JPS62282476A - レ−ザ装置 - Google Patents
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- JPS62282476A JPS62282476A JP12617886A JP12617886A JPS62282476A JP S62282476 A JPS62282476 A JP S62282476A JP 12617886 A JP12617886 A JP 12617886A JP 12617886 A JP12617886 A JP 12617886A JP S62282476 A JPS62282476 A JP S62282476A
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- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
３、発明の詳細な説明
〔産業上の利用分野〕
本発明は、レーザ装置に関し、更に詳述すれば気体レー
ザのうち、放電励起により短パルスレーザ光を発生する
放電励起短パルスレーザ装置に関するものである。
ザのうち、放電励起により短パルスレーザ光を発生する
放電励起短パルスレーザ装置に関するものである。
従来のこの種のレーザ装置は例えば第３図に示す如き構
造のものが、ＪＡＰＡＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ
ＡＰＰＬＩＥＤＰＨＹＳＩＣ３Ｖｏｌ ２４． Ｎａ
１ｌ、 １９８５に開示されている。
造のものが、ＪＡＰＡＮＥＳＥ ＪＯＵＲＮＡＬ ＯＦ
ＡＰＰＬＩＥＤＰＨＹＳＩＣ３Ｖｏｌ ２４． Ｎａ
１ｌ、 １９８５に開示されている。
第３図において、昇圧用変圧器１の１次巻線１ｐの両端
には、コンデンサ２とサイリスタ３との直列回路を接続
しており、サイリスタ３のカソードは接地されている。
には、コンデンサ２とサイリスタ３との直列回路を接続
しており、サイリスタ３のカソードは接地されている。
サイリスタ３のアノードには抵抗４の一端が接続されて
いる。昇圧用変圧器１の２次巻線１ｓの両端には、コン
デンサ５を接続している。このコンデンサ５には可飽和
リアクトル６とコンデンサ７との直列回路を並列接続し
ている。
いる。昇圧用変圧器１の２次巻線１ｓの両端には、コン
デンサ５を接続している。このコンデンサ５には可飽和
リアクトル６とコンデンサ７との直列回路を並列接続し
ている。
コンデンサ７には可飽和リアクトル８とコンデンサ９と
の直列回路を並列接続している。そして前記コンデンサ
９の一端は可飽和リアクトル１０を介して、レーザ筺体
１１内に設けた第１の主電極１２とこの主電極１２と対
向配置されている補助電極１３とに接続されており、ま
たコンデンサ９の他端は前記第１の主電極１２と補助電
極１３との間に配設され、第１の主電極１２と補助電極
１３との間で予備電離放電を発生させるメツシュ構造の
第２の主電極１４に接続されている。更に第１及び第２
の主電極１２と１４との間には、放電用コンデンサ１５
と並列接続されたりアクドル１６の両端が接続されてい
る。
の直列回路を並列接続している。そして前記コンデンサ
９の一端は可飽和リアクトル１０を介して、レーザ筺体
１１内に設けた第１の主電極１２とこの主電極１２と対
向配置されている補助電極１３とに接続されており、ま
たコンデンサ９の他端は前記第１の主電極１２と補助電
極１３との間に配設され、第１の主電極１２と補助電極
１３との間で予備電離放電を発生させるメツシュ構造の
第２の主電極１４に接続されている。更に第１及び第２
の主電極１２と１４との間には、放電用コンデンサ１５
と並列接続されたりアクドル１６の両端が接続されてい
る。
なお、前記コンデンサ２．５，７．９と昇圧用変圧器１
と、可飽和リアクトル６．８．１０とによリパルス充電
回路が形成されている。１７は第１の主電極１２と第２
の主電極１４との間で発生する主放電の放電励起部を示
している。
と、可飽和リアクトル６．８．１０とによリパルス充電
回路が形成されている。１７は第１の主電極１２と第２
の主電極１４との間で発生する主放電の放電励起部を示
している。
一般にレーザ発振を行わせるためには、レーザ媒質中に
おいて空間的に均一な主放電の放電励起部を発生させる
必要がある。しかし乍ら、ＴＥＡ Ｃｏ。
おいて空間的に均一な主放電の放電励起部を発生させる
必要がある。しかし乍ら、ＴＥＡ Ｃｏ。
