JPS62283602A - Method of trimming thick film resistance array - Google Patents

Method of trimming thick film resistance array

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JPS62283602A
JPS62283602A JP61127673A JP12767386A JPS62283602A JP S62283602 A JPS62283602 A JP S62283602A JP 61127673 A JP61127673 A JP 61127673A JP 12767386 A JP12767386 A JP 12767386A JP S62283602 A JPS62283602 A JP S62283602A
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Japan
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resistance
high voltage
change
rate
resistance value
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JP61127673A
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田中 計輔
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Fujitsu General Ltd
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Fujitsu General Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 3、発明の詳細な説明 [産業上の利用分野] この発明は抵抗アレーの各抵抗をその形状を変えること
なく所定の抵抗値に設定するためのトリミング方法に関
し、特に詳しく言うと、トリミングを行うため抵抗アレ
ーに高電圧パルスを印加するに際しての電圧値の制御方
法に関する。
[Detailed Description of the Invention] 3. Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] This invention relates to a trimming method for setting each resistor of a resistor array to a predetermined resistance value without changing its shape, and in particular, More specifically, the present invention relates to a method of controlling voltage values when applying high voltage pulses to a resistor array for trimming.

[発明の技術的背景] 例えば、サーマルプリンタにおいて、厚膜抵抗アレーに
よりヘッドを構成する場合抵抗アレーの各抵抗の形状を
変えないでそれの抵抗を所定の値に設定するようにトリ
ミングを行なっている。すなおち、サーマルプリントヘ
ッドに用いる抵抗アレーは、最大温度および発熱面積等
発熱温度が問題になるため、レーザトリミング、のよう
な抵抗形状を変えるようなトリミング方法は採用できな
い。
[Technical Background of the Invention] For example, in a thermal printer, when a head is configured with a thick film resistor array, trimming is performed to set the resistance to a predetermined value without changing the shape of each resistor in the resistor array. There is. In other words, in a resistor array used in a thermal print head, the maximum temperature and heat generation temperature such as heat generation area are problematic, so a trimming method such as laser trimming that changes the shape of the resistor cannot be adopted.

そこで一般には、高電圧パルスを印加して、厚膜抵抗の
導電粒子間を遮っているガラス質の障壁を静電破壊して
短絡させ、抵抗値を下げるトリミング方法が使われてい
るにの方法は、使用する厚膜抵抗ペースト、導電ペース
トおよび焼成条件によって、そのトリミング特性および
以降の抵抗安定度が異なるため、一様に規定することは
困難である。
Generally, a trimming method is used to lower the resistance value by applying a high voltage pulse to electrostatically break down the glassy barrier between the conductive particles of the thick film resistor and causing a short circuit. It is difficult to uniformly define trimming characteristics and subsequent resistance stability, which vary depending on the thick film resistor paste, conductive paste, and firing conditions used.

すなわち、サーマルプリントヘッドは近来分解能が高ま
り、8本/−以上の密度の抵抗アレーを持つものが多く
なり、例えばA4版では1700本以上の抵抗数を持つ
抵抗アレーとなる。ところでその初期抵抗値のバラツキ
は±15%程もあり、これを±3%以内にするには、1
つのヘッド当り1700本以上の抵抗素子をトリミング
する必要がある。
That is, the resolution of thermal print heads has recently increased, and many have resistor arrays with a density of 8/- or more. For example, in an A4 size print head, a resistor array has a resistor array with a density of 1,700 or more resistors. By the way, the initial resistance value varies by about ±15%, and in order to keep this within ±3%, it is necessary to
It is necessary to trim more than 1700 resistive elements per head.

