JPS62285007A

JPS62285007A - プロフイ−ル連続測定装置

Info

Publication number: JPS62285007A
Application number: JP61129694A
Authority: JP
Inventors: Junichi Murakami; 純一村上; Satoru Obara; 小原　哲
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-06-04
Filing date: 1986-06-04
Publication date: 1987-12-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３、発明の詳細な説明［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、板状被測定物の断面形状を連続的に測定する
プロフィール連続測定装置に係わり、特に被測定物のエ
ツジ部より外側を通過する放射線を遮るように可動板を
追従ｗＪｉＩｌする制御手段を設けたプロフィール連続
測定装置に関する。

（従来の技術）一般に、圧延機の圧延ロールによって圧延された金属板
（以下、被測定物と指称する）の圧延方向と直交する方
向の断面形状、すなわちプロフィールは、第１１図に示
す様に被測定物１の両側エツジ部２．２が緩やかな厚み
変化を持ったクラウン形状に形成されている。製品の品
質を高める観点からは、前記エツジ部２の緩やかな厚み
変化をなくし、急激に立下がる様なプロフィールに形成
する必要がある。ここに、圧延機から出力される被測定
物１のエツジ部２のプロフィールを連続的に測定し、エ
ツジ部２の厚みを正確に測定し前記圧延機へフィードバ
ックすることにより、適切な板厚制御を実施する必要が
ある。第１１図においてＨは板厚方向、Ｗは板幅方向を
示す。

そこで、従来、かかる要請の下に次のようなプロフィー
ル測定装置が開発されている。この装置は、第１２図に
示す如く搬送ライン上の被測定物１の側方からＣフレー
ム台車３を挿入するとともに、このＣフレーム台車ｉの
上側支持片部３ａに設置された放射線発生器４から被測
定物１のエツジ部２へ向けて放射線５を照射し、このと
き被測定物１のエツジ部２近傍を通過して入射される放
射線の強度を下側支持片部３ｂに設置された多チャンネ
ル放射線検出器（以下、多チャンネル検出器と指称する
）６により検出した後、これら各チャンネルごとの検出
データは後続のデータ収集部７で収集され、プロフィー
ル演算処理部８に送出される。このプロフィール演算処
理部８は、チャンネルごとに板厚計算を行なってエツジ
部２の厚みを求め、２次元的なエツジ部２のプロフィー
ルを作成した後、ＣＲＴディスプレイ装置９に表示して
いる。しかし、以上のような多チャンネル検出器６を用
いて２次元的なエツジ部２のプロフィールを測定する場
合、多チャンネル検出器６としては、高感度で、かつ、
幅方向に高分解能を有するものを使用しなければエツジ
部２の板厚を高精度に測定できない。

ところで、近年、医療用ＣＴスキャナの急速な技術の進
歩により、特にＸｅガスを封入した電離箱形多チャンネ
ル検出器が開発されている。しかし、このような多チャ
ンネル検出器においては、被測定物１のエツジ部２およ
びその他の部ｉ等から様々な原因で散乱線が発生し、エ
ツジ近傍のチャンネルでは本来被測定物１を透過して入
射されるＸ線よりも極めて多くのＸ線が入射され、その
結果、本来得られるべき真値よりも常に薄い板厚を測定
することになり、いわゆる測定誤差のために急激なエツ
ジ部２を持ったプロフィールを得ることが難しい。

なお、測定に影響を与える主な散乱線としては、第１３
図に示すように被測定物１自身から発生ずる散乱線１ａ
、多チャンネル検出器６のフレーム１０に例えば被測定
物１から飛散する鉄粉やフレーム内部の窒素ガスの漏出
を防止するために取付けた例えばアルミニューム等の窓
面１０より発生する散乱線Ｉｂ、更には各チャンネル検
出器内部から発生して他の近隣チャンネルへ影響を与え
る二次ＸｌｌＩｃ等がある。そのうち、プロフィールの
測定に大きな影響を与えるものは、窓面１０からの散乱
線であり、次に二次Ｘ線であることが実験から明らかに
されている。特に、二次Ｘ線は、ＫＸ線と呼ばれる蛍光
Ｘ線であって、３４．６ＫｅＶのに吸収端よりも高いエ
ネルギーの入射Ｘ線に対して生じるものであり、その発
生エネルギーは被測定物１を透過することなく直接入射
されるものであるために非常に高く、近隣のチャンネル
に相当な影響を与える。