レーザ又はエキシマレーザ等のような、短パルスレーザ
光を発生するレーザ装置では、その動作時圧力が散気圧
であるため、均一な放電は収束してレーザ発振を行わせ
難い。そのため、主放電に先立ち、予め主放電領域に電
子を均一に散在させる予備電離放電を行わせている。
光を発生するレーザ装置では、その動作時圧力が散気圧
であるため、均一な放電は収束してレーザ発振を行わせ
難い。そのため、主放電に先立ち、予め主放電領域に電
子を均一に散在させる予備電離放電を行わせている。
このようなレーザ発振において、レーザ出力を高めるた
めには、主放電の放電開始電圧を高くする必要があるが
、この放電開始電圧は第５図に示すように、パルス電圧
の立上り時間が短い程高くなる。それ故、パルス電圧の
立上り時間を短くすることによりレーザ出力を高めてい
る。
めには、主放電の放電開始電圧を高くする必要があるが
、この放電開始電圧は第５図に示すように、パルス電圧
の立上り時間が短い程高くなる。それ故、パルス電圧の
立上り時間を短くすることによりレーザ出力を高めてい
る。
このようなレーザ発振の動作は、第３図及び第４図に基
づいて以下に説明する如くなる。昇圧用変圧器１の１次
巻線１ｐに図示争ない電源を接続することにより、抵抗
４を通してコンデンサ２が充電される。その後、サイリ
スタ３に点弧信号を与えることによりコンデンサ２あ放
電電流が昇圧用変圧器１の１次巻ｖＡｌｐに流れて昇圧
用変圧器１により昇圧されてコンデンサ５のパルス電圧
■５が第４図（ａｌに示す如くその立上り時間Ｔ、を要
して充電される。コンデンサ５のパルス電圧■、がピー
ク値に達した時点で可飽和リアクトル６が飽和し、コン
デンサ５に充電されていた電荷はコンデンサ７に移行し
てコンデンサ７を充電する。
づいて以下に説明する如くなる。昇圧用変圧器１の１次
巻線１ｐに図示争ない電源を接続することにより、抵抗
４を通してコンデンサ２が充電される。その後、サイリ
スタ３に点弧信号を与えることによりコンデンサ２あ放
電電流が昇圧用変圧器１の１次巻ｖＡｌｐに流れて昇圧
用変圧器１により昇圧されてコンデンサ５のパルス電圧
■５が第４図（ａｌに示す如くその立上り時間Ｔ、を要
して充電される。コンデンサ５のパルス電圧■、がピー
ク値に達した時点で可飽和リアクトル６が飽和し、コン
デンサ５に充電されていた電荷はコンデンサ７に移行し
てコンデンサ７を充電する。
このコンデンサ７が充電されるパルス電圧■。
は第４図（ｂｌに示す如くその立上り時間Ｔ７は、コン
デンサ５が充電される立上り時間Ｔ、の約１／２〜１／
１０になっている。
デンサ５が充電される立上り時間Ｔ、の約１／２〜１／
１０になっている。
可飽和リアクトル６．８．１０によりコンデンサ？、９
．１５が充電されるパルス電圧Ｖ、、Ｖ。
．１５が充電されるパルス電圧Ｖ、、Ｖ。
〔第４図（ｂ）、 （Ｃ）参照）、’Ｖ’ｓ（第４図（
ｄ）参照〕の立上り時間ＴＶ 、Ｔ９ 、Ｔｔｓは順次
短くなっている。例えばＴ、が８μｓｅｃに対してＴＩ
Ｓは０．１ μｓｅｃとなっている。このＴ、の８μｓ
ｅｃはサイリスタ１２のスイッチング時間により定まる
。このようにして従来のレーザ装置は立上りが急峻なパ
ルス電圧を得るべくコンデンサと可飽和リアクトルとか
らなる回路を複数段設けている。
ｄ）参照〕の立上り時間ＴＶ 、Ｔ９ 、Ｔｔｓは順次
短くなっている。例えばＴ、が８μｓｅｃに対してＴＩ
Ｓは０．１ μｓｅｃとなっている。このＴ、の８μｓ
ｅｃはサイリスタ１２のスイッチング時間により定まる
。このようにして従来のレーザ装置は立上りが急峻なパ
ルス電圧を得るべくコンデンサと可飽和リアクトルとか
らなる回路を複数段設けている。
前述したレーザ装置では、立上りが急峻なパルス電圧を
得るために、複数個の可飽和リアクトルを用いているか
ら耐久性の点ですぐれているが、可飽和リアクトルが嵩
ぼって装置が極めて大型化し、また高価になる等の問題
がある。
得るために、複数個の可飽和リアクトルを用いているか
ら耐久性の点ですぐれているが、可飽和リアクトルが嵩
ぼって装置が極めて大型化し、また高価になる等の問題
がある。
本発明は前述した問題に鑑み、可飽和リアクトルを１個
用いるのみで装置の小型化を図り得て、安価に製作でき
るレーザ装置を提供することを目的とする。
用いるのみで装置の小型化を図り得て、安価に製作でき
るレーザ装置を提供することを目的とする。
本発明のレーザ装置は、立上りが緩やかなパルス電圧を
第１の主電極と第２の主電極との間に印加し、そのパル
ス電圧がピーク値に達する前において、補助電極と第２
