JPS62284249A - 断層像検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 ［発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、工業製品等の内部欠陥（疵、クラック、異物
等）に対する非破壊検査装置として好適な断層像検査装
置に関する。

（従来の技術） 製品等の品質検査を行なう場合、外観は目視等により簡
単に検査可能であるが、内部の欠陥、例えば疵、クラッ
クの発生あるいは異物の含蓄等は容易には検査し得ない
。そこで、従来はＣＴスキャナを用いて被検査体（製品
）の特定断面の断層像を躍影し、この断層像により内部
欠陥の有無を判定するのが一般的であった。

しかるに、従来のＣＴスキャナを用いる方式では、断層
像画像の解像度に限界があるために、被　　゛検査体内
部の微少な欠陥を画像内のノイズと判断してしまい、見
逃してしまうおそれが多分にあった。

（発明が解決しようとする問題点） 上述したように、従来は被検査体の内部に微少な欠陥が
存在しても、これを欠陥と判定するのは困難であり、信
頼性の高い欠陥判定手段が望まれていた。

そこで本発明は、たとえ微少な欠陥であっても高精度に
検出することができ、信頼性の高い欠陥判定が可能な断
層像検査装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は、上記問題点を解決し目的を達成するために、
被検査体の特定断面を含み所定間隔でスライスされた複
数枚の断層像を入力し、この入力された複数枚の断層像
に対してそれぞれ所定の特徴パラメータに基いて欠陥検
出を行ない、これにより検出された各スライスの断層像
における欠陥像を前記特徴パラメータに基いて比較する
ことにより前記特定断面の欠陥の有無を判定し、欠陥が
存在すると判定されたときにはこの欠陥像を出力するよ
うにしたものである。

（作用） このような手段を講じたことにより、１枚の断層像画像
ではノイズと判定されてしまうような欠陥であっても、
所定間隔でスライスされた複数枚の断層像を比較するこ
とにより欠陥として検出される。

（実施例） 第１図は本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。同図において１は断層ａｍ影手段としてのＣＴスキ
ャナシステムであって、被検査体の断面に全周方向から
放射線を照射して得られる放射線吸収データに画像再構
成処理を施し、この断面に対する断層像画像を得るもの
であり、本實流側では、被検査体の特定断面を含み上下
方向に所定間隔でスライスされた複数枚の断層像画像を
得るものとなっている。そして、このＣＴスキャナシス
テム１により得られた複数の画像データは、断層像入力
部２によって画像処理システム内に導かれ、パスライン
３を介してＣＰＵ４に与えられて、このＣＰＵ４の作用
によりパスライン５を介して入力像メモリ６に格納され
るものとなっている。

７はキーボードなどの入力装置であって、欠陥の特徴を
示す特徴パラメータ、例えばＣＴｉ１．大きさく縦、横
の長さ）、形状、方向１位置等に関するデータ、あるい
はＣＴスキャナシステムにおける撮影時のスライス厚、
スライス間隔等のスキャンデータを入力するものであり
、この入力装置７により入力された各種データはデータ
入力部８によって画（ｉｆｆｉ理システム内に導かれ、
パスライン３を介してＣＰｔＪ４に与えられ、このＣＰ
Ｕ４の作用によりパスライン５を介してデータメモリ９
に格納されるものとなっている。

一方、欠陥像メモリ１０は、前記複数枚にスライスされ
た断層像画像のそれぞれのスライス内欠陥像を格納する
メモリである。また、出力像メモリ１１は、各断層像画
像に基いて得られた特定断面に対する欠陥像を格納する
ものであって、この出力像メモリ１１に格納された欠陥
像データは、ＣＰＵ４の作用により欠陥像出力部１２に
転送され、必要に応じて表示装置１３に画像表示される
ものとなっている。