（発明が解決しようとする問題点）従って、この種のプロフィール連続測定装置は、放射線
発生器４からのＸ線■がエツジ部より内側では被測定物
１内を透過し、エツジ部より外側では被測定物を透過す
ることなくそのまま減弱なしで多チャンネル検出器６に
達し、この結果、被測定物１からの散乱線Ｉａ、窓面１
０からの散乱線Ｉｂ、多チャンネル検出器６内部で発生
する二次Ｘ線等による様々な原因により、特にエツジ部
２のプロフィール測定に大きな誤差を与えている。

本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、被測定物の
エツジ部より外側を通過する放射線を適切な制御の下に
遮ることにより、誤差原因となる無用な散乱線が生じる
のを阻止し、高速、かつ、高精度に被測定物のエツジプ
ロフィールを測定し得るプロフィール連続測定装置を提
供することを目的とする。

［発明の構成コ（問題点を解決するための手段）本発明によるプロフィール連続測定装置によれば、放射
線発生器から前記被測定物のエツジ部近傍を通過して入
射される放射線強度を多チャンネル検出器で検出する放
射線検出系の所定位置にエツジ検出器を設け、かつ、外
部からの駆動制御信号を受けて可動板を移動させる可動
板移動機構を設け、前記エツジ検出器の出力から前記被
測定物のエツジ位置を判別し、かつ、前回エツジ位置と
今回エツジ位置とを比較し、この比較判別結果に基づい
て前記可動板移動機構に前記駆動制御信号を与えて、可
動板を被測定物のエツジ変化に追従して移動させる様に
したものである。

（作用）従って、以上のような手段とすることにより、所定位置
に配置されたエツジ検出器からのエツジ検出信号を用い
て該エツジ検出器の検出中心より被測定物のエツジ変化
を機械的な相対値であるエツジ位置データとして取り出
すとともに、この今回エツジ位置と前回エツジ位置とを
比較しこの比較結果の信号の内容に応じた駆動制御信号
を出力し、この信号を可動板移動機構に与えて可動板を
進退駆動させることにより、可動板が被測定物のエツジ
に追従しながら被測定物のエツジ部より外側の部分を通
る放射線を遮り、多チャンネル検出器内で生じる二次放
射線を低減し、かつ、他の構成部材から発生する散乱線
を低減するものである。

（実施例）以下、本発明に一実施例について第１図ないし第７図を
参照して説明する。第１図は装置全体の構成図、第２図
は可動板移動機構の構成図、第３図は可動板の動作説明
図、第４図はプロフィール演算処理部のハード構成を示
す図、第５図はデータ処理手順を示す図、第６図はエツ
ジ位置を求める為の説明図、第７図は可動板の追従状態
を説明する図である。第１図において１１は例えば圧延
中の鋼板等の被測定物であり、これは紙面と直交する方
向に例えば間欠または連続搬送されているものとする。

１２は被測定物１１を所要の間隔をもって挟む様に形成
されたＣ型フレーム台車であって、その上側支持片部１
２ａ側には被測定物１１のエツジ１１ａ近傍にほぼビー
ム中心が位置する様にファン状放射線ビーム１３を照射
する放射線発生器１４が設置されている。この放射線発
生器１４としてはＲＩ線源またはＸ線管等が使用される
。他方、下側支持片部１２ｂには放射線発生器１４から
照射されるファン状放射線ビーム１３の強度を検出する
多チャンネル検出器１５が設置されている。さらに、外
部から駆動制御信号を受け、校正時には放射線発生器１
４の前面側に被測定物無しの状態で板厚の異なる可動板
としての校正用基準板が順次設定され、それ以外の測定
時には被測定物１１のエツジの外側を覆い隠すように所
望板厚の前記可動板を移動させるための可動板移動機構
１６が設けられ、また前記多チャンネル検出器１５の放
射線入射側には散乱線の影響を低減するためのコリメー
タ１７が配置されている。１８はデータ収集部であって
、これは例えば多チャンネル検出器１５の検出信号を各
チャンネルごとに増幅するとともに、これらの増幅信号
をプロフィール演算部２０からの伝送制御信号を受けて
マルチモレ蚕すで順次選択してディジタル化してプロフ
ィール演算部２０へ送出する機能を持っている。