の主電極との間に補助パルス発生回路からの補助パルス
電圧を印加して予備電離放電を発生させて主放電を誘発
するように構成するものである。
第１の主電極と第２の主電極との間に印加し、そのパル
ス電圧がピーク値に達する前において、補助電極と第２
の主電極との間に補助パルス発生回路からの補助パルス
電圧を印加して予備電離放電を発生させて主放電を誘発
するように構成するものである。
第１の主電極と第２の主電極との間に、可飽和リアクト
ルで制御された立上り時間が緩やかなパルス電圧が印ｉ
される。このパルス電圧がピーク値に達する前において
、補助電極と第２の主電極との間に補助パルス発生回路
から補助パルス電圧が印加される。この補助パルス電圧
が印加されたことにより、第２の主電極と補助電極との
間に電子を均一に散在させることになり、予備電離放電
が行われて主放電を誘発し主放電に至らしめる。
ルで制御された立上り時間が緩やかなパルス電圧が印ｉ
される。このパルス電圧がピーク値に達する前において
、補助電極と第２の主電極との間に補助パルス発生回路
から補助パルス電圧が印加される。この補助パルス電圧
が印加されたことにより、第２の主電極と補助電極との
間に電子を均一に散在させることになり、予備電離放電
が行われて主放電を誘発し主放電に至らしめる。
以下本発明をその実施例を示す図面によって詳述する。
第１図は本発明に係るレーザ装置の電気回路図である。
図において、昇圧用変圧器１の１次巻線１ｐには、コン
デンサ２とサイリスタ３との直列回路を接続しており、
サイリスタ３のカソードは接地され、アノードには抵抗
４の一端が接続されている。
デンサ２とサイリスタ３との直列回路を接続しており、
サイリスタ３のカソードは接地され、アノードには抵抗
４の一端が接続されている。
昇圧用変圧器１の２次巻線１ｓの両端にはコンデンサ５
が接続されている。コンデンサ５の両４には可飽和リア
クトル６と、リアクトル１６と放電用コンデンサ１５と
が並列接続された回路との直列回路が接続されている。
が接続されている。コンデンサ５の両４には可飽和リア
クトル６と、リアクトル１６と放電用コンデンサ１５と
が並列接続された回路との直列回路が接続されている。
また放電用コンデンサ１５の両端は第１の主電極１２と
第２の主電極１４に夫々接続されている。第２の主電極
１４と補助電極１３は補助パルス発生回路１８の出力端
子に夫々接続されている。この補助パルス発生回路１８
は第１の主電極１２と、第２の主電極１４との間に印加
されたパルス電圧がピーク値になる前に補助パルス電圧
が発するように構成されている。
第２の主電極１４に夫々接続されている。第２の主電極
１４と補助電極１３は補助パルス発生回路１８の出力端
子に夫々接続されている。この補助パルス発生回路１８
は第１の主電極１２と、第２の主電極１４との間に印加
されたパルス電圧がピーク値になる前に補助パルス電圧
が発するように構成されている。
このように構成したレーザ装置は、昇圧用変圧器１の１
次巻’ａ１ｐに、抵抗４の他端と接地された端部との間
に交流電源（図示せず）を接続することにより、コンデ
ンサ２が抵抗４を通して充電される。その後、サイリス
タ３を点弧させると、その放電電流が１次巻！１９を流
れて、昇圧用変圧器１により昇圧されてコンデンサ５が
第２図（ａｌに示す如く緩やかな立上りのパルス電圧Ｖ
５となって充電される。コンデンサ５のパルス電圧■、
がピーク値に達すると可飽和リアクトル６が飽和する。
次巻’ａ１ｐに、抵抗４の他端と接地された端部との間
に交流電源（図示せず）を接続することにより、コンデ
ンサ２が抵抗４を通して充電される。その後、サイリス
タ３を点弧させると、その放電電流が１次巻！１９を流
れて、昇圧用変圧器１により昇圧されてコンデンサ５が
第２図（ａｌに示す如く緩やかな立上りのパルス電圧Ｖ
５となって充電される。コンデンサ５のパルス電圧■、
がピーク値に達すると可飽和リアクトル６が飽和する。
そのためコンデンサ５のパルス電圧■、は、第１の主電
極１２と第２の主電極１４との間に加わって両主電極１
２．１４間のパルス電圧ＶＩ５は第２図（ｂ）に示すよ
うに、コンデンサ５のパルス電圧■、の立上りより急峻
な立上りで上昇する。この両主電極１２゜１４間のパル
ス電圧Ｖ＋Ｓがピーク値に達する前に補助パルス発生回
路１８から立上りが急峻な補助パルス電圧が発せられて
、第２の主電極１４と補助電極１３との間に、第２図（
Ｃ）に示すパルス電圧Ｖｌ１１が印加される。そのため
、主放電領域に電子が均一に散在して予備電離放電が行