今、第1図および第2図により従来のトリミング方法を
説明すると、サーマルプリントヘッドの抵抗アレー1の
各抵抗素子2は、基板3上に設けられた共通電極4とド
ライブ回路等に接続される電極5との間に設けられてお
り、共通電極4に当てられたプローブ6と、電極5に当
てられたプローブ7とによりまず第1番目の抵抗素子2
の初期抵抗値を測定する。この測定は切替えスイッチ8
の抵抗測定装置9側に切替えて行う。測定結果は、制御
装置10に送られ、制御装置10はプログラム電源11
およびパルス発生回路12を駆動して、まず高電圧Aを
設定する。ここで切替えスイッチ8をパルス印加側に切
替え、電圧Aパルスをプローブ6゜7を介して第1番目
の抵抗素子に印加する。再び切替えスイッチ8を抵抗測
定装置9側に切替え。
Now, to explain the conventional trimming method with reference to FIGS. 1 and 2, each resistor element 2 of the resistor array 1 of the thermal print head is connected to a common electrode 4 provided on a substrate 3 and a drive circuit, etc. The probe 6 which is provided between the electrode 5 and the common electrode 4 and the probe 7 which is applied to the electrode 5 first
Measure the initial resistance value. This measurement is performed using selector switch 8.
This is done by switching to the resistance measuring device 9 side. The measurement results are sent to the control device 10, which controls the program power supply 11.
Then, the pulse generating circuit 12 is driven to first set the high voltage A. Here, the changeover switch 8 is switched to the pulse application side, and the voltage A pulse is applied to the first resistance element via the probe 6.7. Switch the selector switch 8 to the resistance measuring device 9 side again.

第1番目の抵抗素子2の抵抗値を測定し、測定結果を制
御袋@10に送り、制御装置10はプログラム電源11
およびパルス発生回路12を駆動して、高電圧Bを設定
する。この高電圧Bによる電圧パルスBを切替えスイッ
チ8を切替えることにより第1番目の抵抗素子2に再び
印加する。そして再び第1番目の抵抗素子2の抵抗値を
測定し、測定結果により高電圧Cによる電圧パルスCを
再度第1番目の抵抗素子2に印加する。以下、同様な操
作を抵抗値が所望の値になるまで、段々に印加電圧を上
げて一般には6回以上繰返され、所望の抵抗値に達した
ら、第2番目の抵抗素子2にプローブ6゜7を移動して
いく。この基本的な手順を第2図に示す。
The resistance value of the first resistance element 2 is measured, the measurement result is sent to the control bag @ 10, and the control device 10
Then, the pulse generating circuit 12 is driven to set the high voltage B. The voltage pulse B caused by this high voltage B is applied again to the first resistance element 2 by switching the changeover switch 8. Then, the resistance value of the first resistance element 2 is measured again, and the voltage pulse C of the high voltage C is applied to the first resistance element 2 again based on the measurement result. Thereafter, the same operation is generally repeated six or more times by gradually increasing the applied voltage until the resistance value reaches the desired value. When the desired resistance value is reached, the second resistance element 2 is connected to the probe 6°. 7 will be moved. This basic procedure is shown in FIG.

このような方法では、1700本以上もの抵抗素子をト
リミングするためには時間がかかりすぎる。そこで、多
数のプローブを使用して並列処理をする方法も提案され
ている。並列処理の方法には、大別して以下の2つの方
法がある。
This method takes too much time to trim more than 1,700 resistive elements. Therefore, a method of performing parallel processing using a large number of probes has also been proposed. Parallel processing methods can be broadly classified into the following two methods.

