JPS62292977A - 制御弁用アクチユエ−タ - Google Patents
制御弁用アクチユエ−タInfo
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- JPS62292977A JPS62292977A JP13624186A JP13624186A JPS62292977A JP S62292977 A JPS62292977 A JP S62292977A JP 13624186 A JP13624186 A JP 13624186A JP 13624186 A JP13624186 A JP 13624186A JP S62292977 A JPS62292977 A JP S62292977A
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Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば自動車用アンチスキッド制?TI等で
、高応答性が要求される制御弁用アクチュエータに関す
る。
、高応答性が要求される制御弁用アクチュエータに関す
る。
従来、制御弁用アクチュエータとしてはソレノイドを利
用したものが多く用いられていたが、最近、l m5e
c以下の高応答性が要求される場合にはPZT圧電素子
積層体を動作駆動源として制御弁の開閉を行う方法が用
いられている。
用したものが多く用いられていたが、最近、l m5e
c以下の高応答性が要求される場合にはPZT圧電素子
積層体を動作駆動源として制御弁の開閉を行う方法が用
いられている。
従来のソレノイドを利用した制御弁用アクチュエータで
は、1 m5ec代あるいはそれ以下の高応答性を要求
される場合に、ソレノイドでは追従できにクク、また、
周辺装置も大がかりなものとなる。
は、1 m5ec代あるいはそれ以下の高応答性を要求
される場合に、ソレノイドでは追従できにクク、また、
周辺装置も大がかりなものとなる。
これに対応するために、最近、PZT圧電素子積層体を
動作駆動体としてニードル弁の開閉を行う制御弁用アク
チュエータが用いられているが、これには、まだニード
ル弁の開閉についての応答性、制御性、バルブシート部
の耐久性、ニードル・シャフトの周辺部の油漏れ等に種
々の問題点がある。
動作駆動体としてニードル弁の開閉を行う制御弁用アク
チュエータが用いられているが、これには、まだニード
ル弁の開閉についての応答性、制御性、バルブシート部
の耐久性、ニードル・シャフトの周辺部の油漏れ等に種
々の問題点がある。
これを更に詳しく述べると、PZT圧電素子積層体に於
ては正電荷を与えた場合に圧電素子積層体の体積が膨張
して軸方向の変位が増加し、負電荷を与えた場合には逆
に収縮して変位が減少するが、正電圧を与えた場合の方
が負電圧の場合よりも変位量が大きく、応答性が良好と
なる。ところが、常時閉とした高応答性のニードル弁を
用いる場合には、通常のPZT圧電素子積層体では第6
図に示すようにバルブ閉時には変位量の大きい伸びの方
向に、作動時の開のときには圧電素子の縮みの方向にば
ね力を加えて作用させているために応答性、制御性が悪
く、また、閉弁のときには圧電素子の伸び力によりバル
ブシート部を損傷させ、或はPZT圧電素子自体に損傷
を招(等の欠点がある。
ては正電荷を与えた場合に圧電素子積層体の体積が膨張
して軸方向の変位が増加し、負電荷を与えた場合には逆
に収縮して変位が減少するが、正電圧を与えた場合の方
が負電圧の場合よりも変位量が大きく、応答性が良好と
なる。ところが、常時閉とした高応答性のニードル弁を
用いる場合には、通常のPZT圧電素子積層体では第6
図に示すようにバルブ閉時には変位量の大きい伸びの方
向に、作動時の開のときには圧電素子の縮みの方向にば
ね力を加えて作用させているために応答性、制御性が悪
く、また、閉弁のときには圧電素子の伸び力によりバル
ブシート部を損傷させ、或はPZT圧電素子自体に損傷
を招(等の欠点がある。
また、応答性、制御性を良くするために、圧電素子積層
体とニードル・バルブとの間にオイル室を設け、油圧に
よるストローク拡大機構が用いられているが、この場合
には、オイル室内のオイルがニードル・シャフトを伝っ
て、ニードル弁に漏出して、その作動が不良になる欠点
