JPS62292335A - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

ワイヤ放電加工装置

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JPS62292335A
JPS62292335A JP13502786A JP13502786A JPS62292335A JP S62292335 A JPS62292335 A JP S62292335A JP 13502786 A JP13502786 A JP 13502786A JP 13502786 A JP13502786 A JP 13502786A JP S62292335 A JPS62292335 A JP S62292335A
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JP
Japan
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feed
workpiece
thermal expansion
installing
low thermal
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JP13502786A
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JPH0545366B2 (ja
Inventor
Masaru Shinkai
勝 新開
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/0003Arrangements for preventing undesired thermal effects on tools or parts of the machine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/01Frames, beds, pillars or like members; Arrangement of ways
    • B23Q1/015Frames, beds, pillars

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 五 発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この発明はワイヤ放電加工装置、特にその加工精度向上
に関するものである。
〔従来の技術〕
第6図は従来のワイヤ放電加工装置を示す構成図であり
、図において、(4)はベッド(図示せず)上に載置さ
れたYテーブルであり、(31)はXテーブルである。
X軸方向の駆動はX軸モータ(6)、送りネジ(8)、
送りネジ用ナツト(9)で構成されている。
αηはYテーブル(4)に取付固定された送りガイド用
レールで、Xテーブル01)に取付固定された送υガイ
ド用ナツト(10a) 、 (10b)とセットに 構
成されている。(5)は加工槽であり、ポル) (70
でXテーブル01)に固定されておりワイヤ放電加工機
における加工液の回収を行う。ζ溢は被加工物取付板で
あり、被加工物(2)全取付固定する。03は支持台で
あり、XテーブルC311にポル) fJに固定され、
且つ被加工物取付板(33をボルト(社)で固定する。
通常、被加工物取付&G3と支持台Cつはステンレス材
で形成される−はシール材であり加工液(図示せず)の
シールを行なうものである。(至)は下部アームであり
コラム(図示せず)から、突出して固定されるとともに
、上部ワイヤガイド(図示せず)と、被加工物(2)を
介して対向した位置に、ワイヤ電極(1)を摺動自在に
保持する下部ガイドθ1を保持する。ワイヤ電極(1)
はワイヤボビン(図示せず)から供給され上部ガイド(
図示せず)及び下部ガイドi40、下部ローラ(9)を
経由して回収される。またこのワイヤ!極にはテンショ
ンが常に作用するよう構成されている。
次に動作について説明する。上記構成におけるワイヤ放
電加工は、ワイヤ電極(1)を被加工物(2)に微少間
隙を介して対向させ、この微少間隙に加工液を供給しつ
つ操り返しパルス放電を行い、かつ、ワイヤM1極(1
)、若しくは被加工物(2)を予定された加工経路て従
って進行させて上記被加工物(2)を放電加工するもの
である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来の装置は、以上のように構成されているので、ワイ
ヤ放電加工を行うと、放電エネルギーによ多発生する加
工熱が加工液に伝達され、被加工物取付板(至)、支持
台o2.xテーブル01)間で、相対温度差を生じ各接
合面での相対ズレが生じたり、また熱変位が生じたりし
ていた。すなわち、被加工物(2)とワイヤ電極(1)
との相対ズレが生じ、加工精度に悪影響を及ぼしていた
また、上記3者間の各接合面は高精度に仕上げる必要が
あり、高価な機械となっていた。
この発明は、上記のような従来装置の問題点を解消する
ためになされたもので加工中の発熱等によっても熱変形
量を小さく維持でき、゛加工精度の高い加工が実現でき
るとともに、廉価なワイヤ放電加工装置を得ることを目
的とする。
〔問題点を鱗決するだめの手段〕
この発明は、被加工物取付定盤と、送りガイド用ナツト
取付面と送りネジ用ナツト取付面を備えた送りテーブル
とを、低熱膨張材により一体構造に形成したワイヤ放電
加工装置を提供するものである。
〔作用〕
この発明においては、被加工物取付定盤と送りテーブル
とを一体構造で形成し、且つ低熱膨張材で形成したこと
によシ、被加工物取付定盤と送9テーブル間の相対的ズ
レを失<シ、且つ熱変位を小さくすることができ、ワイ
ヤー、極と被加工物との相対位置を正常状態に保持する
ことができる。
〔発明の実施例〕
以下、この発明の一実施例を図忙ついて説明する。第1
図はこの発明によるワイヤ放電加工装置の構成を示す斜
視図、第2図はこの発明の一体形送りテーブルの断面図
である。
第1図において、第3図と同一符号は同−又は相当部分
を示し、第1図における(3)は、被加工物(2)を固
足でき、且つX方向に移動可能な一体形X軸テーブルで
あり、低Mi張材で形成されている。
第2図における(6b)は送りガイド用ナツト(1()
a)。
(10b)を取付ける基準面、(3c)は送りネジ用ナ
ツトを取付ける基準面であり、(3a)は被加工物(2
)を取付ける基準面である。
以上のように構成されたワイヤ放電加工装置においては
、従来と同様にして放電加工を行う際、従来例で述べた
放電エネルギー圧よる加工熱及び被加工物取付部に供給
されたジュール熱などによる熱応力が一体形X軸テーブ
ル(3)に発生するが、一体構造にて形成しているので
、被加工物取付部とX軸テーブル間の締結部の相対ズレ
は発生せず、且つ低熱膨張材で形成しているので、ステ
ンレス材等と比較して熱変位が小宴くできる。尚、本実
施例では熱膨張係数が4〜5 K I O−’の低熱膨
張材を使用した。従って、ワイヤ電極(1)と被加工物
(2)との相対位置を正常状態に保持でき、加工精度を
向上させることができる。
尚、X軸テーブル(3)は低熱膨張材で形成しているの
で、送シ系との締結部は配慮が必要である。
すなわち、送シ系の機構は通常耐摩機材で形成され、熱
膨張係数が11〜12に10  であり、低熱膨張材と
の結合部は極力小さくする必要がある。
従って送りガイドはリニアボールガイドを使用し、且つ
送υガイド用ナツトをX軸テーブルに取シ付けるととも
に、送りネジ用ナツトもX軸テーブルに取付け、接合面
の熱影響を無視できる構造とした。
以上のように構成された一体形X軸テーブル(3)には
上下の基準面を研摩加工するだけで容易に製作でき、安
価でしかも高精度加工可能なワイヤ放電加工装置が得ら
れる。
なお、上記実施例では一体形送りテーブルをX軸テーブ
ルとして示したが、YテーブルとXテーブルとを替えて
も同様の効果を奏する。
〔発明の効果〕′ 以上のように、本発明によれば被加工物取付定盤と送り
テーブルとを一体構造で形成し、且つ低熱膨張材で構成
したので、装置が安価にでき、また、加工精度の高いも
のが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は一体
形送りテーブルの断面図、第6図は従来の技術の構成図
である。 図において、1:ワイヤ電極、2:被加工物、3:同一
部材構造のXテーブル、4:Yテーブル・5:加工槽、
6:X軸モータである。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示すO 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第1図 1 : ツイヤ¥Lも&          IIWリ
カ゛イに用レール2: ネ皮21O工物       
 38: 王宮負アーム3 : 同−音財才月4卸4の
Xデー7つし40′ 下唇β力°イド4:YテーアIL
/45:  下部ローラ9: 江すネ゛シ”用ナツト 3o: ネ皮りロエナ初耳えイ寸基準面3b: (疫す
カ°イド用ナツト取イ士)県準面3C: 送すネジ用ナ
ツト敢Δ寸基卑面第3図 31:Xテーブル 32、支持 色 33; オ皮力Oニオ勿月叉、イづ一扱71゛ 爪゛ 
1し ド ア2: ホ″)し ド ア3:シール材