第1の方法は、第2図の各工程に対応させて、多数の工
程を予め用意する方法である。例えば高電圧A、B、C
・・・の設定を別々のプローブ、すなわち、別々の工程
に分離させ、電圧パルスA(例えば350V)の印加が
終ったら、ステージを1ステツプ移動して、電圧パルス
B(例えば400V)を印加する。電圧パルスBの印加
が終ったら、ステージを1ステツプ更に移動して、電圧
パルスC(例えば450V)を印加し1次いで電圧パル
スDとに移動させる方法である。この場合、ステージが
移動すれば各プローブは同時に移動するので、1つが高
電圧の設定をAからBに移動させれば、他の工程も1例
えば、高電圧設定をBからCに、CからDに移動させる
ことができる。このような方法は、高電圧パルスの電源
をプログラマブルではなく、各工程に応じた固定電圧の
電源にする等の、システムのハードの単機能化が計れる
利点があるが、工程中での最長の時間を必要とするプロ
ーブの移動時間が1つの処理工程ごとに必要になるため
1期待する程トリミング時間を短くすることはできない
。また、アレー中の初期抵抗値がばらつくため、別々の
抵抗測定工程でその抵抗変化ではなくその絶対値である
抵抗値を制御してゆくためのソフトも困難になる。更に
初期値のバラツキにより高電圧設定の段数も多くする必
要がある。
The first method is to prepare a large number of steps in advance, corresponding to each step in FIG. For example, high voltage A, B, C
... are separated into separate probes, that is, separate processes, and when voltage pulse A (e.g., 350 V) has been applied, the stage is moved one step and voltage pulse B (e.g., 400 V) is applied. . After the application of voltage pulse B is completed, the stage is moved one step further, voltage pulse C (for example, 450 V) is applied, and then voltage pulse D is applied. In this case, when the stage moves, each probe moves at the same time, so if one moves the high voltage setting from A to B, the other steps will also move. For example, move the high voltage setting from B to C, and from C to It can be moved to D. This method has the advantage of making the system hardware single-function, such as using a fixed-voltage power supply for each process rather than a programmable high-voltage pulse power supply. Since time-consuming probe movement time is required for each processing step, the trimming time cannot be reduced as much as expected. Furthermore, since the initial resistance values in the array vary, it becomes difficult to develop software for controlling the resistance value, which is the absolute value, rather than the resistance change, in separate resistance measurement steps. Furthermore, due to variations in initial values, it is necessary to increase the number of high voltage setting stages.

並列処理の2つ目の方法は、第1および第2図に基づく
システムを、隣接する抵抗素子にも拡張して、n個設置
する方法である。この方法によれば、制御装置10を除
く他の装置、すなわち切替えスイッチ8、抵抗測定袋w
9、プログラム電源11そしてパルス発生回路12とを
n個用意するというコストアップの面はあるが、1つの
プローブ位置でn個の抵抗素子のトリミングを完了でき
るため、n個のプローブの移動を1回のステージ移動で
すませることができ、トリミング時間は最も短くなり、
実用的である。また、n個の並列システムであるため、
システムの内容は簡単化され製作し易い。この方法を採
用してトリミングを実施する場合、従来は一定間隔の高
電圧パルスを印加しながら、目標抵抗値を得てゆく方法
を使用している。
The second method for parallel processing is to extend the system based on FIGS. 1 and 2 to include adjacent resistive elements, and install n resistive elements. According to this method, other devices other than the control device 10, that is, the changeover switch 8, the resistance measurement bag w
9. Although there is a cost increase in preparing n program power supplies 11 and pulse generation circuits 12, trimming of n resistor elements can be completed at one probe position, so the movement of n probes can be completed in one probe position. Trimming can be done by moving the stage twice, and trimming time is the shortest.
It's practical. Also, since it is a parallel system of n pieces,
The contents of the system are simplified and easy to manufacture. When trimming is performed using this method, conventionally a method is used in which high voltage pulses are applied at regular intervals to obtain a target resistance value.

すなわち、300V、350V、450V・ 750V
、800V、850V(7)ように、高電圧バ)I/ 
X (7)大きさを変え、目°標とする抵抗値(例えば
±3%)に入れていた。このため、多数の高電圧設定工
程が必要となり、パルス発生および測定待ち時間。
That is, 300V, 350V, 450V/750V
, 800V, 850V (7), high voltage bar) I/
X (7) The size was changed to keep it within the target resistance value (for example, ±3%). This requires multiple high voltage setting steps and increases pulse generation and measurement waiting time.

