的差压液位计的取压装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009068948A (ja) * | 2007-09-12 | 2009-04-02 | Cryovac Corp | 低温液体用液面計及びそれを備えた低温液体貯留容器 |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP62151208A patent/JPS62294914A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220827A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-04 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置 |
| CN102519543A (zh) * | 2011-12-14 | 2012-06-27 | 张家港圣汇气体化工装备有限公司 | 用于深冷液体贮槽的差压液位计的取压装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0547050B2 (ja) | 1993-07-15 |
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