がある。
体とニードル・バルブとの間にオイル室を設け、油圧に
よるストローク拡大機構が用いられているが、この場合
には、オイル室内のオイルがニードル・シャフトを伝っ
て、ニードル弁に漏出して、その作動が不良になる欠点
がある。
〔問題点を解決するための手段及び作用〕上記の問題点
を解決するために本発明に於ては、常時は閉鎖され、こ
のときは圧電素子は収縮された状態にあり、前記圧電素
子積層体に正電圧が印加されてその容積が膨張した場合
にその軸線方向の伸びの方向にニードル・シャフトが移
動することにより開弁するようにニードル弁を設定し、
PZT圧電素子積層体の作動時の弁の動きを上述の第6
図の場合と反対とすることにより、バルブ・シート部の
損傷やPZT圧電素子自体の損傷を招くことを防いだ。
を解決するために本発明に於ては、常時は閉鎖され、こ
のときは圧電素子は収縮された状態にあり、前記圧電素
子積層体に正電圧が印加されてその容積が膨張した場合
にその軸線方向の伸びの方向にニードル・シャフトが移
動することにより開弁するようにニードル弁を設定し、
PZT圧電素子積層体の作動時の弁の動きを上述の第6
図の場合と反対とすることにより、バルブ・シート部の
損傷やPZT圧電素子自体の損傷を招くことを防いだ。
このためにドーナツ状のPZT圧電素子積層体をシリン
ダ内に設置し、その圧電素子積層体の軸心を貫通させて
ニードル・シャフトを配置することにより、圧電素子積
層体の伸びの方向と開弁時のニードル・シャフトの動き
の方向が一致するようにした。
ダ内に設置し、その圧電素子積層体の軸心を貫通させて
ニードル・シャフトを配置することにより、圧電素子積
層体の伸びの方向と開弁時のニードル・シャフトの動き
の方向が一致するようにした。
また、前記オイル室よりの油漏れがあった場合に、この
オイルがニードル・シャフトを伝りでニードル弁に漏出
するのを防止するために、ニードル・シャフトの外周を
囲んで円筒状の隔壁を設け、さらにオイル・シール等を
併用することにより、漏油が直接ニードル・シャフトに
触れることのないようにした。
オイルがニードル・シャフトを伝りでニードル弁に漏出
するのを防止するために、ニードル・シャフトの外周を
囲んで円筒状の隔壁を設け、さらにオイル・シール等を
併用することにより、漏油が直接ニードル・シャフトに
触れることのないようにした。
本発明の一実施例を第1図〜第2図に示す。
10はニードル・シャフトでその先端部がニードル10
aとなって、バルブ基体14と共にニードル・バルブ1
6を形成している。18はPZT圧電素子積層体で、ド
ーナソツ状のPZT素子が並列に継がれており、ケース
ボディ20内のシリンダ22に納められている。26は
絶縁体平板、24は金属平板であり、共にPZT圧電素
子積層体18のホルダとなっている。28 、30はP
ZT圧電素子積層体18に対する絶縁カバーである。3
2はPZT圧電素子積層体18のホルダ・プレートであ
り34は前記ホルダ・プレートも兼ねた加圧ピストンで
ある。32 、34は絶縁カバー28 、30がずれな
いように支える役目もしている。36は皿ばねであり、
PZT圧電素子積層体にその隙間をなくするためのオフ
セント荷重をかけている。38は受圧シリンダ基体であ
り、本実施例においては3ケ所に受圧シリンダを有する
。受圧シリンダ基体38が皿ばね36と接する部分には
溝が形成されており、オイルがせき止められないように
している。受圧シリンダ基体38は、加圧ピストン34
とシリンダ22と受圧ピストン44aと共に囲んだ空間
内にオイル室42を形成し、該受圧シリンダ基体38の
一端は第1図で左方に円筒状に伸びて円筒状隔壁38a
を形成し、このオイル室42、加圧ピストン34、PZ
T圧電素子積層体18の共通の軸心を貫通し、その円筒
状隔壁38aの中心の空胴内をニードル・シャフト10
が摺動自在に貫通している。したがって、ニードル・シ
ャフト10は直接オイル室を通ることなくニードル10
aの方向に伸びているために、ニードル弁16へのオイ
ル漏れが防がれている。また、この円筒状隔壁の末端、
すなわち第1図で左方の一端はスクリュウ・ホルダ40
によりねじ締めされ、これと皿ばね36とによりPZT
圧電子素子積層体18にオフセット荷重がかけられてい
る。44は受圧ピストン基体であり、これは3本の受圧