われて、この予備電離放電が基になって第１の主電極１
２と第２の主電極１４との間に主放電１７が誘発されて
、主放電が行われる。
極１２と第２の主電極１４との間に加わって両主電極１
２．１４間のパルス電圧ＶＩ５は第２図（ｂ）に示すよ
うに、コンデンサ５のパルス電圧■、の立上りより急峻
な立上りで上昇する。この両主電極１２゜１４間のパル
ス電圧Ｖ＋Ｓがピーク値に達する前に補助パルス発生回
路１８から立上りが急峻な補助パルス電圧が発せられて
、第２の主電極１４と補助電極１３との間に、第２図（
Ｃ）に示すパルス電圧Ｖｌ１１が印加される。そのため
、主放電領域に電子が均一に散在して予備電離放電が行
われて、この予備電離放電が基になって第１の主電極１
２と第２の主電極１４との間に主放電１７が誘発されて
、主放電が行われる。
即ち、主放電１７の放電開始電圧は第１と第２の主電極
１２と１４との間に印加されるパルス電圧ＶＩＳの立上
り時間に依存せずに確実に主放電５を行わせることかで
き、高出力のレーザ光が得られる。
１２と１４との間に印加されるパルス電圧ＶＩＳの立上
り時間に依存せずに確実に主放電５を行わせることかで
き、高出力のレーザ光が得られる。
この予備電離放電を行わせる補助パルス発生回路１８の
出力は、主放電１７を行わせるパルス電圧を発生させる
パルス充電回路の出力の１／１０程度でよいので、補助
パルス発生回路１８の大きさは全体から見れば掻く僅か
な大きさであって、可飽和リアクトルを複数個使用した
場合に比べて装置が大幅に小型化する。
出力は、主放電１７を行わせるパルス電圧を発生させる
パルス充電回路の出力の１／１０程度でよいので、補助
パルス発生回路１８の大きさは全体から見れば掻く僅か
な大きさであって、可飽和リアクトルを複数個使用した
場合に比べて装置が大幅に小型化する。
なお、主放電を行わせるべくパルス電圧を発生させるパ
ルス充電回路のスイッチにサイリスタ３と可飽和リアク
トル６とを用いているが、双方をサイリスタとしてもよ
い。またサイリスタの代わりに例えば静電誘導トランジ
スタ、静電誘導サイリスタ、トランジスタ等を用いるこ
とができる。
ルス充電回路のスイッチにサイリスタ３と可飽和リアク
トル６とを用いているが、双方をサイリスタとしてもよ
い。またサイリスタの代わりに例えば静電誘導トランジ
スタ、静電誘導サイリスタ、トランジスタ等を用いるこ
とができる。
更に昇圧用変圧器１は、交流電源が高電圧を供給するも
のであれば使用しなくてもよい。
のであれば使用しなくてもよい。
また、本実施例において、第２の主電極１４と補助電極
１３との間に誘電体を介在させることにより、予備電離
放電をより均一に発生させることができる。更に、第２
の主電極１４はメツシュ構造であり、補助電極１３は主
放電１７に対して第２の主電極１４の背面に位置するも
のを示したが、第２の主電極１４はメツシュ構造に限定
されるものではなく、また補助電極１３は第１と第２の
主電極１２と１４との間、もしくはその側方であっても
よい。更にまた、レーザ筺体１１は鉛の如き宇宙線が透
過しない材質のもので構成するか、それをレーザ筺体１
１の内、外壁面に貼付けた構造とするのが望ましく、レ
ーザ出力の安定を図ることができる。
１３との間に誘電体を介在させることにより、予備電離
放電をより均一に発生させることができる。更に、第２
の主電極１４はメツシュ構造であり、補助電極１３は主
放電１７に対して第２の主電極１４の背面に位置するも
のを示したが、第２の主電極１４はメツシュ構造に限定
されるものではなく、また補助電極１３は第１と第２の
主電極１２と１４との間、もしくはその側方であっても
よい。更にまた、レーザ筺体１１は鉛の如き宇宙線が透
過しない材質のもので構成するか、それをレーザ筺体１
１の内、外壁面に貼付けた構造とするのが望ましく、レ
ーザ出力の安定を図ることができる。
このように宇宙線を遮蔽することは、緩やかなパルス電
圧の立上り過程において宇宙線が侵入してくる機会が多
く、宇宙線が通過した部分には電子、イオン等が生成さ
れて、主放電が宇宙線の通過域に集中するのでレーザ発
振の妨げを防止することになる。
圧の立上り過程において宇宙線が侵入してくる機会が多
く、宇宙線が通過した部分には電子、イオン等が生成さ
れて、主放電が宇宙線の通過域に集中するのでレーザ発
振の妨げを防止することになる。
以上詳述した如く、本発明は補助パルス発生回路を設け
てこの補助パルス発生回路により、第２の主電極と補助
電極との間に補助パルス電圧を印加して、予備電離放電
