JPS62292682A - 磁器表面電極形成法 - Google Patents

磁器表面電極形成法

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JPS62292682A
JPS62292682A JP61135249A JP13524986A JPS62292682A JP S62292682 A JPS62292682 A JP S62292682A JP 61135249 A JP61135249 A JP 61135249A JP 13524986 A JP13524986 A JP 13524986A JP S62292682 A JPS62292682 A JP S62292682A
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JP
Japan
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porcelain
electrode
reduced layer
surface electrode
electrode formation
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JP61135249A
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English (en)
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昭一 岩谷
均 増村
濱田　宗光
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/06—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
    • H01L21/08—Preparation of the foundation plate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00—Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002—Details
    • H01G4/005—Electrodes
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はライター用着火素子などの圧電素子。
コンデンサ、バリスタ、各種センサー、ＨＩＣ（混成集
積回路）基板等の電極を形成するために利用できる。
（従来の技術） 従来においては、磁器コンデンサ、圧電素子等は第２図
のように磁器組成物を本体１０として、その両端表面に
フリット含有銀電４※１１を焼付して設けたものが一般
的である。
（発明か解決しようとする問題点） しかし、上記従来のｆ！ｉ器組成物では、電極として銀
を用いて形成するので高価であるのみならず、電極形成
にあたって、銀特有のマイグレーションを生じる難点も
ある。
そこで、本発明の主たる目的（よ、安価となるばかりで
なく、容易に電極を形成できる磁器表面光（※形成法を
提供することにおる。ざらに素子の耐久性の向上が実現
できる。
［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 上記問題点を解決するための本発明は、成形。
焼結された磁器組成物を、真空、中性もしくは還元性雰
囲気Ｃ熱処理を行い、磁器表面に還元層を形成し、その
後還元層の不要部分を除去し、残った還元層部分を電極
として搬面させることを特徴とづるものである。
（作　用） 本発明に従えば、磁′５月料からなる磁器表面に還元層
を形成し、その還元層を電極として使用ｌるため、従来
の銀電極形成法と比較して大幅に経済的でおる。また、
マイグレーションの発生の問題もない。ざらに電気的特
性は従来のものとほぼ同様な特性が得られており、耐久
性が向上している。
（発明の概要） 以下本発明をざらに詳述する。
第１図は、本発明法の概要工程図で、まず例えば・円柱
形の磁器誘電体１を（ｑる。この形成に際しては、従来
法のように原料の調合→湿式混合−◆脱水乾燥→仮焼→
扮砕→造粒→成形→焼結の二［程を経て得ることができ
る。
次に、前記磁器１を、真空、中性もしくは還元性雰囲気
中で熱処理を行い、（ｂ）図のように、磁器１表面に還
元層２を形成する。ぞの（Ｃ）図のように、例えば、仮
想線ｌ″Ｃ示すように、円柱半製品３の外周の不要還元
層部分を研削等の手段により除去し、（ｂ）図のように
上下端に還元層を残し、これを電極４，４として使用す
る。
還元層を形成する場合、例えばＮ２やＮ２雰囲気下で熱
処理を行う。熱処理温度としては６５０°Ｃ〜１０００
’Ｃ程度が好ましい。
本発明に従って得られる製品は、ライター着火素子など
圧電素子、コンデンサ、バリスタ、各種センサー等の磁
器組成物、ＨＩＣに用いることができる。
一方、出発磁器表面に強制還元により半導体化されやす
い元素Ｚｎ、Ｐｂ、Ｂ　ｉ、ｓｂ、Ｙｂ。
３ｃ、１’−ａ等の酸化物を塗ｆ（ｉＬ／た後、強制還
元して還元層を形成してもよい。この方法によれば、板
状に成形した出発磁器表面に前記の半導体化されやすい
元素の酸化物を導体パターンをもってスクリーン印刷し
、その後強制還元して基板を得ることができる。
（実施例〉 次に実施例を２つ示す。
（１）ライター着火素子の場合 ライター着火素子に使われているＰＺＴ材の焼結素子を
、Ｈ２＋Ｎ２雰囲気（Ｎ２溌度２０％）。
譬降温速度５００’Ｃ／Ｈｒ、７４０’Ｃで還元焼成し
、磁器表面のみに還元層を形成し、不要部分を外周研削
した後、平面に残った還元層部分を電極として機能させ
た。
この磁器においてカップリング特性（Ｋ３３）を調べた
ところ、従来の一般的に使用されている誘電（セのそれ
が６９．０５でおったのに対して６８゜１％（銀電極の
９８．７％）であった。また信頼性及び耐久性について
も調べた結果を第３，４図に示す。結果をみると還元電
極は銀電極と同等の１２ｊ性をもら、特性劣化が小さく
、耐久性が向上しており、ライター素子として十分な機
能を有することが判る。
（２）］ンデンの場合 ＢａＴ　ｉ　０３−Ｌａ２Ｏ３系のコンデンサの焼結素
子を、Ｈ２＋Ｎ２雰囲気（Ｎ２瀧度２０％）。
胃降温速度５００’Ｃ／Ｈｒ、８００’Ｃ，安定時間２
０分で還元焼成し、磁器の表面のみに還元層を形成し不
要部分を外周研削した後、平面に残った還元層を電極と
して機能ざぜた。
この磁器において誘電率及び誘電損失を調べたところ第
５図の結果を（５７だ。従来の一般的に使用されている
銀電極と比較して誘電損失は大きくなるものの、同等の
誘電率をもち、そのバラツキは小さくなり、信頼性が向
上しており、コンデンサとして十分な機能を有すること
が判る。
（発明の効果］ 以上の通り、本発明によれば電極付の磁器を支１ｉｆｆ
ｉに製造できると共に、従来の銀電極と同等の電気特性
をもち、耐久性の向上、特性バラツキの減少など信頼性
の面で優れたものを１９にとができる。
また、用途例としてトＩＩｃ基板に還元層を形成し、そ
の後必要パターン部分を残して残余を除去することによ
って電極を得る方法もあり、その他磁器と電極の組合ば
からなる部品全般に適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）〜（ｄ＞は本発明を工程順に示す概略斜視
図、第２図は従来のライター素子構造の斜視図、第３．
４．５図は試験結果の相関を表すグラフでおる。 １・・・磁器、２・・・還元層、３・・・半製品、４・
・・電極。 第１図第２図 π＝１０ セイクー湛艮千万０−汁り奪回数 ライク−濃で棗チ３仕チイロ窮 第４図 ５こ　澄〔°Ｃ〕 ２１１紙 手続補正書 昭和６１年７月２６日

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　磁器組成物の表面を還元し、この表面還元層を磁器誘
    電体の電極として機能させることを特徴とする磁器表面
    電極形成法。
JP61135249A 1986-06-11 1986-06-11 磁器表面電極形成法 Pending JPS62292682A (ja)

Priority Applications (3)

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JP61135249A JPS62292682A (ja) 1986-06-11 1986-06-11 磁器表面電極形成法
KR8702933A KR920009168B1 (en) 1986-06-11 1987-03-30 Ceramie surface electrode for publication
US07/431,405 US4987515A (en) 1986-06-11 1989-11-03 Ceramic capacitor with electrodes formed by reduction

Applications Claiming Priority (1)

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JP61135249A JPS62292682A (ja) 1986-06-11 1986-06-11 磁器表面電極形成法

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KR880001035A (ko) 1988-03-31
US4987515A (en) 1991-01-22
KR920009168B1 (en) 1992-10-14

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