ピストン44aを持ち、これらが受圧シリンダ基体38
の受圧シリンダ孔48に入る。またこの受圧ピストン基
体44はニードル・シャフト10にナツト50により固
定されている。52はニードル10aをニードル弁のシ
ート部へ押し付けるためのスプリング、54はスプリン
グ52固定用ねしである。
aとなって、バルブ基体14と共にニードル・バルブ1
6を形成している。18はPZT圧電素子積層体で、ド
ーナソツ状のPZT素子が並列に継がれており、ケース
ボディ20内のシリンダ22に納められている。26は
絶縁体平板、24は金属平板であり、共にPZT圧電素
子積層体18のホルダとなっている。28 、30はP
ZT圧電素子積層体18に対する絶縁カバーである。3
2はPZT圧電素子積層体18のホルダ・プレートであ
り34は前記ホルダ・プレートも兼ねた加圧ピストンで
ある。32 、34は絶縁カバー28 、30がずれな
いように支える役目もしている。36は皿ばねであり、
PZT圧電素子積層体にその隙間をなくするためのオフ
セント荷重をかけている。38は受圧シリンダ基体であ
り、本実施例においては3ケ所に受圧シリンダを有する
。受圧シリンダ基体38が皿ばね36と接する部分には
溝が形成されており、オイルがせき止められないように
している。受圧シリンダ基体38は、加圧ピストン34
とシリンダ22と受圧ピストン44aと共に囲んだ空間
内にオイル室42を形成し、該受圧シリンダ基体38の
一端は第1図で左方に円筒状に伸びて円筒状隔壁38a
を形成し、このオイル室42、加圧ピストン34、PZ
T圧電素子積層体18の共通の軸心を貫通し、その円筒
状隔壁38aの中心の空胴内をニードル・シャフト10
が摺動自在に貫通している。したがって、ニードル・シ
ャフト10は直接オイル室を通ることなくニードル10
aの方向に伸びているために、ニードル弁16へのオイ
ル漏れが防がれている。また、この円筒状隔壁の末端、
すなわち第1図で左方の一端はスクリュウ・ホルダ40
によりねじ締めされ、これと皿ばね36とによりPZT
圧電子素子積層体18にオフセット荷重がかけられてい
る。44は受圧ピストン基体であり、これは3本の受圧
ピストン44aを持ち、これらが受圧シリンダ基体38
の受圧シリンダ孔48に入る。またこの受圧ピストン基
体44はニードル・シャフト10にナツト50により固
定されている。52はニードル10aをニードル弁のシ
ート部へ押し付けるためのスプリング、54はスプリン
グ52固定用ねしである。
56はオイル室入口通路にある小径の孔でしぼりの役目
をなし、他端は図示していないがオイル圧供給装置、例
えばポンプ室又は一定圧をかけたオイル・リザーバ等へ
配管を通じて連結される。
をなし、他端は図示していないがオイル圧供給装置、例
えばポンプ室又は一定圧をかけたオイル・リザーバ等へ
配管を通じて連結される。
58はスペーサである。60はPZT圧電素子積層体1
8のリード線であり、図示していないが、駆動回路に導
通している。なお図示の如く、シールが必要な部分には
0リングが備えである。なお、第2図に、第1図の■−
■断面図を示す。
8のリード線であり、図示していないが、駆動回路に導
通している。なお図示の如く、シールが必要な部分には
0リングが備えである。なお、第2図に、第1図の■−
■断面図を示す。
前記構成要素における作用を以下に説明する。
オイル室42にはオイル(例えばシリコンオイル)が満
たされており、しぼり56を通して圧力供給装置(図示
せず)により所定の圧力がかけられている。またオイル
室42は上述の通り加圧ピストン34と受圧シリンダ基
体38と受圧ピストン44aとシリンダ22により形成
されており、これらによってストローク拡大機構62を
構成している。すなわち加圧ピストン34の横断面積を
八とし、受圧ピストン44a1個の横断面積をBとした
場合、本実施例に於ては受圧ピストンが3個あるので、
この場合のストロークの拡大の割合は、両者のχ、!面
積の比A/3Bとなる。
たされており、しぼり56を通して圧力供給装置(図示
せず)により所定の圧力がかけられている。またオイル
室42は上述の通り加圧ピストン34と受圧シリンダ基
体38と受圧ピストン44aとシリンダ22により形成
されており、これらによってストローク拡大機構62を
構成している。すなわち加圧ピストン34の横断面積を