前記可動板移動機構１６は、第２図および第３図に示す
ように先端側に校正用基準板すなわち可動板１６１が保
持され、その中間部に長孔１６２を有し、かつ、後端部
の一方面部にラック部１６３を形成した可動板保持部材
１６４と、外部駆動制御信号を受けて前記ラック部１６
３に噛合する歯車１６５を回転させて可動板保持部材１
６４を進退移動させる移動用駆動源１６６と、前記可動
板保持部材１６４の長孔１６２にアーム１６７が係合さ
れ、外部駆動制御信号を受けて第３図（ａ）に示すイ矢
印方向に回動させるロータリソレノイド１６８とを備え
、これらは板厚の異なる複数の基準板つまり可動板の数
に対応して複数組が備えられている。

前記プロフィール演算部２０は、板厚変換部２１と、全
体を統轄制御するシステムコントローラ２２と、このコ
ントローラ２２からの指令に基づいて放射線発生器１４
に駆動制御信号を与える放射線制御部２３と、同じくシ
ステムコントローラ２２からの指令に基づいて可動板移
動機構１６に校正または移動のための駆動制御信号を送
出するエツジ追従制御部２４と、表示処理部２５とを有
し、この表示処理部２５で処理された厚み測定位置およ
び板厚信号を表示装置２６に表示されるようになってい
る。

また、プロフィール演算部２０には上側支持片部１２ａ
ａの適宜な箇所に設置したエツジ検出器３１より出力さ
れるエツジ検出信号からエツジ位置を判別するエツジ判
別部３２が設けられ、このエツジ判別部３２で得られた
今回エツジ位置データが前記システムコントローラ２２
内で前回エツジ位置データと比較され、その比較結果の
データを前記エツジ追従制御部２４に与える構成となっ
ている。従って、エツジ検出器３１．エツジ判別部３２
およびエツジ位置比較手段等を含んでエツジ判別手段を
構成している。

前記エツジ検出器３１は、例えばラインセンサ等が使用
され、そのセンサの中心位置つまり検出中心が被測定物
１１のエツジひいては多チャンネル検出器１５の検出中
心とほぼ一致する様な位置関係に設定されるものとする
。前記エツジ判別部３２は、エツジ検出器３１から出力
されるエツジ検出信号を受けて例えばエツジ検出器３１
の中心位ばからの機械的な相対値を判断してエツジ位置
データを得、これをシステムコントローラ２２に供給す
るものである。

次に、第４図は、システムコントローラ２２を具体的に
表わし、かつ、該コントローラ２２と他の構成要素との
関係を示す図である。同図において２２１はシーケンス
プログラムに基づいて所定の演算制御を実行する中央演
算処理部（以下、ＣＰＵと指称する）であって、これか
らアドレス・データバス２２２が導出されている。この
バス２２２にはシーケンスプログラムや演算上の計算式
、その他の固定定数等のデータを記憶するＲＯＭ（リー
ド・オンリー・メモリ）２２３およびＲＡＭ　（ランダ
ム・アクセス・メモリ）２２４゜データ収集部１８へ伝
送制御信号を送出し、かつ、データ収集部１８からのデ
ータを取り込むための伝送制御部２２５等が接続され、
勿論、図示されていないがインターフェイスを介してキ
ーボードが接続されている。

次に、以上のように構成された装置の動作を説明する。

先ず、測定に先立って校正処理を行なう。

この校正処理動作は、被測定物１１の無い状態でシーケ
ンスプログラムまたはキーボードからの人為的な入力信
号に基づいてＣＰＵ２２１より校正のための指令をエツ
ジ追従制御部２４に与えると、エツジ追従制御部２４は
例えば１ｍｍ、　２ｍｌ１ｌ、　４ｍｍの板厚の可動板
１６１・・・を順次選択するための信号を可動板移動機
構に１６・・・に選択的に供給し、これにより各移動機
構１６・・・のロータリソレノイド１６８が回転駆動し
、板厚の異なる校正用基準板である可動板１６１が順次
第３図（ａ）に示す位ばから図示イ矢印方向に回動し、
放射線発生器１４の放射線照射路に設定される。このと
き、ＣＰＬＩ２１１から放射線制御部２３を介して放射
線発生器１４に駆動信号が与えられ、放射線発生器１４
よりファン状放射線１３が照射される。そして、各板厚
の異なる可動板１６１を透過して入射せられる放射線の
強度を多チャンネル検出器１５で検出し、これをデータ
、収集部１８を通してシステムコントローラ２２で取得
し、ＲＡＭ２２４または板厚変換部２１のメモリに格納
する。