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ワイヤ放電加工装置において、概加工装置の構成部品で
    ある被加工物取付定盤と、送りガイド用ナット取付面と
    送りネジ用ナット取付面を備えた送りテーブルとを低熱
    膨張材により一体構造に形成したことを特徴とするワイ
    ヤ放電加工装置。
JP13502786A 1986-06-12 1986-06-12 ワイヤ放電加工装置 Granted JPS62292335A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13502786A JPS62292335A (ja) 1986-06-12 1986-06-12 ワイヤ放電加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13502786A JPS62292335A (ja) 1986-06-12 1986-06-12 ワイヤ放電加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62292335A true JPS62292335A (ja) 1987-12-19
JPH0545366B2 JPH0545366B2 (ja) 1993-07-09

Family

ID=15142225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13502786A Granted JPS62292335A (ja) 1986-06-12 1986-06-12 ワイヤ放電加工装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1681132A1 (en) * 2005-01-17 2006-07-19 Jobs S.p.A. Machine tool made of low thermal expansion material

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS624522A (ja) * 1985-05-21 1987-01-10 システム・3アル・インターナショナル・アクチェボラグ 基準部材を備えた装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS624522A (ja) * 1985-05-21 1987-01-10 システム・3アル・インターナショナル・アクチェボラグ 基準部材を備えた装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1681132A1 (en) * 2005-01-17 2006-07-19 Jobs S.p.A. Machine tool made of low thermal expansion material
US7261503B2 (en) * 2005-01-17 2007-08-28 Jobs S.P.A. Multi-axis machine tool

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Publication number Publication date
JPH0545366B2 (ja) 1993-07-09

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