八とし、受圧ピストン44a1個の横断面積をBとした
場合、本実施例に於ては受圧ピストンが3個あるので、
この場合のストロークの拡大の割合は、両者のχ、!面
積の比A/3Bとなる。
以上の状態に於てPZT圧電素子積層体18に正電圧を
加えると、該圧電素子積層体18は膨張してニードル・
シャフト10の軸線方向に、ホルダ・プレート32を支
点として第1図に於ける右方向に伸び、このために加圧
ピストン34が同じく右方向に動かされる。このために
皿ばね36が縮み、オイル室42内の圧力が一瞬上昇す
るがオイルの圧縮率は非常に小さく、また、しぼり56
を十分に小さくしておけば、そのしぼり効果があるので
この加圧ピストンの動きはほとんどそのま\受圧ピスト
ン44aに伝えられ、前記のストローク拡大機構62に
よって受圧ピストン44aはそのストロークが拡大され
て右方向に動かされる。受圧ピストン44aは受圧ピス
トン基体44と一体であり、ニードル・シャフト10は
、受圧ピストン基体44とナツト50によって直接接合
されているので、ニードル・シャフト10はこの拡大さ
れたストロークで右方向に動き、ニードル弁10aが開
く。
加えると、該圧電素子積層体18は膨張してニードル・
シャフト10の軸線方向に、ホルダ・プレート32を支
点として第1図に於ける右方向に伸び、このために加圧
ピストン34が同じく右方向に動かされる。このために
皿ばね36が縮み、オイル室42内の圧力が一瞬上昇す
るがオイルの圧縮率は非常に小さく、また、しぼり56
を十分に小さくしておけば、そのしぼり効果があるので
この加圧ピストンの動きはほとんどそのま\受圧ピスト
ン44aに伝えられ、前記のストローク拡大機構62に
よって受圧ピストン44aはそのストロークが拡大され
て右方向に動かされる。受圧ピストン44aは受圧ピス
トン基体44と一体であり、ニードル・シャフト10は
、受圧ピストン基体44とナツト50によって直接接合
されているので、ニードル・シャフト10はこの拡大さ
れたストロークで右方向に動き、ニードル弁10aが開
く。
次にPZT圧電素子積層体18の電源を切るかあるいは
負電圧をかけると該圧電素子積層体は収縮し、このため
にスプリング52により受圧ピストン基体44が第1図
中左方向に押されて動き、ニードル・シャフト10も左
方向に移動してニードル弁16が閉じられる。
負電圧をかけると該圧電素子積層体は収縮し、このため
にスプリング52により受圧ピストン基体44が第1図
中左方向に押されて動き、ニードル・シャフト10も左
方向に移動してニードル弁16が閉じられる。
PZT圧電素子積層体18は非常に高い応答性を有して
いるために上述の作用が瞬時に行なわれ、l m5ec
代あるいはその以下の高応答性の制??+1弁が可能と
なる。
いるために上述の作用が瞬時に行なわれ、l m5ec
代あるいはその以下の高応答性の制??+1弁が可能と
なる。
次に本発明の第2実施例を第3図7第5図Oこ示す。ス
クリュウ・ホルダ70は第1実施例におけるスクリュウ
・ホルダ40とホルダ・プレート32を一体にしたもの
で、さらに第4図で示すように、オイル排出溝7Qa、
70bおよびケースボディにあけられてこれに連通ずる
オイル排出孔20aが設けてあり、さらに0リングが追
加されている。
クリュウ・ホルダ70は第1実施例におけるスクリュウ
・ホルダ40とホルダ・プレート32を一体にしたもの
で、さらに第4図で示すように、オイル排出溝7Qa、
70bおよびケースボディにあけられてこれに連通ずる
オイル排出孔20aが設けてあり、さらに0リングが追
加されている。
また第1実施例では一体であった受圧ピストン基体44
と受圧ピストン44aとが分離され、受圧ピストン基体
72と受圧ピストン73となっている。
と受圧ピストン44aとが分離され、受圧ピストン基体
72と受圧ピストン73となっている。
さらに、ベローズ隔膜74の一端がリングプレート76
によりねし止めされ、他端はニードル・シャフト10と
受圧ピストン基体72によって固定されている。そして
、スペーサ58にはオイル排出孔58a、ケース・ボデ
ィ20にはオイル排出孔20bが設けられ、両者により
大気に開放されている(第5図参照)。また第1実施例
のしぼり56の代りに逆止弁78が設置されている。
によりねし止めされ、他端はニードル・シャフト10と