その後、前記各板厚ごとの取得データおよびこの各板厚
間については取得データを基に補間法により補間し、校
正特性データを作成する。

次に、以上のようにして校正特性データを得た後、本来
のプロフィール測定動作を行なう。この測定に先立ち、
ＣＰＬ１２１１から指令を発し、エツジ追従制御部２４
から可動板移動機構１６へ可動板１６１を後退させるべ
き駆動制御信号が送出され、これに基づいて第３図（ｂ
）の状態から移動用駆動源１６６により可動板１６１を
エツジ１１ｂの外側へ後退させられ、プロフィール測定
動作に入る。

このプロフィール測定動作においては、被測定物１１が
第１図に示す如く紙面奥行方向から手前に所定の搬送速
度でライン上を搬送しているものとする。この状態にお
いて人為的またはプログラムに基づいて第５図に示す如
くデータ開始測定指令を発すると、システムコントロー
ラ２２から放射線制御部２３を介して放射線発生器１４
を駆動する。よって、放射線発生器１４からファン状放
射線１３が被測定物１１のエツジ部１１ａ近傍に向けて
照射される。このとき、放射線１３は被測定物１１のエ
ツジ部内ではその厚さに応じて減衰透過され、またエツ
ジ部外では減衰なしでそのまま多チャンネル検出器１５
に到達し、ここで放射線強度に比例した電気信号に変換
された後、データ収集部１８において各チャンネルごと
の検出データを収集する。

ここで、ＣＰＵ２２１は伝送制御部２２５を介して伝送
制御信号をデータ収集部１８に送出して各チャンネルご
との検出データを取得しＲＡＭ２２４または板厚変換部
２１の図示しないメモリに格納した後、第５図に示すス
テップ８１〜Ｓ３の如く板厚計算処理を実行する。すな
わち、ステップＳ１では多チャンネル検出器１５の各チ
ャンネル出力Ｖｌ（ｉ＝１〜ｎ）を取得した後、ｔｏ（
Ｉ　Ｖ　ｉの計算（ステップ８２＞および板厚Ｔｉの計
算を行う（ステップ８３）。このとき、前記校正特性デ
ータを用いて板厚を求めるものである。

そして、被測定物１１の板厚を得たならば、ＣＰＵ２２
１はステップＳ４において該板厚に最も近い板厚を持っ
た可動板１６１の可動板移動機構１６を選択すべく信号
をエツジ追従制御部２４に送出する。ここで、エツジ追
従制御部２４からの駆動制御信号により、所要とする可
動板移動機構１６が選択される。

一方、上記測定物１１の板厚測定時、エツジ検出器３１
においては被測定物１１のエツジ部の光学像を検出し、
電気的な信号に変換したエツジ検出信号としてエツジ判
別部３２に送出する。このエツジ判別部３２ではエツジ
検出信号を受は取ってエツジ検出器３１の設置位置また
はエツジ検出器中心位置からの機械的な相対値をもって
エツジ位置として判別されている。

そこで、ＣＰＵ　２２１は、ステップＳ５においてエツ
ジ判別部３２からの今回エツジ位置データを取り込むと
ともに、この今回エツジ位置データ×１と前回エツジ位
置データ×ｉ−１とを比較し、両データ値が等しい場合
、今回エツジ位置データｘｉが前回エツジ位置データｘ
ｉ−１よりも小さい場合および今回エツジ位置データｘ
ｉが前回エツジ位置データよりも大きい場合、つまり３
様の比較結果を得る。この比較結果の信号はエツジ追従
制御部２４に送られる。エツジ追従制御部２４は今回と
前回の値が等しいと判別されたデータを受けると、ステ
ップＳ７において可動板１６１が前回エツジ位置と同じ
位置に設定するための駆動動詞−信号が可動板移動機構
１６に送出される。

また、比較結果、エツジ追従制御部２４が今回エツジ位
置データが前回エツジ位置データよりも小さいと判別し
たデータを受は取ると、その旨の駆動制御信号を可動板
移動機構１６に送出し、可動板１６１をエツジ内方向に
移動させる（ステップ８８）。逆の比較結果のデータを
受けた場合には可動板１６１をエツジ外方向へ移動させ
る。ちなみに、第６図は被測定物１１のエツジ部１１ａ
がエツジ検出器３１の検出中心位置よりも内側へ入り込
む様に変化しているとき、可動板１６１はエツジ外方向
であるＸ方向へ後退移動させられる。