を行わせて主放電を誘発することができる。したがって
、従来のように主放電を行わせるための立上りが急峻な
パルス電圧を作り出す多数の可飽和リアクトルを必要と
しない、そのためレーザ装置を小型化し得るとともに安
価に製造することができる等の優れた効果を奏する。
てこの補助パルス発生回路により、第２の主電極と補助
電極との間に補助パルス電圧を印加して、予備電離放電
を行わせて主放電を誘発することができる。したがって
、従来のように主放電を行わせるための立上りが急峻な
パルス電圧を作り出す多数の可飽和リアクトルを必要と
しない、そのためレーザ装置を小型化し得るとともに安
価に製造することができる等の優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係るレーザ装置の電気回路図、第２−
は主放電及び予備電離放電を行わせるパル長電圧の波形
図、第３図は従来のレーザ装置の電気向□路図、第４図
は主放電を行わせるパルス電圧の波形図、第５図はパル
ス電圧の立上り時間と放電開始電圧との関係を示すグラ
フである。 ２・・・コンデンサ ３・・・スイッチ（サイリスタ）
５・・・コンデンサ ６・・・スイッチ（可飽和リアク
トル）１１・・・レーザ筺体 １２・・・第１の主電極
１３・・・補助電極 １４・・・第２の主電極 １５・
・・放電用コンデンサ １８・・・補助パルス発生回路
なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。□ 代理人 大 岩 増 雄 ３．６：ズイ２．．千 ５： コンデンす １１： レープ筐体 １２；第１の主電極 １３：補籾電７） １４・第２の主電極 １５°゛方父電用コンテ゛）す ＋８：ｆｌ助ノｖ１し又？貸ト主〔〕昆４−第 １
図 第 ４ デ 第 ５ 図
は主放電及び予備電離放電を行わせるパル長電圧の波形
図、第３図は従来のレーザ装置の電気向□路図、第４図
は主放電を行わせるパルス電圧の波形図、第５図はパル
ス電圧の立上り時間と放電開始電圧との関係を示すグラ
フである。 ２・・・コンデンサ ３・・・スイッチ（サイリスタ）
５・・・コンデンサ ６・・・スイッチ（可飽和リアク
トル）１１・・・レーザ筺体 １２・・・第１の主電極
１３・・・補助電極 １４・・・第２の主電極 １５・
・・放電用コンデンサ １８・・・補助パルス発生回路
なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。□ 代理人 大 岩 増 雄 ３．６：ズイ２．．千 ５： コンデンす １１： レープ筐体 １２；第１の主電極 １３：補籾電７） １４・第２の主電極 １５°゛方父電用コンテ゛）す ＋８：ｆｌ助ノｖ１し又？貸ト主〔〕昆４−第 １
図 第 ４ デ 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ筐体内に対設された第１の主電極及び第２の
主電極並びに該第２の主電極に近接配置された補助電極
と、前記第１及び第２の主電極間に接続された放電用コ
ンデンサと、該放電用コンデンサに間歇的に電圧を印加
するパルス充電回路とを備えているレーザ装置において
、 前記パルス充電回路はスイッチとコンデン サとを含み、前記第１の主電極と前記第２の主電極との
間には、該第１の主電極と第２の主電極との間に前記放
電用コンデンサから印加されたパルス電圧がピーク値に
達する前に前記第２の主電極と補助電極との間に補助パ
ルス電圧を印加する補助パルス発生回路を接続していて
、この補助パルス電圧により主放電を誘発する予備電離
放電を行わせるように構成されていることを特徴とする
レーザ装置。 ２、スイッチはサイリスタ、トランジスタ、静電誘導サ
イリスタ、静電誘導トランジスタ若しくは可飽和リアク
トルのいずれか、又はそれらの組合せである特許請求の
範囲第１項記載のレーザ装置。 ３、パルス充電回路はスイッチとコンデンサと変圧器と
を含む特許請求の範囲第１項又は第２項記載のレーザ装
置。 ４、レーザ筺体は宇宙線を遮蔽するシールド材からなる
特許請求の範囲第１、２又は第３項に記載のレーザ装置
。 ５、レーザ筺体は宇宙線を遮蔽するシールド材を筺体壁
面に貼付けている特許請求の範囲第１、２又は第３項記
載のレーザ装置。 ６、レーザ筺体内に対設された第１の主電極及び第２の
主電極並びに該第２の主電極に近接配置された補助電極
と、前記第１及び第２の主電極間に接続された放電用コ
ンデンサと、該放電用コンデンサに間歇的に電圧を印加