受圧ピストン基体72によって固定されている。そして
、スペーサ58にはオイル排出孔58a、ケース・ボデ
ィ20にはオイル排出孔20bが設けられ、両者により
大気に開放されている(第5図参照)。また第1実施例
のしぼり56の代りに逆止弁78が設置されている。
以上の構成によりニードル・シャフト1oおよびニード
ル10aはオイル室42の中のオイルから分離されてお
り、ニードル弁16にオイルが洩れることはない。すな
わち、オイル室の圧が一瞬上がり、シール部のOリング
から洩れたとしても、受圧ピストン73側ではベローズ
隔膜74で完全にシールされ、さらにオイル排出孔58
a、20bより外部へ出る。また、PZT圧電素子積層
体18側へオイルが伝ってきてもスクリュウ・ホルダ7
0のオイル排出溝7Qa、70bおよびオイル排出孔2
0aにより外部へ出される。よって、オイルがニードル
弁16へ洩れることはなくなる。また、受圧ピストン7
3と受圧ピストン基体72とを分離したことにより、部
品の製作が容易になると同時に、ベローズ隔膜74の装
着も容易となる。なお、受圧ピストン73と受圧ピスト
ン基体72とは互いにオイルの圧力およびスプリング力
で押えられるため、それらが一体となったと同様の働き
をする。逆止弁78はオイル圧供給装置(図示せず)か
らのオイルは通すがオイル室側からのオイルは通さない
ため、第1実施例の場合と比べより応答性が高くなり、
ストロークも大きい。
ル10aはオイル室42の中のオイルから分離されてお
り、ニードル弁16にオイルが洩れることはない。すな
わち、オイル室の圧が一瞬上がり、シール部のOリング
から洩れたとしても、受圧ピストン73側ではベローズ
隔膜74で完全にシールされ、さらにオイル排出孔58
a、20bより外部へ出る。また、PZT圧電素子積層
体18側へオイルが伝ってきてもスクリュウ・ホルダ7
0のオイル排出溝7Qa、70bおよびオイル排出孔2
0aにより外部へ出される。よって、オイルがニードル
弁16へ洩れることはなくなる。また、受圧ピストン7
3と受圧ピストン基体72とを分離したことにより、部
品の製作が容易になると同時に、ベローズ隔膜74の装
着も容易となる。なお、受圧ピストン73と受圧ピスト
ン基体72とは互いにオイルの圧力およびスプリング力
で押えられるため、それらが一体となったと同様の働き
をする。逆止弁78はオイル圧供給装置(図示せず)か
らのオイルは通すがオイル室側からのオイルは通さない
ため、第1実施例の場合と比べより応答性が高くなり、
ストロークも大きい。
なお、上記の各実施例に於て、受圧ピストン44aおよ
び73はいづれも3個用いているが、この数は、ストロ
ーク拡大比に応じて決定されるもので、その状況に応じ
て増減して差支えない。
び73はいづれも3個用いているが、この数は、ストロ
ーク拡大比に応じて決定されるもので、その状況に応じ
て増減して差支えない。
上述の通り、本発明の構成によれば、PZT圧電素子積
層体の伸びの方向とニードル弁の開きの方向が同一であ
るので、常時閉弁型の弁として用いた場合に、制御性が
良くまたバルブ・シートやPZT圧電素子の損傷につい
ても懸念がなく、信頼性のある制御弁を提供することが
できる。
層体の伸びの方向とニードル弁の開きの方向が同一であ
るので、常時閉弁型の弁として用いた場合に、制御性が
良くまたバルブ・シートやPZT圧電素子の損傷につい
ても懸念がなく、信頼性のある制御弁を提供することが
できる。
またニードル・シャフトは直接オイル室を貫通しないで
、受圧シリンダ基体が延長した円筒状隔壁の中を通る構
造としているために、オイル室とは完全に隔離され、こ
れにオイルシール等を併用することにより、オイル室か
らの油漏れがニードル・シャフトを伝ってニードル弁に
漏出することによるニードル弁の作動不良を防止する効
果がある。
、受圧シリンダ基体が延長した円筒状隔壁の中を通る構
造としているために、オイル室とは完全に隔離され、こ
れにオイルシール等を併用することにより、オイル室か
らの油漏れがニードル・シャフトを伝ってニードル弁に
漏出することによるニードル弁の作動不良を防止する効
果がある。
第1図は本発明の第1実施例に係る制御弁アクチュエー
ターの縦断面図、第2図は第1図のn−■断面図、第3
図は第2実施例の縦断面図、第4図は第3図のrl/−