高電圧設定等の時間の掛かる工程も数多く必要であり、
更には多くの繰返し工数を必要とするため、トリミング
に要する時間が長くなっていた。
Many time-consuming processes such as setting high voltage are required.
Furthermore, since a large number of repeated man-hours are required, the time required for trimming becomes long.

[発明の目的] 、この発明の目的は、上述したように従来の並列処理に
よるトリミング方法が、それぞれその電圧値が異なるパ
ルスを多数回印加するため、全体的なトリミング時間が
短縮できない点に着目し、パルスの印加回数を従来より
大幅に削減し全体的なトリミング時間を短縮して所望の
抵抗値に設定することができる厚膜抵抗アレーのトリミ
ング方法を提供することである。
[Objective of the Invention] The object of the present invention is to focus on the point that, as mentioned above, the conventional trimming method using parallel processing applies pulses with different voltage values many times, so that the overall trimming time cannot be shortened. Another object of the present invention is to provide a method for trimming a thick film resistor array, which can significantly reduce the number of pulse applications compared to the conventional method, shorten the overall trimming time, and set a desired resistance value.

[発明の構成] この発明の厚膜抵抗アレーのトリミング方法は。[Structure of the invention] A method of trimming a thick film resistor array according to the present invention is as follows.

抵抗素子に対してそれぞれ電圧値の異なる高電圧パルス
を印加した時の抵抗素子の抵抗値の変化率の曲線データ
を予め測定しておき、被処理抵抗素子の初期抵抗値を測
定し、その抵抗素子を所望の抵抗値にするため、修正を
要求する抵抗値を少なくとも50%以上で修正し得る第
1の抵抗の変化率を求め、曲線データからこの第1の抵
抗の変化率に対応する第1の高電圧パルスを選定し、こ
の第1の高電圧パルスを複数回印加し、次いで第1の修
正にて未修正の抵抗を算出し、算出された抵抗値を少な
くとも50%以上で修正し得る第2の抵抗の変化率を求
め、曲線データから第1の抵抗の変化率に第2の抵抗の
変化率を加算した新たな抵抗の変化率に対応する第2の
高電圧パルスを選定し、この第2の高電圧パルスを抵抗
素子に複数回印加し、さらに、所望の抵抗値にするため
に要求される抵抗の変化率に対応する第3の高電圧パル
スを選定し、この第3の高電圧パルスを抵抗素子に複数
回印加して抵抗素子をトリミングすることを特徴とする
ものである。
Measure in advance the curve data of the rate of change in the resistance value of the resistance element when high voltage pulses with different voltage values are applied to each resistance element, measure the initial resistance value of the resistance element to be processed, and calculate its resistance. In order to make the element a desired resistance value, find the rate of change in the first resistance that can correct the resistance value that requires correction by at least 50%, and calculate the rate of change in the first resistance corresponding to the rate of change in the first resistance from the curve data. Select one high voltage pulse, apply this first high voltage pulse multiple times, then calculate the uncorrected resistance in the first correction, and correct the calculated resistance value by at least 50% or more. Find the rate of change of the second resistance obtained, and select the second high voltage pulse corresponding to the new rate of change of resistance obtained by adding the rate of change of the second resistance to the rate of change of the first resistance from the curve data. , this second high voltage pulse is applied to the resistance element multiple times, and a third high voltage pulse corresponding to the rate of change in resistance required to achieve the desired resistance value is selected. This method is characterized in that the resistive element is trimmed by applying a high voltage pulse to the resistive element multiple times.