第２図は前記ＣＰＩＪ４の機能構成を示すブロック図で
ある。ＣＰＵ４は、前記ＣＴスキャナシステム１にて截
影された特定断面を含む断層−画像データおよび入力装
置ｌｆ７により入力された各種データを取込み、それぞ
れ入力像メモリ６およびデータメモリ９に格納する入力
制御手段４１と、入力像メモリ６に格納された複数枚の
断層像画像に対し、それぞれ特徴パラメータを用いて欠
陥検出を行なうことにより各断ｍｖｉｊ像に関するそれ
ぞ、れのスライス内欠陥像を得、これらを欠陥像メモリ
１０に格納する欠陥検出手段４２と、断層１ｇｌｌ１Ｎ
影時のスライス厚、スライス間隔等を考慮し、欠陥像メ
モリ１０に格納された各スライス内欠陥像を前記特徴パ
ラメータに基いて比較することにより欠陥判定を行なっ
て特定断面に対する欠陥像を得、これを出力像メモリ１
１に格納する欠陥判定手段４３と、出力像メモリ１１に
格納された特定断面に対する欠陥像を表示装！ｉ１３に
画像表示させる出力制御手段４４と、等の機能を有する
ものである。

第３図は上記ＣＰＵ４における欠陥判定の処理１１［１
プログラムを示す流れ図である。なお、前記特徴パラメ
ータおよびスキャンデータは予め入力装置７により入力
され、データメモリ９に格納されているものとする。Ｃ
ＰＵ４は、先ずステップ１として入力制即手段４１によ
り断層像入力部２を制御し、ＣＴスキャナシステム１に
て得られた被検査体の特定断面を含む複数枚の断層像を
入力する。次いで、ステップ２として入力した複数枚の
断層像を入力像メモリ６の所定領域にそれぞれ格納する
。その後、ステップ３ないし５として欠陥検出手段４２
により上記入力像メモリ６に格納されている断層像画像
の１枚を取出し、データメモリ９に格納されている特徴
パラメータを用いて欠陥検出を行ない、これにより検出
されたスライス内欠陥像を欠陥像メモリ１０の所定領域
に格納する。以下、ステップ６として、入力部メモリ６
に格納した全断層像画像について同様の欠陥検出を行な
い、それぞれのスライス内欠陥像を欠陥像メモリ１０の
所定領域に格納する。

次いで、ステップ７．８として欠陥判定手段４３により
欠陥像メモリ１ｏに格納されている全スライス内欠陥象
を取出し、これらスライス内欠陥像を断層像撮影時のス
ライス厚およびスライス間隔等を考慮しながら前記特徴
パラメータにより比較し、特定断面における欠陥の有無
を判定する。

すなわち、予め設定されている特徴パラメータの判定基
準よりも高い判定結果が得られたものを欠陥と判断する
。そして、欠陥が存在する場合には、ステップ９として
この欠陥像を出力像メモリ１１に格納し、その後、ステ
ップ１０として出力制御手段４４によりこの欠陥像を欠
陥像出力部１２に転送し、表示装置１３に対する表示制
御を行なう。

なお、ステップ８において特定断面に欠陥が存在しない
と判定された場合には、ステップ１１として出力像メモ
リ１１に「欠陥無し」なるメツセージ情報を格納し、こ
のメツセージ、情報を表示装置１３に表示させるように
＆１ｌｌｔ［Ｉする。

次に、このように構成された本実施例において、例えば
第４図に示す如く、被検査体Ｐの特定断面ａと、この特
定断面ａに対して上下方向に一定間隔してスライスした
断面す、ｃとの３枚の断層像画像を入力した場合につい
て説明する。今、ＣＰＵ４の制■により断層像入力部２
を介して各断面ａ、ｂ、ｃのそれぞれの断層像画像ＡＩ
。

Ｂ１．ＣＩが入力され、これら断層像画＠Ａ１゜８１、
ＣＩが入力像メモリ６の所定領域に格納されたものとす
る。なお、断層像画（！ＩＡ１．Ｂ１゜Ｃ１においてＭ
は疵、クラック、異物等の欠陥。