すなわち、可動板移動機構１６は、エツジ追従制御部２
４からの駆動制御信号を受けて、被測定物１１のエツジ
１１ａの変化に対し、常に可動板１６１が第７図に示す
ようにエツジ部外部よりエツジ１１ａまで覆い隠すよう
に移動制御され、結局、エツジ部より外側を通る放射線
を遮ることにより、誤差原因となる無用な二次放射線お
よび散乱線等の発生を低減させ得、測定精度を向上させ
ることができる。

以上のようにして可動板１６１を被測定物１１のエツジ
１１ａに追従させつつ被測定物１１の板厚を測定しくス
テップＳ３）、ステップＳ１０においてエツジチャンネ
ルを判別するとともに各チャンネルの取り付は寸法等か
ら対応計算を行なってチャンネル位置を求め、各チャン
ネル間は必要に応じて例えば補間法によりその位置を求
め、それぞれの位置に対応した板厚のプロフィールを得
、ステップＳ１１で表示処理部２５を介して表示装置２
６に表示する。引き続き、ＣＰＵ２２１はシーケンスプ
ログラムに基づいてプロフィール測定ないしは可動板１
６１の追従移動制御を継続するか否かを判断しくステッ
プ５１２）、継続すると判断した場合には最初のステッ
プＳ１に戻る。

従って、以上のような実施例の構成によれば、被測定物
１１のエツジ１１ａの変化を検出するためのエツジ検出
器３１を設け、かつ、校正用基準板を可動板１６１とし
て使用し、前記エツジ検出器３１のエツジ検出信号から
エツジ判別部３２がエツジ位置を判別し、この今回エツ
ジ位置と前回エツジ位置とを比較しその大小関係の信号
をエツジ追従制御部２４へ送出し、可動板１６１を被測
定物１１のエツジ１１ａに追従させるための駆動制御信
号を可動板移動機構１６に送出するよ５にしたので、可
動板１６１を常に被測定物のエツジ１１ａの変化に追従
させて移動制御することにより、エツジ部より外側から
の無用な放射線がエツジチャンネル近傍に入射しなくな
り、結局、エツジチャンネル近傍に入った放射線による
二次放射線の発生を大幅に低減でき、また、窓面３０に
当って散乱する散乱線の影響を低減できる。従って、従
来の装置に比較し散乱線を極端に低減でき、被測定物１
１のエツジ部１１ａが急峻な変化を持ったプロフィール
を測定することができる。

なお、上記実施例は、３ｔＩＡの可動板移動機構１６を
用いたが、１組であってもよい。また、エツジ検出器３
１はＣＣＤカメラセンサに限らず、例えば光源より光を
発しその反射光を検出する様にしてもよく、従来公知の
種々の検出手段が使用できるものである。

次に、第８図ないし第１０図は本発明装置の他の実施例
を説明するための図である。すなわち、この実施例装置
は、放射線検出器側に可動板を設置し、同様に被測定物
１１のエツジ１１ａの変化に追従させて可動板を移動制
御する構成である。

具体的には、校正専用の基準板４１および基準板制御部
４２を設け、校正時、基準板制御部４２は駆動制御信号
を送出して基準板４１を放射線照射路に設定し、かつ、
校正データ取得後は基準板４１を放射線照射路から取り
除くような制御を行なう。一方、可動板移動機構４３は
、例えば第９図に示すように多チャンネル検出器側コリ
メータ１７の前面側に所定間隔をもってガイドレール４
３１．４３１を配置するとともに、このガイドレール４
３１．４３１上に車輪４３２を持った可動板４３３を走
行可能に載置ささせ、エツジ追従制御部２４から受ける
駆動制御信号によりシリンダ駆動源４３４がシリンダア
ーム４３５を介して可動板４３３を進退移動させる構成
である。また、第１０図はガイドレール４３１．４３１
を用いずにシリンダアーム４３５で可動板４３３を浮い
た状態で支持するとともに、第９図と同様に可動板４３
３を進退移動させる様に制御する構成である。