TV断面図、第5図は第3図のV−V断面図、第6図は
従来技術によるPZT圧電素子積層体を用いたニードル
弁の構成概略図を示す。 10・・・ニードル・シャフト、16・・・ニードル弁
、18・・・PZT圧電素子積層体、 22・・・シリンダ、 34・・・加圧ピストン、
38a・・・円筒状隔壁、 42・・・オイル室、4
4a、73・・・受圧ピストン 56・・・しぼり、
62・・・ストローク拡大機構、78・・・逆止弁。 4チQ 北 [+−It断面図 第2図 38・ 受圧ンリノダ基体 62・・・ストロー
ク拡大機構第3図 伸び 第6図
ターの縦断面図、第2図は第1図のn−■断面図、第3
図は第2実施例の縦断面図、第4図は第3図のrl/−
TV断面図、第5図は第3図のV−V断面図、第6図は
従来技術によるPZT圧電素子積層体を用いたニードル
弁の構成概略図を示す。 10・・・ニードル・シャフト、16・・・ニードル弁
、18・・・PZT圧電素子積層体、 22・・・シリンダ、 34・・・加圧ピストン、
38a・・・円筒状隔壁、 42・・・オイル室、4
4a、73・・・受圧ピストン 56・・・しぼり、
62・・・ストローク拡大機構、78・・・逆止弁。 4チQ 北 [+−It断面図 第2図 38・ 受圧ンリノダ基体 62・・・ストロー
ク拡大機構第3図 伸び 第6図
Claims (2)
- 1.PZT圧電素子積層体を動作駆動源としてニードル
弁の開閉を行う制御弁用アクチュエータに於て、 シリンダ内に設定されたドーナッツ状のPZT圧電素子
積層体と、 該圧電素子積層体に接して、同軸に設けられたドーナッ
ツ状の加圧ピストンと、 前記加圧ピストンとシリンダによって区画設定され、常
に一定圧のオイルがオイル圧供給源より供給されている
オイル室と、 前記加圧ピストンと、該加圧ピストンの変位量をオイル
室のオイルを介して拡大して変位駆動される複数の受圧
ピストンとにより構成されたストローク拡大機構と、 前記圧電素子積層体と加圧ピストンの軸心を摺動自在に
貫通し、前記ストローク拡大機構と接合して前記受圧ピ
ストンと等しいストロークで連動するニードル・シャフ
トと、 常時は閉鎖され、前記圧電素子積層体に電圧が印加され
てその容積が膨張した場合にその軸線方向の伸びの方向
にニードル・シャフトが移動することにより開弁するよ
うに設定されたニードル弁と、 オイル室よりニードル弁へのオイル漏れを防止するため
にニードル・シャフトの外周を囲んで設けた円筒状の隔
壁部を具備することを特徴とする制御弁用アクチュエー
タ。 - 2.オイル室へのオイル圧供給源よりの入口通路に、ニ
ードル弁の応答性を良好にするために、しぼりまたは逆
止弁を具備した特許請求の範囲第1項記載の制御弁用ア
クチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13624186A JPS62292977A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 制御弁用アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13624186A JPS62292977A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 制御弁用アクチユエ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62292977A true JPS62292977A (ja) | 1987-12-19 |
Family
ID=15170583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13624186A Pending JPS62292977A (ja) | 1986-06-13 | 1986-06-13 | 制御弁用アクチユエ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62292977A (ja) |
-
1986
- 1986-06-13 JP JP13624186A patent/JPS62292977A/ja active Pending
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