[実 施 例] 以下、この発明の一実施例を上述した第1図および第3
,4図により説明する。抵抗アレー1を構成する複数個
の抵抗素子2の内、1つの抵抗素子2を取出し、パルス
幅を1定にした高電圧パルスを1例えば第3図に示すよ
うにOvから1000Vの範囲内で種々変えて、この抵
抗素子2に印加する。この時の抵抗素子2の抵抗値の変
化を示す曲線データを得ておく。すなわち、例えば20
0Vの高電圧パルスを印加すると、抵抗素子2の抵抗値
が何%変化するかのデータを事前に得ておく。
[Embodiment] Hereinafter, an embodiment of the present invention will be explained with reference to FIGS. 1 and 3 described above.
, 4 will be explained. Among the plurality of resistance elements 2 constituting the resistance array 1, one resistance element 2 is taken out and a high voltage pulse with a constant pulse width is applied to it within the range of Ov to 1000V, for example, as shown in FIG. The voltage is applied to this resistance element 2 in various ways. Curve data indicating the change in resistance value of the resistance element 2 at this time is obtained in advance. That is, for example 20
Data on the percentage change in the resistance value of the resistance element 2 when a high voltage pulse of 0V is applied is obtained in advance.

具体的にトリミングすべき抵抗アレー1の抵抗素子2の
初期抵抗値をプローブ6と7および抵抗測定装置9によ
り測定する。この結果、抵抗素子2の目標の抵抗値がこ
の初期抵抗値の一27%であるとする。そこで第3図の
曲線データを基にして、まず修正する抵抗値の60〜7
0%の変化率に相当する470vの高電圧パルスを制御
袋[10、プログラム電源■1およびパルス発生回路1
2により、抵抗素子2に少なくとも2回印加して、−1
8%までトリミングする0次いで、修正する必要のある
残りの抵抗値の60〜70%の変化率に相当する620
■の高電圧パルスを同様にして抵抗素子2に2回印加し
て、−24%までトリミングし、最後に、修正を終了す
るに必要な750Vの高電圧パルスを同様にして抵抗素
子2に2回印加して、抵抗値を一27%まで下げる。こ
のようにすれば、2回目、3回目のトリミングによる抵
抗変化率を6%、3%のように順次小さくしているため
、過剰トリミングを防止でき、安全を見込んでも、従来
方法よりもはるかに少ないトリミング回数(3回)で所
望の抵抗値に設定できる。
Specifically, the initial resistance value of the resistance element 2 of the resistance array 1 to be trimmed is measured using the probes 6 and 7 and the resistance measuring device 9. As a result, it is assumed that the target resistance value of the resistance element 2 is 127% of this initial resistance value. Therefore, based on the curve data in Figure 3, the resistance value to be corrected is 60 to 7.
Control bag [10, program power supply ■1 and pulse generation circuit 1]
2, the voltage is applied to the resistive element 2 at least twice, and -1
Trim to 8% 0 then 620 which corresponds to a rate of change of 60-70% of the remaining resistance that needs to be corrected
Apply the high voltage pulse (2) twice to the resistor element 2 in the same way to trim it to -24%, and finally, apply the high voltage pulse of 750V necessary to complete the correction twice to the resistor element 2. Apply the voltage twice to lower the resistance value to -27%. In this way, the resistance change rate due to the second and third trimming is successively reduced to 6% and 3%, so excessive trimming can be prevented, and even with safety in mind, it is much more effective than the conventional method. A desired resistance value can be set with a small number of trimming times (3 times).

この実施例では3つの異なった高電圧パルスをそれぞれ
2回ずつ印加しているが、これは第4図に示すように、
同一電圧パルス(ここでは400V)を複数回抵抗素子
に印加した場合の抵抗値の変化率は、1回目の高電圧パ
ルスの印加でトリミング効果の大半が得られ、それ以降
は飽和していくことに着目したものである。そこで、安
全を見込んで1度設定した高電圧に対して、2回のパル
スを印加して、トリミングを完全に飽和させておき、そ
れ以降のトリミングの不規則な変化を除去している。
In this example, three different high voltage pulses are applied twice each, as shown in Figure 4.
The rate of change in resistance value when the same voltage pulse (400V in this case) is applied to a resistive element multiple times is that most of the trimming effect is obtained when the first high voltage pulse is applied, and saturates after that. The focus is on Therefore, to ensure safety, two pulses are applied to a high voltage that has been set once to completely saturate the trimming, and any subsequent irregular changes in trimming are removed.