これらの動作は前述した実施例と同様であり、ここでは
その説明を省略する。

［発明の効果］以上詳記したように本発明によれば、被測定物のエツジ
部より外側を通過する放射線を適切なエツジ追従制御の
下に可動板を移動制御することにより、誤差原因となる
無用な二次放射線および散乱線の生じるのを阻止し得、
しかも、高速で、かつ、高精度に被測定物のエツジプロ
フィールを測定し得るプロフィール連続測定装置を提供
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図は本発明に係わるプロフィール連続
測定装置の一実施例を説明するために示したもので、第
１図は装置全体の構成図、第２図は可動板移動機構の概
略構成図、第３図は可動板の移動動作説明図、第４図は
第１図のシステムコントローラのハード的なブロック構
成図、第５図は本装置のデータ処理手順を示す図、第６
図は被測定物のエツジ部の変化と可動板の追従制御との
関係を説明する図、第７図は被測定物のエツジ部と可動
板との位置関係図、第８図は他の実施例を示す装置全体
の構成図、第９図および第１０図はそれぞれ第８図に示
す装置構成の一部である可動板移動機構の２つの実施態
様例図、第１１図ないし第１３図は従来装置を説明する
ために示したもので、第１１図は従来装置で得られるプ
ロフィール図、第１２図は従来装置の構成図、第１３図
は従来装置における散乱線の影響を説明する図である。１１・・・被測定物、−１１ａ・・・エツジ、１２・・
・フレーム台車、１４・・・放射線発生器、１５・・・
多チャンネル検出器、１６．４３・・・可動板移動機構
、１８・・・データ収集部、２０・・・プロフィール演
算部、２１・・・板厚変換部、２２・・・システムコン
トローラ、２４・・・エツジ追従制御部、３１・・・エ
ツジ検出器、３２・・・エツジ判別部。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）板状被測定物のエッジプロフィールを連続的に測
定するプロフィール連続測定装置において、放射線発生
器から前記被測定物のエッジ部近傍を通過して入射され
る放射線強度を多チャンネル放射線検出器で検出する放
射線検出系と、外部からの駆動制御信号を受けて可動板
を移動させる可動板移動機構と、前記被測定物のエッジ
部を検出してエッジ位置を判別するエッジ判別手段と、
このエッジ判別手段による判別結果に基づいて前記可動
板移動機構へ被測定物のエッジ部に前記可動板を追従さ
せるための前記駆動制御信号を送出するエッジ追従制御
部とを備えたことを特徴とするプロフィール連続測定装
置。
（２）可動板移動機構は、校正時に放射線発生器の前面
側に設定する校正用基準板を放射線遮蔽用として使用す
る前記可動板と、この可動板を保持する可動板保持部材
と、前記駆動制御信号を受けて前記可動板保持部材を進
退移動させる移動用駆動源とを備えたものである特許請
求の範囲第１項記載のプロフィール連続測定装置。
（３）可動板移動機構は、少なくとも１組以上有するも
のである特許請求の範囲第１項記載のプロフィール連続
測定装置。
（４）可動板移動機構は、多チャンネル放射線検出器側
に放射線遮蔽用として設置される前記可動板と、この可
動板を保持するアームと、外部の駆動制御信号を受けて
前記アームを進退移動させるシリンダ駆動源とを備えた
ものである特許請求の範囲第１項記載のプロフィール連
続測定装置。
（５）エッジ判別手段は、検出中心が前記多チャンネル
放射線検出器の中心線上に位置する様に設置されたエッ
ジ検出器と、このエッジ検出器からのエッジ検出信号を
受けて該エッジ検出器の検出中心位置からの機械的な相
対値をエッジ位置データとして出力するエッジ判別部と
、このエッジ判別部からの今回エッジ位置データと前回
エッジ位置データとを比較し、今回エッジ位置データと
前回エッジ位置データとの大小関係を判別するエッジ位
置比較手段とを備えたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のプロフィール連続測定装置。
（６）エッジ追従制御部は、エッジ判断手段によって得
た今回エッジ位置データと前回エッジ位置データとが等
しいと比較判別した信号を受けたとき前記可動板移動無
しの前記駆動制御信号を出力し、今回エッジ位置データ
が前回エッジ位置データよりも小さいと比較判別した信
号を受けたとき可動板を前記前記被測定物のエッジ内方
向へ移動させるための前記駆動制御信号を出力し、今回
エッジ位置データが前回エッジ位置データよりも大きい
と比較判別した信号を受けたとき前記可動板を前記被測
定物のエッジ外方向へ移動させるための前記駆動制御信
号を出力するものである特許請求の範囲第１項記載のプ
ロフィール連続測定装置。