するパルス充電回路と、前記第２の主電極と補助電極と
の間に、前記第１の主電極と第２の主電極との間に印加
されたパルス電圧がピーク値に達する前に補助パルス電
圧を印加する補助パルス発生回路とを備えているレーザ
装置において、 前記第２の主電極と、前記補助電極との間 に誘電体を配設していることを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617886A JPS62282476A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12617886A JPS62282476A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62282476A true JPS62282476A (ja) | 1987-12-08 |
Family
ID=14928614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12617886A Pending JPS62282476A (ja) | 1986-05-30 | 1986-05-30 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62282476A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63197390A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-16 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | パルスレ−ザ励起電源装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788788A (en) * | 1980-11-22 | 1982-06-02 | Hamamatsu Tv Kk | Electric power source circuit for discharge of laser tube |
| JPS59500591A (ja) * | 1982-04-19 | 1984-04-05 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 予備イオン化の調整が行なわれるレ−ザ−装置、特にｔｅ型高出力レ−ザ−装置の励起回路 |
| JPS5996788A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-06-04 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 高電圧パルス放電励起装置 |
-
1986
- 1986-05-30 JP JP12617886A patent/JPS62282476A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5788788A (en) * | 1980-11-22 | 1982-06-02 | Hamamatsu Tv Kk | Electric power source circuit for discharge of laser tube |
| JPS59500591A (ja) * | 1982-04-19 | 1984-04-05 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 予備イオン化の調整が行なわれるレ−ザ−装置、特にｔｅ型高出力レ−ザ−装置の励起回路 |
| JPS5996788A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-06-04 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 高電圧パルス放電励起装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63197390A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-16 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | パルスレ−ザ励起電源装置 |
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