第3図の曲線に対応してパルス電圧を選択したり、パル
スの回数を決めたり、一連のシーケンスを制御するには
、制御装置10内にマイクロコンピュータを設け、これ
により制御すればよい。
In order to select a pulse voltage, determine the number of pulses, and control a series of sequences in accordance with the curve shown in FIG. 3, a microcomputer may be provided in the control device 10, and the control may be performed using the microcomputer.

[発明の効果] 以上のように、この発明の厚膜抵抗アレーのトリミング
方法は、1つの抵抗素子に対してそれぞれ電圧値の異な
る高電圧パルスを印加して抵抗素子の抵抗値の変化率を
予め測定しておき、処理すべき抵抗素子の初期抵抗値を
測定し、その抵抗素子を所望の抵抗値にするため、修正
を要求する抵抗値を少なくとも50%以上で修正し得る
第1の抵抗の変化率を求め、曲線データからこの第1の
抵抗の変化率に対応する第1の高電圧パルスを選定し、
この第1の高電圧パルスを複数回印加し、次いで第1の
修正にて未修正の抵抗を算出し、算出された抵抗値を少
なくとも50%以上で修正し得る第2の抵抗の変化・率
を求め、曲線データから第1の抵抗の変化率に第2の抵
抗の変化率を加算した新たな抵抗の変化率に対応する第
2の高電圧パルスを選定し、この第2の高電圧パルスを
抵抗素子に複数回印加し、さらに、所望の抵抗値にする
ために要求される抵抗の変化率に対応する第3の高電圧
パルスを選定し、この第3の高電圧パルスを抵抗素子に
複数回印加して抵抗素子をトリミングするものである。
[Effects of the Invention] As described above, the thick film resistor array trimming method of the present invention applies high voltage pulses with different voltage values to each resistor element to adjust the rate of change in the resistance value of the resistor element. A first resistor that can be measured in advance and corrected by at least 50% or more of the resistance value that is requested to be corrected in order to measure the initial resistance value of the resistance element to be processed and make the resistance element a desired resistance value. Find the rate of change in the first resistance, select a first high voltage pulse corresponding to the rate of change in the first resistance from the curve data,
The first high voltage pulse is applied a plurality of times, the uncorrected resistance is calculated in the first correction, and the change/rate of the second resistance is such that the calculated resistance value can be corrected by at least 50% or more. , select a second high voltage pulse corresponding to a new resistance change rate obtained by adding the second resistance change rate to the first resistance change rate from the curve data, and select this second high voltage pulse. is applied to the resistance element multiple times, and a third high voltage pulse corresponding to the rate of change in resistance required to achieve the desired resistance value is selected, and this third high voltage pulse is applied to the resistance element. The resistive element is trimmed by applying it multiple times.

したがって、従来のトリミング方法に比べてトリミング
回数を少なくすることができ、サーマルプリントヘッド
全体のトリミングに要する時間は大幅に減少させること
ができる。さらにこの方法を実施する装置は、従来の装
置をそのシーケンスを変えるだけの簡単な変更で利用で
きる。
Therefore, the number of times of trimming can be reduced compared to conventional trimming methods, and the time required for trimming the entire thermal print head can be significantly reduced. Furthermore, an apparatus for carrying out this method can be used by simply modifying a conventional apparatus by changing its sequence.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は基本的なトリミングのシステムを概略的に示す
図、第2図はトリミングの基本的な手順を示す図、第3
図は高電圧パルスに対する抵抗値の変化率の曲線カーブ
を示すグラフ、第4図はパルス印加数に対する抵抗値変
化を示すグラフである。 図面中、1は抵抗アレー、2は抵抗素子、6゜7はプロ
ーブ、9は抵抗測定装置、 12はパルス発生回路であ
る。 特許出願人 株式会社富士通ゼネラル 代理人 弁理士  大 原  拓 也 第1図 眞 第3図 パルスの大きさくV) 第4図
Figure 1 is a diagram schematically showing the basic trimming system, Figure 2 is a diagram showing the basic trimming procedure, and Figure 3 is a diagram showing the basic trimming procedure.
The figure is a graph showing a curve of the rate of change in resistance value with respect to high voltage pulses, and FIG. 4 is a graph showing the change in resistance value with respect to the number of applied pulses. In the drawing, 1 is a resistance array, 2 is a resistance element, 6.7 is a probe, 9 is a resistance measuring device, and 12 is a pulse generation circuit. Patent Applicant: Fujitsu General Co., Ltd. Representative, Patent Attorney: Takuya Ohara Figure 1: Figure 3: Pulse Size (V) Figure 4