Ｎは画像処理時に発生するノイズであり、これらはいず
れもほぼ同等のＣＴｌ１ｉを有するものである。

上記断層像画１１１Ａ１について特徴パラメータにより
欠陥検出を行なうと、第４図中Ａ２で示すようなスライ
ス内欠陥像が得られ、この欠陥（ｍＡ２は欠陥（象メモ
リ１ｏの所定領域に格納される。同様に断層像画像Ｂ１
およびＣ１について特徴パラメータにより欠陥検出を行
なうと、第４図中８２゜Ｃ２で示すようなスライス内欠
陥像が得られ、これら欠陥像Ｂ２．Ｃ２も欠陥像メモリ
１０の所定領域に格納される。次いで、上記各欠陥１１
＆Ａ２゜Ｂ２．Ｃ２に対し撮影時のスライス厚、スライ
ス間隔りなどを加味して特徴パラメータにより比較を行
ない、予め設定されている判定Ｍ準よりも高い判定結果
が得られたものを欠陥と判定すると、各スライス内欠陥
（ｉｌＡ２．８２．Ｃ２の欠陥Ｍのみが抽出され、ノイ
ズＮは打消される。すなわち、第４図中りで示す欠陥判
定画像が出力像メモリ１１に格納され、この欠陥判定画
ｌＩ！Ｄが表示装置１３に画像表示される。かくして、
この欠陥判定画＠Ｄにより被検査体Ｐの特定断面ａにお
ける欠陥Ｍが検出される。

このように、本実施例によれば、ノイズとほぼ同等のＣ
Ｔ値を有し、１枚の断層像画像だけではノイズであるか
欠陥であるかを判断するのが困難な微少欠陥であっても
、上下複数枚の断層像画像を特徴パラメータに基いて比
較することにより検出することができる。したがって、
被検査体に対する欠陥検出精度の大幅な向上をはかり得
、信頼性の高い品質検査を実現できる。

なお、本発明は前記実施例に限定されるものではない。

例えば、前記実施例では出力像メモリ１１に特定断面ａ
における欠陥判定画像りのみを格納する場合を示したが
、各断面ａ−Ｃにおけるそれぞれの欠陥判定画像を格納
するようにしてもよい。また、前記実施例では特定断面
に欠陥が存在しないと判断した場合「欠陥無し」なるメ
ツセージ情報を表示出力する場合を例示したが、これに
限定されるものではなく、例えば特定断面の断ＩＩ＠画
像を表示出力するようにしてもよく、また、回答表示出
力を行なわなくてもよい。このほか、本発明の要旨を逸
脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である
。

［発明の効果］ 以上詳述したように、本発明によれば、被検査体の特定
断面を含み所定間隔でスライスされた？！数枚の断層像
を入力し、この入力された複数枚の断層像に対してそれ
ぞれ所定の特徴パラメータに基いて欠陥検出を行ない、
これにより検出された各スライスの断層像における欠陥
像を前記特徴パラメータに基いて比較することにより前
記特定断面の欠陥の有無を判定し、欠陥が存在すると判
定されたときにはこの欠陥像を出力するようにしたので
、たとえ微少な欠陥であっても高精度に検出することが
でき、信頼性の高い欠陥判定が可能な断層像検査装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示す図であっ
て、第１図はシステム構成を示すブロック図、第２図は
ＣＰＵの機能構成を示すブロック図、第３図はＣＰＬＩ
の欠陥判定プログラムを示す流れ図、第４図は各メモリ
に格納される画像データの状態図である。 １・・・ＣＴスキャナシステム、２・・・断層像入力部
、４・・・ＣＰＵ、６・・・入力像メモリ、７・・・入
力装置、８・・・データ入力、９・・・データメモリ、
１０・・・欠陥像メモリ、１１・・・出力像メモリ、１
２・・・欠陥像出力部、１３・・・表示装置。 第１図 第２図 す 第４　図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検査体の特定断面を含み所定間隔でスライスさ
   れた複数枚の断層像を入力する断層像入力手段と、この
   断層像入力手段により入力された複数枚の断層像に対し
   てそれぞれ所定の特徴パラメータに基いて欠陥検出を行
   なう欠陥検出手段と、この欠陥検出手段により検出され
   た各スライスの断層像における欠陥像を前記特徴パラメ
   ータに基いて比較し前記特定断面の欠陥の有無を判定す
   る欠陥判定手段と、この欠陥判定手段により欠陥が存在
   すると判定されたときこの欠陥像を出力する欠陥像出力
   手段とを具備したことを特徴とする断層像検査装置。
2. （２）前記欠陥検出手段および欠陥判定手段にて利用さ
   れる特徴パラメータは、断層像のＣＴ値、大きさ、形状
   、方向、位置等の欠陥の特徴を示す情報であることを特
   徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の断層像検査装
   置。