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板上に複数の抵抗素子が厚膜印刷により設けら
れた厚膜抵抗アレーの前記各抵抗素子に高電圧パルスを
印加することにより所定の抵抗値に設定するトリミング
方法において、前記抵抗素子に対してそれぞれ電圧値の
異なる高電圧パルスを印加した時の前記抵抗素子の抵抗
値の変化率の曲線データを予め測定しておき、被処理抵
抗素子の初期抵抗値を測定し、その抵抗素子を所望の抵
抗値にするため、修正を要求する抵抗値を少なくとも5
0%以上で修正し得る第1の抵抗の変化率を求め、前記
曲線データからこの第1の抵抗の変化率に対応する第1
の高電圧パルスを選定し、この第1の高電圧パルスを複
数回印加し、次いで前記第1の修正にて未修正の抵抗を
算出し、算出された抵抗値を少なくとも50%以上で修
正し得る第2の抵抗の変化率を求め、前記曲線データか
ら前記第1の抵抗の変化率に前記第2の抵抗の変化率を
加算した新たな抵抗の変化率に対応する第2の高電圧パ
ルスを選定し、この第2の高電圧パルスを前記抵抗素子
に複数回印加し、さらに、所望の抵抗値にするために要
求される抵抗の変化率に対応する第3の高電圧パルスを
選定し、この第3の高電圧パルスを前記抵抗素子に複数
回印加して前記抵抗素子をトリミングすることを特徴と
する厚膜抵抗アレーのトリミング方法。
(1) In a trimming method in which a predetermined resistance value is set by applying a high voltage pulse to each of the resistive elements of a thick film resistor array in which a plurality of resistive elements are provided on a substrate by thick film printing, the resistive elements are The curve data of the rate of change in the resistance value of the resistor element when high voltage pulses with different voltage values are applied to the resistor element is measured in advance, and the initial resistance value of the resistor element to be processed is measured. To achieve the desired resistance value, the resistance value that requires modification must be at least 5
The rate of change in the first resistance that can be corrected by 0% or more is determined, and the rate of change in the first resistance that corresponds to the rate of change in the first resistance is determined from the curve data.
Select a high voltage pulse of , apply this first high voltage pulse multiple times, then calculate the uncorrected resistance in the first correction, and correct the calculated resistance value by at least 50% or more. A second high voltage pulse corresponding to a new resistance change rate obtained by adding the second resistance change rate to the first resistance change rate from the curve data. This second high voltage pulse is applied to the resistor element multiple times, and a third high voltage pulse is selected that corresponds to the rate of change in resistance required to achieve the desired resistance value. A method for trimming a thick film resistor array, characterized in that the third high voltage pulse is applied to the resistor element multiple times to trim the resistor element.
(2)特許請求の範囲第1項において、前記第1および
第2の高電圧パルスを設定する抵抗の変化率は、修正を
要求する抵抗値の60から70%の抵抗の変化率に設定
されていることを特徴とする厚膜抵抗アレーのトリミン
グ方法。
(2) In claim 1, the rate of change in resistance for setting the first and second high voltage pulses is set to a rate of change in resistance of 60 to 70% of the resistance value that requires correction. A method for trimming a thick film resistor array.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH048556A (en) * 1990-04-26 1992-01-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd Thermal head and its resistance value trinning

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